JPS63148856A - リニアモ−タ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

〔産業上の利用分野〕 本発明は、入カバルス信号によって可動子をＸ方向とＹ
方向との一方又は両方に所定のステップ量ずつ直線移動
させるＩＪ　ニアヒ；＝モータ装置に関し、更に詳ａＫ
は、高速旦っ安定的動作が可能なリニアパルスモータ装
置ＫＨＹる。 〔従来の技術とその間Ｎ膚〕 直線形電動機（リニアモータ）は、電磁力によって可動
子を亙接、直線的に駆動するので１回転形電動機に機械
的要素を組み合せて直線運動を得る場合に比べてシステ
ムか筒素化され、精度、信頼性が高いとい５利扉を有し
ている。上記直線形電動機のつち、パルス駆動型の直線
形電動搬はｊ下、リニアパルスモータ装置丁）は、入カ
バルス信号に同期して所定のステップ量ずつ直線運動７
行な５ものであジ、開ループ制御で容易知位置決めが可
能である。また、位置決め誤差が累積ざｎないとい５特
黴がある。上述の如きリニアパルスモータは、例えば特
公昭４９−１５２８］号及び５７−２１９５３号公報に
開示されている。 しかし、この種のリニアバルスモータハ、開ループ制御
構成であって、実際の移動量を検出しないため、可動子
の運動が指令パルスに正しく追従しているかどうかは不
明であった。したがって、安定に動作させるためには、
可動子の運動が指令パルスに追従しなくなり、同期がは
ずれたりずれたジする脱調という現象が起こらないよう
に、動作限界加速度に対して十分大きなマージンを見込
んで最大加速度を設定する必要があり、リニアパルスモ
ータの高速化の妨げとなっていた。 そこで１本発明の目的は、固定子に対する可動子の位置
関係を正確且つ容易に検出することができるリニアパル
スモータ装置を提供することにある。 〔問題漬を解決するた豹の手段］ 上記目的を達成するための本発明は、少なくとも］方向
に所定間隔で複数個の突起が配設されている磁性材料！
含み、前記突起に対応した光学又は電気又は磁気的パタ
ーンを表面に有している固定子と、前記磁性材料の前記
突起との相互関係に基づいて前記固定子に対して平行な
方向に変位する可動子と、前記固定子の光学又は電気又
は磁気的パターンを検出するように構成さＴＬ、前記可
動子に支持さｎている検出器とから成るリニアノくルス
モータ装置に係わるものである。 〔作　用〕 上記発明では、固定子に所定間隔で配列されている突起
に対応する光学又は電気又は磁気的パターンを検出し、
これに基づいて可動子の固定子て対する位置関係ビ検知
する。従って１両者の位置関係を正確且つ容易に検出す
ることかでき、可動子の速度及び位置制御を正確且つ容
易に行うことが可能になる。 〔実施例〕 次に本発明の実施例に係わるリニアパルスモータ装置を
説明する。第】図に原理的に示すリニアパルスモータ装
置の基本的構成は１例えば特公昭４９−３５２８１号公
報に開示さｎている公知のものと同一であり、固定子】
と可動子２とから成る。固定子］は、磁性材料から成る
版部材３と非磁性物質４とから成る。磁性板部材３０表
面には一定ピツチτで突起５がストライプ状に設けられ
ている。突起５の相互間に生じる溝６の中に斜線を付し
て示す合成樹脂等の非磁性物質４が充填され、平滑な表
面とされている。突起５と非磁性物質４とは光反射率が
異なジ、この例では突起５は鉄であるので大きな光反射
率ビ有し、非磁性物質４は突起５よりも小さな光反射率
乞有する。 可動子２は、第１及び第２の可動子ユニット７゜８を有
し、これ等は共通の可動支持部材９に支持されている。 可動支持部材９はノズル１０かも噴射第１のユニット７
は逆Ｕ字状の第】の永久磁石】】と、電磁石とから成る
。電磁石は第］及び第２の逆Ｕ字状衡片】２、】３と第
】の巻線】４とから成る。第ｊの極片】２は第１の永久
磁石Ｊ】のＮ極に結合され、固定子】に対向する磁極ａ
とＣとを有し、第２の極片】３は第１の永久磁石】コの
Ｓ極に結合され、磁極ａ′とａ′とを有する。第】の巻
線」４は磁極Ｃとａ′とに巻き回されている。 第２のユニット８は、第】のユニット７と同様に構成さ
れた第２の永久磁石Ｊ５と電磁石とから成る。電磁石は
第３及び第４の唖片１６．１７と。 第２の巻ａ】８とから成ジ、第３の極片Ｊ６は磁極ｄと
す、第４の極片］７は磁極すとｄとを有し。 第２の巻線Ｊ８は磁極す、ｂに巻き回されている。 第３の極片】６は第２の永久磁石】５のＳ極に結合され
、第４の極片】７はＮ極に結合されている。 磁極ａ〜ｄ、ａ〜ｄは固定子】の突起５のピッチに対し
て所定値ずつ位相がずｎるように形成きれティる。ａ　
？＋、第１のユニット７では、ａとＣの間で−ヒツチ〔
丁）だけ位相がずｎでおり、たとえは、ａが突起５の真
上にある時にはＣは溝６の真上になる様になっている。 ａ′とＣの関係も同様である。第２のユニット８の磁極
す、ｄ、ｉ　ｄ間の位相関係も、第Ｊのユニット７の磁
Ｗａ、ｃ、ａ、ｃ間の位相関係と同じである。但し、第
１のユニット７の磁極ａ、ｃ−ａ、ｃと第２の二二ソ１
　　。 ト８の磁極す、ｄ、ｂ、ｄ間では、−ヒツチ（−）だけ
位相がずれている。 本発明に従う位置検出器】９は、可動支持部材９仕吐に
支持され、突起５又は非磁性物質４ビ光学的に検出する
よづに構成ざｎている。第３図は検出器ｊ９の一例を示
すものであフ、光源２０と凸レンズ２Ｊとハーフミラ−
２２と集光レンズ２３と光電変換素子２４とから成ジ、
光ビーム２４ビ固定子】の表面に投・射し、この反射光
２５を集光レンズ２３とハーフミラ−２２とを介して光
電変換素子２４で検出するように構成されている。 固定子】は突起５のストライブパターンを有し。 これが検出器Ｊ９によって光学的に読み取らｎる。 第４図は検出器】９によるフィードバック制御ループ暑
示す。検出器】９の出力段に接続された信号処理回路２
５は、突起５の検出に対応したパルスを形成する。カウ
ンタ２６は、信号処理回路２５から得られる突起検出パ
ルスを累積計数する。 カウンタ２６の出力に接続さｎた演１回路２７はカウン
タ２６から得られる突起計数値Ｎに基づいて可動子２の
移動量ｘ　＝　Ｎτを演算し、ディジタル値（又はアナ
ログ値）で出力する。移動量設定回路２８は、所望移動
ｉｘを示すディジタル信号Ｃ又はアナログ信号）？出力
する。比較器２９は。 移動量設定回路２８から与えられる設定値と演算回路２
７から与えられる検出器とをディジタルＣ又はアナログ
）比較し、差の信号ΔＸを出力する。 制御回８３０は、比較器２９の出力と移動量設定回路２
８の出力に接続され１Ｍの信号△Ｘを零にするたぬの制
御信号を出力する。駆動回路３】は制御回路３０から与
えられる制御信号に基づいて駆動パルスを巻線】４、】
８に与えろ。 動子２の巻線Ｊ４、Ｊ８に第６図（ＡＪ（Ｂ）に示す如
く巻１１！　　電流ｉ　　ｉ　を流すと、励磁された電
磁石Ａ−Ｂ の磁極と固定子】の突起５との間に水平方向ＣＸ軸方向
）成分が含−！れている磁気的吸引力が生じる。従って
、水平方向成分が可動子２の推力となジ、水平方向に変
位する。第】及び第２の巻線】４、Ｊ８に第６図のｔｌ
−％−ｔ２までの１サイクルの電流電流すと、可動子２
は】ピッチだけ変位する。 なお、最小移動単位は】／４ピッチであ９１巻線】４、
】８に加える】パルスに対応する。従って、パルス数と
可動子２の移動量とは一定の対応関係を有し、移動量制
御を容易且つ正確に行うことができる。 第５図は、第１図に示したリニアパルスモータのトルク
Ｔと可動子２のずれ量ΔＸの関係を示す図である。リニ
アパルスモータの加速時には、可動子２が電気的に指示
された移動Ｉと実際の移動量との間にずれ△Ｘが存在す
る。このずれ食ΔＸに対応するトルクＴによって、可動
子２が加速さ九ろ訳である。加速度をα、町動子の質量
をＭとすると。 Ｔ＝Ｍα の関係がある。トルクＴの大きさには限界があジ。 −Ｔｍａｘ　＜　Ｔ　＜　Ｔｍａｘ であるので、加速度αは、 Ｔｍａｘ　　　　Ｔｍａｘ Ｍ　　　　　　Ｍ の範囲でなｌ−ｊれば、可動子２は正常に勤かないこと
になる。この範囲を超える加速度で可動子２に動かそう
とした場合には、可動子２は指令ノくルスに正しく追従
しなくなり、脱調現象？おこす。以上のように、可動子
２のずｎ＠ΔＸによってりニアパルスモータのトルクＴ
すなわち加速度αが決＝！ジ、ΔＸ　　によって加速度
限界が決まることａｘ がわかる。本発明は可動子２の実際の移動量を検出し、
電気的に指示された移動量と比較して、ず九量ΔＸを求
ぬ、−Δｘ　　くΔｘくΔＸ　　　のｍ　ａｘ　　　　
　　　　　　　　　　　　　ｍａｘ範囲で加速度αを制
御することによって、税調を防ぎかつできるだけ大きな
加速度で（すなわち大きな７−ジン？とることなく）、
可動子２の位置決めを行う。 可動子２は固定子】の突起５のストライプパターンを直
角に横切るように移動する。可動子２が定速接動じてい
るとすれば、第６図（０に示す如く一定の周期で検出器
Ｊ９からパルスか得られる。 即ち突起５に対応して高レベル、非磁性物質４に対応し
て低レベルの検出信号がｉ与られる。勿論。 検出出力の高低を逆にしてもよい。突起５の検出パルス
は１サイクルに１個の割合で発生する。従って、この実
施例の場合、検出パルスが１個発生すると、可動子２が
１ピツチだけ移動したことが分る。移動ｉ（ｘは、ｘ　
＝　Ｎτで求めることができる。移動時間ｔは検出パル
スの発生時間間隔で知ｄｘ ることかできるので、移動速度νを、ν＝箔−で求める
こともできる。同様に加速度αも、α＝玉ｔ で求めることができる。従って、可動子２の移動速度又
は加速度？考慮した可動子２の接動制御も可能である。 この実施例のｌ０く検出器Ｊ９を設けて可動子２の移動
を制御すれば一説調現象が起らない範囲で加速度を最大
限近くまで大きくすることが可能であジ、高速位置決め
が可能になる。また、駆動パ刹が可能になる。 〔第２の実施例〕 第７図は第２の実施例の装置の一部平面図である。第］
の実施例の検出器】９の代りに４つの検出器Ｊ　９ａ、
］　９ｂ、］　９ｃ、］　９ｄｇｒ／４間隔でＸ軸方向
に配列させたものである。この第２の実施例及び後で述
べる第３〜第９の実施例において検出器以外の部分の構
成は第】の実施例と本質的に同一である。各検出器１９
ａ〜１９ｄからは第８図囚の）　（Ｃ）［Ｆ］に示すよ
うに突起５に対応した検出パルスが得られ、可動子２の
移動量？：１／４ピッチ

【τ／４）の分解能で検出する
ことができる。 〔第３の実施例〕 第９図の第３の実施例では、４つの検出器】９ａ〜］　
９ｄ’ｇまとめて配置せずに、整数ピッチだけずらして
配置している。この第９図では第】の検出器１９ａに対
して第３の検出器１９ｃがτ／２だげずれ、第４の検出
器］９ｄが第３の検出器ｊ９ｃからτ＋−だげず九、第
２の検出器１９ｂが第４の検出器１９ｄからτ／２だけ
ずれている。この様に配置しても第８図と同様な出力が
得られる。 〔第４の実施例〕 第】０図の第４の実施例では、第］及び第３の検出器１
９ａ、］９Ｃと第２及び第４の検出器】９ｂ、］９ｄと
がＹ軸方向に段差を有して配置されている。第２〜第４
の実施例では１／４ピツチずらして４つの検出器１９ａ
〜１９ｄ’２配置したが。 主ピッチすら（−てｎ個の検出器を配置１−でもよい。 〔第５の実施例〕 第】】図に示す第５の実施例では、固定子】の表面のパ
ターンが変更され、突起５０部分の福Ａと非磁性物質４
０部分の幅Ｂとの比がＡ　：　Ｂ　＝　３：５になって
いる。５つの検出器１９ａ、１９ｂ、］　９９ｃｍ］　
９ｄ、］　９ｅが−ヒツチｒＨ）ずつ位相をずらして配
置されている。この様に構成すると、各検出器１９ａ〜
１９ｅから第１２図（４）〜■に示す出力が串られ、−
ヒツチ（７，）の分解能が得られる。この場合には、検
出器］９ａの検出信号の］サイクルで可動子がＪピッチ
（τ）移動する時、検出器１９ｂ〜１９ｅの検出信号で
この】ピッチをｉずつ内挿できる。すなわち、検出器Ｊ
９ｂ〜１９ｅの検出信号の立ち上がりでに初の４点を検
出し、１９ｃｍ　　］　９ｄ、］　９ｅの検出信号の立
ち上がりで続く３貞を検出することができる。 以上の様に、固定子表面の突起の幅Ａと溝の幅Ｂの比が
Ａ　：　Ｂ　＝ｍｈ　：　ｍＢ（ｍＡ、　＋１’ｌＢ　
：整こ）であ石場合には＋　ＩｎＡ≧ｌｎＢならｍＡ個
、ｍＡ＜ｍＢならｍＢ個の検出器？ｒＴ１Ａ＋８　ピッ
チずつ位相をすらして配置することによって−ｍＡ＋ｍ
Ｂピッチの分解能で可動子の移動■を検出できる。尚、
Ａ＝Ｂの場合には、ｍ個（ｍ：整数）の検出器を」−ビ
ｍ ツチずつ位相ビずらして配置することによって、ｌ　　
　＋ ２ｍピンチの分解能で可動子の移動を検出できることは
明らかである。 Ｃ第６の実施例〕 第１３図に示す第６の実施例のリニアパルスモークはＸ
軸方向とＹ軸方向との両方に１駆動可能に構成されてい
る。このため、固定子】の突起５は四角形とされ、Ｘ軸
方向にピッチτＸで配列されていると共に、Ｙ軸方向に
もピッチτアで配列されている。そして各突起５の間に
非磁性物質４が充填されている。Ｘ方向とＹ方向との両
方に移動自在に構成された可動子２には、Ｘ軸方向噴出
器１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄがτｘ／４ずつ位相
？ずらして配置されていると共Ｊ　Ｙ軸方向検出器］９
ｆ−】９ｇ−１９ｈ、１９ｉがτｙ／４ずつ位相！ずら
して配置されている。 このように配置することによジ、町動子の秘動τＸ 量のＸ方向成分を−の分解能で、Ｙ方向成分をτＹ −の分解能で検出できる。検出器の数を増やすことによ
り、その数に応じて分解能を小さくできることは本発明
の他の実施例の説明で述べた通りである。検出器１９ａ
〜１９ｄの長さＬＸはａ　ＬＸ＝ｍｒＹ（ｍ：整数）と
することが好ｆしい。このような長さにすることにより
、可動子２がＹ方向知移動しても、Ｘ方向の位置が変わ
らなければ。 検出器から出力される信号量が変わらないＣ検出器１９
ａ〜１９ｄと固定子表面の突起５が重なる面積が変わら
ない）。したがって、検出器から出力さ几る信号の振幅
が一定となり、後段の信号処理が容易になる。同様に、
検出器１９ｆ〜Ｊ９ｉの長さＬ　も、ＬＹ＝ｎＴＸ　（
ｎ：整数）とすることが好ましい。尚１本実施例では、
固定子表面の突起５の平面形状が四角形である場合馨示
したが、突起５が他の平面形状（たとえば１円、楕円、
多角形等）であっても、これらが周期的に配置されてい
れば１本発明が応用できろことは明らかである。 〔第７の実施例〕 第１４図は第７の実施例を示す。このリニアパルスモー
タもＸ軸及びＹ軸方向に移動させるために突起５が両方
向に配列さｎている。検出器】９ｊは集積化さ几ており
、】６個の光電変換セルＳ１〜Ｓｒｓがマトリクス状に
配置さｎている。また。 検出器］９ｊの下部ビ照明するための装置Ｃ図示せず）
が設けられている。各セル８１〜Ｓ＋ｅは対向する固定
子］の表面の明暗に対応する出力乞発生する。この第】
４図ではセルＳ＋−８ｔｓがＸ方向とＹ方向とで共用さ
れているので、小型化、低コスト化が可能である。なお
、この例では検出器１９ｊの下部？全面照明したが、各
セル８１〜Ｓｒｓ　Ｋ対応して］６個の光弁を設け、各
セルＳ、〜Ｓ＋ｇは自己が属する光のから固定子Ｊに投
射された光の反射を検出するようにしてもよい。 〔第８の実施例〕 第】５図及び第】６図はＸ方向に可動子（図示せず）を
移動する場合の実施例χ示す。この実施例では検出Ｂ１
９ａ、］　９ｂ、］　９ｃ、］　９ｄがＸ軸方向に配列
されていると共に、各検出器］９ａ〜１９ｄはＹ軸方向
に配列された多数の光電変換セルＳを有している。各セ
ルＳによる固定子Ｊのパターンの読み取りは第】４図の
場合と実質的に同一原理である。各セルＳの出力にはコ
ンパレータ（図示せず）が接続されており、このコンパ
レータはしきい値電圧によって２値化出力を形成し、第
１５図及び第１６図で各セルＳ中に記入したように突起
５に対応して出力　Ｊ　を、非磁住物貢４に対応して出
力°Ｏ”を送出する。 検出器１９ａ〜１９ｄが一体化きれている可動子が固定
子】に対して正しくＸ軸方向に向いていれば、第１５図
に示す如く、同一の検出器１９ａ〜１９ｄ内のセルの出
力は同一になる。一方、第３６図のように可動子と共に
検出器］９ａ＝］９ｄに傾きＣ回転方向変位）が生じる
と、同一の検出器内のセルの出力に差が生じる。このよ
うな回転方向変位は、リニアパルスモータの税調現象の
始まりであるので、第１６図のような可動子の傾きの検
出に応答して脱調しないように可動子を制御する。 〔第９の実施例〕 第】７図及び第１８図に示す第９の実施例では。 Ｘ方向とＹ方向との両方に可動子（図示せず）を移動さ
せるために突起５が両方向に配列されている。また、Ｘ
軸検出器１９ａ〜１９ｄがＸ方向に配列され、各検出器
は突起５のピッチ以上の長さＬＸに渡って多数の光ｉｆ
換セルＳを含んでいる。 これ等のセルＳは第１５図の場合と同様に突起５を読み
取る。可動子と共に検出器】９ａ〜】９ｄの傾きが生じ
ると、第１８図に示す如く検出器Ｊ９ａ〜１９ｄに異常
が生じ、可動子の傾きを検知することができる。第１７
図及び第】８図には図示さｉていないが、Ｙ軸検出器も
第１３図と同様に設けられている。 〔変形例〕 本発明は上述の実施例に限定さハるものでなく。 例えば次の変形が可能なものである。 （１）第１９図に示す如く固定子】の磁性板部材３に一
方の１啄とし、こＩＬに対応して静電容量検出電極４０
を設げ、この電極４０を可動子２に固定し、板部材３と
電極４０との間の静電容ｌを測定することによって突起
５を検出してもよい。突起５の相互間には非磁性物質４
が充填さｎているので、検出端子４】、４２間の容−ｉ
Ｃは、５Ｔ動子２ビ定速走行させた時に第２０図に示す
如く変化し、突起５の検出が可能になる。 （２）　　固定子】、可動子２は第】図に示す構造に限
定されるものではない。相互の電磁作用によって直線移
動又は平面内移動するすべてのものに適用可能である。 要するに、公知の回転型のパルスモータ（ステップモー
タ）を平面的に展開したような構造を有する種々のリニ
アパルスモータに適用可能である。 ｆ３１　　Ｘ方向、Ｙ方向の両方に移動するものにおけ
る突起５の形状は、四角形に限ることなく一円形等であ
ってもよい。！た、磁性板部材３の基部（５）　　第１
３図、第１４図、及び第１７図の実施例における可動子
２は、第２１図に示す如くＸ軸方向駆動のための第１及
び第２のユニット７．８の池にＹ軸方向駆動のための第
３及び第４のユニット７ａ、８ａを有している。第３及
び第４のユニン）　７ａ、８ａは第１図に示す第１及び
第２のユニット７．８と実質的に同一に構成され、配列
方向のみが異なる。第１のユニット７は第２２図に示す
ように永久磁石ＩＩと一対の極片１２．１３とを有する
。第２、第３及び第４のユニット８．７ａ。 ８ａ　　の磁気回路構成部材も第２２図と同様に構成さ
れている。Ｙ軸方向駆動ユニン）７ａ、８ａ　　とＹ軸
方向配列突起５との関係は、Ｘ軸方向の場合と同一であ
る。この様な両方向夏動可能な装置において、Ｘ軸方向
の第１及び第２のユニット７．８によるＸ軸方向駆動と
、Ｙ軸方向の第３及び第４のユニット７ａ、８ａによる
Ｘ軸方向駆動とを別々に行って、両方向て択一的に可動
子を移動させてもよいし、第１〜第４のユニット７．８
．７ａ。 ８ａ　　を同時に駆動して合成方向（斜め方向）に移動
させてもよい。 （６）第１図の第１及び第２のユニット７．８をＸ軸方
向に所定間隔で繰返して配置し、これ等の多数のユニッ
トを固定子とし、第１図の固定子１即ち磁性部材３を移
動可能に支持してもよい。即ち、第１図における固定子
と可動子とを逆の関係にしてもよい。この場合は磁性部
材３が移動するので。 磁性部材３側に検出器１９を配置し、磁片１２、！、　
３　、　Ｉ　６．１７の繰返しパターンを検出する。 （７）第６図囚ｆＢ）には巻勝電流ｉム、ｉｓの単純な
交流波形を示したが、入力パルス数に対応させて階段状
に変化する近似正弦波を形成し、こｎを巻［１４，１８
に流すようにしてもよい。 （８）　　実施例ではノズル１０がら空気を固定子１に
向って噴射させ、これにより可動子２を固定子１上に空
気ベアリング効果で浮上させているが、可動子２を機械
的ベアリングによって支持するようにしてもよい。なお
、空気ベアリングで可動子２を浮上させる場合には、良
好に浮上させるために、可動子２の磁石１１、極片１２
．１３等の間に非磁性物質を充填し、可動子２の底面を
平担にする。 〔発明の効果〕 上述の如く１本発明によれば、磁性材の突起に対応した
固定子表面のパターンを検出する方式であるので、固定
子に対する可動子の位置関係を正確且つ容易に知ること
ができる。従って、電気的に指示された駆動１と実際の
移動量とのずれが。 脱調現象が生じる限界値？こえないようにフィードバッ
ク制御を行なうことが可能になる。この結果、従来のよ
５に大きなマージンを見込んで加速度を設定する必要が
無くなるので、高速かつ安定した位置決め動作が可能に
なる。また、上記移動全フィードバックによって、固定
子表面ノくターンの精度の範囲内で、確実な位置決め精
度を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例に係わるＩＪ　ニアパル
スモータ装置暑示す正面図。 第２図は第１図の装置の一部拡大平面図、第３図は第１
図の装置の検出器の１例ビ示す正面図。 第４図は第１図の装置のリニアパルスモータ装置に適用
する制御回路を示すブロック図。 第５図は第】図の装置におけるずｎｉとトルクの関係を
示す図。 第６図は第】図の装置の各部の状態を示す波形図、 第７図は第２の実施例のリニアパルスモータ装置の一部
を示す平面図。 第８図は第７図の検出器の出力を示す波形図。 第９図は第３の実施例のリニアパルスモータ装置の一部
を示す平面図。 第１０図は第４の実施例のリニアパルスモータ装置の一
部を示す平面図、 第３１図は第５の実施例のリニアパルスモータ装置の一
部を示す平面図、 第１２図は第コ」図の各噴出器の出力を示す波形図、 第１３図は第６の実施例のリニアパルスモータ装置の一
部を示す平面図、 第１４図はＷ、７の実施例のリニアパルスモータ装置の
一部を示す平面図、 第１５図及び第１６図は第８の実施例の＋７　ニアパル
スモータ装置の一部を示す平面図。 第１７図及び第１８図は第９の実施例のＩＪ　ニアパル
スモータ装置の一部を示す平面図。 第１９図は変形例の、検出器を示す正面図。 第２０図は第１９図の検出器出力の容量変化を示す波形
図である。 第２１図は、第１３図、第１４図及び第１７図の可動子
の構成を示す平面図、 第２２図は、第１図及び第２１図の駆動ユニットの磁気
回路部材を示す斜視図である。 １・・・固定子、２・・・可動子、３・・・磁性板部材
、４・・・非磁性物質、５・・・突起、１９・・・検出
器。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）少なくとも１方向に所定間隔で複数個の突起が配
   設されている磁性材料を含み、前記突起に対応した光学
   又は電気又は磁気的パターンを表面に有している固定子
   と、 前記磁性材料の前記突起との相互関係に基づいて前記固
   定子に対して平行な方向に変位する可動子と、 前記固定子の光学又は電気又は磁気的パターンを検出す
   るように構成され、前記可動子に支持されている検出器
   と、 から成るリニアモータ装置。