JPS63153480A - 半導体測定用ソケツト - Google Patents
半導体測定用ソケツトInfo
- Publication number
- JPS63153480A JPS63153480A JP61301975A JP30197586A JPS63153480A JP S63153480 A JPS63153480 A JP S63153480A JP 61301975 A JP61301975 A JP 61301975A JP 30197586 A JP30197586 A JP 30197586A JP S63153480 A JPS63153480 A JP S63153480A
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- JP
- Japan
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- socket
- lid
- measured
- measurement
- effect
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Connecting Device With Holders (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
乙の発明は、半導体測定の為の治工具（以下ソケットと
いう）に関するものである。
いう）に関するものである。
従来、測定ＩＣを電気的特性の測定後、別に外観検査工
程で目視検査又は自動外観検査を行っていた。
程で目視検査又は自動外観検査を行っていた。
これは電気的特性試験中に測定ＩＣ１ｅ目視できない為
である。。
である。。
第２図は従来のソケットを示すもので、図において、１
８よソケット本体、２ば測定ＩＣｌ３はソケットの蓋、
５は電気的特性試験用接触子である。
８よソケット本体、２ば測定ＩＣｌ３はソケットの蓋、
５は電気的特性試験用接触子である。
次に動作について説明する。まず電気的特性試験では、
電気的特性のみを判別し、作業者又は自動選別機が良否
を振り分ける。次に外観検査では、電気的特性試験にお
いて良品のものｔ！けを作業者又は自動機が振り分ける
。これは上記ソケット本体１とその蓋３が不透明な為、
測定ＩＣが電気的特性試験中に目視てきないからである
。
電気的特性のみを判別し、作業者又は自動選別機が良否
を振り分ける。次に外観検査では、電気的特性試験にお
いて良品のものｔ！けを作業者又は自動機が振り分ける
。これは上記ソケット本体１とその蓋３が不透明な為、
測定ＩＣが電気的特性試験中に目視てきないからである
。
以−にの」、うに従来のソケットでは、電気的特性試験
と外観検査を別々に行う必要があり、工程必要時間及び
作業コスト的に問題があった。
と外観検査を別々に行う必要があり、工程必要時間及び
作業コスト的に問題があった。
この発明は上記のような問題点を解消する為になさｉま
たもので、外観検査を電気的特性試験と同時に処理てき
るソＪｌツトを得ることを目的とする。
たもので、外観検査を電気的特性試験と同時に処理てき
るソＪｌツトを得ることを目的とする。
乙の発明に係るソケットは、材質を透明なものとしかつ
１／ンズ効果を得られる蓋を取付けたものである。
１／ンズ効果を得られる蓋を取付けたものである。
この発明におけるソケットは、透明効果により内部の測
定物を目視できる。
定物を目視できる。
以下この発明の一実施例を第１図について説明する。第
１図Ｃζおいて、第２図と異なるところは、ソケット本
体１とソケットの蓋３とを透明な材質で構成するととも
に、蓋３にレンズ４を形成した点である。
１図Ｃζおいて、第２図と異なるところは、ソケット本
体１とソケットの蓋３とを透明な材質で構成するととも
に、蓋３にレンズ４を形成した点である。
次に作用について説明する。ソケット本体１及びソケッ
トのＭ３が透明な材質である為、電気的特性試験中でも
測定ＩＣ２を目視する乙とができ、またソケットレンズ
４の効果で、測定ＩＣの曲がり等の判別が容易となる。
トのＭ３が透明な材質である為、電気的特性試験中でも
測定ＩＣ２を目視する乙とができ、またソケットレンズ
４の効果で、測定ＩＣの曲がり等の判別が容易となる。
なお上記実施例は、ＳＯＰについて行った一例であるが
、他のパッケージのＩＣ測定においても、同様の効果を
得ることができる。また上記実施例は、ソケットを透明
化しているが、中空化することによっても同様の効果が
得られる。
、他のパッケージのＩＣ測定においても、同様の効果を
得ることができる。また上記実施例は、ソケットを透明
化しているが、中空化することによっても同様の効果が
得られる。
以上のように乙の発明によれば、ＩＣの電気的試験中に
同時に外観検査を行うことができ、ｌＣ製造工程の時間
短縮に大いに効果がある。
同時に外観検査を行うことができ、ｌＣ製造工程の時間
短縮に大いに効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す側面図、第２図＜；
ｉ従来のソケットを示ず側面図である。 図中、１はソケット本体、２ば測定ＩＣ，３はソケット
の蓋、４ばレンズ部、５は接触子である。 尚、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
ｉ従来のソケットを示ず側面図である。 図中、１はソケット本体、２ば測定ＩＣ，３はソケット
の蓋、４ばレンズ部、５は接触子である。 尚、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 電気的特性試験用接触子を有し被測定素子を載置して検
査するソケット本体と、このソケット本体の蓋とからな
る半導体測定用ソケットにおいて、上記ソケットの蓋を
透明な材料で構成するとともにレンズ状に形成し、被測
定素子を測定用ソケットに装着した状態で目視できるよ
うにしたことを特徴とする半導体測定用ソケット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61301975A JPS63153480A (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 半導体測定用ソケツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61301975A JPS63153480A (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 半導体測定用ソケツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63153480A true JPS63153480A (ja) | 1988-06-25 |
Family
ID=17903380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61301975A Pending JPS63153480A (ja) | 1986-12-17 | 1986-12-17 | 半導体測定用ソケツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63153480A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0897261A (ja) * | 1994-09-28 | 1996-04-12 | Nec Corp | 半導体チップバイアステスト用ソケット |
-
1986
- 1986-12-17 JP JP61301975A patent/JPS63153480A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0897261A (ja) * | 1994-09-28 | 1996-04-12 | Nec Corp | 半導体チップバイアステスト用ソケット |
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