JPS63163922A - Ｘ−ｙテ−ブル - Google Patents
Ｘ−ｙテ−ブルInfo
- Publication number
- JPS63163922A JPS63163922A JP61314684A JP31468486A JPS63163922A JP S63163922 A JPS63163922 A JP S63163922A JP 61314684 A JP61314684 A JP 61314684A JP 31468486 A JP31468486 A JP 31468486A JP S63163922 A JPS63163922 A JP S63163922A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- frame
- screw shaft
- ball screw
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はＸ軸方向、Ｙ軸方向のヘッドの移動をそれぞれ
１ケのモータで制御するＸ−Ｙテーブルのヘッド位置の
特定に関するもので、特に精密な位置合せができるＸ−
Ｙテーブルに関するものである。
１ケのモータで制御するＸ−Ｙテーブルのヘッド位置の
特定に関するもので、特に精密な位置合せができるＸ−
Ｙテーブルに関するものである。
（従来の技術）
Ｘ−Ｙテーブルについて第３図を参照して説明すると、
基台１のＸ軸方向の両側に主動レール２と従動レール３
とが固定されている。主動レール２上には、上面にＹ軸
パルスモータ５を固定した第１架台６が摺動自在に配置
され、この第１架台６は主動レール２と平行に配設され
た第１ボールネジシャフト７０回動によってＸ軸方向に
移動させられるものであり、第１ボールネジシヤフト７
はＸ軸パルスモータ４の回転軸と固着されている。Ｘ軸
パルスモータ４は回転軸方向が、第１ボールネジシヤフ
ト７と同一軸線となるように基台１に固着されている。
基台１のＸ軸方向の両側に主動レール２と従動レール３
とが固定されている。主動レール２上には、上面にＹ軸
パルスモータ５を固定した第１架台６が摺動自在に配置
され、この第１架台６は主動レール２と平行に配設され
た第１ボールネジシャフト７０回動によってＸ軸方向に
移動させられるものであり、第１ボールネジシヤフト７
はＸ軸パルスモータ４の回転軸と固着されている。Ｘ軸
パルスモータ４は回転軸方向が、第１ボールネジシヤフ
ト７と同一軸線となるように基台１に固着されている。
従動レール３上には第２架台９が摺動自在に配置され、
上述した第１架台６に固定されたＸ軸パルスモータ５の
回転軸と固着された第２ポールネジシヤフト８の他端を
回動自在に保持している。この第２ポールネジシヤフト
８の軸線方向は、第１ボールネジシヤフト７の軸線方向
、即ち主動レール２の延在方向と直角に配置され。
上述した第１架台６に固定されたＸ軸パルスモータ５の
回転軸と固着された第２ポールネジシヤフト８の他端を
回動自在に保持している。この第２ポールネジシヤフト
８の軸線方向は、第１ボールネジシヤフト７の軸線方向
、即ち主動レール２の延在方向と直角に配置され。
第２ポールネジシヤフト８にはヘッド架台１０が嵌合さ
れ、このヘッド架台１０は回転防止の案内シャフト１１
，１１が摺動可能に嵌合する孔が設けられている。
れ、このヘッド架台１０は回転防止の案内シャフト１１
，１１が摺動可能に嵌合する孔が設けられている。
主動レール２の側面上部には、デジタル位置読取装置（
以下デジタルスケールと言う）としての光学装置の信号
発生用素子１２が延設され。
以下デジタルスケールと言う）としての光学装置の信号
発生用素子１２が延設され。
このデジタルスケールの信号発生用素子１２からの信号
は第１架台に設けられた検出体（図示せず）との関係か
ら、デジタルスケールの信号発生用素子１２で検出体の
位置が制御装置（図示せず）に印加され表示される。従
動レール３の側面にもデジタルスケールの信号発生用素
子１２が配置され、第２架台に検出体が配設されている
。Ｙ軸についても案内シャフト１１の一方にデジタルス
ケールの信号発生用素子が延設され、ヘッド架台１０に
検出体が配設されている。
は第１架台に設けられた検出体（図示せず）との関係か
ら、デジタルスケールの信号発生用素子１２で検出体の
位置が制御装置（図示せず）に印加され表示される。従
動レール３の側面にもデジタルスケールの信号発生用素
子１２が配置され、第２架台に検出体が配設されている
。Ｙ軸についても案内シャフト１１の一方にデジタルス
ケールの信号発生用素子が延設され、ヘッド架台１０に
検出体が配設されている。
（発明が解決しようとする問題点）
第３図に示したＸ−Ｙプロッタの動作を第４図を参照し
て模式的に説明すると１図示しない制御回路からの信号
でＸ軸パルスモータ４およびＸ軸パルスモータ５が回転
し、この回転に伴って第１架台６．第２架台９とヘッド
架台１０とがそれぞれＸ軸方向及びＹ軸方向に移動する
。
て模式的に説明すると１図示しない制御回路からの信号
でＸ軸パルスモータ４およびＸ軸パルスモータ５が回転
し、この回転に伴って第１架台６．第２架台９とヘッド
架台１０とがそれぞれＸ軸方向及びＹ軸方向に移動する
。
第１架台６はＸ軸パルスモータ４の回転軸に連結された
。第１ボールネジシヤフト７との回動により移動され、
従動レール３に載置された第２架台９は第２ポールネジ
シヤフト８の移動につれて移動するので、ヘッド架台１
０が予定した位置ＡからＡ１の位置へずれてしまう。そ
こで従来は主動レール２に配置したデジタルスケールを
案内シャフト１１に配置したデジタルスケールの計測値
だけで、ヘッド架台１０の中心位置を特定していたため
実際の位置とは異なる位置信号を検出していた。このよ
うな不都合を解決するために１機構的に案内ガイドを増
設。
。第１ボールネジシヤフト７との回動により移動され、
従動レール３に載置された第２架台９は第２ポールネジ
シヤフト８の移動につれて移動するので、ヘッド架台１
０が予定した位置ＡからＡ１の位置へずれてしまう。そ
こで従来は主動レール２に配置したデジタルスケールを
案内シャフト１１に配置したデジタルスケールの計測値
だけで、ヘッド架台１０の中心位置を特定していたため
実際の位置とは異なる位置信号を検出していた。このよ
うな不都合を解決するために１機構的に案内ガイドを増
設。
または従動側レール３にもデジタルスケールを配置する
こともなされたが、技術的に十分解決できず６費用も高
くなるという問題点があった。
こともなされたが、技術的に十分解決できず６費用も高
くなるという問題点があった。
（問題点を解決するための手段）
本発明は如上の問題点に鑑みなされたもので。
基台に固着されたＸ軸モータと、該Ｘ軸用モータの回転
軸に連結されたＸ軸ボールネジシャフトと、該Ｘ軸ボー
ルネジシャフトの回動により移動する第１架台と、該第
１架台に配置されたＹ軸モータと、該Ｙ軸用モータの回
転軸と連結され前記Ｘ軸ボールネジシャフトと直交する
方向に配置されたＹ軸ボールネジシャフトと、該Ｙ軸ボ
ールネジシャフトの回動により移動するヘッドと、前記
Ｙ軸ボールネジシャフトの他端を保持し前記Ｘ軸ポール
ネジと並行に移動する第２架台とを有するＸ−Ｙテーブ
ルにおいて。
軸に連結されたＸ軸ボールネジシャフトと、該Ｘ軸ボー
ルネジシャフトの回動により移動する第１架台と、該第
１架台に配置されたＹ軸モータと、該Ｙ軸用モータの回
転軸と連結され前記Ｘ軸ボールネジシャフトと直交する
方向に配置されたＹ軸ボールネジシャフトと、該Ｙ軸ボ
ールネジシャフトの回動により移動するヘッドと、前記
Ｙ軸ボールネジシャフトの他端を保持し前記Ｘ軸ポール
ネジと並行に移動する第２架台とを有するＸ−Ｙテーブ
ルにおいて。
前記Ｘ軸ボールネジシャフトで移動する第１架台とＹ軸
ボールネジシャフトの他端部を保持する第２架台との移
動距離の演算により前記ヘッドの座標位置を特定するＸ
−Ｙテーブルを提案するものである。
ボールネジシャフトの他端部を保持する第２架台との移
動距離の演算により前記ヘッドの座標位置を特定するＸ
−Ｙテーブルを提案するものである。
（実施例）
本発明の一実施例を添付図面を参照して説明する。尚、
従来例と同一部分については同一符号を付した。
従来例と同一部分については同一符号を付した。
第２図において基台１はＸ軸方向１ｍ、Ｙ軸方向６０ｃ
ｍ（Ｌで図示）の大きさで、第１架台６を第１ボールネ
ジシャフト７０回転により矢印方向へ移動させ所望の位
置で停止したところ。
ｍ（Ｌで図示）の大きさで、第１架台６を第１ボールネ
ジシャフト７０回転により矢印方向へ移動させ所望の位
置で停止したところ。
従動側の第２架台９の移動距離はＸ軸方向に対して０．
１５ｍｍ（Ｅ’）少なかった。また、第１架台６の移動
距離が０．１５ ｍｏ＋以下の場合には第２架台９は移
動しなかった。
１５ｍｍ（Ｅ’）少なかった。また、第１架台６の移動
距離が０．１５ ｍｏ＋以下の場合には第２架台９は移
動しなかった。
以上のことよシ、第１架台６の移動して停止した位置で
のヘッド架台１０の位置ＡＩ （Ｘｌ。
のヘッド架台１０の位置ＡＩ （Ｘｌ。
Ｙｌ）は第１架台６の第１ポールネジシヤフト７に対し
て直角での位置Ａ（Ｘ、Ｙ）信号と北上のことよりヘッ
ド架台１０の中心位置（実際には中心とは限らない）は
、第１架台６の進行方向に対して、第２ポールネジシヤ
フト８の長の式が導き出される。尚、ヘッド架台１０の
Ｙ位置については、第２ポールネジシヤフト８の全長に
対して無視できる変化量である。
て直角での位置Ａ（Ｘ、Ｙ）信号と北上のことよりヘッ
ド架台１０の中心位置（実際には中心とは限らない）は
、第１架台６の進行方向に対して、第２ポールネジシヤ
フト８の長の式が導き出される。尚、ヘッド架台１０の
Ｙ位置については、第２ポールネジシヤフト８の全長に
対して無視できる変化量である。
次に第１架台６の移動距離（α）が計測された従動レー
ル３側の第２架台９の変化距離Ｅよシ大きい場合のヘッ
ド架台１０の中心位置の座標は、第１架台６の元位置座
標８ （Ｘｓｅ Ｙｓ）に対して、上記（１）式から Ｘｌ ＝（Ｘ−Ｘｓ）−Ｙ（旦） ＝ａ−（Ｌ−Ｙ）（
旦）−・・・（２）Ｌ Ｌ の式が導き出される。
ル３側の第２架台９の変化距離Ｅよシ大きい場合のヘッ
ド架台１０の中心位置の座標は、第１架台６の元位置座
標８ （Ｘｓｅ Ｙｓ）に対して、上記（１）式から Ｘｌ ＝（Ｘ−Ｘｓ）−Ｙ（旦） ＝ａ−（Ｌ−Ｙ）（
旦）−・・・（２）Ｌ Ｌ の式が導き出される。
また、第１架台６の移動距離（α）が上述したＥより小
さい場合は Ｌα Ｘ １ ＝Ｌ （Ｘ Ｘｓ ） ／ （Ｌ Ｙ ）＝ｙ
・−・−・（５）の式が導き出される。
さい場合は Ｌα Ｘ １ ＝Ｌ （Ｘ Ｘｓ ） ／ （Ｌ Ｙ ）＝ｙ
・−・−・（５）の式が導き出される。
以上説明した操作をした後、第１図のＲＡＭ２３に測定
データ、計算データを記録し、その結果に基づき０ＰＵ
２１の制御により位置信号が特定される。
データ、計算データを記録し、その結果に基づき０ＰＵ
２１の制御により位置信号が特定される。
次に実際の操作について第１図を参照して説明する。０
ＰＵ２１によりパルスモータコントロール２６．パルス
モータ駆動手段２８を介してＸ軸パルスモータ４（Ｍｌ
）を、第１架台６がＸ軸の負方向へ所定量（本実施例で
は１關）するように回転させ、続いて第１架台６をＸ軸
の正方向へ０．１５ｍ１移動させ停止する。尚、この初
期設定時にはＹ軸方向へは第２図の下方へヘッド架台１
０が当接する迄移動させる。このヘッド架台１０のＸ、
Ｙ軸方向の基準位置としてＲＡＭ２５にＸｓ（０，０）
を記録させる。
ＰＵ２１によりパルスモータコントロール２６．パルス
モータ駆動手段２８を介してＸ軸パルスモータ４（Ｍｌ
）を、第１架台６がＸ軸の負方向へ所定量（本実施例で
は１關）するように回転させ、続いて第１架台６をＸ軸
の正方向へ０．１５ｍ１移動させ停止する。尚、この初
期設定時にはＹ軸方向へは第２図の下方へヘッド架台１
０が当接する迄移動させる。このヘッド架台１０のＸ、
Ｙ軸方向の基準位置としてＲＡＭ２５にＸｓ（０，０）
を記録させる。
次に第１架台６をＸ軸止方向へ所定量（本実施例では５
０ｃｍ）移動させ、この位置での主動レール２と従動レ
ール３の移動距離を第１．第３デジタルスケール５０．
３２からインターフェース２５．２６を介して取り込
み、変化距離Ｅを演算しＲＡＭ２５に記録する。第１架
台６をＸ動員方向へ５０ｃｍ移動させて停止する。これ
でＸ−Ｙプルツタの操作の準備が整った訳である。ここ
で０ＰＵ２１から所望の位置へのヘッド架台１０の移動
量力パルスモータコントロール２６，２７からパルスモ
ータ駆動手段２８゜２９を介してＸ軸パルスモータ４．
Ｘ軸パルスモータ５が回転し、第１ポールネジシヤフト
７゜第２ポールネジシヤフト８が回動してヘッド架台１
０が移動し、ヘッド架台１０が停止した位置での第１デ
ジタルスケール３０の値と第２デジタルスケール３１の
値とをそれぞれＸ座標。
０ｃｍ）移動させ、この位置での主動レール２と従動レ
ール３の移動距離を第１．第３デジタルスケール５０．
３２からインターフェース２５．２６を介して取り込
み、変化距離Ｅを演算しＲＡＭ２５に記録する。第１架
台６をＸ動員方向へ５０ｃｍ移動させて停止する。これ
でＸ−Ｙプルツタの操作の準備が整った訳である。ここ
で０ＰＵ２１から所望の位置へのヘッド架台１０の移動
量力パルスモータコントロール２６，２７からパルスモ
ータ駆動手段２８゜２９を介してＸ軸パルスモータ４．
Ｘ軸パルスモータ５が回転し、第１ポールネジシヤフト
７゜第２ポールネジシヤフト８が回動してヘッド架台１
０が移動し、ヘッド架台１０が停止した位置での第１デ
ジタルスケール３０の値と第２デジタルスケール３１の
値とをそれぞれＸ座標。
Ｘ座標として検出し、前述した式を適用して座標信号Ａ
Ｉ （Ｘｌ、Ｙｌ ）を求める。この求めた座標信号Ａ
Ｉ （Ｘｌ、Ｙｌ）を処理装置３３へ取り込み、必要に
応じて表示装置等の外部装置（図示せず）へ送出する。
Ｉ （Ｘｌ、Ｙｌ ）を求める。この求めた座標信号Ａ
Ｉ （Ｘｌ、Ｙｌ）を処理装置３３へ取り込み、必要に
応じて表示装置等の外部装置（図示せず）へ送出する。
（発明の効果）
本発明は如上のような構成となしたので、ヘッドの位置
が精密に測定するＸ−Ｙプルツタを低価格で製作できる
ものである。尚、Ｙ軸方向のボールネジシャフトの材質
、太さ１周囲温度等に応じて予め測定しておいてＲＯＭ
２２に参照テーブルとして記録しておき１条件を指定し
て操作することもできるものである。
が精密に測定するＸ−Ｙプルツタを低価格で製作できる
ものである。尚、Ｙ軸方向のボールネジシャフトの材質
、太さ１周囲温度等に応じて予め測定しておいてＲＯＭ
２２に参照テーブルとして記録しておき１条件を指定し
て操作することもできるものである。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図は電気的
ブロック図、第２図は本発明の動作説明図、第３図は外
観斜視図、第４図は従来例の動作説明図である。 １・・・基台、２・・・主動レール、３・・・従動レー
ル。
ブロック図、第２図は本発明の動作説明図、第３図は外
観斜視図、第４図は従来例の動作説明図である。 １・・・基台、２・・・主動レール、３・・・従動レー
ル。
Claims (1)
- 基台に固着されたＸ軸用モータと、該Ｘ軸用モータの回
転軸に連結されたＸ軸ボールネジシャフトと、該Ｘ軸ボ
ールネジシャフトの回動により移動する第１架台と、該
第１架台に配置されたＹ軸用モータと、該Ｙ軸用モータ
の回転軸と連結され前記Ｘ軸ボールネジシャフトと直交
する方向に配置されたＹ軸ボールネジシャフトと、該Ｙ
軸ボールネジシャフトの回動により移動するヘッドと、
前記Ｙ軸ボールネジシャフトの他端を保持し前記Ｘ軸ボ
ールネジと並行に移動する第２架台とを有するＸ−Ｙテ
ーブルにおいて、前記Ｘ軸ボールネジシャフトで移動す
る第１架台とＹ軸ボールネジシャフトの他端部を保持す
る第２架台との移動距離の演算により前記ヘッドの座標
位置を特定することを特徴とするＸ−Ｙテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61314684A JPS63163922A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | Ｘ−ｙテ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61314684A JPS63163922A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | Ｘ−ｙテ−ブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63163922A true JPS63163922A (ja) | 1988-07-07 |
Family
ID=18056303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61314684A Pending JPS63163922A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | Ｘ−ｙテ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63163922A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10894350B2 (en) | 2015-06-08 | 2021-01-19 | Windmöller & Hölscher Kg | Extrusion device and extrusion method that produces a plastic film |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6150493B2 (ja) * | 1979-04-26 | 1986-11-05 | Kuraray Co |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP61314684A patent/JPS63163922A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6150493B2 (ja) * | 1979-04-26 | 1986-11-05 | Kuraray Co |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10894350B2 (en) | 2015-06-08 | 2021-01-19 | Windmöller & Hölscher Kg | Extrusion device and extrusion method that produces a plastic film |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2807461B2 (ja) | 三次元形状加工レーザ装置 | |
| JP2873404B2 (ja) | ワークピースの表面をスキャンする方法とその装置 | |
| JPS61105411A (ja) | 多次元測定機の測定方法 | |
| JPS62248009A (ja) | 数値制御装置 | |
| JP2002005653A (ja) | ねじ寸法測定方法及び装置 | |
| US5243872A (en) | Robotic hand for controlling movement in multiple axes | |
| JPS63163922A (ja) | Ｘ−ｙテ−ブル | |
| JP2006349547A (ja) | 非接触式三次元形状計測方法及び計測機 | |
| EP4134762A1 (en) | Machining method | |
| JP3168334B2 (ja) | 三次元座標測定機 | |
| JP3042157U (ja) | 三次元座標測定機 | |
| JP2000155024A (ja) | 測定装置 | |
| JPH0726839B2 (ja) | 歯車の歯形測定装置 | |
| JP2758810B2 (ja) | 形状測定方法 | |
| JP7458579B2 (ja) | 三次元測定機、及び三次元測定機の測定方法、 | |
| JP5305193B2 (ja) | Ｖ溝形状測定方法および装置 | |
| JP2572660B2 (ja) | 自動駆動型比較計測機 | |
| JP2529312B2 (ja) | バックゲ―ジの初期値設定方法およびその装置 | |
| JPS6318684B2 (ja) | ||
| JPS6156145B2 (ja) | ||
| JPH02256481A (ja) | ロボットとワークとの相互距離制御方法およびそのための較正データ作成装置 | |
| JP2018025507A (ja) | 駆動部傾斜調整方法、及び駆動部傾斜調整プログラム | |
| JPH0587557A (ja) | 三次元測定機 | |
| JPS61155901A (ja) | 触針式測定機 | |
| JPH09189503A (ja) | 光ファイバ母材の曲り測定方法及び曲り測定装置 |