JPS63133434A - マグネトロン - Google Patents
マグネトロンInfo
- Publication number
- JPS63133434A JPS63133434A JP27959786A JP27959786A JPS63133434A JP S63133434 A JPS63133434 A JP S63133434A JP 27959786 A JP27959786 A JP 27959786A JP 27959786 A JP27959786 A JP 27959786A JP S63133434 A JPS63133434 A JP S63133434A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- magnetron
- insulating substrate
- circular hole
- circumferentially divided
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Microwave Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、マグネトロンに関するものであり、特に小型
化、薄型化に適したマグネトロンに関するものである。
化、薄型化に適したマグネトロンに関するものである。
（従来の技術）
超高周波電力を効率よく発振できるマグネトロンは、中
央においた熱陰極の周辺に周期的に配置した多数のベー
ンなどからなる陽極を配設し、熱陰極と陽極の間に電圧
を印加するとともに、電界と直交する磁界を印加して動
作させる。この分野の技術は、ジ−ビーコリンズ（Ｇ、
Ｂ、Ｃｏ１１ｉｎｓ３編ｒＭｉｃｒｏｗａｖｅ Ｍａｇ
ｎｅｔｒｏｎｓＪ ＭｃＧｒａｗ−Ｈｉｌｌ Ｂｏｏ
ｋＣｏＩＩｌｐａｎｙ、 Ｉｎｃ、 １９４８年出版０
単行本に体系的に記述されている。マグネトロンは電子
調理器等に広く応用されており、それぞれの仕様に合わ
せて種々の構造が提案されている。この分野の従来技術
は、ジョセフエフハル（Ｊｏｓｅｐｈ Ｆ、 Ｈｕｌｌ
）他により ｒｌ（ｉｇｈ−Ｐｏｗｅｒ Ｉｎｔｅ
ｒｄｉｇｉｔａｌ ＭａｇｎｅｔｒｏｎｓＪＰｒｏｃ
ｅｅｄｉｎｇｓ ｏｆ ｔｈｅ １．Ｒ，Ｅ １９４
８年１１月号の第１３５７ページから第１３６３ページ
に記載されている。
央においた熱陰極の周辺に周期的に配置した多数のベー
ンなどからなる陽極を配設し、熱陰極と陽極の間に電圧
を印加するとともに、電界と直交する磁界を印加して動
作させる。この分野の技術は、ジ−ビーコリンズ（Ｇ、
Ｂ、Ｃｏ１１ｉｎｓ３編ｒＭｉｃｒｏｗａｖｅ Ｍａｇ
ｎｅｔｒｏｎｓＪ ＭｃＧｒａｗ−Ｈｉｌｌ Ｂｏｏ
ｋＣｏＩＩｌｐａｎｙ、 Ｉｎｃ、 １９４８年出版０
単行本に体系的に記述されている。マグネトロンは電子
調理器等に広く応用されており、それぞれの仕様に合わ
せて種々の構造が提案されている。この分野の従来技術
は、ジョセフエフハル（Ｊｏｓｅｐｈ Ｆ、 Ｈｕｌｌ
）他により ｒｌ（ｉｇｈ−Ｐｏｗｅｒ Ｉｎｔｅ
ｒｄｉｇｉｔａｌ ＭａｇｎｅｔｒｏｎｓＪＰｒｏｃ
ｅｅｄｉｎｇｓ ｏｆ ｔｈｅ １．Ｒ，Ｅ １９４
８年１１月号の第１３５７ページから第１３６３ページ
に記載されている。
第６図は、従来のマグネトロンの陽極の構造を示したも
のである。マグネトロンの陽極は、複数枚のベーン１１
を有する円筒構造で、中心空間部１２においてマグネト
ロン発振を行なう。この電極は、通常πモード発振が安
定に行なわれるように、一つ置きのベーン１１の間をス
トラッピングリング１３で連結した構造になっている。
のである。マグネトロンの陽極は、複数枚のベーン１１
を有する円筒構造で、中心空間部１２においてマグネト
ロン発振を行なう。この電極は、通常πモード発振が安
定に行なわれるように、一つ置きのベーン１１の間をス
トラッピングリング１３で連結した構造になっている。
（発明が解決しようとする問題点）
この電極は、銅で構成されているが、構造が複雑でかつ
高度の加工精度が要求されるため、コストが高い。一方
、電子調理器用として、低コストでかつ小型化、薄型化
の要請が強いが、上記構成のものはその要請に応えるこ
とができなかった。
高度の加工精度が要求されるため、コストが高い。一方
、電子調理器用として、低コストでかつ小型化、薄型化
の要請が強いが、上記構成のものはその要請に応えるこ
とができなかった。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、従来機械加工で作製されていたマグネトロン
の陽極を、半導体集積回路の形成に広く用いられている
プレナー技術を適用して加工し、低コスト化、小型化、
薄型化を実現しようとするものである。
の陽極を、半導体集積回路の形成に広く用いられている
プレナー技術を適用して加工し、低コスト化、小型化、
薄型化を実現しようとするものである。
（実施°例）
第１図は、本発明の一実施例を示したもので、１は中心
部に円孔２を有する電気絶縁性基板、３はこの基板−主
面に、円孔２の縁部から放射状に形成された複数の円周
分割電極である。このように構成されたものを陽極片と
し、これを複数枚重ね合わせて陽極を構成する。基板１
の中心円孔部が発振空間となる。電気絶縁性基板１とし
ては、表面が平滑な高真空用耐熱材であればよく、高純
度アルミナ、ジルコニアなどを用いる。円周分割電極３
は、スクリーン印刷あるいはフォトリソグラフィ技術な
どの半導体プレナー技術を適用して形成する。第１図で
は、４分割の円周分割電極を示しているが、フォトリソ
グラフィ技術によると円周分割電極の幅をミクロン単位
にまで狭く、高精度に加工することができるので、小型
化、薄型化に有効であるとともに、量産性に優れている
ため低コスト化が図れる。
部に円孔２を有する電気絶縁性基板、３はこの基板−主
面に、円孔２の縁部から放射状に形成された複数の円周
分割電極である。このように構成されたものを陽極片と
し、これを複数枚重ね合わせて陽極を構成する。基板１
の中心円孔部が発振空間となる。電気絶縁性基板１とし
ては、表面が平滑な高真空用耐熱材であればよく、高純
度アルミナ、ジルコニアなどを用いる。円周分割電極３
は、スクリーン印刷あるいはフォトリソグラフィ技術な
どの半導体プレナー技術を適用して形成する。第１図で
は、４分割の円周分割電極を示しているが、フォトリソ
グラフィ技術によると円周分割電極の幅をミクロン単位
にまで狭く、高精度に加工することができるので、小型
化、薄型化に有効であるとともに、量産性に優れている
ため低コスト化が図れる。
第２図は、本発明の他の実施例を示したもので、電気絶
縁性基板１の両面に、基板を挟んで互いに相対すること
のないように位置をずらせた円周分割電極３，４をそれ
ぞれ設けたものである。このように、基板の両面に形成
すると、円周分割電圧の分割数をさらに増加させること
ができ、小型化に、より有効である。
縁性基板１の両面に、基板を挟んで互いに相対すること
のないように位置をずらせた円周分割電極３，４をそれ
ぞれ設けたものである。このように、基板の両面に形成
すると、円周分割電圧の分割数をさらに増加させること
ができ、小型化に、より有効である。
さらに、従来から加工性に問題があったストラッピング
用電極も、このプレナー技術を適用することにより、加
工性が著しく向上する。即ち、第３図及び第４図に示す
本発明の他の実施例のように、ストラッピング用電極５
を円周分割電極３に。
用電極も、このプレナー技術を適用することにより、加
工性が著しく向上する。即ち、第３図及び第４図に示す
本発明の他の実施例のように、ストラッピング用電極５
を円周分割電極３に。
ストラッピング用電極６を円周分割電極４にそれぞれ設
ける。このストラッピング用電極５，６もスクリーン印
刷あるいはフォトリソグラフィ技術で高精度に形成する
ことができ、生産性が高い。
ける。このストラッピング用電極５，６もスクリーン印
刷あるいはフォトリソグラフィ技術で高精度に形成する
ことができ、生産性が高い。
第５図は、本発明のさらに他の実施例を示したもので、
電気絶縁性基板１の中心円孔２の側面に。
電気絶縁性基板１の中心円孔２の側面に。
円周分割電極３，４を延長した部分３ａ、４ａをそれぞ
れ設けたものである。これにより、発振がより安定化す
ることを確認した。この円孔側面に延長部分３ａ、４ａ
を形成することも、勿論プレナー技術が適用できる。
れ設けたものである。これにより、発振がより安定化す
ることを確認した。この円孔側面に延長部分３ａ、４ａ
を形成することも、勿論プレナー技術が適用できる。
本発明のマグネトロンで、円周分割電極（陽極）の分割
数を１０２幅を２ｍｍ、陽極内側半径（電気絶縁性基板
の中心円孔２の半径）を４．５ｎｍ、磁界１７５０Ｇに
設定し、陽極電圧３５００ Ｖを印加したとき。
数を１０２幅を２ｍｍ、陽極内側半径（電気絶縁性基板
の中心円孔２の半径）を４．５ｎｍ、磁界１７５０Ｇに
設定し、陽極電圧３５００ Ｖを印加したとき。
２．４５ＧＨｚの発振が確認された。この場合、電気絶
縁性基板１として、厚さ０．５＋＋ｙｎの高純度アルミ
ナを用い、陽極片を２０枚積層して、マグネトロン用の
陽極とした。
縁性基板１として、厚さ０．５＋＋ｙｎの高純度アルミ
ナを用い、陽極片を２０枚積層して、マグネトロン用の
陽極とした。
（発明の効果）
以上説明したように、本発明によれば、マグネトロン用
陽極を、機械加工によらず半導体プレナ−技術を適用し
て作製するので、マグネトロンの小型化、薄型化、低コ
ストに極めて有効であり、かつこの種の発振管の加工可
能範囲を著しく拡大し、高効率、低電圧発振の実現など
につながるものとして、その工業的価値は非常に高い。
陽極を、機械加工によらず半導体プレナ−技術を適用し
て作製するので、マグネトロンの小型化、薄型化、低コ
ストに極めて有効であり、かつこの種の発振管の加工可
能範囲を著しく拡大し、高効率、低電圧発振の実現など
につながるものとして、その工業的価値は非常に高い。
第１図ないし第５図は、それぞれ本発明の実施例におけ
るマグネトロン用陽極片の構成図、第６図は、従来例の
マグネトロン用陽極の構成図である。 １・・・電気絶縁性基板、 ２・・・円孔、 ３゜４・
・・円周分割電極、 ３ａ、 ４ａ・・・延長部分、５
．６・・・ストラッピング用電極。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第 １ 図 １・・・ 電大胞縁也茶扱 ２・・・ ）旧 コし ３・・・ 凋用分！・１屯埼 第２図 ４・・巴司分オ・）電極 第３図 ５ ・・・ 又トラッビンクパ則屯本き第４区 ６ ・・ ストクツ上０ング）ｆ１電極第５図
るマグネトロン用陽極片の構成図、第６図は、従来例の
マグネトロン用陽極の構成図である。 １・・・電気絶縁性基板、 ２・・・円孔、 ３゜４・
・・円周分割電極、 ３ａ、 ４ａ・・・延長部分、５
．６・・・ストラッピング用電極。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第 １ 図 １・・・ 電大胞縁也茶扱 ２・・・ ）旧 コし ３・・・ 凋用分！・１屯埼 第２図 ４・・巴司分オ・）電極 第３図 ５ ・・・ 又トラッビンクパ則屯本き第４区 ６ ・・ ストクツ上０ング）ｆ１電極第５図
Claims (6)
- （１）マグネトロン用陽極が、電気絶縁性基板の一主面
に複数の円周分割電極が形成された陽極片を複数枚重ね
てなることを特徴とするマグネトロン。 - （２）円周分割電極は、ストラッピング用電極により互
いに接続されていることを特徴とする特許請求の範囲第
（１）項記載のマグネトロン。 - （３）電気絶縁性基板が中央部に円孔を有し、円周分割
電極が前記円孔側面まで延長されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第（１）項又は第（２）項記載のマグ
ネトロン。 - （４）マグネトロン用陽極が、電気絶縁性基板の両主面
にその基板を挟んで互いに対向することのないように位
置をずらせてそれぞれ複数の円周分割電極が形成された
陽極片を複数枚重ねてなることを特徴とするマグネトロ
ン。 - （５）円周分割電極は、前記電気絶縁性基板の各面にお
いてそれぞれストラッピング用電極により互いに接続さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第（４）項記
載のマグネトロン。 - （６）電気絶縁性基板が中央部に円孔を有し、円周分割
電極が前記円孔側面まで延長されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第（４）項又は第（５）項記載のマグ
ネトロン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27959786A JPS63133434A (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 | マグネトロン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27959786A JPS63133434A (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 | マグネトロン |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63133434A true JPS63133434A (ja) | 1988-06-06 |
Family
ID=17613201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27959786A Pending JPS63133434A (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 | マグネトロン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63133434A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5007008B2 (ja) * | 1999-12-21 | 2012-08-22 | イー２ヴイ テクノロジーズ （ユーケイ） リミテッド | マグネトロンアノード |
-
1986
- 1986-11-26 JP JP27959786A patent/JPS63133434A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5007008B2 (ja) * | 1999-12-21 | 2012-08-22 | イー２ヴイ テクノロジーズ （ユーケイ） リミテッド | マグネトロンアノード |
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