JPS63108515A - 垂直磁化記録媒体用薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 - Google Patents
垂直磁化記録媒体用薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法Info
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- JPS63108515A JPS63108515A JP25343886A JP25343886A JPS63108515A JP S63108515 A JPS63108515 A JP S63108515A JP 25343886 A JP25343886 A JP 25343886A JP 25343886 A JP25343886 A JP 25343886A JP S63108515 A JPS63108515 A JP S63108515A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、記録密度の向上がはかれる垂ｒｉ６Ｈ化記
録媒体用薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法に関し、特
に下部磁性層より広幅に上部磁性層を成膜するようにし
たものである。
録媒体用薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法に関し、特
に下部磁性層より広幅に上部磁性層を成膜するようにし
たものである。
磁気ディスク等の磁気記録媒体上に信号の記録再生を行
なう磁気ヘッドのひとつに薄膜磁気ヘッドがある。
なう磁気ヘッドのひとつに薄膜磁気ヘッドがある。
この薄膜磁気ヘッドは、フォトリソグラフィ反衝を用い
て磁性層や導体コイルを成膜しながら積層して作られた
ものであり、製法上バルク形ヘッドを機械加工で製作す
るのに比べ寸法の微小化に適するほか、高周波損失やマ
ルチトラックとじた場合のトラック間漏洩が少ない等の
特徴を具えている。
て磁性層や導体コイルを成膜しながら積層して作られた
ものであり、製法上バルク形ヘッドを機械加工で製作す
るのに比べ寸法の微小化に適するほか、高周波損失やマ
ルチトラックとじた場合のトラック間漏洩が少ない等の
特徴を具えている。
このような薄膜磁気ヘッドは、例えば第３図に示すよう
に、基板１上に下部磁性層２を成膜し、フォトリソグラ
フィ技術を用いて所定の形状にしたのち、この上にギャ
ップを形成するための非磁性体の絶縁層３を設け、さら
に導体コイル４を成膜し、絶縁層５を介して最上部に上
部磁性層６を成膜して構成されている。
に、基板１上に下部磁性層２を成膜し、フォトリソグラ
フィ技術を用いて所定の形状にしたのち、この上にギャ
ップを形成するための非磁性体の絶縁層３を設け、さら
に導体コイル４を成膜し、絶縁層５を介して最上部に上
部磁性層６を成膜して構成されている。
そして、磁気記録に用いる場合には、第４図に示すよう
に、この薄膜磁気ヘッド７をスライダ８に取付け、磁気
ディスク９等の磁気記録媒体かられずかに浮上させるよ
うにし、下部磁性層２がリーディングコアとなり、上部
磁性層６がトレーリングコアとなるようにしている。
に、この薄膜磁気ヘッド７をスライダ８に取付け、磁気
ディスク９等の磁気記録媒体かられずかに浮上させるよ
うにし、下部磁性層２がリーディングコアとなり、上部
磁性層６がトレーリングコアとなるようにしている。
このような薄膜磁気ヘッド７では、トラック幅Ｔ、を規
制するため下部磁性層２と上部磁性層６の幅をトラック
幅Ｔ、４に対応したほぼ同一幅にしている。
制するため下部磁性層２と上部磁性層６の幅をトラック
幅Ｔ、４に対応したほぼ同一幅にしている。
ところが、垂直磁化媒体への記録ではこのような上部磁
性層６と下部磁性層２の幅がほぼ同一の場合、第４図中
に拡大して示すように、磁気ディスク９に対してトレー
リングコアとなる上部磁性層６からの磁束の流れにエツ
ジ効果ａが生じてしまう。
性層６と下部磁性層２の幅がほぼ同一の場合、第４図中
に拡大して示すように、磁気ディスク９に対してトレー
リングコアとなる上部磁性層６からの磁束の流れにエツ
ジ効果ａが生じてしまう。
このため記録密度の向上を目的としてギャップＱを小さ
くしてもリーディングコアである下部磁性層２からの磁
束で書込んだ上にさらにトレーリングコアである上部磁
性層６の磁束で書込みが行なわれ、記録がボケでしまい
高記録密度にすることができない。
くしてもリーディングコアである下部磁性層２からの磁
束で書込んだ上にさらにトレーリングコアである上部磁
性層６の磁束で書込みが行なわれ、記録がボケでしまい
高記録密度にすることができない。
この発明はかかる従来技術の問題点に鑑みてなされたも
ので、記録密度の向上がはかれる垂直磁化媒体用薄膜磁
気ヘッドおよびその製造方法を提供しようとするもので
ある。
ので、記録密度の向上がはかれる垂直磁化媒体用薄膜磁
気ヘッドおよびその製造方法を提供しようとするもので
ある。
上記問題点を解決するためこの発明の垂直磁化記録媒体
用薄膜磁気ヘッドは、基板上に、一部にギャップが形成
された上下部磁性層および導体コイルが成膜された薄膜
磁気ヘッドにおいて、非磁性体で形成された基板上に成
膜される下部磁性層をトラック幅に対応する幅とする一
方、この下部磁性層とギャップを挾んで対向する上部磁
性層を下部磁性層より広幅に形成したことを特徴とし、
さらにこの発明の垂直磁化記録媒体用薄膜磁気ヘッドの
製造方法は、非磁性体の基板上にトラック幅に対応した
下部磁性層を成膜したのち、この下部磁性層の少なくと
も幅方向両側に絶縁層を・成膜して下部磁性層とともに
これらの上面を平坦に研磨し、次いでギ１？ツブ層およ
び導体コイルを成膜したのち、下部磁性層より広幅で前
記下部磁性層両側の絶縁層を含む幅と略同一の上部磁性
層を成膜するようにしたことを特徴とするものである。
用薄膜磁気ヘッドは、基板上に、一部にギャップが形成
された上下部磁性層および導体コイルが成膜された薄膜
磁気ヘッドにおいて、非磁性体で形成された基板上に成
膜される下部磁性層をトラック幅に対応する幅とする一
方、この下部磁性層とギャップを挾んで対向する上部磁
性層を下部磁性層より広幅に形成したことを特徴とし、
さらにこの発明の垂直磁化記録媒体用薄膜磁気ヘッドの
製造方法は、非磁性体の基板上にトラック幅に対応した
下部磁性層を成膜したのち、この下部磁性層の少なくと
も幅方向両側に絶縁層を・成膜して下部磁性層とともに
これらの上面を平坦に研磨し、次いでギ１？ツブ層およ
び導体コイルを成膜したのち、下部磁性層より広幅で前
記下部磁性層両側の絶縁層を含む幅と略同一の上部磁性
層を成膜するようにしたことを特徴とするものである。
垂直記録媒体に適する薄膜磁気ヘッドについての実験研
究を重ねた結果、下部磁性層に比べて上部磁性層を広幅
にした薄膜磁気ヘッドを用いて垂直磁化媒体に磁気記録
再生を行なうことにより、トラック幅は幅の狭い下部磁
性層によって規１ｉ１１され、しかもオーバーライド特
性が大幅に向上することがわかり、垂直磁化媒体の高密
度記録が実現できることがわかった。
究を重ねた結果、下部磁性層に比べて上部磁性層を広幅
にした薄膜磁気ヘッドを用いて垂直磁化媒体に磁気記録
再生を行なうことにより、トラック幅は幅の狭い下部磁
性層によって規１ｉ１１され、しかもオーバーライド特
性が大幅に向上することがわかり、垂直磁化媒体の高密
度記録が実現できることがわかった。
また、このような下部磁性層の幅が狭い場合には、上部
磁性層の位置合せが困難となるが、これを下部磁性層の
両側に絶縁層を設け、絶縁層を含む幅と上部磁性層の幅
を略同一にして解決するようにしている。
磁性層の位置合せが困難となるが、これを下部磁性層の
両側に絶縁層を設け、絶縁層を含む幅と上部磁性層の幅
を略同一にして解決するようにしている。
（実施例）
以下、この発明の実施例を図面に基づき訂細に説明する
。
。
第１図はこの発明の垂直磁化媒体用薄膜磁気ヘッドの一
実施例にかかる部分斜視図である。
実施例にかかる部分斜視図である。
この垂直磁化媒体用ｊ膜磁気ヘッド１０は、非磁性体の
基板１１上に下部磁性層１２が成膜され、その幅がトラ
ック幅Ｔ。に対応する値に形成されている。
基板１１上に下部磁性層１２が成膜され、その幅がトラ
ック幅Ｔ。に対応する値に形成されている。
そして、この下部磁性層１２の幅方向両側に絶縁層１３
が設けられ、下部磁性層１２ど同一の高さの平坦面に形
成されており、下部磁性層１２とその両側の絶縁層１３
を加えた幅が上部磁性層１７の幅と略等しくなるように
しである。
が設けられ、下部磁性層１２ど同一の高さの平坦面に形
成されており、下部磁性層１２とその両側の絶縁層１３
を加えた幅が上部磁性層１７の幅と略等しくなるように
しである。
このような下部磁性層１２の上には、ギレップｑを形成
するため非磁性体のギャップ層１４が形成され、この上
に導体コイル１５が成膜しである。
するため非磁性体のギャップ層１４が形成され、この上
に導体コイル１５が成膜しである。
さらに、この導体コイル１５上には、絶縁層１６が設け
られ、この絶縁層１６上にギャップ層１４を挾んで下部
磁性ＷＪ１２と対向するよう先端部が位置し、中間部が
絶縁層１６上に位置するとともに、基端部が下部磁性層
１２と接触状態となって磁路を形成する上部磁性層１７
が成膜されている。この上部磁性層１７は、］・ラック
幅Ｔ−に形成された下部磁性層１２より相当幅が広くな
っており、下部磁性層１２の両側に形成した絶縁層１３
を含む幅と略等しくしである。
られ、この絶縁層１６上にギャップ層１４を挾んで下部
磁性ＷＪ１２と対向するよう先端部が位置し、中間部が
絶縁層１６上に位置するとともに、基端部が下部磁性層
１２と接触状態となって磁路を形成する上部磁性層１７
が成膜されている。この上部磁性層１７は、］・ラック
幅Ｔ−に形成された下部磁性層１２より相当幅が広くな
っており、下部磁性層１２の両側に形成した絶縁層１３
を含む幅と略等しくしである。
このような垂直磁化媒体用薄膜磁気ヘッド１０の製造は
、第２図に横断面状態でその工程を示すように、まず、
非磁性体の基板１１上にスパッタリングや蒸着等によっ
て下部磁性層１２を成膜し、フォトリソグラフィ技術を
用いて所定の形状に成形する。
、第２図に横断面状態でその工程を示すように、まず、
非磁性体の基板１１上にスパッタリングや蒸着等によっ
て下部磁性層１２を成膜し、フォトリソグラフィ技術を
用いて所定の形状に成形する。
次いで、基板１１上の下部磁性層１２の両側に絶縁層１
３をスピンコーティングにより塗布し、中央部の下部磁
性層１２とともにこれら絶縁層１３を研磨して平坦面に
する。
３をスピンコーティングにより塗布し、中央部の下部磁
性層１２とともにこれら絶縁層１３を研磨して平坦面に
する。
こののち、これら下部磁性層１２および絶縁層１３を覆
うようにギャップＱを形成するための非磁性体のギャッ
プ層１４がスパッタリング等で形成される。
うようにギャップＱを形成するための非磁性体のギャッ
プ層１４がスパッタリング等で形成される。
次に、このギャップ層１４上に導体コイル１５を所定の
形状にスパッタリングや蒸着等で成膜し、一層ないし絶
縁層と交互に複数層積層する。
形状にスパッタリングや蒸着等で成膜し、一層ないし絶
縁層と交互に複数層積層する。
こののち、導体コイル１５上に絶縁層１６を設ける。
最優に、絶縁層１６上に上部磁性層１７をスパッタリン
グ等で成膜し、所定の形状に成形する。
グ等で成膜し、所定の形状に成形する。
この上部磁性層１７は、下部磁性層１２より幅が広くさ
れ、下部磁性層１２の両側に設けた絶縁層１３を含む幅
と略同一にしてあり、下部磁性層１２に対する上部磁性
層１７の位置決めを容易にできるようにしている。
れ、下部磁性層１２の両側に設けた絶縁層１３を含む幅
と略同一にしてあり、下部磁性層１２に対する上部磁性
層１７の位置決めを容易にできるようにしている。
この場合、下部磁性層１２の両側に設ける絶縁層１３は
、下部磁性層１２とほぼ等しい硬さであることが、次工
程の研磨の際有効であり、ガラスやアルミナ等の無機物
が使用され、平坦とすることで上部磁性層１７を形成す
るためのマスクの設置を容易としている。
、下部磁性層１２とほぼ等しい硬さであることが、次工
程の研磨の際有効であり、ガラスやアルミナ等の無機物
が使用され、平坦とすることで上部磁性層１７を形成す
るためのマスクの設置を容易としている。
このようにして作られた垂直磁化媒体用ｉｄ）膜磁気ヘ
ッド１０では、下部磁性層１２に比べ、上部磁性層１７
が広幅にしてあり、これを使用して垂直磁化媒体に記録
再生を行なうと、トレーリングコアとなる上部磁性層１
７からの磁束の流れにエツジ効果が生じることなく、オ
ーバーライド特性が大幅に向上し、記録密度の向上がは
かれた。
ッド１０では、下部磁性層１２に比べ、上部磁性層１７
が広幅にしてあり、これを使用して垂直磁化媒体に記録
再生を行なうと、トレーリングコアとなる上部磁性層１
７からの磁束の流れにエツジ効果が生じることなく、オ
ーバーライド特性が大幅に向上し、記録密度の向上がは
かれた。
例えば、この薄膜磁気ヘッド１０を使用して１Ｆ２．５
）１１１ｚと２ Ｆ ５．０Ｈ！Ｉｚの書込みを磁気デ
ィスクの回転速度を１０７７１／Ｓとして行なったとこ
ろ、１Ｆの出力は０，６２μＶであり、２Ｆの出力は０
．４８μ■となり、従来の上部磁性層と下部磁性層とを
１へラック幅に相当する同一幅とした薄膜磁気ヘッドに
よる同一条件の１Ｆの出力０．６５μＶや２Ｆの出力０
．１５μ■に比べ、記録密度の向上がはかれることがわ
かる。
）１１１ｚと２ Ｆ ５．０Ｈ！Ｉｚの書込みを磁気デ
ィスクの回転速度を１０７７１／Ｓとして行なったとこ
ろ、１Ｆの出力は０，６２μＶであり、２Ｆの出力は０
．４８μ■となり、従来の上部磁性層と下部磁性層とを
１へラック幅に相当する同一幅とした薄膜磁気ヘッドに
よる同一条件の１Ｆの出力０．６５μＶや２Ｆの出力０
．１５μ■に比べ、記録密度の向上がはかれることがわ
かる。
以上、実施例とともに具体的に説明したように、この発
明の垂直磁化記録媒体用薄膜磁気ヘッドによれば、下部
磁性層に比べて上部磁性層を広幅にし、下部磁性層がリ
ーディングコアとなるようにすることで、トラック幅は
幅の狭い下部磁性層で規υ１されて広がることがなく、
しかもオーバーライド特性が大幅に向上し記録密度を向
上することができる。
明の垂直磁化記録媒体用薄膜磁気ヘッドによれば、下部
磁性層に比べて上部磁性層を広幅にし、下部磁性層がリ
ーディングコアとなるようにすることで、トラック幅は
幅の狭い下部磁性層で規υ１されて広がることがなく、
しかもオーバーライド特性が大幅に向上し記録密度を向
上することができる。
また、下部磁性層に対し上部磁性層を位置決めする際に
、下部磁性層の両側に絶縁層を設け、下部磁性層ととも
に研磨して平坦にするようにしたので、容易に位置合せ
ができ、製造が簡単にできる。
、下部磁性層の両側に絶縁層を設け、下部磁性層ととも
に研磨して平坦にするようにしたので、容易に位置合せ
ができ、製造が簡単にできる。
第１図はこの発明の垂直磁化記録媒体用薄膜磁気ヘッド
の一実施例にかかる部分斜視図、第２図はこの発明の垂
直磁化記録媒体用薄膜磁気ヘッドの製造方法の一実施例
にかかり、中央で切断した工程図、第３図および第４図
は従来の薄膜磁気ヘッドにかかる部分斜視図および使用
状態の側面図である。 １０・・・垂直磁化記録媒体用薄膜磁気ヘッド、１１・
・・非磁性体の基板、１２・・・下部磁性層、１３・・
・絶縁層、１４・・・ギャップ層、１５・・・導体コイ
ル、１６・・・絶縁層、１７・・・上部磁性層、Ｑ・・
・ギャップ、Ｔ、・・・トラック幅。
の一実施例にかかる部分斜視図、第２図はこの発明の垂
直磁化記録媒体用薄膜磁気ヘッドの製造方法の一実施例
にかかり、中央で切断した工程図、第３図および第４図
は従来の薄膜磁気ヘッドにかかる部分斜視図および使用
状態の側面図である。 １０・・・垂直磁化記録媒体用薄膜磁気ヘッド、１１・
・・非磁性体の基板、１２・・・下部磁性層、１３・・
・絶縁層、１４・・・ギャップ層、１５・・・導体コイ
ル、１６・・・絶縁層、１７・・・上部磁性層、Ｑ・・
・ギャップ、Ｔ、・・・トラック幅。
Claims (2)
- （１）基板上に、一部にギャップが形成された上下部磁
性層および導体コイルが成膜された薄膜磁気ヘッドにお
いて、非磁性体で形成された基板上に成膜される下部磁
性層をトラック幅に対応する幅とする一方、この下部磁
性層とギャップを挾んで対向する上部磁性層を下部磁性
層より広幅に形成したことを特徴とする垂直磁化記録媒
体用薄膜磁気ヘッド。 - （２）非磁性体の基板上にトラック幅に対応した下部磁
性層を成膜したのち、この下部磁性層の少なくとも幅方
向両側に絶縁層を成膜して下部磁性層とともにこれらの
上面を平坦に研磨し、次いでギャップ層および導体コイ
ルを成膜したのち、下部磁性層より広幅で前記下部磁性
層両側の絶縁層を含む幅と略同一の上部磁性層を成膜す
るようにしたことを特徴とする垂直磁化記録媒体用薄膜
磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25343886A JPS63108515A (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | 垂直磁化記録媒体用薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25343886A JPS63108515A (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | 垂直磁化記録媒体用薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28589693A Division JPH06274823A (ja) | 1993-10-20 | 1993-10-20 | 磁化記録媒体用薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63108515A true JPS63108515A (ja) | 1988-05-13 |
Family
ID=17251400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25343886A Pending JPS63108515A (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | 垂直磁化記録媒体用薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63108515A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7457079B2 (en) * | 2002-07-03 | 2008-11-25 | Sony Corporation | Magnetic head with rectangular-shaped planar spiral coil and leading core width smaller than trailing core width |
-
1986
- 1986-10-24 JP JP25343886A patent/JPS63108515A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7457079B2 (en) * | 2002-07-03 | 2008-11-25 | Sony Corporation | Magnetic head with rectangular-shaped planar spiral coil and leading core width smaller than trailing core width |
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