JPS63131711A - 圧電素子製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は圧電体を電極で挟んで構成される圧電素子に関
する。

（従来の技術） 圧電素子のある面にある極性の電圧を加えると伸びの変
化を生ずる場合に、逆極性の電圧を加えると縮みの変形
をする。一つの圧電素子の内部に波を発生させる場合に
は伸び変形と縮み変形を同時に起こさせることが必要モ
ある。そのために普通は第３図に示されるように圧電体
の一方の側に多数の電極２ａ、・・・・・・、２ｄを設
け、加える電圧の極１ｔを場所によって変えている。例
えば、表面弾性波を発生する場合、第４図に示すように
隣接する場所に逆符号の電圧を与える櫛型電極３が広く
使用されている。また、平面素子で集光波を発生させる
場合には第５Ａ図および第５Ｂ図のような同軸状に配置
された′複数の円状電極４ａ、・・・・・・、４ｄから
なり、隣合った電極に逆符号の電圧が加えられるフレネ
ル電極が用いられる。

〈発明が解決しようとする問題点） 従来のように多数の電極を用いる場合は隣接した電極間
に異なる電圧を掛ける必要があるので、電極間の漏洩の
問題があり、また閉じた電極の内部に別の電極を設ける
必要がある場合（第５Ａ図）には配線を跨がせるための
絶縁層を電極の上に設ける必要がある。

〈問題点を解決するだめの手段） 本発明は圧電体の分極の向きを場所によって変えた、こ
とを構成上の特徴とする。

（作　用） 変形の極性（伸びか縮みか）は外部から加える電圧の極
性と自発分極の極性の積によりきめられる。素子の内部
に場所により異なる極性の変形を与えるには、従来のよ
うに多くの電極を設けそれぞれの電極に加える電圧の極
性を変える方法以外に、自発分極の極性を場所により変
え単一の電極で同じ効果を与えることができる。本発明
は、従来の多電極の場合に一方の極性の電極の下に当た
る部分の分極を逆符号とし単一の電極で駆動しながら多
数の電極を用いたのと等価な働きをさせたものである。

（実施例） 以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明する。第１
図は本発明の圧電素子の一実施例の断面図である。圧電
体１の自発分極（矢印）の向きは隣接領域聞で交互に反
転している。この圧電体１を挟んで、単一の電極１０と
これに対向する対抗電極１１とが設けられている。これ
ら電極間に交番電圧を電源１２によって印加すると、圧
電素子によって弾性波が発生する。

第２図は本発明の別の実施例の断面図である。

本実施例においては、圧電体１の自発分極の大きさも場
所によって変化しており、正弦波状に自発分極が変動し
ている。

同一圧電体の内部に極性の異なる分極の領域を作るには
、多電極を用い異なる極性の電界で分極を行いその後全
面を単一の電極とする方法と、全面に単一電極を付は分
極処理を行った後、室温では分極が反転しないような逆
電圧を印加しながち部分的に加熱し、加熱した部分の分
極を反転させ希望する形に反転分極領域を作る方法があ
る。

〔発明の効果〕

本発明においでは、単一の電極を用いることが可圭であ
り、異子表面は同一電圧であるので絶縁層を設ける必要
はなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の圧電素子の一実施例の断面図、第２図
は本発明の別の実施例の断面図、第３図は従来の圧電素
子の断面図、 第４図は櫛型電極を用いる従来の圧電素子の平面図、 第５Δ図および竿５Ｂ図ははフレネル電極を用いる従来
の圧電素子の平面図および断面図。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 圧電体を電極で挟んで構成される圧電素子において、 前記圧電体の分極の向きを場所によって変えたことを特
   徴とする圧電素子。