JPH05281292A - Ic tester using ad circuit - Google Patents

Ic tester using ad circuit

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Publication number
JPH05281292A
JPH05281292A JP4103689A JP10368992A JPH05281292A JP H05281292 A JPH05281292 A JP H05281292A JP 4103689 A JP4103689 A JP 4103689A JP 10368992 A JP10368992 A JP 10368992A JP H05281292 A JPH05281292 A JP H05281292A
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JP
Japan
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output
circuit
dut
limit
input
Prior art date
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Pending
Application number
JP4103689A
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Japanese (ja)
Inventor
Masao Yamamoto
雅男 山本
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Ando Electric Co Ltd
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH05281292A publication Critical patent/JPH05281292A/en
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Abstract

PURPOSE:To test a DUT speedily using an A/D circuit for an IC tester. CONSTITUTION:A driver 3 feeds a test pattern to each input pin of a DUT 10 and an A/D circuit 4 receives the output of the DUT 10. A strobe judging circuit 5 receives the output of the A/D circuit 4 and judges the output result of the DUT 10. The A/D circuit 4 is provided with an A/D converter which receives the output of the DUT 10, an 'H' limit comparator and an 'L' limit comparator both of which receive the output of the A/D converter, an OR gate which receives the output of the 'H' limit comparator/'L' limit comparator, an FF which receives the output of the OR gate, an 'H' limit data memory, an 'L' limit data memory, and an interface circuit.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、多ピンで、入力信号
の組み合わせにより多値レベルの出力をもつ液晶表示素
子の駆動用ICのようなICを高速にテストするための
ICテスタについてのものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC tester for testing an IC such as an IC for driving a liquid crystal display device having a multi-pin and having a multi-value level output by combining input signals at high speed. Is.

【0002】[0002]

【従来の技術】次に、従来技術によるICテスタの構成
を図4により説明する。図4の1はタイミング発生回
路、2はパターン発生回路、3はドライバ、5はストロ
ーブ判定回路、6は比較器、7はVOH・VOL電源、
10はDUTである。タイミング発生回路1は、パター
ン発生回路2とストローブ判定回路5にタイミング信号
を送り、パターン発生回路2とストローブ判定回路5を
同期して動作させる。
2. Description of the Related Art The structure of an IC tester according to the prior art will be described with reference to FIG. In FIG. 4, 1 is a timing generation circuit, 2 is a pattern generation circuit, 3 is a driver, 5 is a strobe determination circuit, 6 is a comparator, 7 is a VOH / VOL power supply,
10 is a DUT. The timing generation circuit 1 sends a timing signal to the pattern generation circuit 2 and the strobe determination circuit 5 to operate the pattern generation circuit 2 and the strobe determination circuit 5 in synchronization.

【0003】パターン発生回路2は複数のテストパター
ンを発生し、ドライバ3に「1」、「0」のロジック信
号を送る。図1のドライバ3は、2出力の場合が例示さ
れている。ドライバ3は、DUT10に必要なテストパ
ターンを加える。ドライバ3の出力電圧は、図示を省略
した電源によりあらかじめ設定される。
The pattern generation circuit 2 generates a plurality of test patterns and sends a logic signal of "1" or "0" to the driver 3. The driver 3 in FIG. 1 is illustrated as having two outputs. The driver 3 adds a necessary test pattern to the DUT 10. The output voltage of the driver 3 is preset by a power supply (not shown).

【0004】比較器6は、DUT10の出力信号とVO
H・VOL電源7のVOH・VOL電圧を比較し、
「H」、「L」信号を出力する。VOH・VOL電源7
は、図示を省略したテスタCPUのプログラムに従って
電圧VOH・VOLを出力する。ストローブ判定回路5
は、比較器6の出力を入力とし、タイミング発生回路2
により、パターン発生回路4のテストパターンと同期し
たタイミングで、DUT10の出力信号が期待した出力
かどうかを判定する。
The comparator 6 outputs the output signal of the DUT 10 and VO.
Compare the VOH and VOL voltages of the H and VOL power supply 7,
It outputs "H" and "L" signals. VOH / VOL power supply 7
Outputs the voltage VOH.VOL according to the program of the tester CPU (not shown). Strobe determination circuit 5
Receives the output of the comparator 6 as an input and uses the timing generation circuit 2
Thus, it is determined whether the output signal of the DUT 10 is the expected output at the timing synchronized with the test pattern of the pattern generation circuit 4.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】図4では、1入力に対
する1出力を比較器6で判定するので、出力端子数が多
く、出力電圧が入力信号の組合せによって変化する液晶
表示素子の駆動用ICのようなDUTの場合、その特性
を測定するには、テスト回数が多くなる。例えば、DU
T10の出力が入力信号の組み合わせにより64階調にな
る場合には、1ピン当り64回以上のテストが必要にな
る。これを実現するためには、1回の測定が終了したと
きに、VOH・VOL電源7の電圧VOH・VOLを変
え、各階調についてこれを繰り返すので、測定に時間が
かかる。この発明は、比較器6とVOH・VOL電源7
の代わりにAD回路を採用し、DUTを高速で試験する
ICテスタの提供を目的とする。
In FIG. 4, since one output for one input is judged by the comparator 6, the number of output terminals is large, and the driving IC of the liquid crystal display element in which the output voltage changes depending on the combination of the input signals. In the case of such a DUT, the number of tests is increased to measure its characteristics. For example, DU
When the output of T10 has 64 gradations depending on the combination of input signals, a test of 64 times or more is required for each pin. In order to realize this, the voltage VOH / VOL of the VOH / VOL power supply 7 is changed when one measurement is completed and this is repeated for each gradation, so that the measurement takes time. The present invention includes a comparator 6 and a VOH / VOL power supply 7
The purpose of the present invention is to provide an IC tester that employs an AD circuit instead of, and tests a DUT at high speed.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この問題を解決するため
に、この発明では、タイミング信号を発生するタイミン
グ発生回路1と、テストパターンを発生するパターン発
生回路2と、テストパターンを入力とし、DUT10の
各入力ピンにテストパターンを加えるドライバ3と、D
UT10の出力を入力とするAD回路4と、AD回路4
の出力を入力とし、DUT10の出力結果を判定するス
トローブ判定回路5とで構成され、AD回路4はDUT
10の出力を入力とするA/D変換器4Bと、A/D変
換器4Bの出力を入力とする「H」リミット比較器4C
・「L」リミット比較器4Dと、「H」リミット比較器
4C・「L」リミット比較器4Dの出力を入力とするO
Rゲート4Eと、ORゲート4Eの出力を入力とするF
F4Fと、「H」リミットデータメモリ4Hと、「L」
リミットデータメモリ4Jと、インターフェース回路4
Mとを備え、タイミング発生回路1のタイミング信号に
よりパターン発生回路2とストローブ判定回路5を同期
して動作させ、DUT10の出力をA/D変換して
「H」リミット比較器4Cと「L」リミット比較器4D
に入力し、ドライバ3の出力レベルに応じたデータを
「H」リミットデータメモリ4Hと「L」リミットデー
タメモリ4Jの各ピンごとに入力し、インターフェース
回路4Mの指示によりアドレスを設定し、対応するデー
タを「H」リミット比較器4Cと「L」リミット比較器
4Dに入力して比較し、判定結果メモリ4Gに入力する
とともにORゲート4EからFF4Fに入力し、FF4
Fの出力をフェイルとする。
In order to solve this problem, according to the present invention, a timing generation circuit 1 for generating a timing signal, a pattern generation circuit 2 for generating a test pattern, and a test pattern are input, and a DUT 10 is used. Driver 3 that adds a test pattern to each input pin of
AD circuit 4 that receives the output of UT 10, and AD circuit 4
Of the DUT 10 and the strobe determination circuit 5 for determining the output result of the DUT 10.
A / D converter 4B having the output of 10 as input, and "H" limit comparator 4C having the output of A / D converter 4B as input
・ O with the output of "L" limit comparator 4D and "H" limit comparator 4C / "L" limit comparator 4D as input
R gate 4E and F that receives the output of OR gate 4E
F4F, "H" Limit data memory 4H, "L"
Limit data memory 4J and interface circuit 4
M, the pattern generation circuit 2 and the strobe determination circuit 5 are operated in synchronization by the timing signal of the timing generation circuit 1, the output of the DUT 10 is A / D converted, and the “H” limit comparator 4C and “L” are output. Limit comparator 4D
The data corresponding to the output level of the driver 3 is input to each pin of the “H” limit data memory 4H and the “L” limit data memory 4J, and the address is set according to the instruction of the interface circuit 4M. The data is input to the “H” limit comparator 4C and the “L” limit comparator 4D for comparison, and is input to the determination result memory 4G and the OR gate 4E to the FF4F.
The output of F is set to fail.

【0007】[0007]

【作用】次に、この発明によるICテスタの構成を図1
により説明する。図1の4はAD回路であり、その他は
図4と同じものである。すなわち、図1は図4のVOH
・VOL電源7と比較器6の代わりにAD回路4を接続
したものである。
Next, the configuration of the IC tester according to the present invention is shown in FIG.
Will be explained. Reference numeral 4 in FIG. 1 is an AD circuit, and the others are the same as those in FIG. That is, FIG. 1 is the VOH of FIG.
The AD circuit 4 is connected instead of the VOL power supply 7 and the comparator 6.

【0008】次に、AD回路4の構成を図2により説明
する。図2の4Aはバッファ増幅器、4BはA/D変換
器、4Cは「H」リミット比較器、4Dは「L」リミッ
ト比較器、4EはORゲート、4FはFF、4Gは判定
結果メモリ、4Hは「H」リミットデータメモリ、4J
は「L」リミットデータメモリ、4KはA/D変換デー
タメモリ、4Lはメモリアドレスコントロール、4Mは
インターフェース回路である。
Next, the structure of the AD circuit 4 will be described with reference to FIG. 2A is a buffer amplifier, 4B is an A / D converter, 4C is an "H" limit comparator, 4D is an "L" limit comparator, 4E is an OR gate, 4F is an FF, 4G is a decision result memory, 4H. Is "H" limit data memory, 4J
Is an “L” limit data memory, 4K is an A / D conversion data memory, 4L is a memory address control, and 4M is an interface circuit.

【0009】DUT10の出力はバッファ増幅器4Aに
入力され、バッファ増幅器4AからA/D変換器4Bに
出力される。バッファ増幅器4AはDUT10の出力イ
ンピーダンスに対して十分高い入力インピーダンスをも
ち、測定時の負荷効果による誤差を小さくする。
The output of the DUT 10 is input to the buffer amplifier 4A and output from the buffer amplifier 4A to the A / D converter 4B. The buffer amplifier 4A has a sufficiently high input impedance with respect to the output impedance of the DUT 10, and reduces the error due to the load effect during measurement.

【0010】A/D変換器4Bは、DUT10に加える
テストパターンと同期して動作するように回路を構成す
る。また、A/D変換器4Bはテストパターンと同じ速
度か、それ以上で動作するものを使用し、ディジタル変
換された出力電圧をロジック回路で判定する。これによ
り、従来、1テスト当たり数msの時間がかかっていた
VOH・VOL電源7の値の変更はなくなり、テストパ
ターン速度を例えば、100nsでテストすることができ
る。
The A / D converter 4B constitutes a circuit so as to operate in synchronization with a test pattern applied to the DUT 10. As the A / D converter 4B, one that operates at the same speed as the test pattern or higher is used, and the logic circuit determines the digitally converted output voltage. As a result, the change of the value of the VOH / VOL power supply 7, which conventionally takes a few ms per test, is eliminated, and the test pattern speed can be tested at 100 ns, for example.

【0011】A/D変換器4BはDUT10のアナログ
信号出力をディジタル信号に変換する。変換速度はドラ
イバパターンと同期させるため、パターン速度より速く
する。例えば、10MHzのドライバパターンに同期させ
て測定する場合は、A/D変換器4Bの変換速度を20M
Hz程度にする。
The A / D converter 4B converts the analog signal output of the DUT 10 into a digital signal. The conversion speed is faster than the pattern speed in order to synchronize with the driver pattern. For example, when measuring in synchronization with a 10MHz driver pattern, the conversion speed of the A / D converter 4B is 20M.
Set to about Hz.

【0012】「H」リミットデータメモリ4Hと「L」
リミットデータメモリ4Jは、インターフェース回路4
Mを介して図示を省略したテスタCPUと接続され、試
験用プログラムによって指定された各ピンごとの、また
は各入力の階調ごとのテストのPASS/FAIL判定
用リミットデータをあらかじめ書き込まれる。
"H" limit data memory 4H and "L"
The limit data memory 4J is the interface circuit 4
It is connected to a tester CPU (not shown) via M, and limit data for PASS / FAIL determination of a test for each pin specified by a test program or for each input gradation is written in advance.

【0013】「H」リミット比較器4CはA/D変換器
4BからのディジタルデータをA入力、「H」リミット
データメモリ4Hの出力をB入力として大小関係を比較
し、A入力>B入力のとき出力する。「L」リミット比
較器4DはA/D変換器4Bからのディジタルデータを
A入力、「L」リミットデータメモリ4Jの出力をB入
力として大小関係を比較し、A入力<B入力のとき出力
する。
The "H" limit comparator 4C uses the digital data from the A / D converter 4B as the A input and the output of the "H" limit data memory 4H as the B input to compare the magnitude relationship, and the A input> B input When output. The "L" limit comparator 4D uses the digital data from the A / D converter 4B as the A input and the output of the "L" limit data memory 4J as the B input to compare the magnitude relationships, and outputs when A input <B input. ..

【0014】「H」リミット比較器4Cと「L」リミッ
ト比較器4Dはディジタル比較器であり、A/D変換器
4Bの出力ビット数nを数値処理する。これにより、D
UT10の各ピンごとの出力電圧を各入力の階調ごとに
プログラムで指定した判定値と比較し、良/否を判断す
る。「H」リミット比較器4Cと「L」リミット比較器
4Dの出力は、判定結果メモリ4Gに書き込まれるとと
もにFF4Fによって記憶され、測定結果に一つでもフ
ェイルが存在するときにはFAIL信号を出力し、DU
T10を不良と判定する。
The "H" limit comparator 4C and the "L" limit comparator 4D are digital comparators, and numerically process the output bit number n of the A / D converter 4B. This gives D
The output voltage of each pin of the UT 10 is compared with the determination value specified by the program for each input gray level to determine pass / fail. The outputs of the “H” limit comparator 4C and the “L” limit comparator 4D are written into the determination result memory 4G and stored by the FF 4F. If there is at least one failure in the measurement result, the FAIL signal is output and DU is output.
T10 is determined to be defective.

【0015】メモリ回路4G〜4Kは、メモリアドレス
コントロール4Lによってドライバパターン同期信号と
同期して制御する。したがってDUT10をドライバパ
ターン信号の速度で試験することができる。
The memory circuits 4G to 4K are controlled by the memory address control 4L in synchronization with the driver pattern synchronizing signal. Therefore, the DUT 10 can be tested at the speed of the driver pattern signal.

【0016】[0016]

【実施例】次に、図2の動作を図3のタイムチャートを
参照して説明する。図3アはドライバパターンであり、
パターンP1〜P5を例示している。実際には、パター
ンP1〜P5はそれぞれ異なるパターンを発生する。図
3イはDUT10の出力であり、図3アのドライバパタ
ーンごとに出力レベルが段階的に変化する。図3イで、
DUT10の出力はドライバパターンと同期している
が、DUT10の動作時間により遅れが生じている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the operation of FIG. 2 will be described with reference to the time chart of FIG. Figure 3a shows the driver pattern,
The patterns P1 to P5 are illustrated. Actually, the patterns P1 to P5 generate different patterns. FIG. 3A shows the output of the DUT 10, and the output level changes stepwise for each driver pattern shown in FIG. In Figure 3a,
The output of the DUT 10 is synchronized with the driver pattern, but there is a delay due to the operating time of the DUT 10.

【0017】図3ウはADトリガ信号の波形図であり、
図3イの出力が安定したときにトリガ信号を出力する。
トリガ信号のタイミングでA/D変換し、変換結果を
「H」リミット比較器4Cと「L」リミット比較器4D
によりリミットデータと比較し、メモリに書き込む。図
3エはメモリ4G〜4Kのアドレスを示すデータであ
り、図3アのドライバパターンに同期して順次アドレス
が移動する。
FIG. 3C is a waveform diagram of the AD trigger signal.
A trigger signal is output when the output of FIG.
A / D conversion is performed at the timing of the trigger signal, and the conversion result is "H" limit comparator 4C and "L" limit comparator 4D.
Compare with limit data by and write to memory. FIG. 3D is data showing the addresses of the memories 4G to 4K, and the addresses sequentially move in synchronization with the driver pattern of FIG.

【0018】A/D変換後のデータ処理は、次にA/D
変換される前までに終了させる必要がある。メモリ4G
〜4Kのメモリの読出しスピードと比較器4C・4Dの
速度を合せた時間と、A/D時間を加えた時間が全処理
時間となる。図3のT1が処理時間である。
The data processing after A / D conversion is performed next by A / D
It must be finished before it is converted. Memory 4G
The total processing time is the sum of the reading speed of the memory of 4K and the speed of the comparators 4C and 4D, and the A / D time. The processing time is T1 in FIG.

【0019】例えば、A/D変換時間が50ns、メモリ
時間が25ns、比較時間が25nsのときは、全体で 100
nsとなり、10MHzテストパターンに同期して測定す
ることができる。また、A/D変換器4Bの出力をA/
D変換データメモリ4Kに記憶させておくことで、A/
D変換器4Bの入力電圧を数値としてあとで読み出すこ
とができる。FF4Fは、全テストで1つでもFAIL
の判定があれば、「1」を出力する。これによりデータ
処理が早くなる。
For example, when the A / D conversion time is 50 ns, the memory time is 25 ns, and the comparison time is 25 ns, the total is 100 ns.
It becomes ns and can be measured in synchronization with the 10 MHz test pattern. In addition, the output of the A / D converter 4B is
By storing it in the D conversion data memory 4K, A /
The input voltage of the D converter 4B can be read out later as a numerical value. FF4F is one FAIL in all tests
If it is determined that "1" is output. This speeds up data processing.

【0020】[0020]

【発明の効果】この発明によれば、AD回路を使用する
ので、パターンに同期した速度で、DUTの全ピンを同
時に判定することができる。このため、従来技術より 1
00倍〜1000倍以上の速度でICを試験することができ
る。
According to the present invention, since the AD circuit is used, all pins of the DUT can be simultaneously judged at a speed synchronized with the pattern. Therefore, 1
The IC can be tested at a speed of 00 times to 1000 times or more.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明によるICテスタの構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an IC tester according to the present invention.

【図2】図1のAD回路の構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of an AD circuit in FIG.

【図3】図3のタイムチャートである。FIG. 3 is a time chart of FIG.

【図4】従来技術によるICテスタの構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of an IC tester according to a conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 タイミング発生回路 2 パターン発生回路 3 ドライバ 4 AD回路 4B A/D変換器 4C 「H」リミット比較器 4D 「L」リミット比較器 4E ORゲート 4F FF 4H 「H」リミットデータメモリ 4J 「L」リミットデータメモリ 4M インターフェース回路 5 ストローブ判定回路 10 DUT 1 timing generation circuit 2 pattern generation circuit 3 driver 4 AD circuit 4B A / D converter 4C “H” limit comparator 4D “L” limit comparator 4E OR gate 4F FF 4H “H” limit data memory 4J “L” limit Data memory 4M Interface circuit 5 Strobe determination circuit 10 DUT

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 タイミング信号を発生するタイミング発
生回路(1) と、 テストパターンを発生するパターン発生回路(2) と、 前記テストパターンを入力とし、DUT(10)の各入力ピ
ンに前記テストパターンを加えるドライバ(3) と、 DUT(10)の出力を入力とするAD回路(4) と、 AD回路(4) の出力を入力とし、DUT(10)の出力結果
を判定するストローブ判定回路(5) とで構成され、 AD回路(4) はDUT(10)の出力を入力とするA/D変
換器(4B)と、A/D変換器(4B)の出力を入力とする
「H」リミット比較器(4C)・「L」リミット比較器(4D)
と、「H」リミット比較器(4C)・「L」リミット比較器
(4D)の出力を入力とするORゲート(4E)と、ORゲート
(4E)の出力を入力とするFF(4F)と、「H」リミットデ
ータメモリ(4H)と、「L」リミットデータメモリ(4J)
と、インターフェース回路(4M)とを備え、 タイミング発生回路(1) のタイミング信号によりパター
ン発生回路(2) とストローブ判定回路(5) を同期して動
作させ、 DUT(10)の出力をA/D変換して「H」リミット比較
器(4C)と「L」リミット比較器(4D)に入力し、ドライバ
(3) の出力パタンに応じたデータを「H」リミットデー
タメモリ(4H)と「L」リミットデータメモリ(4J)の各ピ
ンごとに入力し、インターフェース回路(4M)の指示によ
りアドレスを設定し、対応するデータを「H」リミット
比較器(4C)と「L」リミット比較器(4D)に入力して比較
し、判定結果メモリ(4G)に入力するとともにORゲート
(4E)からFF(4F)に入力し、FF(4F)の出力をフェイル
信号とすることを特徴とするAD回路を使用するICテ
スタ。
1. A timing generation circuit (1) for generating a timing signal, a pattern generation circuit (2) for generating a test pattern, and the test pattern as an input, and the test pattern for each input pin of a DUT (10). A strobe judgment circuit (D) that determines the output result of the DUT (10) by inputting the driver (3) that adds the output, the AD circuit (4) that receives the output of the DUT (10), and the output of the AD circuit (4) 5) and AD circuit (4) has an A / D converter (4B) that receives the output of DUT (10) and an "H" that receives the output of A / D converter (4B). Limit comparator (4C), "L" limit comparator (4D)
And "H" limit comparator (4C), "L" limit comparator
OR gate (4E) that receives (4D) output and OR gate
FF (4F) that inputs (4E) output, “H” limit data memory (4H), and “L” limit data memory (4J)
And the interface circuit (4M), the pattern generation circuit (2) and the strobe determination circuit (5) are operated in synchronization by the timing signal of the timing generation circuit (1), and the output of the DUT (10) is A / D-convert and input to "H" limit comparator (4C) and "L" limit comparator (4D)
Input the data corresponding to the output pattern of (3) to each pin of “H” limit data memory (4H) and “L” limit data memory (4J), and set the address by the instruction of the interface circuit (4M). , Corresponding data is input to “H” limit comparator (4C) and “L” limit comparator (4D) for comparison, input to judgment result memory (4G) and OR gate
An IC tester using an AD circuit, which inputs (4E) to FF (4F) and outputs the output of FF (4F) as a fail signal.
JP4103689A 1992-03-30 1992-03-30 Ic tester using ad circuit Pending JPH05281292A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100483747B1 (en) * 1999-05-31 2005-04-18 요코가와 덴키 가부시키가이샤 Semiconductor testing system
KR100500888B1 (en) * 2001-09-28 2005-07-14 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 Burn-in apparatus having average voltage calculating circuit

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100483747B1 (en) * 1999-05-31 2005-04-18 요코가와 덴키 가부시키가이샤 Semiconductor testing system
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