JPS63134566A - Al↓2O↓3−TiC焼結体の製造方法 - Google Patents
Al↓2O↓3−TiC焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPS63134566A JPS63134566A JP61280508A JP28050886A JPS63134566A JP S63134566 A JPS63134566 A JP S63134566A JP 61280508 A JP61280508 A JP 61280508A JP 28050886 A JP28050886 A JP 28050886A JP S63134566 A JPS63134566 A JP S63134566A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintered body
- present
- tic
- hot press
- spacer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 13
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 6
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 5
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 4
- 238000009415 formwork Methods 0.000 description 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 101100004202 Arabidopsis thaliana BBM gene Proteins 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000011268 mixed slurry Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001272 pressureless sintering Methods 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
■ 発明の背景
技術分野
本発明はA 120s −、T i C焼結体の製造方
法に関する。
法に関する。
先行技術とその問題点
Aj220.−T i C焼結体は、近年、磁気ヘッド
スライダ材料として注目されている(特開昭55−16
3665号等)。
スライダ材料として注目されている(特開昭55−16
3665号等)。
そして、このようなセラミック材料の焼結に際しては、
近年、加圧焼結法が登場しており、このような焼結法は
、常圧焼結法に比べて、l)焼結時の緻密化温度が低下
すること、2)焼結温度の低下に伴い均一で粒子径が小
さく、かつ理論密度をもった焼結体を作成できるという
利点が挙げられる。
近年、加圧焼結法が登場しており、このような焼結法は
、常圧焼結法に比べて、l)焼結時の緻密化温度が低下
すること、2)焼結温度の低下に伴い均一で粒子径が小
さく、かつ理論密度をもった焼結体を作成できるという
利点が挙げられる。
このような加圧焼結法の1つとしてホットプレス法があ
る。
る。
ホットプレス法は粉体を一軸加圧する方法であり、これ
を実施するためのホットプレス装置では、パンチ棒と型
枠とが要部をなし、型枠にはスリーブを設けるのが一般
的であり、また、複数の焼結体(試料)を同時に焼成す
るためスペーサーを用いるのが一般的である。
を実施するためのホットプレス装置では、パンチ棒と型
枠とが要部をなし、型枠にはスリーブを設けるのが一般
的であり、また、複数の焼結体(試料)を同時に焼成す
るためスペーサーを用いるのが一般的である。
そして、こわらの材料としてもっとも多く使用されてい
るのが黒鉛である。
るのが黒鉛である。
しかし、A1□03−TiC系材料では、試料と直接接
するスリーブやスペーサーに黒鉛を用いた場合、焼成後
の試料の離型性が充分でない。
するスリーブやスペーサーに黒鉛を用いた場合、焼成後
の試料の離型性が充分でない。
ところで一般のセラミック材料では、離型性を良好にす
るため、スリーブ等にSiC、アルミナ、BN等が用い
られる。
るため、スリーブ等にSiC、アルミナ、BN等が用い
られる。
しかし、Aj!203−TiC系材料では、これらの材
質でも離型性が良くない。
質でも離型性が良くない。
唯−BNは離型性が良好であるが、材料的に高価な上、
結着材と混合して成形されているため、非常にもろく実
用に耐えない。
結着材と混合して成形されているため、非常にもろく実
用に耐えない。
■ 発明の目的
本発明の目的は、ホットプレス装置において焼成後のA
j2203 T i C焼結体との離型性および耐
久性を改善したセラミック材料の製造方法を提供するこ
とにある。
j2203 T i C焼結体との離型性および耐
久性を改善したセラミック材料の製造方法を提供するこ
とにある。
■ 発明の開示
このような目的は下記の本発明によって達成される。
すなわち、本発明はAIl、、03−TiC焼結体をホ
ットプレス焼成する際、ホットプレス装置のスペーサー
および/またはスリーブにBNをコーティングしたカー
ボンを使用することを特徴とするAj!203−TiC
焼結体の製造方法である。
ットプレス焼成する際、ホットプレス装置のスペーサー
および/またはスリーブにBNをコーティングしたカー
ボンを使用することを特徴とするAj!203−TiC
焼結体の製造方法である。
■ 発明の具体的構成
以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。
本発明のAJi!203−Ti C焼結体の製造方法に
おいては、このセラミック材料(試料)をホットプレス
焼成する際、ホットプレス装置のスペーサーおよび/ま
たはスリーブにBNをコーティングしたカーボンを使用
する。
おいては、このセラミック材料(試料)をホットプレス
焼成する際、ホットプレス装置のスペーサーおよび/ま
たはスリーブにBNをコーティングしたカーボンを使用
する。
BNをコーティングしたカーボンを使用するのは、焼成
後の試料が容易に離型できるからである。
後の試料が容易に離型できるからである。
本発明におけるカーボンとは黒鉛をいう。
またBNをカーボンにコーティングするには、BNをア
セトン、エタノール、■、1゜1−トリクロロエタン等
でスラリー化したものをスプレー化するなどして用いれ
ばよい。
セトン、エタノール、■、1゜1−トリクロロエタン等
でスラリー化したものをスプレー化するなどして用いれ
ばよい。
BNとしては、1〜5−程度の粒径のものを用いわばよ
い。
い。
BN層の厚さは10〜100−程度する。
以下、本発明の製造方法を図面を用いて説明する。
第1図は、本発明の製造方法に好ましく用いられるホッ
トプレス装置の1態様を示す断面図である。
トプレス装置の1態様を示す断面図である。
第1図に示されるように、本発明に用いられるホットプ
レス装置lは上部パンチ棒1!、下部パンチ棒12、型
枠13、スリーブ14、およびスペーサー15を有する
。
レス装置lは上部パンチ棒1!、下部パンチ棒12、型
枠13、スリーブ14、およびスペーサー15を有する
。
そして、試料2は、型枠13との直接の接触を回避する
ためスリーブ14を介し、またスペーサー15を介して
スペーサー15と交互に複数枚重ねられて型枠13内に
設置され、上部パンチ棒11および下部パンチ棒12に
よって上下方向から加圧されつつ、同時に加熱される。
ためスリーブ14を介し、またスペーサー15を介して
スペーサー15と交互に複数枚重ねられて型枠13内に
設置され、上部パンチ棒11および下部パンチ棒12に
よって上下方向から加圧されつつ、同時に加熱される。
この場合スリーブ14は、第1図に示されるように、
テーパーを有することが好ましい。 着脱が容易になる
からである。
テーパーを有することが好ましい。 着脱が容易になる
からである。
なお、スペーサー、スリーブ等の具体的な大きさについ
ては型枠、パンチ棒等の具体的な大きさとともに所望と
する試料の大きさに応じて適宜決定すればよい。
ては型枠、パンチ棒等の具体的な大きさとともに所望と
する試料の大きさに応じて適宜決定すればよい。
加熱方法は、一般に電気加熱式を適用すればよいが、具
体的には、抵抗式間接加熱、高周波式間接加熱、抵抗通
電式直接加熱、高周波式直接加熱等、適宜目的に応じて
選択すればよい。
体的には、抵抗式間接加熱、高周波式間接加熱、抵抗通
電式直接加熱、高周波式直接加熱等、適宜目的に応じて
選択すればよい。
加熱温度は1500〜1800℃程度とする。
加圧は、一般に油圧加圧方式を適用すればよいが、具体
的には、第1図に示すような復動式の他、単動式、側圧
式等、適宜目的に応じて選択すればよい。
的には、第1図に示すような復動式の他、単動式、側圧
式等、適宜目的に応じて選択すればよい。
加圧圧力は200〜300にg/C12程度とする。
本発明の製造方法を通用するAx2 o、、−TiC焼
結体は、所定の割合のALL203の粉末とTiCの粉
末との混合物にGa、Ba、Ce、Nb、Ti、Mnの
酸化物等の1種以上を適宜添加して焼成してなるもので
あり、主として磁気へラドスライダ材料として用いられ
るものである。
結体は、所定の割合のALL203の粉末とTiCの粉
末との混合物にGa、Ba、Ce、Nb、Ti、Mnの
酸化物等の1種以上を適宜添加して焼成してなるもので
あり、主として磁気へラドスライダ材料として用いられ
るものである。
その詳細については、特願昭59−278810号、同
61−144182号、同61−149225号、同6
1−150531号などに記載されている。
61−144182号、同61−149225号、同6
1−150531号などに記載されている。
■ 発明の具体的作用効果
本発明によれば、AJ2□O,−TiC焼結体をホット
プレス焼成する際、ホットプレス装置のスペーサーおよ
び/またはスリーブにBNをコーティングしたカーボン
を使用しているため、焼成後のセラミック材料と、スペ
ーサーおよびスリーブとの離型性が改善されたAIL2
03−Ti C焼結体の製造方法が得られる。
プレス焼成する際、ホットプレス装置のスペーサーおよ
び/またはスリーブにBNをコーティングしたカーボン
を使用しているため、焼成後のセラミック材料と、スペ
ーサーおよびスリーブとの離型性が改善されたAIL2
03−Ti C焼結体の製造方法が得られる。
このような効果は、コーティング材料を他の材質、例え
ばS i C,An、03等に換えたときには実現しな
い。
ばS i C,An、03等に換えたときには実現しな
い。
■ 発明の具体的実施例
以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明をさらに詳
細に説明する。
細に説明する。
実施例
平均粒径0.5pのAILz 03 (純度99.9
%)粉末と平均粒径0.7−のTiC(純度99%、炭
素含有量19%以上でその1%以下は遊離コクエンであ
る)とを重量比で7=3の割合で混合したもの100重
量部に対してGaOを2重量部添加し、ボールミルによ
り20時時間式混合を行った。
%)粉末と平均粒径0.7−のTiC(純度99%、炭
素含有量19%以上でその1%以下は遊離コクエンであ
る)とを重量比で7=3の割合で混合したもの100重
量部に対してGaOを2重量部添加し、ボールミルによ
り20時時間式混合を行った。
混合したスラリーを乾燥造粒し、第1図に示すような本
発明の装置1を用いてホットプレス焼成を行った。 加
熱は高周波式間接加熱によった。
発明の装置1を用いてホットプレス焼成を行った。 加
熱は高周波式間接加熱によった。
ただし、焼成雰囲気は真空とし、焼成温度は1500〜
1800℃、プレス圧力は200〜300 にg/【U
fとした。
1800℃、プレス圧力は200〜300 にg/【U
fとした。
装置1において、スリーブ14およびスペーサー15に
はBNをコーティングした黒鉛を用いた。 BNコー
ティング層の厚さは20−とした。 この製造方法をル
ート1とする。
はBNをコーティングした黒鉛を用いた。 BNコー
ティング層の厚さは20−とした。 この製造方法をル
ート1とする。
なお、BNのコーティングにはBNをアセトンでスラリ
ー化したものをスプレーすることにより行った。
ー化したものをスプレーすることにより行った。
また、上記においてBNのかわりに5iC1Si3N4
またはAj2□03をコーティング層として用いたもの
を使用する製造方法をルート2.3.4とする。
またはAj2□03をコーティング層として用いたもの
を使用する製造方法をルート2.3.4とする。
さらに、コーティング層なしのものを使用する製造方法
をルート5とする。 また、BN板を用いた場合をルー
ト6とする。 BN板は、BN92%、残部B2O3か
らなるものである。
をルート5とする。 また、BN板を用いた場合をルー
ト6とする。 BN板は、BN92%、残部B2O3か
らなるものである。
これらのルート1,2,3,4,5.6につき離型性お
よび耐久性を評価した。
よび耐久性を評価した。
(1)Ill型性
Al2O2−TiC焼結体とスペーサとが強固に密着し
た部分(面積比%)を測定した。
た部分(面積比%)を測定した。
(2)耐久性
くりかえし使用に対する形状変化(カドのカケ)および
割れを調べた。
割れを調べた。
結果を以下に示す。
製造方法 コーティング層 離型性 耐久性ルートl
BN 0% 10回割れ(比 較)
(カドに100−〜2LoLl程度のカ
ケ) これらの結果から本発明の効果は明らかである。
BN 0% 10回割れ(比 較)
(カドに100−〜2LoLl程度のカ
ケ) これらの結果から本発明の効果は明らかである。
第1図は本発明のAl1.03−Ti C焼結体の製造
方法に用いられるホットプレス装置の1悪様を示す部分
断面図である。 符号の説明 l・−ホットプレス装置、11−・上パンチ棒、12−
・・下バンチ棒、 13・−型枠、14−・・スリ
ーブ、 15−・スペーサー、2・・・試料 出願人 ティーディーケイ株式会社 代理人 弁理士、 石 井 陽 −fFIG、1
方法に用いられるホットプレス装置の1悪様を示す部分
断面図である。 符号の説明 l・−ホットプレス装置、11−・上パンチ棒、12−
・・下バンチ棒、 13・−型枠、14−・・スリ
ーブ、 15−・スペーサー、2・・・試料 出願人 ティーディーケイ株式会社 代理人 弁理士、 石 井 陽 −fFIG、1
Claims (1)
- (1)Al_2O_3−TiC焼結体をホットプレス焼
成する際、ホットプレス装置のスペーサーおよび/また
はスリーブにBNをコーティングしたカーボンを使用す
ることを特徴とする Al_2O_3−TiC焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61280508A JPS63134566A (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | Al↓2O↓3−TiC焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61280508A JPS63134566A (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | Al↓2O↓3−TiC焼結体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63134566A true JPS63134566A (ja) | 1988-06-07 |
Family
ID=17626071
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61280508A Pending JPS63134566A (ja) | 1986-11-25 | 1986-11-25 | Al↓2O↓3−TiC焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63134566A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1304324C (zh) * | 2004-05-21 | 2007-03-14 | Tdk株式会社 | 磁头滑块用材料、磁头滑块及磁头滑块用材料的制造方法 |
WO2011045989A1 (ja) * | 2009-10-12 | 2011-04-21 | 学校法人龍谷大学 | 化合物半導体薄膜の製造方法、太陽電池および化合物半導体薄膜製造装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5849166A (ja) * | 1981-09-17 | 1983-03-23 | 株式会社大一商会 | パチンコ機 |
-
1986
- 1986-11-25 JP JP61280508A patent/JPS63134566A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5849166A (ja) * | 1981-09-17 | 1983-03-23 | 株式会社大一商会 | パチンコ機 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1304324C (zh) * | 2004-05-21 | 2007-03-14 | Tdk株式会社 | 磁头滑块用材料、磁头滑块及磁头滑块用材料的制造方法 |
WO2011045989A1 (ja) * | 2009-10-12 | 2011-04-21 | 学校法人龍谷大学 | 化合物半導体薄膜の製造方法、太陽電池および化合物半導体薄膜製造装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Guo et al. | Carbon fibre-reinforced silicon nitride composite | |
ATE16275T1 (de) | Dichte formkoerper aus polykristallinem, hexagonalem bornitrid und verfahren zu ihrer herstellung durch isostatisches heisspressen. | |
JPH05506422A (ja) | 反応焼結したムライト含有セラミック成形体、該成形体の製造方法および該成形体の使用法 | |
JPS63134566A (ja) | Al↓2O↓3−TiC焼結体の製造方法 | |
Claussen et al. | Grain‐size dependence of fracture energy in ceramics | |
EP0610149A1 (en) | Toughened glass ceramic substrates for semiconductor devices subjected to oxidizing atmospheres during sintering | |
JPH0653615B2 (ja) | セラミツク材料の製造方法 | |
JPS61281088A (ja) | 機械加工性に優れたセラミツク複合体 | |
JPS5888169A (ja) | 炭化珪素−窒化珪素系成形品の製法 | |
JPS61117161A (ja) | 窒化アルミニウムセラミツクスの製造方法 | |
CN114853482B (zh) | 一种高韧性氮化硅纳米线/氮化硅层状陶瓷及其制备方法 | |
JPH05186285A (ja) | 熱処理用基板とその製造方法 | |
Ezis et al. | Hot pressing | |
JP3182094B2 (ja) | セラミックの製造方法 | |
JP4721486B2 (ja) | 低抵抗セラミックス及びこれを用いた磁気ディスク基板用保持部材並びに磁気ディスク装置 | |
TW199125B (ja) | ||
KR0140267B1 (ko) | 고인성 질화규소 소결체 및 그 제조방법 | |
JPS59107980A (ja) | 薄板状セラミツクス焼結体の製造方法 | |
JP2718777B2 (ja) | 反応焼結セラミックス部材の製造方法 | |
JPS634951Y2 (ja) | ||
JP3027215B2 (ja) | 窒化珪素結合SiC耐火物 | |
JPS61286285A (ja) | 高強度セラミツクス | |
JPS6259575A (ja) | 窒化アルミニウム焼結体の製法 | |
JPS60155571A (ja) | 普通焼成法による炭窒化チタン系セラミツクスの製造方法 | |
JPS6314317Y2 (ja) |