JPS63154976A - Circuit for testing large-scale integrated circuit apparatus - Google Patents

Circuit for testing large-scale integrated circuit apparatus

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Publication number
JPS63154976A
JPS63154976A JP61301647A JP30164786A JPS63154976A JP S63154976 A JPS63154976 A JP S63154976A JP 61301647 A JP61301647 A JP 61301647A JP 30164786 A JP30164786 A JP 30164786A JP S63154976 A JPS63154976 A JP S63154976A
Authority
JP
Japan
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pin
circuit
output
lsi
test
Prior art date
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Pending
Application number
JP61301647A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tatsuro Yoshimura
吉村 達郎
Takeshi Kono
武司 河野
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Publication of JPS63154976A publication Critical patent/JPS63154976A/en
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Abstract

PURPOSE:To enable the non-contact testing of LSI pins, by a method wherein pin scan out circuits are provided for respective LSIs and a voltage waveform of an LSI pin to be tested is sampled to observe a pseudo waveform obtained from a logic output. CONSTITUTION:For example, a voltage generated in a pin 1' is compared with a reference voltage Vref by a comparator 21 and when a pin output is higher, the output is 1 while it is 0 when the pin output is lower. A selection circuit 3 selects a pin I/O1' based on a pin address signal inputted from a pin address terminal ADT and an output of the comparator 21 is outputted to a latch circuit 4. At this point, the selection circuit 3 inverts an comparator output to be sent to the subsequent stage. The latch circuit 4 latches an output of the selection circuit 3 by a clock pulse from a clock pulse generator 5 to be outputted to a pin scan out terminal SOT. This operation is performed varying the sampling point and the Vref sequentially to determine a pseudo waveform and then, a test is performed.

Description

【発明の詳細な説明】 〔(既  要〕 本発明は大規模集積回路装置の試験において、各々のL
SIごとにピンスキャンアウト回路を備え、被試験LS
Iビンの電圧波形をサンプリングし論理出力により得ら
れる疑似波形によって、前記LSIピンに非接触で試験
できるようにしたものである。
[Detailed Description of the Invention] [(Already required)] The present invention provides a method for testing large-scale integrated circuit devices.
Each SI is equipped with a pin scan-out circuit, and the LS under test
The voltage waveform of the I-bin is sampled and a pseudo waveform obtained by logic output is used to enable testing without contacting the LSI pins.

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明は大規模集積回路(LSI)装置の試験回路に関
し、特にプリント基板上に実装された各LSIの入出力
(I 10)ピンに現われる電圧波形を非接触で観察す
ることができる試験回路に関する。
The present invention relates to a test circuit for large-scale integrated circuit (LSI) devices, and more particularly to a test circuit that allows non-contact observation of voltage waveforms appearing at input/output (I10) pins of each LSI mounted on a printed circuit board. .

〔従来の技術及び発明が解決しようとする問題点〕第6
図は従来方式によるLSI装置の試験装置の概略構成図
である。第6図において、被試験物であるLSI 63
にはLSI端子(ピン)64が複数個その外周に設けら
れている。これらのピンを介して内部回路を試験するた
めに、内周にプローブ61が設けられたプローブカード
62が用いられている。プローブ61はLSIのピン6
4の位置と互に対応するように配置され、各々のプロー
ブとピンとはプローブカード62をLSI 63に装着
したときに接触するようになっている。装着後にLSI
テスタ65によって各ピンに所定値が現われているか否
かチェックされる。
[Problems to be solved by conventional techniques and inventions] No. 6
The figure is a schematic configuration diagram of a conventional LSI device testing device. In FIG. 6, the LSI 63 which is the test object
A plurality of LSI terminals (pins) 64 are provided on its outer periphery. In order to test the internal circuit through these pins, a probe card 62 having probes 61 provided on its inner periphery is used. Probe 61 is LSI pin 6
4, and the respective probes and pins come into contact with each other when the probe card 62 is mounted on the LSI 63. LSI after installation
A tester 65 checks whether a predetermined value appears on each pin.

しかしながら、最近のLSIの高密度実装化によってピ
ンの間隔も幅も増々狭くなっており、そのため、試験時
においてプローブ等によるLSIピンの破壊や、接触不
良などの問題が発生している。またピンがパッケージの
下側等で直接見えない場所のものもある。このような問
題はピンとプローブが機械的に接触する方式では常に起
り得る問題であり、抜本的対策としてはプローブを用い
ず非接触で実現する方式が必要である。
However, with recent high-density packaging of LSIs, the spacing and width of pins are becoming narrower and narrower, resulting in problems such as destruction of LSI pins by probes and poor contact during testing. There are also cases where the pins are not directly visible, such as on the underside of the package. Such a problem can always occur in a system in which the pin and probe are in mechanical contact, and as a drastic countermeasure, a system that does not use a probe and achieves contact is required.

c問題点を解決するための手段および作用〕本発明は上
述の問題点を解消したLSI装置の試験回路を提供する
ことにあり、本発明によれば、LSI装置において、プ
リント基板上の各LSIの全I10ピンにこれと同数の
比較器(コンパレータ)をそれぞれのピンに設け、これ
らの全コンパレータに供給する基準電圧を供給するため
のリファレンス入力端子RTをI10ピンとは別個に設
け、1個のLSI内でブロックごとにコンパレータ出力
の中から1本を選択する選択回路を介してその論理出力
を一時メモリとしてのう・7チ回路に保持し、各々のブ
ロックのラッチ出力をOR結線してI10ビンとは別個
のスキャンアウト端子SOTに接続し、LSI装置内で
さらに各々のLSIのリファレンス入力端子RTおよび
スキャンアウト端子SOTをそれぞれ結線してLSI装
置の外部端子に接続した構成をとるものであり、試験時
において、LSI装置を動作させ、LSI装置内の試験
を行うべく着目した1本のLSIビンに周期的な電圧波
形を発生させ、ラッチ回路の記憶保持タイミングをその
電圧波形の各位相点に対応するタイミングにとり、まず
リファレンス電圧を一定にして測定範囲の初期位相点に
おける比較結果であるコンパレータ出力をラッチ回路を
介してLSI装置のみ外部に取り出し、次に位相点を変
化させて前記処理を繰り返し行い、これを観測波形の振
幅をカバーするようにリファレンス電圧を順次段階的に
変化させて行い、得られた各論理出力を再構成して観測
波形の疑似波形を得、この疑似波形を観察することによ
りLSIの試験を行うようにしたものである。
c. Means and operation for solving the problems] The present invention provides a test circuit for an LSI device that solves the above problems. According to the present invention, in an LSI device, each LSI on a printed circuit board The same number of comparators are provided on each pin for all I10 pins, and a reference input terminal RT for supplying the reference voltage to all these comparators is provided separately from the I10 pin. Within the LSI, the logic output is stored in a 7-channel circuit as a temporary memory through a selection circuit that selects one of the comparator outputs for each block, and the latch outputs of each block are OR-connected to I10. The bin is connected to a scan-out terminal SOT separate from the bin, and the reference input terminal RT and scan-out terminal SOT of each LSI are further connected within the LSI device to external terminals of the LSI device. During the test, the LSI device is operated, a periodic voltage waveform is generated in one LSI bin that is focused on for testing the LSI device, and the memory retention timing of the latch circuit is determined by each phase point of the voltage waveform. First, the reference voltage is kept constant and the comparator output, which is the comparison result at the initial phase point of the measurement range, is taken out to the outside of the LSI device via the latch circuit, and then the phase point is changed and the above processing is carried out. Repeat this process by sequentially changing the reference voltage step by step to cover the amplitude of the observed waveform, reconstruct each obtained logic output to obtain a pseudo-waveform of the observed waveform, and observe this pseudo-waveform. By doing this, LSI tests can be performed.

要すれば、本発明は各LSI内に当該LSIの110ピ
ンの電圧波形を観測するだめの手段としてビンスキャン
アウト回路を備え、J亥ピンスキャンアウト回路はコン
パレータと、I10ピン選択回路と、ラッチ回路からな
り、LSIごとの該ピンスキャンアラート回路をすべて
結線してLSI装置の外部I10端子に接続することに
よって、各LSIビンに接触することなくその電圧波形
をLSI装置の外部端子より論理出力として得ることが
できるようにしたものである。
In short, the present invention includes a bin scan out circuit in each LSI as a means for observing the voltage waveform of the 110 pin of the LSI, and the J pin scan out circuit includes a comparator, an I10 pin selection circuit, and a latch. By connecting all the pin scan alert circuits for each LSI and connecting them to the external I10 terminal of the LSI device, the voltage waveform can be output as a logic output from the external terminal of the LSI device without touching each LSI bin. It is made so that it can be obtained.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明に係る試験回路を有するLSI装置の外
部詳細図である。第1図において、1はLSI、2はコ
ンパレータ、3は選択回路、4はラッチ回路、5はクロ
ックパルスゼネレータである。LSIIには図示の如<
I10■ないし■10■までの8本の入出力ビンが設け
られている。
FIG. 1 is a detailed external view of an LSI device having a test circuit according to the present invention. In FIG. 1, 1 is an LSI, 2 is a comparator, 3 is a selection circuit, 4 is a latch circuit, and 5 is a clock pulse generator. The LSII has the following
Eight input/output bins from I10■ to ■10■ are provided.

これらのピンはコンパレータ2の各々の一方の入力に接
続される。コンパレータ2は各1 / Oヒ:/ごとに
8個(21〜2B)設けられる。コンパレータ2の他方
の入力にはリファレンス入力端子RTを介して基準電圧
が入力され、すべてのコンパレータの出力は選択回路3
に入力される。またコンパレータ2には、ピンアドレス
端子ADTを介してピンを選択するためのアドレス信号
と、LSIセレクト入力端子SITを選択するためのセ
レクト信号が入力される。選択回路3の出力はラッチ回
路4に入力され、ラッチ回路からの出力はクロックパル
スゼネレータ5のクロックパルスに基づいて出力される
。クロックパルスゼネレータ5はクロック制御端子CL
KTを介して入力されるクロック制御信号により行われ
る。上述したコンパレータ、選択回路、ラッチ回路、お
よびクロックパルスゼネレータによってピンスキャンア
ウト回路psocを構成する。従ってすべてのLSIに
はこのピンスキャンアウト回路psocが設けられてい
る。
These pins are connected to one input of each of comparators 2. Eight comparators 2 (21 to 2B) are provided for each 1/Ohi:/. A reference voltage is input to the other input of the comparator 2 via the reference input terminal RT, and the outputs of all comparators are supplied to the selection circuit 3.
is input. Further, an address signal for selecting a pin and a select signal for selecting the LSI select input terminal SIT are input to the comparator 2 via the pin address terminal ADT. The output of the selection circuit 3 is input to the latch circuit 4, and the output from the latch circuit is output based on the clock pulse of the clock pulse generator 5. The clock pulse generator 5 has a clock control terminal CL.
This is done by a clock control signal input via KT. A pin scan out circuit psoc is configured by the above-mentioned comparator, selection circuit, latch circuit, and clock pulse generator. Therefore, all LSIs are provided with this pin scan-out circuit psoc.

このような構成において、LSIのI10ビンに発生す
る電圧を観察する方法は以下のように行われる。例えば
ピンT10■に発生する電圧はコンパレータ21におい
て基準電圧Vrefと比較される。ピン出力がVref
より高いときはコンパレークの出力は1″、低いときは
“0”となる。選択回路3ではピンアドレス端子ADT
から入力されるピンアドレス信号に基づいてピンI10
■が選択され、コンパレータ21の出力はラッチ回路4
に出力される。この時、選択回路3はコンパレータ出力
を反転し次段に送出する。ラッチ回路4はクロックパル
スゼネレータ5からのクロックパルスにより選択回路3
の出力をラッチし、ピンスキャンアウト端子SOTに出
力する。
In such a configuration, the method for observing the voltage generated at the I10 bin of the LSI is performed as follows. For example, the voltage generated at pin T10■ is compared with reference voltage Vref in comparator 21. Pin output is Vref
The output of the comparator is 1'' when the level is higher than 0, and 0 when it is lower.
pin I10 based on the pin address signal input from
■ is selected, and the output of the comparator 21 is the latch circuit 4
is output to. At this time, the selection circuit 3 inverts the comparator output and sends it to the next stage. The latch circuit 4 is activated by the selection circuit 3 by the clock pulse from the clock pulse generator 5.
The output is latched and output to the pin scan out terminal SOT.

第2図はLSI装置の部分回路図である。各々のLSI
とピンスキャンアウト回路psocによってLSIユニ
ソ) LSIUを構成し、これが複数個配置されてLS
I装置を構成している。これらのLSIユニットを選択
するためにデコーダ回路DCを含む切換回路SWCが設
けられる。I10ピンおよびビンスキャンアウト回路p
soc用の端子SOT  。
FIG. 2 is a partial circuit diagram of the LSI device. Each LSI
and pin scan out circuit psoc to form an LSI unit (LSI unit), which is arranged in multiple units to form an LS
It constitutes an I device. A switching circuit SWC including a decoder circuit DC is provided to select these LSI units. I10 pin and bin scanout circuit p
Terminal SOT for soc.

RT 、 CLKTおよびADT等は各LSIユニット
の共通端子として外部と接続される。
RT, CLKT, ADT, etc. are connected to the outside as common terminals of each LSI unit.

第3図はLSI装置に接続される試験装置(テスタ)を
含めた全体構成図である。LSIの各I10ピンおよび
試験回路(試験回路はビンスキャンアウト回路psoc
と切換回路SWCにより構成される)の各端子はテスタ
に接続される。テスタTの詳細は後述する第5図に示さ
れる。
FIG. 3 is an overall configuration diagram including a test device (tester) connected to the LSI device. Each I10 pin of the LSI and the test circuit (the test circuit is the bin scan out circuit psoc
and a switching circuit SWC) are connected to a tester. Details of the tester T are shown in FIG. 5, which will be described later.

第4図は上述した回路構成において、ピンアドレス、L
SIアドレスを決定した状態、即ち、I10ピンを選択
した状態におけるタイミングチャートである。ここでは
説明を容易にするために基準入力電圧のステップが0.
2 V、位相ステップが4分の1周期の例を示す。しか
し実使用に当ってはさらに細かい基準電圧のステップが
必要である。本実施例では一波形の観測に12回のクロ
ックパルスを発生する。明らかなように基準電圧のステ
ップが細かければ細かいほど原波形に近い疑似波形を得
ることができるのでその分だけ試験精度は向上する。
Figure 4 shows the pin address, L
This is a timing chart in a state in which the SI address has been determined, that is, in a state in which the I10 pin has been selected. Here, for ease of explanation, the steps of the reference input voltage are 0.
An example of 2 V and a quarter period phase step is shown. However, in actual use, even finer reference voltage steps are required. In this embodiment, 12 clock pulses are generated to observe one waveform. As is obvious, the finer the step of the reference voltage, the more a pseudo waveform that is closer to the original waveform can be obtained, and the test accuracy improves accordingly.

第4図において、I10ピンの出力波形が(a)に示す
ような波形であると仮定する。即ち、この波形は実際に
接続して測定したものではなく説明のためにこのような
波形が出力されていると仮定している。従って、本発明
に係る方法によって非接触でこのような波形に近似した
波形をサンプリング点と基準電圧をずらしながら求め、
得られた疑似波形をもって、実際にI10ビンから出力
されている波形とみなすようにしている。これは(C)
に示すようにサンプリング点と基準電圧Vrefを段階
的に変えていくことにより求められる。
In FIG. 4, it is assumed that the output waveform of the I10 pin is as shown in (a). That is, it is assumed that this waveform is not actually connected and measured, but is output for the sake of explanation. Therefore, by using the method according to the present invention, a waveform that approximates such a waveform can be obtained without contact while shifting the sampling point and the reference voltage.
The obtained pseudo waveform is regarded as the waveform actually output from the I10 bin. This is (C)
It is obtained by changing the sampling point and the reference voltage Vref in stages as shown in FIG.

即ち、コンパレータにおいて、まず最初の高い基準電圧
Vref 1とI10ピンの出力電圧Vとを比較し、V
がVrefより高ければ“1”、低:すれば“0”を位
相ステップごとに求め、以下、(C)に示す如く順次基
!4!電圧VrefをVref 2 、 Vref 3
と段階的に下げていき同様に“1”と“0”を求めるも
のである。このような操作をサンプリング点をずらしな
がら行った結果(d)に示すような“1”と“0”の分
布が求められ“1”と“0”の境界の点線で示す波形が
I10ピンから出力される波形の疑似波形Wとして求め
ることができる。
That is, the comparator first compares the first high reference voltage Vref 1 and the output voltage V of the I10 pin, and then
If it is higher than Vref, "1" is determined, and if it is lower than Vref, "0" is determined for each phase step. 4! The voltage Vref is Vref 2 , Vref 3
The value is lowered step by step to find "1" and "0" in the same way. As a result of performing this operation while shifting the sampling points, the distribution of "1" and "0" as shown in (d) is obtained, and the waveform shown by the dotted line at the boundary between "1" and "0" is from the I10 pin. It can be obtained as a pseudo waveform W of the output waveform.

第5図は第3図に示すテスタの詳細ブロック図である。FIG. 5 is a detailed block diagram of the tester shown in FIG. 3.

ファイル51にはLSIの試験を行うためのテストプロ
グラムが格納されている。リファレンス電圧発生部52
は各種の基準電圧Vrefを発生するためのものである
。テストパターン発生部53はファイル51のテストプ
ログラムに従ってテストパターンを発生するためのもの
で、r10ピンに供給される。クロック制御部54はサ
ンプリングのためのクロックパルスを発生する。LSI
ピンシトレス発生部55はI10ピンのアドレスを発生
する。物理テスタ信号割当部56はどの110ピンを使
うか割当てるためのものである。
The file 51 stores a test program for testing the LSI. Reference voltage generation section 52
is for generating various reference voltages Vref. The test pattern generating section 53 is for generating a test pattern according to the test program in the file 51, and is supplied to the r10 pin. A clock controller 54 generates clock pulses for sampling. LSI
The pin stress generating section 55 generates an address for the I10 pin. The physical tester signal allocation section 56 is for allocating which 110 pins are to be used.

[発明の効果] 以上説明したように本発明はよれば、LSIの試験をL
SIピンに非接触で行うことができるので、従来の接触
不良やピン破壊等をすべて回避することができ、かつ表
面に見えない個所のピンに対しても容易に試験すること
ができ、LSIの試験精度は大幅に向上する。
[Effect of the invention] As explained above, according to the present invention, the LSI test can be
Since the test can be performed without contacting the SI pins, it is possible to avoid all contact failures and pin breakages that occur in the past, and it is also possible to easily test pins that are not visible on the surface of the LSI. Test accuracy is greatly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明に係る試験回路を有するLSIのブロッ
ク図、 第2図は本発明に係るLSI装置の部分ブロック図、 第3図はテスタを含めた全体構成図、 第4図はサンプリングのタイミングチャート、第5図は
テスタの詳細ブロック図、および第6図は従来のLSI
装置の試験方式である。 (符号の説明) 1・・・LSI、     2・・・コンパレータ、3
・・・選択回路、    4・・・ラッチ回路、5・・
・クロックパルスゼネレータ、 LSIU・・・LSIユニット、 psoc・・・ピンスキャンアウト回路、SWC・・・
切換回路。 LSIU 不発明に係る試験回路を有 するLSIのブロック図 侑1図 本発明に係るLSI装置の部分ブロック区第2図 テスタを含めた全体構成図 第3図 1周期 す/プリングのタイミングチャート 第4図 L                        
   Jテスタの詳細ブロック図 俸5図 従来のLSI装置の試験方式
Fig. 1 is a block diagram of an LSI having a test circuit according to the present invention, Fig. 2 is a partial block diagram of an LSI device according to the present invention, Fig. 3 is an overall configuration diagram including a tester, and Fig. 4 is a sampling diagram. Timing chart, Figure 5 is a detailed block diagram of the tester, and Figure 6 is a conventional LSI.
This is a method of testing equipment. (Explanation of symbols) 1...LSI, 2...Comparator, 3
...Select circuit, 4...Latch circuit, 5...
・Clock pulse generator, LSIU...LSI unit, psoc...pin scan out circuit, SWC...
switching circuit. LSIU Block diagram of an LSI having a test circuit according to the invention (1) Partial block diagram of an LSI device according to the invention (2) Overall block diagram including a tester (3) Figure 3 (1-cycle pull/pull timing chart) (4) L
Detailed block diagram of J tester Figure 5 Conventional LSI device testing method

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、複数の大規模集積回路により構成される大規模集積
回路装置の試験回路であって、前記大規模集積回路の各
入出力ピンごとに備えられる比較器と、前記比較器の出
力を受け選択されたピンごとに出力する選択回路と、前
記選択回路の出力をラッチしクロックパルスに応じて出
力するラッチ回路と、前記クロックパルスを発生するク
ロックゼネレータとから成るピンスキャンアウト回路を
備え、かつ前記大規模集積回路ごとに設けられたすべて
の前記ピンスキャンアウト回路の中から1つを選択しテ
ストパターンを供給する切換回路とを備え、前記比較器
は一方に入力される前記入出力ピンの出力電圧と他方に
入力される基準電圧とを比較して比較結果を前記選択回
路に出力し、前記選択回路は前記入出力ピンを示すアド
レス信号に基づいて前記比較結果を前記ラッチ回路に出
力し、前記ラッチ回路は前記クロックパルスによるサン
プリングの位相点に対応するタイミングで論理値を出力
し、前記基準電圧と前記サンプリングの位相点とを段階
的に順次変化させることにより前記論理値の出力の行列
を得、前記行列から疑似波形を得、この波形により前記
入出力ピンの出力電圧波形を観測することにより試験を
行うようにした大規模集積回路装置の試験回路。
1. A test circuit for a large-scale integrated circuit device composed of a plurality of large-scale integrated circuits, including a comparator provided for each input/output pin of the large-scale integrated circuit, and a test circuit that receives and selects the output of the comparator. a pin scan out circuit comprising a selection circuit that outputs an output for each selected pin, a latch circuit that latches the output of the selection circuit and outputs it in response to a clock pulse, and a clock generator that generates the clock pulse; a switching circuit that selects one of all the pin scan-out circuits provided for each large-scale integrated circuit and supplies a test pattern; Comparing the voltage with a reference voltage input to the other side and outputting a comparison result to the selection circuit, the selection circuit outputting the comparison result to the latch circuit based on an address signal indicating the input/output pin, The latch circuit outputs a logical value at a timing corresponding to the sampling phase point by the clock pulse, and changes the output matrix of the logical value by sequentially changing the reference voltage and the sampling phase point in a stepwise manner. A test circuit for a large-scale integrated circuit device, wherein a test is performed by obtaining a pseudo waveform from the matrix and observing an output voltage waveform of the input/output pin using this waveform.
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