JPS63103031A - レ−ザ−ウラン濃縮用のウラン原子蒸気発生方法とウラン原子蒸気発生装置及び金属ウランタ−ゲツト体 - Google Patents

レ−ザ−ウラン濃縮用のウラン原子蒸気発生方法とウラン原子蒸気発生装置及び金属ウランタ−ゲツト体

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JPS63103031A JP24824086A JP24824086A JPS63103031A JP S63103031 A JPS63103031 A JP S63103031A JP 24824086 A JP24824086 A JP 24824086A JP 24824086 A JP24824086 A JP 24824086A JP S63103031 A JPS63103031 A JP S63103031A
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山中 千代衛
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0361366A (ja) * 1989-07-28 1991-03-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザースパッタリング装置
JPH04232258A (ja) * 1990-07-18 1992-08-20 Deutsche Forsch & Vers Luft Raumfahrt Ev パルスレーザビームを用いる基板上の層の形成方法
JP2010525172A (ja) * 2007-04-23 2010-07-22 フラウンホッファー−ゲゼルシャフト ツァー フェーデルング デア アンゲバンテン フォルシュング エー ファー 真空内で基板上にコーティングを形成するためのアセンブリ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0361366A (ja) * 1989-07-28 1991-03-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd レーザースパッタリング装置
JPH04232258A (ja) * 1990-07-18 1992-08-20 Deutsche Forsch & Vers Luft Raumfahrt Ev パルスレーザビームを用いる基板上の層の形成方法
JP2010525172A (ja) * 2007-04-23 2010-07-22 フラウンホッファー−ゲゼルシャフト ツァー フェーデルング デア アンゲバンテン フォルシュング エー ファー 真空内で基板上にコーティングを形成するためのアセンブリ

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