JPS63151642A - 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ用ガラス母材の製造方法Info
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- JPS63151642A JPS63151642A JP29766886A JP29766886A JPS63151642A JP S63151642 A JPS63151642 A JP S63151642A JP 29766886 A JP29766886 A JP 29766886A JP 29766886 A JP29766886 A JP 29766886A JP S63151642 A JPS63151642 A JP S63151642A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光フアイバ用母材の製造方法に関するものであ
る。
る。
従来、光フアイバ用ガラス母材の製造技術として、例え
ば特公昭56−’55527号公報に提案される、いわ
ゆるVAI)法(気相軸付法)がある。これは、第2図
に示すように、EliOZ、等のガラス合成用原料をバ
ーナ25の火炎中に導入し、火炎中で該原料を気相反応
せしめて微粒子状ガラス(スート)24を形成し、該微
粒子状ガラス24を出発材料22に半焼結状態で堆積し
、この微粒子状ガラス堆積体(以下スート体と称する)
21を次いで高温炉中にて加熱し透明状ガラス母材を得
る方法である。
ば特公昭56−’55527号公報に提案される、いわ
ゆるVAI)法(気相軸付法)がある。これは、第2図
に示すように、EliOZ、等のガラス合成用原料をバ
ーナ25の火炎中に導入し、火炎中で該原料を気相反応
せしめて微粒子状ガラス(スート)24を形成し、該微
粒子状ガラス24を出発材料22に半焼結状態で堆積し
、この微粒子状ガラス堆積体(以下スート体と称する)
21を次いで高温炉中にて加熱し透明状ガラス母材を得
る方法である。
又、特公昭4B−75522号にはいわゆるovn法(
外付法)が提案されており、これは第S図に示すように
バーナ5Sの火炎中にガラス原料を導入してスー)54
を気相合成し、水平方向に設けられ回転する出発材S2
に対し該バーナS5を相対的に移動させながら、出発材
32表面にスート34を堆積し、スート体51を得る方
法である。
外付法)が提案されており、これは第S図に示すように
バーナ5Sの火炎中にガラス原料を導入してスー)54
を気相合成し、水平方向に設けられ回転する出発材S2
に対し該バーナS5を相対的に移動させながら、出発材
32表面にスート34を堆積し、スート体51を得る方
法である。
さらに前記VAD法の変法として、例えば特顕昭58−
194104号明細書、同60−85245号明細書に
て提案される方法で、第4図に示すようにコア又はコア
とクラッドからなるガラスロッド42上にバーナ45中
にて気相合成したスート44を堆積してスート体41と
し、これを加熱して透明状ガラス母材を得る方法がある
。
194104号明細書、同60−85245号明細書に
て提案される方法で、第4図に示すようにコア又はコア
とクラッドからなるガラスロッド42上にバーナ45中
にて気相合成したスート44を堆積してスート体41と
し、これを加熱して透明状ガラス母材を得る方法がある
。
上記したような気相合成したスートを堆積してスート体
を得る従来方法においては、生産性向上のためにスート
休合成速度を上げてゆく、或は大型ガラス体を作製しよ
うとすると、焼結後のガラス中にアワが残留することが
多いという問題があった。特に、コア用ガラスロッド又
はコアとクラッドを構成したガラスロッド上へのスート
堆積体を焼結した場合、出発ガラスロッドとスート堆積
層との界面にアワが残留することが多かった。
を得る従来方法においては、生産性向上のためにスート
休合成速度を上げてゆく、或は大型ガラス体を作製しよ
うとすると、焼結後のガラス中にアワが残留することが
多いという問題があった。特に、コア用ガラスロッド又
はコアとクラッドを構成したガラスロッド上へのスート
堆積体を焼結した場合、出発ガラスロッドとスート堆積
層との界面にアワが残留することが多かった。
本発明はこのような現状に鑑みてなされたもので、スー
ト体を形成した後に透明状ガラス母材とする光フアイバ
用母材の製法において、アワ残留のない透明母材を得る
ことができ、これにより生産効率、向・上とコスト低減
が可能な方法を提案することを目的とするものである。
ト体を形成した後に透明状ガラス母材とする光フアイバ
用母材の製法において、アワ残留のない透明母材を得る
ことができ、これにより生産効率、向・上とコスト低減
が可能な方法を提案することを目的とするものである。
本発明者らはアワ残留のない透明母材を得る方法につい
て、種々検討した結果、スート体中に吸着されたガスを
除去した後に焼結するという方法を考えつき、本発明に
到達した。
て、種々検討した結果、スート体中に吸着されたガスを
除去した後に焼結するという方法を考えつき、本発明に
到達した。
本発明は気相反応により合成したスート体を加熱処理す
ることにより透明ガラス化して光フアイバ用母材とする
方法において、前記スート体を容器に入れ、該容器内を
減圧にすることにより該スート体中の吸着ガスを除去し
、その後該容器内をHeにて置換し、次に更に高温に加
熱して透明ガラス化することを特徴とする光フアイバ用
ガラス母材の製造方法である。
ることにより透明ガラス化して光フアイバ用母材とする
方法において、前記スート体を容器に入れ、該容器内を
減圧にすることにより該スート体中の吸着ガスを除去し
、その後該容器内をHeにて置換し、次に更に高温に加
熱して透明ガラス化することを特徴とする光フアイバ用
ガラス母材の製造方法である。
本発明においては、スート体を容器に入れ、予めC4ガ
スに曝した後、該容器内を減圧して行うことが特に好ま
しい。
スに曝した後、該容器内を減圧して行うことが特に好ま
しい。
以下図面を参照して本発明を具体的に説明する。
第1図は本発明の一具体例を概略説明する図であって、
第2図、第S図、第4図等に示したいわゆるvAD法、
ovn法、出発ガラスロッドへのVAD法等により作
成されたスート体1を、石英ガラス等で作られたマツフ
ル容器S内に保持する。4はスート体1のシード棒2と
マツフル容器5を密閉するだめのシール材であり、減圧
及びそれに続<■e置換操作を常温近くで行う場合には
テフロンテープ等を用い、又、高温下で行う場合には高
純度なカーボン製シーリングテープ等あるいは異形シー
リングジヨイント等を用いてシールする。次にマツフル
容器S内を、減圧装置5により100〜10−’Tor
r程度に減圧する。減圧装置5としては例えばロータリ
ーポンプ、メカニカルブースター、拡散ポンプ等を用い
ればよく、図中6及び7はパルプである。
第2図、第S図、第4図等に示したいわゆるvAD法、
ovn法、出発ガラスロッドへのVAD法等により作
成されたスート体1を、石英ガラス等で作られたマツフ
ル容器S内に保持する。4はスート体1のシード棒2と
マツフル容器5を密閉するだめのシール材であり、減圧
及びそれに続<■e置換操作を常温近くで行う場合には
テフロンテープ等を用い、又、高温下で行う場合には高
純度なカーボン製シーリングテープ等あるいは異形シー
リングジヨイント等を用いてシールする。次にマツフル
容器S内を、減圧装置5により100〜10−’Tor
r程度に減圧する。減圧装置5としては例えばロータリ
ーポンプ、メカニカルブースター、拡散ポンプ等を用い
ればよく、図中6及び7はパルプである。
減圧操作の終了後、バルブ6を閉じ、ノ(ルブ7を開け
、ガス供給装置8からマツフル容器S内KHθガスを供
給する。これによりスート体に吸着されたガスを1lf
eで置換できる。次にシール4を開放し、炉内温度をヒ
ータ9により加熱して上昇させる。この時も通常はHe
を流したままにする。10は排気口である。炉温、約1
600℃程度にして、スート体1を透明ガラス化するが
、この際もHeを流しながら行うのが、本発明における
一般的な操作である。
、ガス供給装置8からマツフル容器S内KHθガスを供
給する。これによりスート体に吸着されたガスを1lf
eで置換できる。次にシール4を開放し、炉内温度をヒ
ータ9により加熱して上昇させる。この時も通常はHe
を流したままにする。10は排気口である。炉温、約1
600℃程度にして、スート体1を透明ガラス化するが
、この際もHeを流しながら行うのが、本発明における
一般的な操作である。
従来技術における前記したスート体大型化に伴うアワ残
留増加の原因として、スート体が大型化する程、その中
央部分に吸着されているzo、Hat、att、 o、
等のガスがHeと置換され難くなり、これにより焼結後
にアワの残留する機会が多くなることが考えられる。又
、第4図のガラスロッド上にスートを堆積した場合には
、スート体が大型化する程、ロッド近傍におけるカサ密
度が大になり、これによりやはりガス置換が困難となり
、アワ残留が多くなることが考えられる。
留増加の原因として、スート体が大型化する程、その中
央部分に吸着されているzo、Hat、att、 o、
等のガスがHeと置換され難くなり、これにより焼結後
にアワの残留する機会が多くなることが考えられる。又
、第4図のガラスロッド上にスートを堆積した場合には
、スート体が大型化する程、ロッド近傍におけるカサ密
度が大になり、これによりやはりガス置換が困難となり
、アワ残留が多くなることが考えられる。
これに対し、本発明は密閉容器中にて減圧するので、母
材が大型化しても、アワ残留の原因となるスート体内の
吸着ガスが十分に少なくできる。次に容器内にHeガス
を流すことでスート体内部の空隙はHeガスで置換され
るが、ここでHeガスは、スート体の透明化過程におい
てガラス中に容易にとけこみ、拡散して固溶し、ガラス
内に気泡を残すことがないに加え、大気のまき込みを防
ぐ。大気がガラス中にまき込まれると、大気中の不純物
がガラス中に固溶し、ガラスの純度が低下し、さらには
アワの原因にもなるので、これを防止することでアワが
なく純度の良いガラス母材を得ることができる。
材が大型化しても、アワ残留の原因となるスート体内の
吸着ガスが十分に少なくできる。次に容器内にHeガス
を流すことでスート体内部の空隙はHeガスで置換され
るが、ここでHeガスは、スート体の透明化過程におい
てガラス中に容易にとけこみ、拡散して固溶し、ガラス
内に気泡を残すことがないに加え、大気のまき込みを防
ぐ。大気がガラス中にまき込まれると、大気中の不純物
がガラス中に固溶し、ガラスの純度が低下し、さらには
アワの原因にもなるので、これを防止することでアワが
なく純度の良いガラス母材を得ることができる。
本発明においては減圧操作を行った後、マツフル容器S
内にガス供給装置8から04ガスを導入し、更に減圧し
てから、Heガスでマツフル容器S内を満たし加熱処理
する方法をとることも好ましい。このように行うと、ス
ート体1が化学吸着しているoI!基がCZと置換し、
これにより得られる透明ガラス母材の残留OH量をより
少ないものにすることができる。又、とのOltガス導
入の際にスート体1の温度を約1000℃近辺に加熱し
ておくと、OH基との置換はいっそう完全に行われ、残
留OH量の極めて少ないガラスを得ることができる。
内にガス供給装置8から04ガスを導入し、更に減圧し
てから、Heガスでマツフル容器S内を満たし加熱処理
する方法をとることも好ましい。このように行うと、ス
ート体1が化学吸着しているoI!基がCZと置換し、
これにより得られる透明ガラス母材の残留OH量をより
少ないものにすることができる。又、とのOltガス導
入の際にスート体1の温度を約1000℃近辺に加熱し
ておくと、OH基との置換はいっそう完全に行われ、残
留OH量の極めて少ないガラスを得ることができる。
なお、本発明において減圧操作の後のスート体の昇温は
、スート体をマツフル容器内に徐々に下降もしくは上昇
させながら行ってもよい。
、スート体をマツフル容器内に徐々に下降もしくは上昇
させながら行ってもよい。
実施例1
第5図に概略の構成を示す3本のバーナ55゜54及び
55を用いたVAI)法により、コアがGoo、−Ei
iO!ガラス、クラッドが810.ガラスからなるスー
ト体51を合成し、脱水及び透明ガラス化を行った。第
5図中52は出発棒である。
55を用いたVAI)法により、コアがGoo、−Ei
iO!ガラス、クラッドが810.ガラスからなるスー
ト体51を合成し、脱水及び透明ガラス化を行った。第
5図中52は出発棒である。
得られたコアークラッドを有するガラスロッドを外径1
8■に延伸し、第S図の方法で、ガス流量はBi O/
、五Or/分、馬50t/分、0゜401/分、Ar1
5//分の条件にて、この条件にて、このガラスロッド
外周にスートを堆積させた。得られたスート体を第4図
に示すような石英ガラス製マツフル容器3内に入れ、該
容器s内を10−” Torrに減圧して30分間保持
した後、バルブ45を閉じ、バルブ44を開いて容器3
内にHeを充満した。この後容器Sとシード棒2とのシ
ール4を開放し、Tleを容器S内に20t/分の流量
で流しながら、炉温を昇温速度5℃/分で1500℃ま
で昇温した。以上により全くアワの存在しない透明ガラ
ス母材が得られた。
8■に延伸し、第S図の方法で、ガス流量はBi O/
、五Or/分、馬50t/分、0゜401/分、Ar1
5//分の条件にて、この条件にて、このガラスロッド
外周にスートを堆積させた。得られたスート体を第4図
に示すような石英ガラス製マツフル容器3内に入れ、該
容器s内を10−” Torrに減圧して30分間保持
した後、バルブ45を閉じ、バルブ44を開いて容器3
内にHeを充満した。この後容器Sとシード棒2とのシ
ール4を開放し、Tleを容器S内に20t/分の流量
で流しながら、炉温を昇温速度5℃/分で1500℃ま
で昇温した。以上により全くアワの存在しない透明ガラ
ス母材が得られた。
比較例1
実施例1において、減圧操作を行わない他は全く同様に
行って透明ガラス母材を得たところ、この母材では出発
ガラスロッドとスート堆積部との境界に、微小が多数の
アワの残留が認められた。
行って透明ガラス母材を得たところ、この母材では出発
ガラスロッドとスート堆積部との境界に、微小が多数の
アワの残留が認められた。
実施例2
第2図に示すいわゆる’VAD法により、GeO2−8
10、系集束型コア用ガラスロッドを作製し、これを外
径18m+に延伸したガラスロッド上に、実施例1と同
様の方法でスートを堆積させ、外径150鱈のスート体
を得た。
10、系集束型コア用ガラスロッドを作製し、これを外
径18m+に延伸したガラスロッド上に、実施例1と同
様の方法でスートを堆積させ、外径150鱈のスート体
を得た。
該スート体を第4図の構成の炉の(マツフル容器内)に
入れ、Ol、及びHeを導入しながら1000℃まで昇
温し、この温度にて30分間保持した。この後0/を及
びHeの供給を止め、容器内を10″″” Torrに
減圧し、この状態にて30分間保持した。この後、再度
IIeHeガスして、更に炉温を1500℃まで昇温し
、透明ガラス化したところ、アワのない透明なガラス母
材が得られた。
入れ、Ol、及びHeを導入しながら1000℃まで昇
温し、この温度にて30分間保持した。この後0/を及
びHeの供給を止め、容器内を10″″” Torrに
減圧し、この状態にて30分間保持した。この後、再度
IIeHeガスして、更に炉温を1500℃まで昇温し
、透明ガラス化したところ、アワのない透明なガラス母
材が得られた。
このガラス母材を線引してファイバ化し、伝送損失を測
定したところ、j、58μ毒波長で54B/kmという
低ORなファイバが得られた。
定したところ、j、58μ毒波長で54B/kmという
低ORなファイバが得られた。
比較例2
実施例2においてat、ガスの導入を行わなかった以外
は同条件にして透明ガラス母材を得、これを線引してフ
ァイバを作製した。このファイバの1.38μ毒波長で
の損失特性は10 dB/km以上で、ollIikが
実施例2のものに比し大きかった。
は同条件にして透明ガラス母材を得、これを線引してフ
ァイバを作製した。このファイバの1.38μ毒波長で
の損失特性は10 dB/km以上で、ollIikが
実施例2のものに比し大きかった。
比較例3
さらに実施例2において減圧操作を行わずに作製したガ
ラス母材には、コアークラッド界面に微小なアワが残留
していた。
ラス母材には、コアークラッド界面に微小なアワが残留
していた。
以上説明したように、本発明はスート体の焼結をすすめ
る以前に、スート体表面に吸着しているガスを十分に除
去し、これらのガスに代えてガラスに固溶するHeをス
ート体に充満することにより、焼結されて透明ガラス化
した後にアワ残留のないガラス母材を得ることができる
。
る以前に、スート体表面に吸着しているガスを十分に除
去し、これらのガスに代えてガラスに固溶するHeをス
ート体に充満することにより、焼結されて透明ガラス化
した後にアワ残留のないガラス母材を得ることができる
。
第1図は本発明の実施態様を説明する概略図である。
第2図ないし第5図は本発明において用いるスート体を
作製する種々の方法を説明する図であって、第2図はい
わゆるWAD法(1本バーナー)、第3図はOVD法、
第4図はガラスロンド上に’7AI)法でスート体を形
成する方法、第5図は複数本バーナーを用いたWAD法
、の場合を示す。な°お、図中の矢印はバーナー又はス
ート体の運動方向を表す。
作製する種々の方法を説明する図であって、第2図はい
わゆるWAD法(1本バーナー)、第3図はOVD法、
第4図はガラスロンド上に’7AI)法でスート体を形
成する方法、第5図は複数本バーナーを用いたWAD法
、の場合を示す。な°お、図中の矢印はバーナー又はス
ート体の運動方向を表す。
Claims (2)
- (1)気相反応により合成したスート体を加熱処理する
ことにより透明ガラス化して光フアイバ用母材とする方
法において、前記スート体を容器に入れ、該容器内を減
圧にすることにより該スート体中の吸着ガスを除去し、
その後該容器内をHeにて置換し、次に更に高温に加熱
して透明ガラス化することを特徴とする光フアイバ用ガ
ラス母材の製造方法。 - (2)スート体を容器に入れ、予めCl_2ガスに曝し
た後、該容器内を減圧して行う特許請求の範囲第(1)
項に記載の方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29766886A JPS63151642A (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29766886A JPS63151642A (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63151642A true JPS63151642A (ja) | 1988-06-24 |
Family
ID=17849583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29766886A Pending JPS63151642A (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 光フアイバ用ガラス母材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63151642A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005062088A1 (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Fujikura Ltd. | 光ファイバの処理方法及び光ファイバ処理装置 |
US7596292B2 (en) | 2004-12-02 | 2009-09-29 | Fujikura Ltd. | Treatment method for optical fiber |
-
1986
- 1986-12-16 JP JP29766886A patent/JPS63151642A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005062088A1 (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Fujikura Ltd. | 光ファイバの処理方法及び光ファイバ処理装置 |
CN100417958C (zh) * | 2003-12-22 | 2008-09-10 | 株式会社藤仓 | 光纤维的处理方法和光纤维处理装置 |
US7486863B2 (en) | 2003-12-22 | 2009-02-03 | Fujikura Ltd. | Method for treating optical fiber and apparatus for treating optical fiber |
US7596292B2 (en) | 2004-12-02 | 2009-09-29 | Fujikura Ltd. | Treatment method for optical fiber |
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