JP2004531189A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 電極板と圧電材料の交互差込み層の積層体からなるアクチュエータであって、前記アクチュエータは通常Ｚ方向に延び、前記電極板の第１領域は第１Ｙ方向に撓みを生じるように付勢されたときに適応され、前記第１領域から実質的にＹ方向に離間された電極板の第２領域は第２Ｙ方向に撓みを生じるように付勢されたときに適応され、そして前記電極板の１またはそれを超える別の領域は、Ｘ方向に撓みを生じるように付勢されたときに適応されるアクチュエータ。
2. 前記積層体は基本的にＺ方向に延びている、請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記アクチュエータは中央ボア（bore）のない構造となっている、前記請求項のうち任意の一項に記載のアクチュエータ。
4. 前記電極版の一つまたはそれを超える更なる領域は前記第１領域と第２領域との間に介在する、前記請求項のうち任意の一項に記載のアクチュエータ。
5. 前記領域または前記更なる各領域は、第１Ｘ方向に撓みを生じるように第１バイアス付勢電圧を処理するよう適用される電極板の第１セットと
   第２Ｘ方向に撓みを生じるように第２バイアス付勢電圧を処理するよう適用される電極板の第２セットとを構成し、前記第１セットは実質的に前記第２セットからＸ方向に離間されている、請求項１に記載のアクチュエータ。
6. 更に、実質的に第１と第２の電極を横切って延び、第１セットと第２セットの双方の電極板に相互作用する電極板から構成される、請求項５に記載のアクチュエータ。
7. 前記アクチュエータがほぼ円筒形状になっている、請求項１または２に記載のアクチュエータ。
8. 前記アクチュエータが１またはそれを超えるトンネルからなる、前記請求項のうち任意の一項に記載のアクチュエータ。