JPS63133434A - マグネトロン - Google Patents
マグネトロンInfo
- Publication number
- JPS63133434A JPS63133434A JP27959786A JP27959786A JPS63133434A JP S63133434 A JPS63133434 A JP S63133434A JP 27959786 A JP27959786 A JP 27959786A JP 27959786 A JP27959786 A JP 27959786A JP S63133434 A JPS63133434 A JP S63133434A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- magnetron
- insulating substrate
- circular hole
- circumferentially divided
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract description 7
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 abstract description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 abstract description 3
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 9
- 238000010411 cooking Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Microwave Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、マグネトロンに関するものであり、特に小型
化、薄型化に適したマグネトロンに関するものである。
化、薄型化に適したマグネトロンに関するものである。
(従来の技術)
超高周波電力を効率よく発振できるマグネトロンは、中
央においた熱陰極の周辺に周期的に配置した多数のベー
ンなどからなる陽極を配設し、熱陰極と陽極の間に電圧
を印加するとともに、電界と直交する磁界を印加して動
作させる。この分野の技術は、ジ−ビーコリンズ(G、
B、Co11ins3編rMicrowave Mag
netronsJ McGraw−Hill Boo
kCoIIlpany、 Inc、 1948年出版0
単行本に体系的に記述されている。マグネトロンは電子
調理器等に広く応用されており、それぞれの仕様に合わ
せて種々の構造が提案されている。この分野の従来技術
は、ジョセフエフハル(Joseph F、 Hull
)他により rl(igh−Power Inte
rdigital MagnetronsJProc
eedings of the 1.R,E 194
8年11月号の第1357ページから第1363ページ
に記載されている。
央においた熱陰極の周辺に周期的に配置した多数のベー
ンなどからなる陽極を配設し、熱陰極と陽極の間に電圧
を印加するとともに、電界と直交する磁界を印加して動
作させる。この分野の技術は、ジ−ビーコリンズ(G、
B、Co11ins3編rMicrowave Mag
netronsJ McGraw−Hill Boo
kCoIIlpany、 Inc、 1948年出版0
単行本に体系的に記述されている。マグネトロンは電子
調理器等に広く応用されており、それぞれの仕様に合わ
せて種々の構造が提案されている。この分野の従来技術
は、ジョセフエフハル(Joseph F、 Hull
)他により rl(igh−Power Inte
rdigital MagnetronsJProc
eedings of the 1.R,E 194
8年11月号の第1357ページから第1363ページ
に記載されている。
第6図は、従来のマグネトロンの陽極の構造を示したも
のである。マグネトロンの陽極は、複数枚のベーン11
を有する円筒構造で、中心空間部12においてマグネト
ロン発振を行なう。この電極は、通常πモード発振が安
定に行なわれるように、一つ置きのベーン11の間をス
トラッピングリング13で連結した構造になっている。
のである。マグネトロンの陽極は、複数枚のベーン11
を有する円筒構造で、中心空間部12においてマグネト
ロン発振を行なう。この電極は、通常πモード発振が安
定に行なわれるように、一つ置きのベーン11の間をス
トラッピングリング13で連結した構造になっている。
(発明が解決しようとする問題点)
この電極は、銅で構成されているが、構造が複雑でかつ
高度の加工精度が要求されるため、コストが高い。一方
、電子調理器用として、低コストでかつ小型化、薄型化
の要請が強いが、上記構成のものはその要請に応えるこ
とができなかった。
高度の加工精度が要求されるため、コストが高い。一方
、電子調理器用として、低コストでかつ小型化、薄型化
の要請が強いが、上記構成のものはその要請に応えるこ
とができなかった。
(問題点を解決するための手段)
本発明は、従来機械加工で作製されていたマグネトロン
の陽極を、半導体集積回路の形成に広く用いられている
プレナー技術を適用して加工し、低コスト化、小型化、
薄型化を実現しようとするものである。
の陽極を、半導体集積回路の形成に広く用いられている
プレナー技術を適用して加工し、低コスト化、小型化、
薄型化を実現しようとするものである。
(実施°例)
第1図は、本発明の一実施例を示したもので、1は中心
部に円孔2を有する電気絶縁性基板、3はこの基板−主
面に、円孔2の縁部から放射状に形成された複数の円周
分割電極である。このように構成されたものを陽極片と
し、これを複数枚重ね合わせて陽極を構成する。基板1
の中心円孔部が発振空間となる。電気絶縁性基板1とし
ては、表面が平滑な高真空用耐熱材であればよく、高純
度アルミナ、ジルコニアなどを用いる。円周分割電極3
は、スクリーン印刷あるいはフォトリソグラフィ技術な
どの半導体プレナー技術を適用して形成する。第1図で
は、4分割の円周分割電極を示しているが、フォトリソ
グラフィ技術によると円周分割電極の幅をミクロン単位
にまで狭く、高精度に加工することができるので、小型
化、薄型化に有効であるとともに、量産性に優れている
ため低コスト化が図れる。
部に円孔2を有する電気絶縁性基板、3はこの基板−主
面に、円孔2の縁部から放射状に形成された複数の円周
分割電極である。このように構成されたものを陽極片と
し、これを複数枚重ね合わせて陽極を構成する。基板1
の中心円孔部が発振空間となる。電気絶縁性基板1とし
ては、表面が平滑な高真空用耐熱材であればよく、高純
度アルミナ、ジルコニアなどを用いる。円周分割電極3
は、スクリーン印刷あるいはフォトリソグラフィ技術な
どの半導体プレナー技術を適用して形成する。第1図で
は、4分割の円周分割電極を示しているが、フォトリソ
グラフィ技術によると円周分割電極の幅をミクロン単位
にまで狭く、高精度に加工することができるので、小型
化、薄型化に有効であるとともに、量産性に優れている
ため低コスト化が図れる。
第2図は、本発明の他の実施例を示したもので、電気絶
縁性基板1の両面に、基板を挟んで互いに相対すること
のないように位置をずらせた円周分割電極3,4をそれ
ぞれ設けたものである。このように、基板の両面に形成
すると、円周分割電圧の分割数をさらに増加させること
ができ、小型化に、より有効である。
縁性基板1の両面に、基板を挟んで互いに相対すること
のないように位置をずらせた円周分割電極3,4をそれ
ぞれ設けたものである。このように、基板の両面に形成
すると、円周分割電圧の分割数をさらに増加させること
ができ、小型化に、より有効である。
さらに、従来から加工性に問題があったストラッピング
用電極も、このプレナー技術を適用することにより、加
工性が著しく向上する。即ち、第3図及び第4図に示す
本発明の他の実施例のように、ストラッピング用電極5
を円周分割電極3に。
用電極も、このプレナー技術を適用することにより、加
工性が著しく向上する。即ち、第3図及び第4図に示す
本発明の他の実施例のように、ストラッピング用電極5
を円周分割電極3に。
ストラッピング用電極6を円周分割電極4にそれぞれ設
ける。このストラッピング用電極5,6もスクリーン印
刷あるいはフォトリソグラフィ技術で高精度に形成する
ことができ、生産性が高い。
ける。このストラッピング用電極5,6もスクリーン印
刷あるいはフォトリソグラフィ技術で高精度に形成する
ことができ、生産性が高い。
第5図は、本発明のさらに他の実施例を示したもので、
電気絶縁性基板1の中心円孔2の側面に。
電気絶縁性基板1の中心円孔2の側面に。
円周分割電極3,4を延長した部分3a、4aをそれぞ
れ設けたものである。これにより、発振がより安定化す
ることを確認した。この円孔側面に延長部分3a、4a
を形成することも、勿論プレナー技術が適用できる。
れ設けたものである。これにより、発振がより安定化す
ることを確認した。この円孔側面に延長部分3a、4a
を形成することも、勿論プレナー技術が適用できる。
本発明のマグネトロンで、円周分割電極(陽極)の分割
数を102幅を2mm、陽極内側半径(電気絶縁性基板
の中心円孔2の半径)を4.5nm、磁界1750Gに
設定し、陽極電圧3500 Vを印加したとき。
数を102幅を2mm、陽極内側半径(電気絶縁性基板
の中心円孔2の半径)を4.5nm、磁界1750Gに
設定し、陽極電圧3500 Vを印加したとき。
2.45GHzの発振が確認された。この場合、電気絶
縁性基板1として、厚さ0.5++ynの高純度アルミ
ナを用い、陽極片を20枚積層して、マグネトロン用の
陽極とした。
縁性基板1として、厚さ0.5++ynの高純度アルミ
ナを用い、陽極片を20枚積層して、マグネトロン用の
陽極とした。
(発明の効果)
以上説明したように、本発明によれば、マグネトロン用
陽極を、機械加工によらず半導体プレナ−技術を適用し
て作製するので、マグネトロンの小型化、薄型化、低コ
ストに極めて有効であり、かつこの種の発振管の加工可
能範囲を著しく拡大し、高効率、低電圧発振の実現など
につながるものとして、その工業的価値は非常に高い。
陽極を、機械加工によらず半導体プレナ−技術を適用し
て作製するので、マグネトロンの小型化、薄型化、低コ
ストに極めて有効であり、かつこの種の発振管の加工可
能範囲を著しく拡大し、高効率、低電圧発振の実現など
につながるものとして、その工業的価値は非常に高い。
第1図ないし第5図は、それぞれ本発明の実施例におけ
るマグネトロン用陽極片の構成図、第6図は、従来例の
マグネトロン用陽極の構成図である。 1・・・電気絶縁性基板、 2・・・円孔、 3゜4・
・・円周分割電極、 3a、 4a・・・延長部分、5
.6・・・ストラッピング用電極。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第 1 図 1・・・ 電大胞縁也茶扱 2・・・ )旧 コし 3・・・ 凋用分!・1屯埼 第2図 4・・巴司分オ・)電極 第3図 5 ・・・ 又トラッビンクパ則屯本き第4区 6 ・・ ストクツ上0ング)f1電極第5図
るマグネトロン用陽極片の構成図、第6図は、従来例の
マグネトロン用陽極の構成図である。 1・・・電気絶縁性基板、 2・・・円孔、 3゜4・
・・円周分割電極、 3a、 4a・・・延長部分、5
.6・・・ストラッピング用電極。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第 1 図 1・・・ 電大胞縁也茶扱 2・・・ )旧 コし 3・・・ 凋用分!・1屯埼 第2図 4・・巴司分オ・)電極 第3図 5 ・・・ 又トラッビンクパ則屯本き第4区 6 ・・ ストクツ上0ング)f1電極第5図
Claims (6)
- (1)マグネトロン用陽極が、電気絶縁性基板の一主面
に複数の円周分割電極が形成された陽極片を複数枚重ね
てなることを特徴とするマグネトロン。 - (2)円周分割電極は、ストラッピング用電極により互
いに接続されていることを特徴とする特許請求の範囲第
(1)項記載のマグネトロン。 - (3)電気絶縁性基板が中央部に円孔を有し、円周分割
電極が前記円孔側面まで延長されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第(1)項又は第(2)項記載のマグ
ネトロン。 - (4)マグネトロン用陽極が、電気絶縁性基板の両主面
にその基板を挟んで互いに対向することのないように位
置をずらせてそれぞれ複数の円周分割電極が形成された
陽極片を複数枚重ねてなることを特徴とするマグネトロ
ン。 - (5)円周分割電極は、前記電気絶縁性基板の各面にお
いてそれぞれストラッピング用電極により互いに接続さ
れていることを特徴とする特許請求の範囲第(4)項記
載のマグネトロン。 - (6)電気絶縁性基板が中央部に円孔を有し、円周分割
電極が前記円孔側面まで延長されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第(4)項又は第(5)項記載のマグ
ネトロン。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27959786A JPS63133434A (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 | マグネトロン |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27959786A JPS63133434A (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 | マグネトロン |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63133434A true JPS63133434A (ja) | 1988-06-06 |
Family
ID=17613201
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27959786A Pending JPS63133434A (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 | マグネトロン |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63133434A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5007008B2 (ja) * | 1999-12-21 | 2012-08-22 | イー2ヴイ テクノロジーズ (ユーケイ) リミテッド | マグネトロンアノード |
-
1986
- 1986-11-26 JP JP27959786A patent/JPS63133434A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5007008B2 (ja) * | 1999-12-21 | 2012-08-22 | イー2ヴイ テクノロジーズ (ユーケイ) リミテッド | マグネトロンアノード |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
USRE41671E1 (en) | Quartz crystal tuning fork resonator | |
KR100408184B1 (ko) | 인덕터 | |
EP0292692B1 (en) | Low inductance capacitor | |
JPH01251801A (ja) | 三導体構造フィルタ | |
TW498350B (en) | Resistor and method of manufacturing the same | |
CN108964628A (zh) | 体声波谐振器 | |
JPS63133434A (ja) | マグネトロン | |
WO1997032345A1 (en) | Thickness-shear mode lithium niobate piezoelectric transformer | |
US5065066A (en) | Piezoelectric resonator | |
US4918417A (en) | Inductor having parallel line electrodes | |
US6014799A (en) | Method of manufacturing a piezoelectric resonator | |
JP2784862B2 (ja) | 積層コンデンサ | |
GB1594980A (en) | Tuning fork-type quartz crystal vibrator and method of forming the same | |
JPH05343245A (ja) | 平面トランス | |
JPH1064754A (ja) | トリミングコンデンサ | |
JP4694183B2 (ja) | 圧電トランス | |
JP3591815B2 (ja) | 薄膜コンデンサおよび基板 | |
JPH01150305A (ja) | 超伝導磁石用コイル及びその製造方法 | |
JP2819995B2 (ja) | 静電容量型重量センサ素子およびその製造法 | |
JPH065971B2 (ja) | 固定子コイル | |
JPS599988B2 (ja) | 磁気バブル駆動用コイル | |
GB1571965A (en) | Quartz crystal tuning fork vibrator | |
JPH0983032A (ja) | 圧電トランス | |
JPH04219904A (ja) | 筒状シートコイル | |
JPH03240210A (ja) | 高周波用チップコイル |