JPS6315413A - 液相成長用メルトの製造方法 - Google Patents
液相成長用メルトの製造方法Info
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- JPS6315413A JPS6315413A JP15879486A JP15879486A JPS6315413A JP S6315413 A JPS6315413 A JP S6315413A JP 15879486 A JP15879486 A JP 15879486A JP 15879486 A JP15879486 A JP 15879486A JP S6315413 A JPS6315413 A JP S6315413A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、半導体素子製造に利用される液相成長法に
おいて用いられるメルトの製造方法に関するものである
。
おいて用いられるメルトの製造方法に関するものである
。
（従来の技術）
従来、半導体素子の製造において液相成長法が用いられ
ている。この液相成長法では、融液となる溶媒中に、成
長のソースとなる溶質を高温で充分に溶け込まぜて飽和
させ、その後温度を下げると固体が析出するという原理
を利用する。したがつて、液相成長法においては、溶質
を溶媒に溶がし込むという工程が必要となる。
ている。この液相成長法では、融液となる溶媒中に、成
長のソースとなる溶質を高温で充分に溶け込まぜて飽和
させ、その後温度を下げると固体が析出するという原理
を利用する。したがつて、液相成長法においては、溶質
を溶媒に溶がし込むという工程が必要となる。
この工程の従来例を、例えば溶媒として工ｎ１溶質とし
てＩｎＰを考えた場合の例について説明する。ます、カ
ーゼ″７鯛の容器にＩｎＰソースをある箇所に片寄らな
いように均一にばら１く。その後、Ｉｎメルトを容器に
入れて高温にし、ＩｎＰソースをＩｎメルト中に溶かし
込む。または、先にメルトを入れ、その後ＩｎＰソース
を入れて溶かし込む。
てＩｎＰを考えた場合の例について説明する。ます、カ
ーゼ″７鯛の容器にＩｎＰソースをある箇所に片寄らな
いように均一にばら１く。その後、Ｉｎメルトを容器に
入れて高温にし、ＩｎＰソースをＩｎメルト中に溶かし
込む。または、先にメルトを入れ、その後ＩｎＰソース
を入れて溶かし込む。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記従来の方法の前者では、ＩｎＰンー
スがカーボン容器にはりついてしまって、Ｉｎメルト中
に完全に溶け込まないという欠点が、また後者では、Ｉ
ｎＰソースがＩｎメルトに浮いてしまって、高温にした
時にＩｎＰソースの中のＰが外気に蒸発してしまって、
Ｉｎメルト中に必要なＰが溶け込まないという欠点があ
り、所望するところの液相成長用メルトを得ることが難
しかった。
スがカーボン容器にはりついてしまって、Ｉｎメルト中
に完全に溶け込まないという欠点が、また後者では、Ｉ
ｎＰソースがＩｎメルトに浮いてしまって、高温にした
時にＩｎＰソースの中のＰが外気に蒸発してしまって、
Ｉｎメルト中に必要なＰが溶け込まないという欠点があ
り、所望するところの液相成長用メルトを得ることが難
しかった。
この発明は、以上述べた溶質が溶媒中に完全に溶け込ま
ないという欠点を除去し、必要な組成の液相成長用メル
トヲ歩留シ良く製造できる方法を提供することを目的と
する。
ないという欠点を除去し、必要な組成の液相成長用メル
トヲ歩留シ良く製造できる方法を提供することを目的と
する。
（問題点を解決するための手段）
この発明では、溶媒の板を２枚前もって準備し、その板
の間に溶質を挾み込み、その状態で高温にして両者を浴
融させることによシ、溶質を溶媒にだけ込１ぜる。
の間に溶質を挾み込み、その状態で高温にして両者を浴
融させることによシ、溶質を溶媒にだけ込１ぜる。
（作 用）
溶媒の板の間に溶質を挾み込んだ状態にすると、それら
の容器であるカーボン容器に溶質かはシついてしまった
り、溶練上に溶質が浮いてしまうことがなくなる。
の容器であるカーボン容器に溶質かはシついてしまった
り、溶練上に溶質が浮いてしまうことがなくなる。
（実施例）
以下第１図を参照してこの発明の一実施例を説明する。
−実施例は、溶媒としてＩｎ、溶質としてＩｎＰを考え
た場合でちゃ、しかも飽和温度が６０００ＣでＩｎメル
トが１Ｏｆある場合についてである。
た場合でちゃ、しかも飽和温度が６０００ＣでＩｎメル
トが１Ｏｆある場合についてである。
飽和温度が６００℃きいうことは、それに必要なＩｎＰ
ンースは約５０ηとなる。
ンースは約５０ηとなる。
まず、第１図（ａ）に示すように、カー・ゼン容器１に
５ｆのＩｎメルト２（固体）を２個人れる。それを同図
のように、水素雰囲気の石英管３に入れ、ヒータ４で約
３００℃に熱する。これにより、Ｉｎメルト２は溶融す
る。その後、約５分間放置し、溶融Ｉｎメルトを板状に
固まらせた後、冷却し、その上で容器ｌを石英管３から
取出し、さらに容器１から第１図伽）に示すＩｎメルト
の板５（以下Ｉｎメルト板という）を取出す。
５ｆのＩｎメルト２（固体）を２個人れる。それを同図
のように、水素雰囲気の石英管３に入れ、ヒータ４で約
３００℃に熱する。これにより、Ｉｎメルト２は溶融す
る。その後、約５分間放置し、溶融Ｉｎメルトを板状に
固まらせた後、冷却し、その上で容器ｌを石英管３から
取出し、さらに容器１から第１図伽）に示すＩｎメルト
の板５（以下Ｉｎメルト板という）を取出す。
この工程を２回繰り返してＩｎメルト板５を２枚製造す
る。
る。
次に、容器１に第１図（Ｃ）に示すようにＩｎメルト板
５を１枚セットする。その後、そのＩｎメルト板５上に
ＩｎＰソース６を均一にばらまく。そして、もう１枚の
Ｉｎメルト板５をその上にセットすることによ、Ｑ、Ｉ
ｎＰンース６を２枚のＩｎメルト板５で挾み込んだ状態
にする。そして、それらを水素雰囲気の石英管３に再び
入れ、ヒータ４で約６５０℃に熱する。これによシ、Ｉ
ｎメルト板５とＩｎＰソース６が溶融し、ＩｎＰソース
６がＩｎメルトに溶け込み、液相成長用メルトが得られ
る。その後、約２時間放置した後（この時、液相成長用
メルトは板状に固まる）冷却し、その上で容器ｌを石英
管３から取出し、さらに容器ｌから第１図（ｄ）に示す
液相成長用メルト７（固体）を取出す。
５を１枚セットする。その後、そのＩｎメルト板５上に
ＩｎＰソース６を均一にばらまく。そして、もう１枚の
Ｉｎメルト板５をその上にセットすることによ、Ｑ、Ｉ
ｎＰンース６を２枚のＩｎメルト板５で挾み込んだ状態
にする。そして、それらを水素雰囲気の石英管３に再び
入れ、ヒータ４で約６５０℃に熱する。これによシ、Ｉ
ｎメルト板５とＩｎＰソース６が溶融し、ＩｎＰソース
６がＩｎメルトに溶け込み、液相成長用メルトが得られ
る。その後、約２時間放置した後（この時、液相成長用
メルトは板状に固まる）冷却し、その上で容器ｌを石英
管３から取出し、さらに容器ｌから第１図（ｄ）に示す
液相成長用メルト７（固体）を取出す。
なお、この一実施例はＩｎを溶媒、ＩｎＰを−Ｍ質とす
る場合でおるが、Ｉｎを溶媒、１ｎＰ−ＧａＡａ−Ｉｎ
Ａｓを溶質こする場合にも同様にして滅相成長用メルト
’ｄ： ’Ｉｔ ｚεｔで き ４〕。
る場合でおるが、Ｉｎを溶媒、１ｎＰ−ＧａＡａ−Ｉｎ
Ａｓを溶質こする場合にも同様にして滅相成長用メルト
’ｄ： ’Ｉｔ ｚεｔで き ４〕。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、この発明の方法によれば、
前もって準備しておいた２枚の溶媒の板で溶質を挾み込
むようにしたので、溶質が容器にはりついてしまったジ
、溶媒上に溶質が浮いてしまうことがなくなる。したが
って、溶質を完全に溶媒に溶方１し込むことが可能とな
り、必要な組成の液相成長用メルトを歩留り良く製造す
ることができる。
前もって準備しておいた２枚の溶媒の板で溶質を挾み込
むようにしたので、溶質が容器にはりついてしまったジ
、溶媒上に溶質が浮いてしまうことがなくなる。したが
って、溶質を完全に溶媒に溶方１し込むことが可能とな
り、必要な組成の液相成長用メルトを歩留り良く製造す
ることができる。
第１図はこの発明の取相、奴長用メルトの製造方法の一
実施例全工程、１ニに示ア概略図である。 ４・・・ヒータ、５・・・Ｉｎメルト板、６・・・Ｉｎ
Ｐソース、７・・・液相成長用メルト。
実施例全工程、１ニに示ア概略図である。 ４・・・ヒータ、５・・・Ｉｎメルト板、６・・・Ｉｎ
Ｐソース、７・・・液相成長用メルト。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （ａ）溶媒の板を２枚前もつて準備し、 （ｂ）その板の間に溶質を挾み込み、 （ｃ）その状態で高温にして両者を溶融させることによ
り、溶質を溶媒に溶け込ませるようにした液相成長用メ
ルトの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15879486A JPS6315413A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 液相成長用メルトの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15879486A JPS6315413A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 液相成長用メルトの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6315413A true JPS6315413A (ja) | 1988-01-22 |
Family
ID=15679486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15879486A Pending JPS6315413A (ja) | 1986-07-08 | 1986-07-08 | 液相成長用メルトの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6315413A (ja) |
-
1986
- 1986-07-08 JP JP15879486A patent/JPS6315413A/ja active Pending
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