JPS63159285A - 単結晶製造装置 - Google Patents

単結晶製造装置

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JPS63159285A
JPS63159285A JP30649986A JP30649986A JPS63159285A JP S63159285 A JPS63159285 A JP S63159285A JP 30649986 A JP30649986 A JP 30649986A JP 30649986 A JP30649986 A JP 30649986A JP S63159285 A JPS63159285 A JP S63159285A
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Japan
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heater
single crystal
crucible
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furnace body
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Makoto Suzuki
真 鈴木
Kenji Araki
健治 荒木
Katsuhiko Murakami
勝彦 村上
Akira Kazama
彰 風間
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NKK Corp
Nippon Kokan Ltd
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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