JPS63123830A - 光フアイバの製造方法 - Google Patents

光フアイバの製造方法

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JPS63123830A
JPS63123830A JP26932986A JP26932986A JPS63123830A JP S63123830 A JPS63123830 A JP S63123830A JP 26932986 A JP26932986 A JP 26932986A JP 26932986 A JP26932986 A JP 26932986A JP S63123830 A JPS63123830 A JP S63123830A
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JP
Japan
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glass
glass rod
flame
anhydrous
optical fiber
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Pending
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JP26932986A
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English (en)
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Taiichiro Tanaka
大一郎 田中
Kenji Nishide
西出 研二
Katsuyuki Seto
克之 瀬戸
Suehiro Miyamoto
宮本 末広
Ryozo Yamauchi
良三 山内
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Fujikura Ltd
Original Assignee
Fujikura Ltd
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413Reactant delivery systems
    • C03B37/0142Reactant deposition burners
    • C03B37/01426Plasma deposition burners or torches
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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    • C03B37/0148Means for heating preforms during or immediately prior to deposition

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、ガラス棒にガラス微粉末を堆積させる工程
を含む、光ファイバの製造方法に関するものである。
[従来の技術] 光ファイバの製造方法として、ガラス棒を準備し、その
外周に、H2102バーナを用いてガラス微粉末を堆積
させて、光ファイバを製造する方法がある。
[発明が解決しようとする問題点] (1)従来の場合は、ガラス棒に、H2/ 02を用い
た火炎によりガラス微粉末を堆積させるため。
ガラス棒の内部にOHの拡散が起きてしまい、損失増に
つながった。
(2)ガラス棒の上に直接ガラス微粉末を堆積させるた
め、その表面のゴミが焼結後のアワとなってしまう。
(3)表面のゴミを除く方法として、 H2/ 02バ
ーナを用いてファイアポリフシュを行う場合もあるが、
この場合も多量のOHがガラス棒内部へ拡散し、損失増
となってしまう。
(0また。すでにガラス棒表面より拡散しているOHを
とり除くために、プラズマ火炎中にSF。
などのF含有ガスを導き、ガラス棒表面をエツチングす
ることもあるが、エツチング後にガラス棒表面にゴミの
付着がどうしてもおこってしまい、焼結後のアワの原因
となっていた。
[問題点を解決するための手段] この発明は、第1図のように、 ガラス微粉末を堆積させる工程を1次の方法によること
、すなわち、 (1)ガラス棒10の側面より無水火炎20で加熱する
とともに、その無水火炎20の発生手段をガラス棒10
と平行にかつ一方向にトラバースし、(2)そのトラバ
ース方向と逆方向から、無水火炎20内に、酸化してガ
ラスとなるべき原料ガス28をキャリアガスとともに吹
き入れてガラス微粉末を発生させ、それを前記ガラス棒
10の側面に連続的に堆積させる、 という方法をとることによって、上記の問題の解決を図
ったものである。
[その説明] (第1図) ガラス棒lOを回転させておく。
なお、このガラス棒lOは、光ファイバのコアとなるか
、またはコアを含むクラッドの一部となる。
無水火炎20を、たとえばプラズマトーチ22により発
生する。
プラズマトーチ22は移動台23の上にあり、矢印24
の方向にだけトラバースする(往復しない)、そのスピ
ードは、たとえば50鰭/h程度である。
なお、説明の都合上、矢印24の方向を前とし、その反
対側を後とする。
無水火炎20により、ガラス棒lOを加熱すると、その
加熱領域11のファイアポリッシュが行われる。
移動台23上のプラズマトーチ220)の前方に。
原料噴射ノズル26を設置する。
原料噴射ノズル26から、5iC14などの原料ガス2
8を、Arなとのキャリアガスとともに、無水火炎20
内に噴出する。
噴出の方向は、火炎20の前方下側から、上記のファイ
アポリッシュのすんだ望城11の後部に向う斜め上方と
する。
モラすると、原料ガス28などは、無水火炎20内を通
過するとき無水のガラス微粉末12になり、火炎20の
後方のガラス棒10上、すなわちクリーンになったガラ
ス棒lO上に堆積する。
なおこのとき、従来のように、トーチ220)の中から
無水火炎20の中に原料ガス28を通すと。
ガラス微粉末12が堆積した直後に火炎に当って、多孔
質ガラス層になったとしても非常にがさ密度が高く、脱
水を十分に行いにくくなる。
以上は、プラズマトーチ22により、ガラス棒lOの直
上にOHを含まないガラス微粉末12だけを堆積させる
工程についてだけ説明した。
しかし、実際には、次に述べるように、その上に、第2
層、第3層のガラス微粉末の堆積を、タンデムに行う。
すなわち、第2図のように、プラズマトーチ220)の
後方に、Coバーナ30を設ける。
なお、これもプラズマトーチ22などと同じ移動台23
上に載せ、それらと同時に移動させる。
こ(7)Coバーナ30の中に5tciaなどの原料ガ
スを導き、H2を含まない火炎32により、上記のガラ
ス微粉末120)の上に第2層目のガラス微粉末14を
堆積する。
このようにH2/ 02によらない火炎を用いることに
より、ガラス棒10内へのOHの拡散は防止される。
Coバーナ30の後方に、さらにH2102バーナ34
を設ける。
これも上記同様に移動台23上に載り、いっしょに移動
する。そして、これにより、第3層目のガラス微粉末1
6を堆積させる。
なお、この部分にcoバーナを用いてもよいが、ガラス
ロフト表面から離れていてH210□バーナを使っても
ガラスロッドへのOH拡散がないので、収率の高いH2
102バーナを用いる。
なお、それ以降は、必要に応じて、バーナ本数を設定す
ればよい。
なお、プラズマトーチ22により十分厚<OHを含まな
いガラス微粉末120)の層を堆積できるときは、第2
番目のバーナとしてH2102バーナを用いることもで
きる。
[0)1拡散のあるガラス棒の場合] ここまでの説明は、ガラス棒lOの表面にOHが拡散し
ていないか、あるいはOHの除去がすでにすんでいる場
合を想定している。
ガラス棒10の表面にOHが拡散している場合は、第3
図のようにする。
すなわち、第1段のプラズマトーチ220)の前方に、
もう1本のプラズマトーチ36を、移動台23上に設け
る。
そして、その火炎中にSF6などを導き、ガラス棒10
の表面をエツチングする。それにより、ガラス棒10の
表面に拡散したOHを、ガラス微粉末120)の堆積前
に、とり除くことができる。
[実施例] ガラス棒lOとして、あらかじめプラズマ火炎とSF6
により表面をエツチングした。10關φの無水合成石英
ロッドを用意した。
それを、第2図に示す系により、ファイアポリッシュお
よびガラス微粉末の堆積を行った。
各部の流量は1次のとおりである。
・原料噴射ノズル26: 5iC14キヤリアガスA r  1(30cc/wi
n  。
02 4(30cc/lin 。
拳プラズマトーチ22: A r 201 /sin 、 R,F、パワ20k1
1 、周波数4MHz 。
−COCoバーナ3 0:C14キヤリアガスA r 1(30cc/win
 。
O 251/lin 、シール用A r 1.2JL/wi
n 。
02 305L/win、 ・H2102バーナ34: S i Cl aキャリアガスA r 2(30cc/
win 。
H211+ 1/mjn 、シール用Ar1.8見/s
in、 02 18 Jl/li!I、 これを50m思/bのトラバース速度でデボジシ重ンし
、外径95龍φのスートを得た。
これをフッ素ガス含有の焼結炉において焼結を行い、4
2susφガラスロツドを得た。
これを101■φに延伸し、さらに外付けを行い、プリ
フォームを得た。
これを125牌層φの光ファイバとしたところ、水の吸
収損失のピーク(1,39鉢■)は2dB/に■以下、
波長1.55 g腸における損失は0.2dB/km以
下と、低損失な光ファイバが得られた。
[発明の効果] 無水の火炎によりファイアポリッシュした直後に、無水
の火炎によりガラス微粉末12を堆積させるので、水の
ガラス棒10への拡散が防止され、低損失の光ファイバ
が得られる。
【図面の簡単な説明】
ffilrgJは本発明の詳細な説明図、第2図と第3
図は、本発明の別の実施態様の説明図。 lOニガラス棒   12ニガラス微粉末14:第2e
目のガラス微粉末 16:第3層目のガラス微粉末 20:無水火炎   22:プラズマトーチ23:移動
台    24:矢印 26:原料噴射ノズル 28:原料ガス   30:COバーナ32:火炎  
   34:H,102バーナ36:プラズマトーチ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)コアとなるか、またはコアを含むクラッドの一部
    となるガラス棒(10)を回転させておき、その上に、
    ガラス微粉末を堆積させる工程を含む光ファイバの製造
    方法において、 前記のガラス微粉末を堆積させる工程を、次の方法によ
    ること、すなわち、前記ガラス棒(10)の側面より無
    水火炎(20)で加熱するとともに、その無水火炎(2
    0)の発生手段をガラス棒(10)と平行にかつ一方向
    にトラバースし、さらにそのトラバース方向と逆方向か
    ら、無水火炎(20)の内に、酸化してガラスとなるべ
    き原料ガス(28)をキャリアガスとともに吹き入れて
    ガラス微粉末を発生させ、それを前記ガラス棒(10)
    の側面に連続的に堆積させることを特徴とする、光ファ
    イバの製造方法。
  2. (2)ガラス微粉末を堆積させる工程を、次の方法によ
    ること、すなわち、無水火炎(20)の発生手段の後方
    にCOバーナ(30)を設置し、その火炎(32)中に
    原料ガス(28)を導いて、第1層目と第2層目のガラ
    ス微粉末(12)、(14)を作製することを特徴とす
    る、特許請求の範囲第1項に記載の光ファイバの製造方
    法。
  3. (3)ガラス微粉末を堆積させる工程を、次の方法によ
    ること、すなわち、COバーナ(30)の発生手段のさ
    らに後方に、H_2/O_2バーナ(34)を設置し、
    その火炎(32)中に原料ガス(28)を導いて、第1
    層目と第2層目と第3層目のガラス微粉末(12)、(
    14)、(16)を作製することを特徴とする、特許請
    求の範囲第1項に記載の光ファイバの製造方法。
  4. (4)ガラス棒(10)が、ガラス微粉末の堆積工程の
    直前において、フッ素含有ガスを導いたプラズマ火炎に
    よりエッチングされたものであることを特徴とする、特
    許請求の範囲第1項または第2項または第3項に記載の
    光ファイバの製造方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0629590A1 (en) * 1993-06-16 1994-12-21 Sumitomo Electric Industries, Limited Process for producing glass preform for optical fiber
CN102886719A (zh) * 2012-05-10 2013-01-23 固镇县亿鑫玻璃制品有限公司 一种玻璃瓶打磨装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0629590A1 (en) * 1993-06-16 1994-12-21 Sumitomo Electric Industries, Limited Process for producing glass preform for optical fiber
US5597398A (en) * 1993-06-16 1997-01-28 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Process for producing glass preform for optical fiber
CN102886719A (zh) * 2012-05-10 2013-01-23 固镇县亿鑫玻璃制品有限公司 一种玻璃瓶打磨装置

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