JPS63117355A - 光磁気メモリ用媒体 - Google Patents
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- JPS63117355A JPS63117355A JP61262629A JP26262986A JPS63117355A JP S63117355 A JPS63117355 A JP S63117355A JP 61262629 A JP61262629 A JP 61262629A JP 26262986 A JP26262986 A JP 26262986A JP S63117355 A JPS63117355 A JP S63117355A
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- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims abstract description 88
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 63
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 10
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract description 20
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 abstract description 11
- 229910017061 Fe Co Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000010408 film Substances 0.000 description 19
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 19
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 108010052670 arginyl-glutamyl-glutamic acid Proteins 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000002902 ferrimagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
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- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
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- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、情報の記録・再生特性が最適化された交換結
合三層膜をもつ光磁気メモリ用媒体に関する。
合三層膜をもつ光磁気メモリ用媒体に関する。
（従来の技術〕
希を類−鉄族非晶質合金薄膜は、光磁気メモリ用媒体と
しては優れた特性を示すが、酸化されやすく、その耐食
性に疑問があった。
しては優れた特性を示すが、酸化されやすく、その耐食
性に疑問があった。
特に、その中でもＧｄ−ＦｅやＴｂ−Ｆｅのように鉄族
元素がＦｅであるものは酸化されやすく、Ｆｅの一部を
ＧＯで置換していくと、ＣＯの量が増えるにしたがって
酸化されにくくなることがわかっている。
元素がＦｅであるものは酸化されやすく、Ｆｅの一部を
ＧＯで置換していくと、ＣＯの量が増えるにしたがって
酸化されにくくなることがわかっている。
しかし、 Ｆｅの一部をＣＯで置換していくと媒体のキ
ュリー温度が上昇し、記録感度が低下してしまう欠点が
あった。
ュリー温度が上昇し、記録感度が低下してしまう欠点が
あった。
記録・再生特性の向上を図る媒体として、室温において
高い保磁力と低いキュリー温度を有する記録層と、低い
保磁力と高いキュリー温度を有する読み出し層とからな
る交換結合をした二層構造の光磁気メモリ用媒体が知ら
れているが、その代表例として希土類−鉄族非晶質合金
薄膜を用いたＴｂ−Ｆａ （記録層） ／Ｇｄ−Ｆｅ
−Ｇｏ （読み出し層）からなる媒体が提案されている
（特開昭６１−１１７７４７号）。
高い保磁力と低いキュリー温度を有する記録層と、低い
保磁力と高いキュリー温度を有する読み出し層とからな
る交換結合をした二層構造の光磁気メモリ用媒体が知ら
れているが、その代表例として希土類−鉄族非晶質合金
薄膜を用いたＴｂ−Ｆａ （記録層） ／Ｇｄ−Ｆｅ
−Ｇｏ （読み出し層）からなる媒体が提案されている
（特開昭６１−１１７７４７号）。
この二層構造の光磁気メモリ用媒体においては、読み出
し層のキュリー温度は記録感度に関係しないのでＣＯを
多量に添加することができ、耐食性がかなり改善される
が、記録層に用いるＴｂ−ｐｅにＧｏを多量に添加する
と、上述したようにキュリー温度が上昇し記録感度が低
下してしまう欠点があった。
し層のキュリー温度は記録感度に関係しないのでＣＯを
多量に添加することができ、耐食性がかなり改善される
が、記録層に用いるＴｂ−ｐｅにＧｏを多量に添加する
と、上述したようにキュリー温度が上昇し記録感度が低
下してしまう欠点があった。
この問題点を解決する手段として、耐食性の悪い記録層
を耐食性の比較的良い読み出し層ではさんだ、交換結合
をした三層構造の光磁気メモリ用媒体を、本出願人は、
昭和６１年７月９日付の特願昭６１−１５９７１６等に
おいて提案した。
を耐食性の比較的良い読み出し層ではさんだ、交換結合
をした三層構造の光磁気メモリ用媒体を、本出願人は、
昭和６１年７月９日付の特願昭６１−１５９７１６等に
おいて提案した。
本発明者らは、上記交換結合をした三層構造の光磁気メ
モリ用媒体について、更に種々の検討を重ねた結果、そ
の記録感度・再生特性に大きな組成依存性があることが
わかった。本発明は、この知見に基づき完成されたもの
であり、その目的は記録・再生特性が最適化された三層
構造の光磁気メモリ用媒体を提供することにある。
モリ用媒体について、更に種々の検討を重ねた結果、そ
の記録感度・再生特性に大きな組成依存性があることが
わかった。本発明は、この知見に基づき完成されたもの
であり、その目的は記録・再生特性が最適化された三層
構造の光磁気メモリ用媒体を提供することにある。
（問題点を解決するための手段及び作用）上記の目的は
、室温において高い保磁力と低いキュリー温度を有する
記録層を、低い保磁力と高いキュリー温度を仔する読み
出し層ではさんだ、交換結合をした三層構造の磁性層を
もつ光磁気メモリ用媒体において、首記記録層と＠記両
読み出し層として、鉄族副格子磁化優勢な希土類−鉄族
非晶質合金薄膜を使用し、かつ、三層の正味磁化の方向
を平行にすることにより達成できる。
、室温において高い保磁力と低いキュリー温度を有する
記録層を、低い保磁力と高いキュリー温度を仔する読み
出し層ではさんだ、交換結合をした三層構造の磁性層を
もつ光磁気メモリ用媒体において、首記記録層と＠記両
読み出し層として、鉄族副格子磁化優勢な希土類−鉄族
非晶質合金薄膜を使用し、かつ、三層の正味磁化の方向
を平行にすることにより達成できる。
以下本発明の詳細な説明する。
希二Ｆ類−鉄族非晶質合金薄膜はフェリ磁性体であり、
その正味磁化（実際に測定できる磁化）は希土類副格子
磁化と鉄族副格子磁化の差となる。
その正味磁化（実際に測定できる磁化）は希土類副格子
磁化と鉄族副格子磁化の差となる。
これを図４を用いて説明する。希土類副格子磁化１３と
鉄族副格子磁化１４は常に反平行であり、正味磁化１５
はこの２つの副格子磁化の差であり、希−Ｆ類副格子磁
化の方が大きい場合には、希土類副格子磁化１３と正味
磁化１５は平行であり、このときこれを希土類副路そ磁
化優勢であるという。一方、鉄族副格子磁化の方が大き
い場合には、鉄族副格子磁化！７と正味磁化１８が平行
であり、このときこれを鉄族副格子磁化優勢であるとい
う。
鉄族副格子磁化１４は常に反平行であり、正味磁化１５
はこの２つの副格子磁化の差であり、希−Ｆ類副格子磁
化の方が大きい場合には、希土類副格子磁化１３と正味
磁化１５は平行であり、このときこれを希土類副路そ磁
化優勢であるという。一方、鉄族副格子磁化の方が大き
い場合には、鉄族副格子磁化！７と正味磁化１８が平行
であり、このときこれを鉄族副格子磁化優勢であるとい
う。
図４に示すような、希土類副格子磁化優勢の膜と鉄族副
格子磁化優勢の膜からなる交換結合膜を考える。少なく
とも一方の層の保磁力がかなり小さいときには、交換力
により、両層の希土類副格子磁化が互いに平行になり、
また、両層の鉄族副路７４化も平行になる。従って、正
味磁化が反平行になる。もし、両層ともが希土類副格子
磁化優勢、あるいは鉄族副格子磁化優勢ならば正味磁化
も７行になる。
格子磁化優勢の膜からなる交換結合膜を考える。少なく
とも一方の層の保磁力がかなり小さいときには、交換力
により、両層の希土類副格子磁化が互いに平行になり、
また、両層の鉄族副路７４化も平行になる。従って、正
味磁化が反平行になる。もし、両層ともが希土類副格子
磁化優勢、あるいは鉄族副格子磁化優勢ならば正味磁化
も７行になる。
以−トの説明を参考にすれば明らかなように、交換結合
三層膜では各層の優勢な副路？−ｖＡ化に関して様々な
組み合わせが考えられる。
三層膜では各層の優勢な副路？−ｖＡ化に関して様々な
組み合わせが考えられる。
まず、図２に示すように、読み出し層５と７において異
なる副格子磁化が優勢の場合を考える。
なる副格子磁化が優勢の場合を考える。
この交換結合三層膜では記録特性が不安定なものとなっ
た。この理由を図２を用いて説明する。記録を行なう前
には図２（ａ）に示すような磁化状態であるとし、（読
み出し層５と７の磁化が反平行ならば、磁化の向きが図
のようでなくても、本質的には以下の説明が当てはまる
。）、図で下向きに磁界８を印加してレーザー光により
加熱を行ない記録を行なうことを考える。レーザー光に
よる加熱により記録層６がキュリー温度以上になると、
記録層６の磁化が消失し読み出し層との間に交換力が働
かなくなり、図２（ｂ）に示すように読み出し層５と７
の磁化が外部磁界により下を向く。レーザー光照射が終
わり膜の温度が下がってくると、記録層６に再び磁化が
現われてくるが、このとき図２（ｃ）のように読み出し
層７の交換力によフて記録がなされる場合と、図２（ｄ
）のように読み出し層５の交換力によって記録がなされ
ない場合が生じる。これにより記録特性が不安定になる
と考えられる。この点につきより詳しく説明する。
た。この理由を図２を用いて説明する。記録を行なう前
には図２（ａ）に示すような磁化状態であるとし、（読
み出し層５と７の磁化が反平行ならば、磁化の向きが図
のようでなくても、本質的には以下の説明が当てはまる
。）、図で下向きに磁界８を印加してレーザー光により
加熱を行ない記録を行なうことを考える。レーザー光に
よる加熱により記録層６がキュリー温度以上になると、
記録層６の磁化が消失し読み出し層との間に交換力が働
かなくなり、図２（ｂ）に示すように読み出し層５と７
の磁化が外部磁界により下を向く。レーザー光照射が終
わり膜の温度が下がってくると、記録層６に再び磁化が
現われてくるが、このとき図２（ｃ）のように読み出し
層７の交換力によフて記録がなされる場合と、図２（ｄ
）のように読み出し層５の交換力によって記録がなされ
ない場合が生じる。これにより記録特性が不安定になる
と考えられる。この点につきより詳しく説明する。
図２（ｂ）から温度が下がり、記録層６に正味磁化が生
じる際に、図２（Ｃ）のように下向きに生じるか、図２
（ｄ）のように上向きに生じるかは、主に読み出し層５
と読み出し層７から記録層６に及ぼされる交換力の大き
さによって決まる。
じる際に、図２（Ｃ）のように下向きに生じるか、図２
（ｄ）のように上向きに生じるかは、主に読み出し層５
と読み出し層７から記録層６に及ぼされる交換力の大き
さによって決まる。
読み出し層７の影響の方が大きいと、読み出し層７と記
録層６の正味磁化は平行が安定なので、図２（ｃ）で、
読み出し層７と記録層６の正味磁化が下を向き、読み出
し層５と記録層６の正味磁化は反平行が安定なので、読
み出し層５の正味磁化が図２（ｂ）に対して反転する。
録層６の正味磁化は平行が安定なので、図２（ｃ）で、
読み出し層７と記録層６の正味磁化が下を向き、読み出
し層５と記録層６の正味磁化は反平行が安定なので、読
み出し層５の正味磁化が図２（ｂ）に対して反転する。
この状態は図２（ａ）と反対の磁化状態なので、記録が
なされたことになる。
なされたことになる。
一方、読み出し層５の影雷の方が大きいと、読み出し層
５と記録層６の正味磁化は反平行が安定なので図２（ｄ
）で、読み出し層５の正味磁化が下を向き、記録層６の
正味磁化が上を向き、読み出し層７と記録層６の正味磁
化は平行が安定なので、読み出し層７の正味磁化が図２
（ｂ）に対して反転する。この状態は図２（ａ）と同じ
磁化状態なので、記録はなされない。
５と記録層６の正味磁化は反平行が安定なので図２（ｄ
）で、読み出し層５の正味磁化が下を向き、記録層６の
正味磁化が上を向き、読み出し層７と記録層６の正味磁
化は平行が安定なので、読み出し層７の正味磁化が図２
（ｂ）に対して反転する。この状態は図２（ａ）と同じ
磁化状態なので、記録はなされない。
読み出し層７の影雷が大きいか読み出し層５の影Ｕが大
きいかは、５と６の界面、及び、６と７の界面の性質に
よって大きく変わり、作製条件や組成の微妙な違いによ
って変わってくる。
きいかは、５と６の界面、及び、６と７の界面の性質に
よって大きく変わり、作製条件や組成の微妙な違いによ
って変わってくる。
したがって、あるディスクは図２（Ｃ）のように記録で
きるが、別のディスクは（ｄ）のように記録できないと
いったような不安定さが生じてしまう。
きるが、別のディスクは（ｄ）のように記録できないと
いったような不安定さが生じてしまう。
以上の説明から明らかなように、読み出し層は同じ副格
子磁化が優勢の場合が良い。
子磁化が優勢の場合が良い。
次に、読み出し層がどちらも希土類副格子磁化優勢の場
合を考える。この交換結合三層膜では記録特性が悪く、
再生特性にも大きな記録レーザーパワー依存性があった
。この理由は次に示すように交換結合膜における記録過
程と関係がある。記録において、レーザー光により膜の
温度が上昇し、記録層のキュリー温度に達して記録層の
磁化が消失し、読み出し層との間に交換力が働かなく・
なり、読み出し層の磁化が外部磁界により反転する際に
、読み出し層の保磁力は外部磁界によって容易に反転す
るような大きさでなくてはならない。一般に、読み出し
層に用いるような希土類−鉄族非晶質合金薄膜では、希
土類副格子磁化優勢では温度の上昇に対して保磁力が上
昇し、さらに温度を上げて補償温度を超すと逆に保磁力
が低下するのに対して、鉄族副格子磁化優勢では温度の
上昇に対して単調に保磁力が低下する。すなわち、鉄族
副格子磁化優勢の方が、温度上昇時に保磁力を充分小さ
くするのに有利である。
合を考える。この交換結合三層膜では記録特性が悪く、
再生特性にも大きな記録レーザーパワー依存性があった
。この理由は次に示すように交換結合膜における記録過
程と関係がある。記録において、レーザー光により膜の
温度が上昇し、記録層のキュリー温度に達して記録層の
磁化が消失し、読み出し層との間に交換力が働かなく・
なり、読み出し層の磁化が外部磁界により反転する際に
、読み出し層の保磁力は外部磁界によって容易に反転す
るような大きさでなくてはならない。一般に、読み出し
層に用いるような希土類−鉄族非晶質合金薄膜では、希
土類副格子磁化優勢では温度の上昇に対して保磁力が上
昇し、さらに温度を上げて補償温度を超すと逆に保磁力
が低下するのに対して、鉄族副格子磁化優勢では温度の
上昇に対して単調に保磁力が低下する。すなわち、鉄族
副格子磁化優勢の方が、温度上昇時に保磁力を充分小さ
くするのに有利である。
したがって、読み出し層は同じ副格子磁化優勢であって
、かつ鉄族副格子磁化優勢の場合が良い。
、かつ鉄族副格子磁化優勢の場合が良い。
最後に、記録層が希土類副格子磁化優勢の場合と鉄族副
格子磁化優勢の場合を比較する。図３は、読み出し層９
．１１がどちらも鉄族副格子磁化優勢であり、記録層１
０が希土類副格子磁化優勢の場合であり、読み出し層９
．１１の磁化と記録層ＩＯの磁化は反平行である。一方
、図１は本発明における最適化された交換結合三層膜で
あり、読み出し層１．３も記録層２もどちらも鉄族副格
子磁化優勢の場合であり、読み出し層１．３の磁化と記
録層２の磁化は平行である。図１と図３を比較すると、
図１の方が記録特性が良く、また再生特性も良かった。
格子磁化優勢の場合を比較する。図３は、読み出し層９
．１１がどちらも鉄族副格子磁化優勢であり、記録層１
０が希土類副格子磁化優勢の場合であり、読み出し層９
．１１の磁化と記録層ＩＯの磁化は反平行である。一方
、図１は本発明における最適化された交換結合三層膜で
あり、読み出し層１．３も記録層２もどちらも鉄族副格
子磁化優勢の場合であり、読み出し層１．３の磁化と記
録層２の磁化は平行である。図１と図３を比較すると、
図１の方が記録特性が良く、また再生特性も良かった。
この理由は、図３の場合には読み出し層９、ＩＩからの
交換力によって、記録層ＩＯの保磁力が本来よりも大き
くなるのに対して、図１の場合には、記録層の保磁力が
本゛来よりも小さくなり、記録が容易になることによる
。また、図１の場合の方が同じレーザーパワーでも記録
磁区の大きさが大きく、再生信号が大きくなることにも
よフている。
交換力によって、記録層ＩＯの保磁力が本来よりも大き
くなるのに対して、図１の場合には、記録層の保磁力が
本゛来よりも小さくなり、記録が容易になることによる
。また、図１の場合の方が同じレーザーパワーでも記録
磁区の大きさが大きく、再生信号が大きくなることにも
よフている。
したがって、最終的に、記録層と読み出し層はどちらも
鉄族副格子磁化＠勢の場合が良い。
鉄族副格子磁化＠勢の場合が良い。
本発明の光磁気メモリ用媒体の記録層には、Ｔｂ−Ｆｅ
、 Ｄｙ−Ｆｅ、 Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ、 Ｇｄ−Ｄｙ−
Ｆｅ。
、 Ｄｙ−Ｆｅ、 Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ、 Ｇｄ−Ｄｙ−
Ｆｅ。
Ｔｂ−Ｄｙ−Ｆｅ、 Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃ０，Ｄｙ−Ｆｅ−
（：ｏ、 Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ。
（：ｏ、 Ｇｄ−Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ。
Ｇｄ−Ｄｙ−Ｆｅ−Ｇｏ、Ｔｂ−Ｄｙ−Ｆｅ−Ｇｏ等、
あるいはこれらにＣｒや層等を添加したものなどが良い
。これらの膜を（ＲＥＩ−ＸＩＩＥ’Ｘ） −（Ｆｅ、
−、Ｃｏ、 ） （ＲＥ、 ＲＥ’は希−Ｅ類元素〕と
表わすと、そのキュリー温度は、近似的に （１−ｘ）
Ｔｃ＋ｘＴｃ’ ＋６００ｙ（”Ｃ） で表わされる。ここで、Ｔｃ、Ｔｃ’ はそれぞれＲＥ
−Ｆｅ、 ＲＥ’−Ｆｅのキュリー温度であり、Ｇｄ−
Ｆｅで約２２０℃、Ｔｂ−Ｆｅで約１３０℃、Ｄｙ−Ｆ
ｅで約７０℃である。記録層のキュリー温度は記録＋ｌ
？報の温度安定性に問題のない限り低くする方が良く、
約り００℃＠後となるようにするのが望ましい。記録層
にＴｂ−Ｆｅを用いても、優れた記録特性を得ることが
できる。キュリー温度を下げて耐食性を向上させようと
する場合、使用できる元素として（ｒやＡＩがあるが、
これらの元素を添加すると、Ｃｒで１ ａｔｍににつき
約５℃、層でｌａｔｍ、％につき約３℃キュリー温度が
低下する。添加する量は、５〜２０ａｔａ＋、％程度が
良く、添加後のキュリー温度が適当になるように希土類
や鉄族の元素の種類や組成を調節する。また、記録層の
膜厚は１００〜５００人程度が適当である。
あるいはこれらにＣｒや層等を添加したものなどが良い
。これらの膜を（ＲＥＩ−ＸＩＩＥ’Ｘ） −（Ｆｅ、
−、Ｃｏ、 ） （ＲＥ、 ＲＥ’は希−Ｅ類元素〕と
表わすと、そのキュリー温度は、近似的に （１−ｘ）
Ｔｃ＋ｘＴｃ’ ＋６００ｙ（”Ｃ） で表わされる。ここで、Ｔｃ、Ｔｃ’ はそれぞれＲＥ
−Ｆｅ、 ＲＥ’−Ｆｅのキュリー温度であり、Ｇｄ−
Ｆｅで約２２０℃、Ｔｂ−Ｆｅで約１３０℃、Ｄｙ−Ｆ
ｅで約７０℃である。記録層のキュリー温度は記録＋ｌ
？報の温度安定性に問題のない限り低くする方が良く、
約り００℃＠後となるようにするのが望ましい。記録層
にＴｂ−Ｆｅを用いても、優れた記録特性を得ることが
できる。キュリー温度を下げて耐食性を向上させようと
する場合、使用できる元素として（ｒやＡＩがあるが、
これらの元素を添加すると、Ｃｒで１ ａｔｍににつき
約５℃、層でｌａｔｍ、％につき約３℃キュリー温度が
低下する。添加する量は、５〜２０ａｔａ＋、％程度が
良く、添加後のキュリー温度が適当になるように希土類
や鉄族の元素の種類や組成を調節する。また、記録層の
膜厚は１００〜５００人程度が適当である。
本発明の光磁気メモリ用媒体の読み出し層には、Ｇｄ−
Ｆｅ、 Ｇｄ−Ｆｅ−Ｇｏ、 Ｇｄ−Ｇｏ等、あるいは
これらにＣｒやＡＩ等を添加したものが良い。Ｇｄ−（
Ｆｅ＋−ｙＧｏ、 ）では、ｙ＝ｏ、３程度で読み出し
特性が最大になる。読み出し層の単独の保磁力は小さく
する方が良く、数１０〜１０００ｅ程度が望ましい。読
み出し層の保磁力が大きいと、記録に要するバイアス磁
界の大きさが大きくなるからである。また、読み出し層
の保磁力が非常に大きいと、読み出し居と記録層がとも
に鉄族副格子磁化優勢であっても三層の正味磁化の方向
が平行にならない場合が生じ、三層が同じ情報を記録し
ない場合が生じてしまう。これは、読み出し層の保磁力
が大きすぎると交換力によって記録層の情報を読み出し
層に移せないために生じる。したがって、読み出し層の
単独の保磁力が小さく、かつ交換相互作用が有効に働い
ていて三層の正味磁化が平行である場合には、情報を正
しく記録できる。また、読み出し層の膜厚は２００〜５
００人程度が適当である。
Ｆｅ、 Ｇｄ−Ｆｅ−Ｇｏ、 Ｇｄ−Ｇｏ等、あるいは
これらにＣｒやＡＩ等を添加したものが良い。Ｇｄ−（
Ｆｅ＋−ｙＧｏ、 ）では、ｙ＝ｏ、３程度で読み出し
特性が最大になる。読み出し層の単独の保磁力は小さく
する方が良く、数１０〜１０００ｅ程度が望ましい。読
み出し層の保磁力が大きいと、記録に要するバイアス磁
界の大きさが大きくなるからである。また、読み出し層
の保磁力が非常に大きいと、読み出し居と記録層がとも
に鉄族副格子磁化優勢であっても三層の正味磁化の方向
が平行にならない場合が生じ、三層が同じ情報を記録し
ない場合が生じてしまう。これは、読み出し層の保磁力
が大きすぎると交換力によって記録層の情報を読み出し
層に移せないために生じる。したがって、読み出し層の
単独の保磁力が小さく、かつ交換相互作用が有効に働い
ていて三層の正味磁化が平行である場合には、情報を正
しく記録できる。また、読み出し層の膜厚は２００〜５
００人程度が適当である。
溝ピッチ１．６−１直径１３０ｍｍのポリカーボネイト
基盤上に通常のスパッタリング法によって、誘電体層Ｚ
ｎＳ （膜厚：８００人）、読み出し層Ｇｄ−Ｆｅ−
Ｇｏ（３００人）、記録層Ｔｂ−Ｆｅ （２００人）
、読み出し層Ｇｄ−Ｆｅ−Ｇｏ （３００人）、誘電体
層ＺｎＳ （８００人）ｆを順次成膜し４個の光磁気
メモリ媒体を作成した。希土類副格子磁化優勢の膜を製
作するためには補償組成よりも、希土類元素の組成をふ
やし、鉄属副格子磁化優勢の膜を作製するためには、鉄
属元素の組成をふやした。
基盤上に通常のスパッタリング法によって、誘電体層Ｚ
ｎＳ （膜厚：８００人）、読み出し層Ｇｄ−Ｆｅ−
Ｇｏ（３００人）、記録層Ｔｂ−Ｆｅ （２００人）
、読み出し層Ｇｄ−Ｆｅ−Ｇｏ （３００人）、誘電体
層ＺｎＳ （８００人）ｆを順次成膜し４個の光磁気
メモリ媒体を作成した。希土類副格子磁化優勢の膜を製
作するためには補償組成よりも、希土類元素の組成をふ
やし、鉄属副格子磁化優勢の膜を作製するためには、鉄
属元素の組成をふやした。
各々に対して記録・消去を行った。回転数は３６００ｒ
ｐｍで、記録時のバイアス磁界は２０００ｅ、消去時の
バイアス磁界は一４０００ｅとした。読み出し層が両層
とも希土類副格子磁化優勢であり、記録層が希土類副格
子磁化優勢あるいは鉄族副格子磁化優勢の媒体では、記
録に必要なレーザーパワーが７〜８ｍＷ以上も必要であ
るのに対して、読み出し層が鉄族副格子磁化優勢で、記
録層が希土類副格子磁化優勢の媒体では、５ｍＷ程度と
良かった。更に読み出し層も記録層も鉄属副格子磁化優
勢な本発明の媒体では４［ＤＷ程度と良かった。読み出
し特性についても、本発明のものは他の媒体よりも２〜
３ｄＢ程度ＣＮ比が良かった。
ｐｍで、記録時のバイアス磁界は２０００ｅ、消去時の
バイアス磁界は一４０００ｅとした。読み出し層が両層
とも希土類副格子磁化優勢であり、記録層が希土類副格
子磁化優勢あるいは鉄族副格子磁化優勢の媒体では、記
録に必要なレーザーパワーが７〜８ｍＷ以上も必要であ
るのに対して、読み出し層が鉄族副格子磁化優勢で、記
録層が希土類副格子磁化優勢の媒体では、５ｍＷ程度と
良かった。更に読み出し層も記録層も鉄属副格子磁化優
勢な本発明の媒体では４［ＤＷ程度と良かった。読み出
し特性についても、本発明のものは他の媒体よりも２〜
３ｄＢ程度ＣＮ比が良かった。
以上説明したように、室温において高い保磁力と低いキ
ュリー温度を有する記録層を、低い保磁力と高いキュリ
ー温度を有する読み出し層ではさんだ交換結合をした三
層構造の光磁気メモリ用媒体において、前記記録層と前
記読み出し層として鉄族副格子磁化優勢な希土類−鉄族
非晶質合金薄膜を使用し、かつ三層の正味磁化の方向を
平行にすることにより情報の記録・再生特性が最適化さ
れた。
ュリー温度を有する記録層を、低い保磁力と高いキュリ
ー温度を有する読み出し層ではさんだ交換結合をした三
層構造の光磁気メモリ用媒体において、前記記録層と前
記読み出し層として鉄族副格子磁化優勢な希土類−鉄族
非晶質合金薄膜を使用し、かつ三層の正味磁化の方向を
平行にすることにより情報の記録・再生特性が最適化さ
れた。
図１は、記録層と読み出し層として鉄族副格子磁化優勢
な希土類−鉄族非晶質合金薄膜を使用した交換結合三層
膜の本発明の提案する構成と記録過程を説明する図、図
２は、２つの読み出し層かそれぞれ異なる副格子磁化が
優勢である交換結合三層膜の構成と記録過程を説明する
図、図３は、記録層が鉄族副格子磁化優勢な希土類−鉄
族非晶質合金薄膜であり、読み出し層が希土類副格子磁
化ａ勢な希土類−鉄族非晶質合金薄膜である交換結合三
層１１！２の構成と記録過程を説明する図、図４は、希
土類副格子磁化優勢な膜と鉄族副格子磁化優勢な膜とか
らなる交換結合二層膜を説明する図である。 １、：ｌ、５，７、！１．１１ ・・・ 読み出し層
、２．６、ＩＯ・・・記録層 ４，８．１２−・・ バイアス磁界、 １３、１６ ・・・ 希土類副格子磁化、１４．１７
・・・ 鉄族副格子磁化、１５、＋８ −・・
正味磁化。
な希土類−鉄族非晶質合金薄膜を使用した交換結合三層
膜の本発明の提案する構成と記録過程を説明する図、図
２は、２つの読み出し層かそれぞれ異なる副格子磁化が
優勢である交換結合三層膜の構成と記録過程を説明する
図、図３は、記録層が鉄族副格子磁化優勢な希土類−鉄
族非晶質合金薄膜であり、読み出し層が希土類副格子磁
化ａ勢な希土類−鉄族非晶質合金薄膜である交換結合三
層１１！２の構成と記録過程を説明する図、図４は、希
土類副格子磁化優勢な膜と鉄族副格子磁化優勢な膜とか
らなる交換結合二層膜を説明する図である。 １、：ｌ、５，７、！１．１１ ・・・ 読み出し層
、２．６、ＩＯ・・・記録層 ４，８．１２−・・ バイアス磁界、 １３、１６ ・・・ 希土類副格子磁化、１４．１７
・・・ 鉄族副格子磁化、１５、＋８ −・・
正味磁化。
Claims (1)
- １）室温において高い保磁力と低いキュリー温度を有す
る記録層を、低い保磁力と高いキュリー温度を有する読
み出し層ではさんだ交換結合をした三層構造の磁性層を
もつ光磁気メモリ用媒体において、前記記録層と前記両
読み出し層として、鉄族副格子磁化優勢な希土類−鉄族
非晶質合金薄膜を使用し、かつ、三層の正味磁化の方向
を平行にしたことを特徴とする光磁気メモリ用媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61262629A JPH0782674B2 (ja) | 1986-11-06 | 1986-11-06 | 光磁気メモリ用媒体 |
| US07/114,518 US4842956A (en) | 1986-11-06 | 1987-10-30 | Opto-magnetic recording medium having three exchange-coupled magnetic layers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61262629A JPH0782674B2 (ja) | 1986-11-06 | 1986-11-06 | 光磁気メモリ用媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63117355A true JPS63117355A (ja) | 1988-05-21 |
| JPH0782674B2 JPH0782674B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=17378447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61262629A Expired - Fee Related JPH0782674B2 (ja) | 1986-11-06 | 1986-11-06 | 光磁気メモリ用媒体 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4842956A (ja) |
| JP (1) | JPH0782674B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0352548A2 (en) * | 1988-07-13 | 1990-01-31 | Sony Corporation | Thermo-magnetic recording method |
| EP0364196A2 (en) * | 1988-10-11 | 1990-04-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording medium having a record layer and a readout layer each containing Cr |
| US5095350A (en) * | 1989-04-07 | 1992-03-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optic memory medium |
| US5367509A (en) * | 1991-02-12 | 1994-11-22 | Sony Corporation | Method for reproducing information recorded on a magneto-optical recording medium including servo controlling the dimension of the reproduction region of the recording medium by means of a recorded signal |
| US5547773A (en) * | 1991-07-23 | 1996-08-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Magnetooptic recording medium |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5225289A (en) * | 1987-08-25 | 1993-07-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Opto-magnetic recording medium having plurality of exchange-coupled magnetic layers |
| US5209835A (en) * | 1988-03-03 | 1993-05-11 | Asahi Glass Company Ltd. | Method for producing a specified zirconium-silicon amorphous oxide film composition by sputtering |
| US5239534A (en) * | 1988-12-12 | 1993-08-24 | Nikon Corporation | Multi-layer over write capable magnetooptical recording medium |
| NL8803168A (nl) * | 1988-12-24 | 1990-07-16 | Philips Nv | Werkwijze voor het thermomagnetisch registreren van informatie en het optisch uitlezen van de geregistreerde informatie alsmede een registratie-element dat geschikt is voor toepassing in deze werkwijze. |
| EP0454858B1 (en) * | 1989-11-10 | 1996-08-14 | Mitsubishi Chemical Corporation | Magnetooptical recording medium |
| US5233575A (en) * | 1989-11-10 | 1993-08-03 | Mitsubishi Kasei Corporation | Magneto-optical recording medium |
| EP0448919B1 (en) * | 1990-03-26 | 1996-02-14 | International Business Machines Corporation | Recording media |
| EP0818783A3 (en) * | 1991-07-16 | 1999-04-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Magneto optical recording medium and method |
| JPH05347039A (ja) * | 1992-04-17 | 1993-12-27 | Fujitsu Ltd | ガーネット薄膜を用いた光磁気記録媒体およびその製造方法 |
| JP3426034B2 (ja) * | 1994-07-20 | 2003-07-14 | シャープ株式会社 | 光磁気記録媒体および記録再生方法並びに光磁気記録媒体の製造方法 |
| US6322530B1 (en) | 1996-11-08 | 2001-11-27 | Aircast, Inc. | Pneumatic Achilles wrap |
| JP3538727B2 (ja) * | 1997-10-01 | 2004-06-14 | 富士通株式会社 | 光磁気記録媒体 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61159716A (ja) * | 1984-12-30 | 1986-07-19 | Aichi Electric Mfg Co Ltd | リアクトル鉄心の積層方法及び同積層装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4293621A (en) * | 1978-10-12 | 1981-10-06 | Nippon Hoso Kyokai | Recording medium |
| US4693943A (en) * | 1982-05-10 | 1987-09-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Magnetooptical recording medium |
| JPH0670858B2 (ja) * | 1983-05-25 | 1994-09-07 | ソニー株式会社 | 光磁気記録媒体とその製法 |
| US4556291A (en) * | 1983-08-08 | 1985-12-03 | Xerox Corporation | Magneto-optic storage media |
-
1986
- 1986-11-06 JP JP61262629A patent/JPH0782674B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1987
- 1987-10-30 US US07/114,518 patent/US4842956A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61159716A (ja) * | 1984-12-30 | 1986-07-19 | Aichi Electric Mfg Co Ltd | リアクトル鉄心の積層方法及び同積層装置 |
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| EP0352548A3 (en) * | 1988-07-13 | 1992-09-02 | Sony Corporation | Thermo-magnetic recording method |
| US5379275A (en) * | 1988-07-13 | 1995-01-03 | Sony Corporation | Thermomagnetic recording method using a recording light power modulated according to the signal to be modulated |
| EP0735531A1 (en) * | 1988-07-13 | 1996-10-02 | Sony Corporation | Thermo-magnetic recording method |
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| EP0364196A2 (en) * | 1988-10-11 | 1990-04-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording medium having a record layer and a readout layer each containing Cr |
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| US5547773A (en) * | 1991-07-23 | 1996-08-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Magnetooptic recording medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0782674B2 (ja) | 1995-09-06 |
| US4842956A (en) | 1989-06-27 |
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| JPH03122849A (ja) | 光磁気記録媒体 |
Legal Events
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|---|---|---|---|
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