JPS63148831U - - Google Patents

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JPS63148831U
JPS63148831U JP4008387U JP4008387U JPS63148831U JP S63148831 U JPS63148831 U JP S63148831U JP 4008387 U JP4008387 U JP 4008387U JP 4008387 U JP4008387 U JP 4008387U JP S63148831 U JPS63148831 U JP S63148831U
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JP
Japan
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output voltage
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servo motor
gear pump
detected
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JP4008387U
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【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の構成を示すブロツク図、第2
図は本考案の一実施例の構成を示すブロツク図、
第3図は同上実施例の自己診断ルーチンを示すフ
ローチヤート、第4図は精密流量計の概要を示す
構成図である。 1…流体流路、7…タコジエネレータ、3…ギ
ヤポンプ、8…バイパス通路、5…パルス発生器
、9…ピストン、6…サーボモータ、10…光源
、11…光電素子、23…スイツチング制御回路
、12…増幅器、24…マイクロコンピユータ、
21…交流電源、30A〜30D…警報灯、22
…AC/DC変換器。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 測定流体流路中に介装されるギヤポンプと、該
    ギヤポンプをバイパスして前記測定流体流路に接
    続されたバイパス通路と、該バイパス通路に介装
    されギヤポンプ上流側と下流側との差圧に応じて
    移動するピストンと、前記ギヤポンプを駆動する
    サーボモータと、サーボモータに連動して電圧を
    発生するタコジエネレータと、前記ピストンの移
    動量を検出し電圧値として出力する移動量検出手
    段と、前記タコジエネレータからの発生電圧と前
    記移動量検出手段からの検出電圧との差圧によつ
    て前記サーボモータを駆動する駆動制御手段と、
    ギヤポンプの駆動量に比例した数のパルスを発生
    するパルス発生器とを備え、パルス発生数によつ
    て測定流体の流量を測定するようにした精密流量
    計のサーボモータの駆動特性を自己診断する装置
    において、 前記サーボモータを無負荷で駆動させるモータ
    駆動手段と、サーボモータの無負荷駆動時の回転
    数を前記パルス発生器からの出力パルスに基づい
    て検出するモータ回転数検出手段と、 前記モータ回転数検出手段によつて検出された
    回転数を基準値と比較することによつて異常判定
    を行うモータ回転数診断手段と、 前記サーボモータの無負荷駆動時に発生するタ
    コジエネレータの直流出力電圧を検出する直流出
    力電圧検出手段と、 前記直流出力電圧検出手段によつて検出された
    タコジエネレータの直流出力電圧を基準値と比較
    して異常判定を行う直流出力電圧診断手段と、 同じくサーボモータの無負荷駆動時に発生する
    タコジエネレーコの交流出力電圧成分を検出する
    交流出力電圧検出手段と、 前記交流出力電圧検出手段によつて検出された
    タコジエネレータの交流出力電圧を基準値と比較
    して異常判定を行う交流出力電圧診断手段と、 前記直流出力電圧検出手段によつて検出された
    直流出力電圧に対する前記交流出力電圧検出手段
    によつて検出された交流出力電圧の比であるリツ
    プル率を演算するリツプル率演算手段と、 前記リツプル率演算手段によつて演算されたリ
    ツプル率を基準値と比較して異常判定を行うリツ
    プル率診断手段と、 前記各診断手段からの診断結果を通報する通報
    手段とを備えたことを特徴とする精密流量計の自
    己診断装置。
JP4008387U 1987-03-20 1987-03-20 Pending JPS63148831U (ja)

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JPS63148831U true JPS63148831U (ja) 1988-09-30

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007309727A (ja) * 2006-05-17 2007-11-29 Oval Corp 副流量計を用いたサーボ型容積流量計
WO2008096665A1 (ja) 2007-02-05 2008-08-14 Oval Corporation サーボ型容積流量計における被測定流体の流れと差圧検出とに係る経路構造
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