JPS63150635A - 分光装置 - Google Patents
分光装置Info
- Publication number
- JPS63150635A JPS63150635A JP29770286A JP29770286A JPS63150635A JP S63150635 A JPS63150635 A JP S63150635A JP 29770286 A JP29770286 A JP 29770286A JP 29770286 A JP29770286 A JP 29770286A JP S63150635 A JPS63150635 A JP S63150635A
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- JP
- Japan
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- light
- wavelength
- short
- long
- light receiving
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- Pending
Links
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 title 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009933 burial Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、分光装置に関し、特に簡単な構成で測定精度
の良い分光装置に関する。
の良い分光装置に関する。
[従来の技術]
従来の分光装置を第4図の平面図に示す。
分光装置において測定波長範囲を広くとろうとする場合
、図に示すように短波長帯@(約0.5〜1,1μm)
の短波長受光器20と、長波長帯域(約0.9μm〜1
.7μm)の長波長受光器21を用い、分光器22の出
力光は、ミラー等の・光5W23により切換えて各々の
受光器に人力させるか、いずれかの受光器を光路上に進
退自在に構成し、こわら受光器を切換えて使用していた
。
、図に示すように短波長帯@(約0.5〜1,1μm)
の短波長受光器20と、長波長帯域(約0.9μm〜1
.7μm)の長波長受光器21を用い、分光器22の出
力光は、ミラー等の・光5W23により切換えて各々の
受光器に人力させるか、いずれかの受光器を光路上に進
退自在に構成し、こわら受光器を切換えて使用していた
。
[発明が解決しようとする問題点]
しかし、上述の分光装置においては光SW、あるいは受
光器を移動させる移動機構を特別に必要とした。さらに
光の切換速度が遅く、機構音を発するとともに、各受光
器の感度特性の差により切換前後における受光器の出力
が段差となって表われる欠点を有している。
光器を移動させる移動機構を特別に必要とした。さらに
光の切換速度が遅く、機構音を発するとともに、各受光
器の感度特性の差により切換前後における受光器の出力
が段差となって表われる欠点を有している。
さらに、分光器22に回折格子を用いた場合、回折格子
の特性により必要な次数の光の他に高次光等不要な光も
分光されてしまう。例えば、0.6μmの光は0.6μ
mの回折位置と、1.2μmの回折位置にも表われる。
の特性により必要な次数の光の他に高次光等不要な光も
分光されてしまう。例えば、0.6μmの光は0.6μ
mの回折位置と、1.2μmの回折位置にも表われる。
そして、長波長受光器21が短波長帯域まで感度を有し
ている場合において1.2μmの光のみを受光するには
、0.6μmの光の入射を避けるために長波長分光器2
1の前段に短波長の光をカットする光フィルタ24を設
けなければならない。
ている場合において1.2μmの光のみを受光するには
、0.6μmの光の入射を避けるために長波長分光器2
1の前段に短波長の光をカットする光フィルタ24を設
けなければならない。
本発明は上述の欠点に鑑みて成されたものであり、切換
機構を必要とせず、測定波長範囲を広くとることができ
、さらに光フィルタを用いずども測定に不要な光をカッ
トすることができ、これらを簡単な構成にて達成するこ
とができる分光装置を提供することを目的としている。
機構を必要とせず、測定波長範囲を広くとることができ
、さらに光フィルタを用いずども測定に不要な光をカッ
トすることができ、これらを簡単な構成にて達成するこ
とができる分光装置を提供することを目的としている。
[問題点を解決するための手段]
上記問題点を解決するため本発明による分光装置は、所
望の波長の光を分光する分光器(1)と: 該分光器(1)の出力光を受ける短波長帯域の受光感度
を有し、長波長帯域の光は透過する短波長受光器(2)
と: 該短波長受光器(2)の透過光を受ける少なくとも面記
短波長受光器(2)の長波長帯域の受光感度をf+する
長波長受光器(3)と:+iff記短波長短波長受光器
及び長波長受光器(3)の出力信号を加−算出力する加
算手段(4)と; を具備し、広帯域の測定を可能にしたことを特徴として
いる。
望の波長の光を分光する分光器(1)と: 該分光器(1)の出力光を受ける短波長帯域の受光感度
を有し、長波長帯域の光は透過する短波長受光器(2)
と: 該短波長受光器(2)の透過光を受ける少なくとも面記
短波長受光器(2)の長波長帯域の受光感度をf+する
長波長受光器(3)と:+iff記短波長短波長受光器
及び長波長受光器(3)の出力信号を加−算出力する加
算手段(4)と; を具備し、広帯域の測定を可能にしたことを特徴として
いる。
[作用]
上記構成による作用を説明すると、
まず、分光器1にて短波長帯域の光が分光された場合に
は短波長受光器2にて受光され、長波長受光器3には光
は透過せず、加算手段4は、短波長受光器2の出力信号
のみ外部に出力する。
は短波長受光器2にて受光され、長波長受光器3には光
は透過せず、加算手段4は、短波長受光器2の出力信号
のみ外部に出力する。
一方、分光器1にて長波長帯域の光が分光された場合に
は、光は短波長受光器2を透過し、長波長受光器3にて
受光され、加算手段4は長波長受光器3の出力信号のみ
外部に出力する。
は、光は短波長受光器2を透過し、長波長受光器3にて
受光され、加算手段4は長波長受光器3の出力信号のみ
外部に出力する。
しかし、約0.9μm〜1.1μm付近では、短波長受
光器2と長波長受光器3とが同時に受光することができ
る。いずれの受光器も受光感度は低いが、これら各々の
出力信号は、加算手段4にて加算出力されているから、
第2図に示す如く加算出力λ5は短波長帯域から長波長
帯域まで一定に近い出力信号を得ることができる。
光器2と長波長受光器3とが同時に受光することができ
る。いずれの受光器も受光感度は低いが、これら各々の
出力信号は、加算手段4にて加算出力されているから、
第2図に示す如く加算出力λ5は短波長帯域から長波長
帯域まで一定に近い出力信号を得ることができる。
[実施例]
以下、本発明の一実施例を図面に基づき説明する。
第1図は、本発明の分光装置を示す平面図である。
図において、1は波長分散型の回折格子により成る分光
器であり、分光器lに入射する光は、この分光@1にて
分光され、所望な波長の光のみ分光器l後段に配置され
る短波長受光器2に入射される。
器であり、分光器lに入射する光は、この分光@1にて
分光され、所望な波長の光のみ分光器l後段に配置され
る短波長受光器2に入射される。
短波長受光器2は、51等により成り、第2図の特性グ
ラフに示す如く、実線の受光感度曲線λ1は短波長帯域
において感度が高く、長波長帯域になるにしたがって減
っている。ざらに、この・短波長受光器2は、第2図の
点線に示す如く長波長になるにしたがい光を透過し、こ
の特性は透過特性曲線λ2に示されている。
ラフに示す如く、実線の受光感度曲線λ1は短波長帯域
において感度が高く、長波長帯域になるにしたがって減
っている。ざらに、この・短波長受光器2は、第2図の
点線に示す如く長波長になるにしたがい光を透過し、こ
の特性は透過特性曲線λ2に示されている。
この短波長受光器2の後段には、長波長受光器3が配置
されている。
されている。
長波長受光器3は、長波長帯域において受光感度が高く
、同様に第2図の特性グラフにλ3として表わすことが
でき、この長波長受光器3は、ある程度短波長帯域にま
で感度特性を有している。
、同様に第2図の特性グラフにλ3として表わすことが
でき、この長波長受光器3は、ある程度短波長帯域にま
で感度特性を有している。
したがって、短波長受光器2の透過特性λ2×長波長受
光器3の受光感度特性λ3が、長波長受光器3の感度特
性λ4となる。
光器3の受光感度特性λ3が、長波長受光器3の感度特
性λ4となる。
そして、これら短波長受光器2.長波長受光器3の出力
信号は、加算手段4にて加算して出力される。加算出力
は、第2図のλ5に加算出力として表すことができる。
信号は、加算手段4にて加算して出力される。加算出力
は、第2図のλ5に加算出力として表すことができる。
第3図は、本発明の分光装置の電気的回路図を示すもの
である。短波長受光器2.長波長受光器3の出力信号は
、各々増幅器5a、5bにて増幅された後、A / D
’:1 ンバータ6a、6bでA/D変換され、加算
手段4に人力する。デジタル変換後の各々の出力信号A
、Bは、各々の受光器が有する感度差をに3.に2の調
整器にて同一レベルに補正された後、加算54aで加算
され、出力信号とされる。出力信号は、図示略のコンプ
レッサー回路等を介して外部に出力される。
である。短波長受光器2.長波長受光器3の出力信号は
、各々増幅器5a、5bにて増幅された後、A / D
’:1 ンバータ6a、6bでA/D変換され、加算
手段4に人力する。デジタル変換後の各々の出力信号A
、Bは、各々の受光器が有する感度差をに3.に2の調
整器にて同一レベルに補正された後、加算54aで加算
され、出力信号とされる。出力信号は、図示略のコンプ
レッサー回路等を介して外部に出力される。
次に上述の構成による動作を説明する。
まず、分光器1にて短波長帯域の光が分光された場合に
は短波長受光器2にて受光され、長波長受光器3には光
は透過せず、加算手段4は、短波長受光器2の出力信号
のみ外部に出力する。
は短波長受光器2にて受光され、長波長受光器3には光
は透過せず、加算手段4は、短波長受光器2の出力信号
のみ外部に出力する。
一方、分光器1にて長波長帯域の光が分光された場合に
は、光は短波長受光器2を透過し、長波長受光器3にて
受光され、加算手段4は長波長受光器3の出力信号のみ
外部に出力する。
は、光は短波長受光器2を透過し、長波長受光器3にて
受光され、加算手段4は長波長受光器3の出力信号のみ
外部に出力する。
しかし、約0.9μm〜1.1μm付近では、短波長受
光器2と長波長受光器3とが同時に受光することができ
る。いずれの受光器も受光感度は低いが、これら各々の
出力信号は、加算手段4にて加算出力されているから、
第2図に示す如く加算出力λ5は短波長帯域から長波長
帯域まで一定に近い出力信号を11?ることができる。
光器2と長波長受光器3とが同時に受光することができ
る。いずれの受光器も受光感度は低いが、これら各々の
出力信号は、加算手段4にて加算出力されているから、
第2図に示す如く加算出力λ5は短波長帯域から長波長
帯域まで一定に近い出力信号を11?ることができる。
そして本発明によれば、前述の如き高次光、例えば1.
2μm波長測定時の高次光0.6μmの光は、短波長受
光器2が有する透過特性により、長波長受光器には入射
せずこの影響を受けることがない。
2μm波長測定時の高次光0.6μmの光は、短波長受
光器2が有する透過特性により、長波長受光器には入射
せずこの影響を受けることがない。
また、本実施例では分光器1として回折格子を用いる構
成としたが、干渉型の分光器であっても良い。
成としたが、干渉型の分光器であっても良い。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明の分光装置によれば、短波
長帯域から長波長帯域までほぼ一定な出力信号を得るこ
とができ、かつ、高次光の影!を排除できる。
長帯域から長波長帯域までほぼ一定な出力信号を得るこ
とができ、かつ、高次光の影!を排除できる。
さらに上述の効果は、従来用いられていた特別な移動J
l梼を用いることなく達成できる。
l梼を用いることなく達成できる。
第1図は、本発明の分光装置を示す平面図、第2図は、
同装置の受光器の特性グラフ、第3図は、同装置の電気
的回路図、第4図は、従来の分光装置を示す平面図であ
る。 1・・・分光器、2−短波長受光器、3−長波長受光器
、4−・加算手段。 特許出願人 アンリッ株式会社 代理人・jF埋士 西 村 教 先 筒 1 図 2人 声 イtJf 第2図 第3図
同装置の受光器の特性グラフ、第3図は、同装置の電気
的回路図、第4図は、従来の分光装置を示す平面図であ
る。 1・・・分光器、2−短波長受光器、3−長波長受光器
、4−・加算手段。 特許出願人 アンリッ株式会社 代理人・jF埋士 西 村 教 先 筒 1 図 2人 声 イtJf 第2図 第3図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 所望の波長の光を分光する分光器(1)と;該分光器(
1)の出力光を受ける短波長帯域の受光感度を有すると
ともに、長波長帯域の光は透過する短波長受光器(2)
と; 該短波長受光器(2)の透過光を受ける少なくとも前記
短波長受光器(2)のそれよりも長波長帯域の受光感度
を有する長波長受光器(3)と;前記短波長受光器(2
)及び長波長受光器 (3)の出力信号を加算出力する加算手段(4)と; を具備し、広帯域の測定を可能にしたことを特徴とする
分光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29770286A JPS63150635A (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29770286A JPS63150635A (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 分光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63150635A true JPS63150635A (ja) | 1988-06-23 |
Family
ID=17850051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29770286A Pending JPS63150635A (ja) | 1986-12-16 | 1986-12-16 | 分光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63150635A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019527935A (ja) * | 2016-08-02 | 2019-10-03 | ニューポート コーポレーション | 多接合型検出器デバイスおよび使用方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5442189A (en) * | 1977-09-10 | 1979-04-03 | Toshiba Corp | Compound optical system device |
JPS576989U (ja) * | 1980-06-13 | 1982-01-13 |
-
1986
- 1986-12-16 JP JP29770286A patent/JPS63150635A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5442189A (en) * | 1977-09-10 | 1979-04-03 | Toshiba Corp | Compound optical system device |
JPS576989U (ja) * | 1980-06-13 | 1982-01-13 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019527935A (ja) * | 2016-08-02 | 2019-10-03 | ニューポート コーポレーション | 多接合型検出器デバイスおよび使用方法 |
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