JPS63113326A - 触覚センサ - Google Patents
触覚センサInfo
- Publication number
- JPS63113326A JPS63113326A JP25837686A JP25837686A JPS63113326A JP S63113326 A JPS63113326 A JP S63113326A JP 25837686 A JP25837686 A JP 25837686A JP 25837686 A JP25837686 A JP 25837686A JP S63113326 A JPS63113326 A JP S63113326A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- strain
- diaphragm
- tactile sensor
- sensitive element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000035807 sensation Effects 0.000 title abstract description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 abstract description 7
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 abstract 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 210000000697 sensory organ Anatomy 0.000 description 1
- 230000015541 sensory perception of touch Effects 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は触覚センサに関し、特にロボットの手などにと
りつけ、対象物を握った時の反発力やすべり覚を検出す
るのに用いて好適な触覚センサの構造に関するものであ
る。
りつけ、対象物を握った時の反発力やすべり覚を検出す
るのに用いて好適な触覚センサの構造に関するものであ
る。
近年、安価で高性能なマイクロコンピュータが普及し、
それらを用いることにより、様々な産業分野で自動化あ
るいはロボット化が進められつつある。しかし、現在実
用化されているロボットは、ある定まった形、定まった
大きさ、あるいは定まった重さの物を持ち上げたり運ん
だり、あるいは加工・組立等の作業を一定にプログラム
によってしか行えないというのが現状である。一方、消
費者の多様化により多品種少量生産の傾向が強くなり、
ＦＭＳ （Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉ
ｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ）と呼ばれる自動化技術の開発が叫
ばれている。この様な自動化の流れに於いては、人間の
感覚器官を代行する様々なセンサを用いて、機械自体に
判断機能をもたせた知能ロボットを実現する必要がある
。例えば、ロボットが対象物を持ち上げる動作を考えた
場合、まず視覚センサにより対象物を見つけ、近接室セ
ンサにより対象物に近づき、その後、対象物に触れる、
という手順を考えることができる。ここで、触覚センサ
はまず対象物に触れたかどうかの０Ｎ−ＯＦＦ情報を検
出し、次に対象物を握り、対象物からの反発力を測り、
対象物が硬いか柔らかいかを判断する。そして対象物を
持ち上げる際に、対象物がすべっていないかどうかも的
確に判断する必要がある。すなわち触覚センサとして必
要な機能は、触れたかどうかの接触覚、物をつかんだ時
の強さである圧覚、更にすべっていないかどうかのすべ
り覚等が必要である。
それらを用いることにより、様々な産業分野で自動化あ
るいはロボット化が進められつつある。しかし、現在実
用化されているロボットは、ある定まった形、定まった
大きさ、あるいは定まった重さの物を持ち上げたり運ん
だり、あるいは加工・組立等の作業を一定にプログラム
によってしか行えないというのが現状である。一方、消
費者の多様化により多品種少量生産の傾向が強くなり、
ＦＭＳ （Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉ
ｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ）と呼ばれる自動化技術の開発が叫
ばれている。この様な自動化の流れに於いては、人間の
感覚器官を代行する様々なセンサを用いて、機械自体に
判断機能をもたせた知能ロボットを実現する必要がある
。例えば、ロボットが対象物を持ち上げる動作を考えた
場合、まず視覚センサにより対象物を見つけ、近接室セ
ンサにより対象物に近づき、その後、対象物に触れる、
という手順を考えることができる。ここで、触覚センサ
はまず対象物に触れたかどうかの０Ｎ−ＯＦＦ情報を検
出し、次に対象物を握り、対象物からの反発力を測り、
対象物が硬いか柔らかいかを判断する。そして対象物を
持ち上げる際に、対象物がすべっていないかどうかも的
確に判断する必要がある。すなわち触覚センサとして必
要な機能は、触れたかどうかの接触覚、物をつかんだ時
の強さである圧覚、更にすべっていないかどうかのすべ
り覚等が必要である。
このようにロボットに必要な触覚センサの機能は多岐に
わたっており、その必要性が強く認識されている。
わたっており、その必要性が強く認識されている。
しかし、現在一般に用いられている触覚センサは、大き
過ぎたりあるいは直線性や再現性等に劣っていたりする
欠点がある。以下、従来例を図にあげて説明し、同時に
その欠点についてのべる。
過ぎたりあるいは直線性や再現性等に劣っていたりする
欠点がある。以下、従来例を図にあげて説明し、同時に
その欠点についてのべる。
第６図は従来の触覚センサの構成例を示す概観図である
０図中６０は、導電性ゴムシートで、両側表面を互いに
直交する上部電極６１と下部電極６２とによって挟まれ
ている。今、図中に矢印で示す位置に印加力６３が加わ
るとき導電性ゴムシート６０の抵抗６４の値が変化する
。一方、他の位置での導電ゴムシート６０の抵抗、例え
ば抵抗６５の値の変化は抵抗６４に比べて小さい。従っ
て、この導電性ゴムシート６０の変化した抵抗の位置か
ら印加力６３の位置を、また抵抗６４の値の変化分から
印加力の大きさを検出することができる。この従来例の
センサは、構造が簡単なこととコストが安くつくること
ができることから広く用いられている。しかし、センサ
としての特性が、第７図に示すように、（１）印加力に
対する抵抗率の変化が直線的でない、（２）ヒステレシ
スがある等の欠点があり、まことに使いづらいものであ
った。また、ゴムとしての材料的性質から、繰り返し使
用するとｉムの弾性が失われるという問題もあり、これ
に代わる新しいセンサの実現が切に望まれていた。
０図中６０は、導電性ゴムシートで、両側表面を互いに
直交する上部電極６１と下部電極６２とによって挟まれ
ている。今、図中に矢印で示す位置に印加力６３が加わ
るとき導電性ゴムシート６０の抵抗６４の値が変化する
。一方、他の位置での導電ゴムシート６０の抵抗、例え
ば抵抗６５の値の変化は抵抗６４に比べて小さい。従っ
て、この導電性ゴムシート６０の変化した抵抗の位置か
ら印加力６３の位置を、また抵抗６４の値の変化分から
印加力の大きさを検出することができる。この従来例の
センサは、構造が簡単なこととコストが安くつくること
ができることから広く用いられている。しかし、センサ
としての特性が、第７図に示すように、（１）印加力に
対する抵抗率の変化が直線的でない、（２）ヒステレシ
スがある等の欠点があり、まことに使いづらいものであ
った。また、ゴムとしての材料的性質から、繰り返し使
用するとｉムの弾性が失われるという問題もあり、これ
に代わる新しいセンサの実現が切に望まれていた。
本発明の目的は、上記従来技術の欠点を除去し、高性能
かつ小型の触覚センサを提供することにある。
かつ小型の触覚センサを提供することにある。
本願第１の発明の触覚センサは、一部に薄肉のダイアフ
ラムを有する起歪体と、 前記ダイアフラムに配した感圧素子と、この感圧素子が
配された前記ダイアフラムに対向して設けられており、
その形状が球状の形状とされフラムを有する起歪体と、 前記ダイアフラムに配した感圧素子と、この感圧素子が
配された前記ダイアフラムに対向して設けられており、
その形状が球状の形状とされた加圧部とを有する触覚セ
ンサにおいて、前記ダイアフラム、感圧素子、加圧部を
それぞれ共通の起歪体に複数個アレイ状に配置し、個々
の感圧素子に生ずる電気信号を互いに独立して出力でき
るようにしたことを特徴としている。
ラムを有する起歪体と、 前記ダイアフラムに配した感圧素子と、この感圧素子が
配された前記ダイアフラムに対向して設けられており、
その形状が球状の形状とされフラムを有する起歪体と、 前記ダイアフラムに配した感圧素子と、この感圧素子が
配された前記ダイアフラムに対向して設けられており、
その形状が球状の形状とされた加圧部とを有する触覚セ
ンサにおいて、前記ダイアフラム、感圧素子、加圧部を
それぞれ共通の起歪体に複数個アレイ状に配置し、個々
の感圧素子に生ずる電気信号を互いに独立して出力でき
るようにしたことを特徴としている。
本発明の触覚センサは、センサに加えられた力が球状の
加圧部を介してダイアフラムをもつ起歪体に作用するこ
とに特徴があり、この起歪体に生じた歪みを感圧素子に
よって電気信号に変換するものである。
加圧部を介してダイアフラムをもつ起歪体に作用するこ
とに特徴があり、この起歪体に生じた歪みを感圧素子に
よって電気信号に変換するものである。
次に、本願第１の発明について図面を参照して説明する
。
。
第１図は、本願第１の発明の一実施例の断面を示したも
のである。
のである。
この触覚センサは、起歪体１と、加圧部２と、弾性体３
と、台座４と、感圧素子５と、そして図示の起歪体１の
場合はその起歪体１の中央部に形成したダイアフラム６
とで構成されている。
と、台座４と、感圧素子５と、そして図示の起歪体１の
場合はその起歪体１の中央部に形成したダイアフラム６
とで構成されている。
加圧部２は、サファイアの球で、シリコンから成る起歪
体１ （シリコン基板）内に設けられたキャビティ９上
に置かれており、接触点８により支持されている。接触
点８は、キャビティ９の平面形状を正方形としたときは
４個の点であり、長方形としたときには２個の点である
。また、キャビティ９の平面形状を円としたときには接
触点８は円となる。ダイアフラム６は、シリコンからな
る薄肉の膜で、起歪体ｌからシリコンの異方性エツチン
グ技術を用いて作製する。このダイアプラム６上で発生
する歪みが最も大きくなる位置にイオン注入あるいは拡
散により形成した感圧素子５を配置する。起歪体１は、
穴７が開けられた台座４（コーニング＃ ７７４０が望
ましい）に静電ボンディングにより接着され、他方の表
面をシリコンゴムからなる弾性体３により被覆されてい
る。
体１ （シリコン基板）内に設けられたキャビティ９上
に置かれており、接触点８により支持されている。接触
点８は、キャビティ９の平面形状を正方形としたときは
４個の点であり、長方形としたときには２個の点である
。また、キャビティ９の平面形状を円としたときには接
触点８は円となる。ダイアフラム６は、シリコンからな
る薄肉の膜で、起歪体ｌからシリコンの異方性エツチン
グ技術を用いて作製する。このダイアプラム６上で発生
する歪みが最も大きくなる位置にイオン注入あるいは拡
散により形成した感圧素子５を配置する。起歪体１は、
穴７が開けられた台座４（コーニング＃ ７７４０が望
ましい）に静電ボンディングにより接着され、他方の表
面をシリコンゴムからなる弾性体３により被覆されてい
る。
本実施例の触覚センサは、このように、中央部に薄肉の
ダイアフラム６をもつ起歪体１と、このダイアフラム６
表面上におかれた感圧素子５と、この感圧素子５の置か
れた表面と反対側のダイアフラム６表面に対向して設け
られた加圧部２とから成り、当該加圧部２が球状の形状
をもつ構成となっている。
ダイアフラム６をもつ起歪体１と、このダイアフラム６
表面上におかれた感圧素子５と、この感圧素子５の置か
れた表面と反対側のダイアフラム６表面に対向して設け
られた加圧部２とから成り、当該加圧部２が球状の形状
をもつ構成となっている。
今、この触覚センサが対象物に触れるなどして力が加わ
った場合、弾性体３を通して加えられた力は加圧部２を
介してキャビティ９の設けられた起歪体１に作用し、こ
の起歪体１に歪みが生ずる。
った場合、弾性体３を通して加えられた力は加圧部２を
介してキャビティ９の設けられた起歪体１に作用し、こ
の起歪体１に歪みが生ずる。
感圧素子５は、このように起歪体１に生じた歪みを電気
信号に変換し、これが出力電圧として取り出される。こ
こで、加圧部２を球状とすることにより外界から加えら
れる力と起歪体１との接触部の面積を小さくすることが
できるため、従来問題であった外界の力とデバイスとの
接触のしかたに起因する誤差を減少させることができた
。また、加圧部２と起歪体１は、本例では、それぞれヤ
ング率の大きいサファイアおよびシリコンからなってい
るため外界の力による変位量が小さいことも本デバイス
の特徴である。
信号に変換し、これが出力電圧として取り出される。こ
こで、加圧部２を球状とすることにより外界から加えら
れる力と起歪体１との接触部の面積を小さくすることが
できるため、従来問題であった外界の力とデバイスとの
接触のしかたに起因する誤差を減少させることができた
。また、加圧部２と起歪体１は、本例では、それぞれヤ
ング率の大きいサファイアおよびシリコンからなってい
るため外界の力による変位量が小さいことも本デバイス
の特徴である。
起歪体１の材料としてシリコンを用い、感圧素子５とし
てゲージ抵抗を用いるならば、直線性の良い高感度のセ
ンサを実現することが可能である。
てゲージ抵抗を用いるならば、直線性の良い高感度のセ
ンサを実現することが可能である。
第２図および第３図は本願第１の発明の他の実施例を示
す断面図である。図において、第１図と同一符号は同一
要素を示している。第２図、第３図の構成は、ダイアフ
ラム６の側面に新たに溝２０を付は加えたことにおいて
第１図のものと異なる。
す断面図である。図において、第１図と同一符号は同一
要素を示している。第２図、第３図の構成は、ダイアフ
ラム６の側面に新たに溝２０を付は加えたことにおいて
第１図のものと異なる。
また、第２図と第３図は溝２０の位置を起歪体１の異な
る表面に設けたことに特徴がある。本構成をもつセンサ
は第１図の場合に比べて感度を大きくすることができる
という利点がある。
る表面に設けたことに特徴がある。本構成をもつセンサ
は第１図の場合に比べて感度を大きくすることができる
という利点がある。
第４図は、本願第１の発明による構成をもつ触覚センサ
の印加力に対する応答を概念的に示したものである。第
４図に示すように従来のセンサに比べて＋１）直線性が
よい、（２）ヒステリシスがない等の優れた特徴がある
ことがわかる。
の印加力に対する応答を概念的に示したものである。第
４図に示すように従来のセンサに比べて＋１）直線性が
よい、（２）ヒステリシスがない等の優れた特徴がある
ことがわかる。
第５図は、先の本願第１の発明の触覚センサを一素子と
してこれを平面に複数個配置した本願第２の発明のアレ
イセンサの構成を示したもので、一部に薄肉のダイアフ
ラム６をもつ起歪体１と、このダイアフラム６表面上に
おかれた感圧素子５と、この感圧素子の置かれた表面と
反対側のダイアフラム６表面に対向して設けられた加圧
部２とを有し、当該加圧部２が球状の形状をもつ触覚セ
ンサを複数個アレイ状に配置し、個々の感圧素子５に生
ずる電気的信号を互いに独立に出力できるようにしたも
のである。
してこれを平面に複数個配置した本願第２の発明のアレ
イセンサの構成を示したもので、一部に薄肉のダイアフ
ラム６をもつ起歪体１と、このダイアフラム６表面上に
おかれた感圧素子５と、この感圧素子の置かれた表面と
反対側のダイアフラム６表面に対向して設けられた加圧
部２とを有し、当該加圧部２が球状の形状をもつ触覚セ
ンサを複数個アレイ状に配置し、個々の感圧素子５に生
ずる電気的信号を互いに独立に出力できるようにしたも
のである。
第５図において第１図と同じ符号は同一の構成要素を示
している。図中の５０は、感圧素子５のリード線を表し
ており、触覚センサの各要素内に外力により発生した電
気信号を互いに独立に検出できるようにしている。本構
成によるアレイセンサを用いることにより、外界の印加
圧の面内分布を検出することができ、圧覚の分布を測定
することができる。また、このアレイセンサのキャビテ
ィ９は、シリコンの異方性エツチング技術を用いてシリ
コン基板（起歪体）１より一度に作製することができる
ため、各素子間のばらつきが小さいことおよび製造コス
トが安いという特徴がある。
している。図中の５０は、感圧素子５のリード線を表し
ており、触覚センサの各要素内に外力により発生した電
気信号を互いに独立に検出できるようにしている。本構
成によるアレイセンサを用いることにより、外界の印加
圧の面内分布を検出することができ、圧覚の分布を測定
することができる。また、このアレイセンサのキャビテ
ィ９は、シリコンの異方性エツチング技術を用いてシリ
コン基板（起歪体）１より一度に作製することができる
ため、各素子間のばらつきが小さいことおよび製造コス
トが安いという特徴がある。
以上、本発明について例を挙げ詳細な説明を行った。な
お、本発明の構成は、センサの台座として金属基板、シ
リコン基板、ＰＣＢ基板等に関係なく成り立つ事は言う
までもないことである。また、センサの表面を被覆する
弾性体として通常知られているゴムシート等も本発明に
含まれる。
お、本発明の構成は、センサの台座として金属基板、シ
リコン基板、ＰＣＢ基板等に関係なく成り立つ事は言う
までもないことである。また、センサの表面を被覆する
弾性体として通常知られているゴムシート等も本発明に
含まれる。
なお、上記実施例においてダイアフラムの面積を大きく
したり、その厚さを薄くシたりすることによりセンサの
感度を大きくすることができる。
したり、その厚さを薄くシたりすることによりセンサの
感度を大きくすることができる。
しかし、この場合には、同時にセンサのレンジが小さく
なったり、寸法が大きくなったりするので、実際にセン
サを設計する際には、以上の点を考慮してセンサの特性
を最適にするようにダイアフラムの寸法を決めなければ
ならない。
なったり、寸法が大きくなったりするので、実際にセン
サを設計する際には、以上の点を考慮してセンサの特性
を最適にするようにダイアフラムの寸法を決めなければ
ならない。
以上説明したとおり、本発明によれば、直線性の良い、
ヒステリシスのない高性能な触覚センサを実現すること
が可能となった。本発明の触覚センサは従来のシリコン
ＩＣプロセス技術と合致した製法で大量に製造すること
ができるため、製造コストを低減する事ができる。また
、センサ素子をアレイ状に配置した本願第２の発明のセ
ンサは、各素子間のばらつきが小さいため対象物の圧覚
やすべり覚の検出を行う高性能な触覚センサとして利用
する事ができる。これらの効果は著しいものであり、本
発明は有効なものである。
ヒステリシスのない高性能な触覚センサを実現すること
が可能となった。本発明の触覚センサは従来のシリコン
ＩＣプロセス技術と合致した製法で大量に製造すること
ができるため、製造コストを低減する事ができる。また
、センサ素子をアレイ状に配置した本願第２の発明のセ
ンサは、各素子間のばらつきが小さいため対象物の圧覚
やすべり覚の検出を行う高性能な触覚センサとして利用
する事ができる。これらの効果は著しいものであり、本
発明は有効なものである。
第１図は本願第１の発明の一実施例の断面図、第２図は
他の実施例の断面図、 第３図は更に他の実施例の断面図、 第４図は本願第１の発明のセンサの特性の概念図、 第５図は本願第２の発明による触覚センサアレイの一例
を示す斜視図、 第６図は従来の触覚センサの構成図、 第７図はその特性を示す概念図である。 １・・・起歪体 ２・・・加圧部 ３・・・弾性体 ４・・・台座 ５・・・感圧素子 ６・・・ダイアフラム ７・・・穴 ８・・・接触点 ９・・・キャビティ ２０・・・溝 ５０・・・リード線 第２図 第５図
他の実施例の断面図、 第３図は更に他の実施例の断面図、 第４図は本願第１の発明のセンサの特性の概念図、 第５図は本願第２の発明による触覚センサアレイの一例
を示す斜視図、 第６図は従来の触覚センサの構成図、 第７図はその特性を示す概念図である。 １・・・起歪体 ２・・・加圧部 ３・・・弾性体 ４・・・台座 ５・・・感圧素子 ６・・・ダイアフラム ７・・・穴 ８・・・接触点 ９・・・キャビティ ２０・・・溝 ５０・・・リード線 第２図 第５図
Claims (12)
- （１）一部に薄肉のダイアフラムを有する起歪体と、 前記ダイアフラムに配した感圧素子と、 この感圧素子が配された前記ダイアフラムに対向して設
けられており、その形状が球状の形状とされた加圧部と
を有することを特徴とする触覚センサ。 - （２）特許請求の範囲第１項に記載の触覚センサにおい
て、 前記起歪体は、中央部にダイアフラムをもつ起歪体であ
り、 前記感圧素子は、前記ダイアフラム表面上に置かれ、 前記加圧部は、前記感圧素子の置かれた表面と反対側の
ダイアフラム表面に対向して設けられていることを特徴
とする触覚センサ。 - （３）特許請求の範囲第１項または第２項のいずれかに
記載の触覚センサにおいて、 前記加圧部と起歪体は、それぞれヤング率の大きい材料
のものから成っていることを特徴とする触覚センサ。 - （４）特許請求の範囲第３項に記載の触覚センサにおい
て、 前記加圧部は、サファイアから成り、 前記起歪体は、シリコンから成っていることを特徴とす
る触覚センサ。 - （５）特許請求の範囲第１項〜第４項のいずれかに記載
の触覚センサにおいて、 前記起歪体の材料としてシリコンを用い、 前記感圧素子としてゲージ抵抗を用いることを特徴とす
る触覚センサ。 - （６）特許請求の範囲第１項〜第５項のいずれかに記載
の触覚センサにおいて、 前記起歪体は、ダイアフラムの側部に溝を有する起歪体
であることを特徴とする触覚センサ。 - （７）一部に薄肉のダイアフラムを有する起歪体と、 前記ダイアフラムに配した感圧素子と、 この感圧素子が配された前記ダイアフラムに対向して設
けられており、その形状が球状の形状とされた加圧部と
を有する触覚センサにおいて、前記ダイアフラム、感圧
素子、加圧部をそれぞれ共通の起歪体に複数個アレイ状
に配置し、個々の感圧素子に生ずる電気信号を互いに独
立して出力できるようにしたことを特徴とする触覚セン
サ。 - （８）特許請求の範囲第７項に記載の触覚センサにおい
て、 前記起歪体は、中央部にダイアフラムをもつ起歪体であ
り、 前記感圧素子は、前記ダイアフラム表面上に置かれ、 前記加圧部は、前記感圧素子の置かれた表面と反対側の
ダイアフラム表面に対向して設けられていることを特徴
とする触覚センサ。 - （９）特許請求の範囲第７項または第８項のいずれかに
記載の触覚センサにおいて、 前記加圧部と起歪体は、それぞれヤング率の大きい材料
のものから成っていることを特徴とする触覚センサ。 - （１０）特許請求の範囲第９項に記載の触覚センサにお
いて、 前記加圧部は、サファイアから成り、 前記起歪体は、シリコンから成っていることを特徴とす
る触覚センサ。 - （１１）特許請求の範囲第７項〜第１０項のいずれかに
記載の触覚センサにおいて、 前記起歪体の材料としてシリコンを用い、 前記感圧素子としてゲージ抵抗を用いることを特徴とす
る触覚センサ。 - （１２）特許請求の範囲第７項〜第１１項のいずれかに
記載の触覚センサにおいて、 前記起歪体は、ダイアフラムの側部に溝を有する起歪体
であることを特徴とする触覚センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61258376A JPH0658269B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 触覚センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61258376A JPH0658269B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 触覚センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63113326A true JPS63113326A (ja) | 1988-05-18 |
| JPH0658269B2 JPH0658269B2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=17319384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61258376A Expired - Fee Related JPH0658269B2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 | 触覚センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0658269B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0267936A (ja) * | 1988-07-14 | 1990-03-07 | Blomberg Robotertecknik Gmbh | 触覚センサ |
| JP2005150950A (ja) * | 2003-11-12 | 2005-06-09 | Toppan Printing Co Ltd | 弾性表面波素子アレイ及び圧力センサ |
| US8286509B2 (en) | 2007-01-29 | 2012-10-16 | Tokyo Denki University | Tactile sensor |
| JP2017102051A (ja) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | ニッタ株式会社 | 圧力測定装置及び圧力測定プログラム |
| JP6456467B1 (ja) * | 2017-12-08 | 2019-01-23 | フォシャン センシックフュージョン テクノロジー カンパニー，リミテッド | 力覚センサレイ |
| WO2022080223A1 (ja) * | 2020-10-14 | 2022-04-21 | 国立大学法人香川大学 | 触覚センサ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6090696A (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-21 | オムロン株式会社 | 圧覚センサ |
-
1986
- 1986-10-31 JP JP61258376A patent/JPH0658269B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6090696A (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-21 | オムロン株式会社 | 圧覚センサ |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0267936A (ja) * | 1988-07-14 | 1990-03-07 | Blomberg Robotertecknik Gmbh | 触覚センサ |
| JP2005150950A (ja) * | 2003-11-12 | 2005-06-09 | Toppan Printing Co Ltd | 弾性表面波素子アレイ及び圧力センサ |
| US8286509B2 (en) | 2007-01-29 | 2012-10-16 | Tokyo Denki University | Tactile sensor |
| JP2017102051A (ja) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | ニッタ株式会社 | 圧力測定装置及び圧力測定プログラム |
| JP6456467B1 (ja) * | 2017-12-08 | 2019-01-23 | フォシャン センシックフュージョン テクノロジー カンパニー，リミテッド | 力覚センサレイ |
| JP2019100991A (ja) * | 2017-12-08 | 2019-06-24 | フォシャン センシックフュージョン テクノロジー カンパニー，リミテッド | 力覚センサレイ |
| WO2022080223A1 (ja) * | 2020-10-14 | 2022-04-21 | 国立大学法人香川大学 | 触覚センサ |
| EP4227658A4 (en) * | 2020-10-14 | 2024-03-13 | National University Corporation Kagawa University | TACTILE SENSOR |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0658269B2 (ja) | 1994-08-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI408036B (zh) | 薄片狀觸覺感測系統 | |
| US4817440A (en) | Compliant tactile sensor | |
| Dahiya et al. | Tactile sensing for robotic applications | |
| WO1990006568A1 (en) | Silicon tactile imaging array and method of making same | |
| Takao et al. | Monolithic silicon smart tactile image sensor with integrated strain sensor array on pneumatically swollen single-diaphragm structure | |
| US6007728A (en) | Design of a novel tactile sensor | |
| KR100816660B1 (ko) | 촉각 센서 및 제조 방법 | |
| US20200116577A1 (en) | Tactile sensor | |
| JPS63196080A (ja) | 半導体力センサ及びそれを用いた触覚センサ | |
| JPS63113326A (ja) | 触覚センサ | |
| JP2001311671A (ja) | 力検出子およびこれを用いた力センサ | |
| JP4459428B2 (ja) | 操作量検出装置 | |
| KR100855603B1 (ko) | 촉각 센서 및 제조 방법 | |
| JPS62123326A (ja) | 触覚センサ | |
| JP2020091097A (ja) | 力覚センサ | |
| JPS63217241A (ja) | 接触覚センサ | |
| JPH0564863B2 (ja) | ||
| JPS6132601B2 (ja) | ||
| JPH0629808B2 (ja) | 圧覚センサ | |
| Noda et al. | Stretchable force sensor array using conductive liquid | |
| JPH073379B2 (ja) | 接触覚センサ | |
| JPH01201103A (ja) | 接触検出装置 | |
| JPS629243A (ja) | 半導体触覚センサ | |
| JPS6166135A (ja) | 圧覚センサ | |
| JP2530735Y2 (ja) | 力学量センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |