JPS6310071A - 複合ろう付け部材の製造法 - Google Patents
複合ろう付け部材の製造法Info
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- JPS6310071A JPS6310071A JP15377286A JP15377286A JPS6310071A JP S6310071 A JPS6310071 A JP S6310071A JP 15377286 A JP15377286 A JP 15377286A JP 15377286 A JP15377286 A JP 15377286A JP S6310071 A JPS6310071 A JP S6310071A
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Landscapes
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、軽量にして、冷却効果が高く、例えば炭酸
ガスレーザーの反射鏡や、真空炉の内壁材などとして用
いるのに適した複合ろう付け部材の製造法に関するもの
である。
ガスレーザーの反射鏡や、真空炉の内壁材などとして用
いるのに適した複合ろう付け部材の製造法に関するもの
である。
従来、一般に、例えば炭酸ガスの反射鏡としては、表面
を鏡面仕上げした純Ｃｕ製のものや、さらにその鏡面に
Ａｕめつきを施し友純Ｃｕ製のものなどが知られている
。
を鏡面仕上げした純Ｃｕ製のものや、さらにその鏡面に
Ａｕめつきを施し友純Ｃｕ製のものなどが知られている
。
しかしながら、こｎらの純Ｃｕ製反射鏡では、レーザー
照射時間が長くなると、表面に加工材から発生し７２：
酋属や非貧属の蒸気が付着し、その反射率が低下するよ
うになるばかりでなく、表面がレーザーのエネルギーを
吸収して溶融し、反射鏡を破損してしまうなどの事故が
発生している。
照射時間が長くなると、表面に加工材から発生し７２：
酋属や非貧属の蒸気が付着し、その反射率が低下するよ
うになるばかりでなく、表面がレーザーのエネルギーを
吸収して溶融し、反射鏡を破損してしまうなどの事故が
発生している。
このような事故を防止するｔめには、定期的に表面の蒸
着物を除去しなけｎばならないが、反射鏡を構成する純
ＣｕやＡｕめつきは非常に軟らかいために、ふき取ると
きに、鏡面やめつき面を傷つけ易く、この結果反射特性
が損なわｎるよつになるものである。
着物を除去しなけｎばならないが、反射鏡を構成する純
ＣｕやＡｕめつきは非常に軟らかいために、ふき取ると
きに、鏡面やめつき面を傷つけ易く、この結果反射特性
が損なわｎるよつになるものである。
このようなことから、近年、炭酸ガスレーザーの反射鏡
の材料として、純Ｃｕに代って硬質の純Ｍ。
の材料として、純Ｃｕに代って硬質の純Ｍ。
や純Ｗを用いることが定着しつつある。特にこれらの純
Ｍｏまたは純Ｗ製の反射鏡としては、単結晶のものや、
微細な結晶粒の多結晶のものが均一な反射率を有する面
を研磨によって得や丁く、さらに蒸着物の付着も少なく
、丁ぐｎた性能！発揮するものである。
Ｍｏまたは純Ｗ製の反射鏡としては、単結晶のものや、
微細な結晶粒の多結晶のものが均一な反射率を有する面
を研磨によって得や丁く、さらに蒸着物の付着も少なく
、丁ぐｎた性能！発揮するものである。
−万、炭酸ガスレーザー装置は、地上設備ばかりでなく
、宇宙ステーションにも設置されるものである之め、こ
れに伴って、比重の大きい（重質の〕純ＭＯ製または純
Ｗ製の反射鏡の重畳軽減が強く望まｎでいる。
、宇宙ステーションにも設置されるものである之め、こ
れに伴って、比重の大きい（重質の〕純ＭＯ製または純
Ｗ製の反射鏡の重畳軽減が強く望まｎでいる。
そこで、本発明者等は、上述のよりな観点から、炭酸ガ
スレーザーの反射鏡や、真空炉の内壁材などの純Ｍｏま
友は純Ｗ製部材、さらに同様に重質のＭｏ合金ま之はＷ
合金製部材に着目し、こｎの軽量化をはかるべく研究を
行なった結果、純Ｍｏ 、 Ｍｏ合金、純Ｗ、およびＷ
合金のうちのいすｎがで構成され次重質部材の一部を、
軽質の（比重の小さい）純Ｓｉで置換してやｎば、そｎ
だけ軽量化さｎることになるが、例えば純Ｍｏおよび純
Ｗの比重が、そｎぞＡｌ０．２＆／−および１９．３．
！Ｆ／−であるのに対して、純Ｓｉのそれは２．３ｇ／
ｉであり、ま友純ＭＯおよび純Ｗの熱膨張率が５． Ｉ
Ｘ １０＝／℃および４．５ Ｘ １０ ／℃である
のに対して、純Ｓｉのそｎは２．５ Ｘ １０ ／’（
：、であるように、こｎらの重質材と軽量材とは種々の
点で特ａｔ異にすることがら、これら両部材を高い接合
強度でろう付けすることはきわめて困難であり、軽量化
をはかることは不可能であつ之が、こｎら両部材のろう
付け面のそれぞｎに、平均層厚で０．０１〜５０μｍの
Ｃｕ層を、望ましくはイオンブレーティング法により固
着形成し友状態で、Ｓｉ：０．１〜１４重量％を含有す
るＡｌ合金からなるろう材を用いて真空ろり付け、望１
しくに６００〜７２０ ℃の温度で真空ろう付けを行な
うと、こｎら両部材は強固に接合するようになり、高い
接合強度でろう付けされ几複合ろう付け部材が得られる
ようになるという知見を得たのである。
スレーザーの反射鏡や、真空炉の内壁材などの純Ｍｏま
友は純Ｗ製部材、さらに同様に重質のＭｏ合金ま之はＷ
合金製部材に着目し、こｎの軽量化をはかるべく研究を
行なった結果、純Ｍｏ 、 Ｍｏ合金、純Ｗ、およびＷ
合金のうちのいすｎがで構成され次重質部材の一部を、
軽質の（比重の小さい）純Ｓｉで置換してやｎば、そｎ
だけ軽量化さｎることになるが、例えば純Ｍｏおよび純
Ｗの比重が、そｎぞＡｌ０．２＆／−および１９．３．
！Ｆ／−であるのに対して、純Ｓｉのそれは２．３ｇ／
ｉであり、ま友純ＭＯおよび純Ｗの熱膨張率が５． Ｉ
Ｘ １０＝／℃および４．５ Ｘ １０ ／℃である
のに対して、純Ｓｉのそｎは２．５ Ｘ １０ ／’（
：、であるように、こｎらの重質材と軽量材とは種々の
点で特ａｔ異にすることがら、これら両部材を高い接合
強度でろう付けすることはきわめて困難であり、軽量化
をはかることは不可能であつ之が、こｎら両部材のろう
付け面のそれぞｎに、平均層厚で０．０１〜５０μｍの
Ｃｕ層を、望ましくはイオンブレーティング法により固
着形成し友状態で、Ｓｉ：０．１〜１４重量％を含有す
るＡｌ合金からなるろう材を用いて真空ろり付け、望１
しくに６００〜７２０ ℃の温度で真空ろう付けを行な
うと、こｎら両部材は強固に接合するようになり、高い
接合強度でろう付けされ几複合ろう付け部材が得られる
ようになるという知見を得たのである。
この発明は、上記知見にもとづいてなされ念ものであっ
て、純Ｍｏ 、 Ｍｏ合金、純Ｗ、およびＷ合金のうち
のいずれかで構成された重質部材のろう付け面、並びに
純Ｓｔからなる軽質部材のろう付け面のそｎぞれに、平
均層厚で０．０１〜５０μｍのＣｕ層を固着形成し、つ
いでこｎら両部材を、Ｓｉ：０．１〜１４重量％を含有
するＡＪ金合金らなるろう材を用いて真空ろう付けする
ことからなる複合ろう付け部材の製造法に特徴を有する
ものである。
て、純Ｍｏ 、 Ｍｏ合金、純Ｗ、およびＷ合金のうち
のいずれかで構成された重質部材のろう付け面、並びに
純Ｓｔからなる軽質部材のろう付け面のそｎぞれに、平
均層厚で０．０１〜５０μｍのＣｕ層を固着形成し、つ
いでこｎら両部材を、Ｓｉ：０．１〜１４重量％を含有
するＡＪ金合金らなるろう材を用いて真空ろう付けする
ことからなる複合ろう付け部材の製造法に特徴を有する
ものである。
なお、この発明の方法において、Ｃｕ層の平均層厚を０
．０１〜５０μｍと限定したのは、その平均層厚が０．
０１μｍ未満ではろう材とのぬｎ性が不十分で所望の強
固な接合強度を確保することができず、−万その平均層
厚が５０μｍ！越えると、Ｃｕ層形成時に内部歪が残留
するようになって、ろう付け時にＣｕ層に剥離が発生す
るようになるばかりでなく、ろう材中のＣｕ９度が、特
に部材のろう付け面近傍で高くなり、この結果ろう付け
強度が低下するようになるという理由にもとづくもので
あり、また同じくろう材のＳｉ含有量については、その
含有量が０．１重量％未満では、特に重質部材側のろう
付け接合面に形成されるけい化物層の形成が不十分で、
十分な接合強度を確保することできないばかりでなく、
純Ｓｉからなる軽量部材のろう付け接合面におけるエロ
ージョンが激しくなり、−万その含有量が１４重重量を
越えると、ろう付け接合面部が脆化し、複合ろう付け部
材に熱歪が生じた場合に接合部に剥離が発生し易くなる
ことから、その含有量を０．１〜１４重量％と定め友。
．０１〜５０μｍと限定したのは、その平均層厚が０．
０１μｍ未満ではろう材とのぬｎ性が不十分で所望の強
固な接合強度を確保することができず、−万その平均層
厚が５０μｍ！越えると、Ｃｕ層形成時に内部歪が残留
するようになって、ろう付け時にＣｕ層に剥離が発生す
るようになるばかりでなく、ろう材中のＣｕ９度が、特
に部材のろう付け面近傍で高くなり、この結果ろう付け
強度が低下するようになるという理由にもとづくもので
あり、また同じくろう材のＳｉ含有量については、その
含有量が０．１重量％未満では、特に重質部材側のろう
付け接合面に形成されるけい化物層の形成が不十分で、
十分な接合強度を確保することできないばかりでなく、
純Ｓｉからなる軽量部材のろう付け接合面におけるエロ
ージョンが激しくなり、−万その含有量が１４重重量を
越えると、ろう付け接合面部が脆化し、複合ろう付け部
材に熱歪が生じた場合に接合部に剥離が発生し易くなる
ことから、その含有量を０．１〜１４重量％と定め友。
つぎに、この発明の方法を実施例にエフ具体的に説明す
る。
る。
重質部材として、それぞｎ第１表に示さｎる組成ビ有し
、かつ直径：１００ｍＸ厚さ：２龍の寸法をもった薄板
円板！用意し、ま几軽質部材として、純度：９９．９９
９％の純Ｓｉがうなり、かつ直径：１００ｉｎＸ厚さ：
１８ｘｉ＋の寸法をもった円板を用意し、ついでこれら
部材のろう付け面となる片側面に、イオンブレーティン
グ装置を用い、通常の条件にて、イオンクリーニングし
た後、同じく第１茨に示される平均層厚のＣｕ層をそ：
ｎｒｆｉ固着形成し、引続いて、同じく第１表に示され
る組成を有する厚さ： ０．３ ｉＩＩ＋のろう材を、
両部材のろう付け面間にはさんで重ね合わせ、はさみ治
具で固定し、重質部材を下側にして置き、通常の条件、
丁なわち圧カニｌＸ１０ｔｏｒｒの真空中、温度：６５
０℃に１５分間保持の条件で真空ろつ付けを行なうこと
によって、本発明法１〜４および比較法１〜４をそｎぞ
ｎ実施し友。
、かつ直径：１００ｍＸ厚さ：２龍の寸法をもった薄板
円板！用意し、ま几軽質部材として、純度：９９．９９
９％の純Ｓｉがうなり、かつ直径：１００ｉｎＸ厚さ：
１８ｘｉ＋の寸法をもった円板を用意し、ついでこれら
部材のろう付け面となる片側面に、イオンブレーティン
グ装置を用い、通常の条件にて、イオンクリーニングし
た後、同じく第１茨に示される平均層厚のＣｕ層をそ：
ｎｒｆｉ固着形成し、引続いて、同じく第１表に示され
る組成を有する厚さ： ０．３ ｉＩＩ＋のろう材を、
両部材のろう付け面間にはさんで重ね合わせ、はさみ治
具で固定し、重質部材を下側にして置き、通常の条件、
丁なわち圧カニｌＸ１０ｔｏｒｒの真空中、温度：６５
０℃に１５分間保持の条件で真空ろつ付けを行なうこと
によって、本発明法１〜４および比較法１〜４をそｎぞ
ｎ実施し友。
なお、比較法１〜４は、Ｃｕの平均層厚およびろう材の
Ｓｉ含有量のうちのいずれか（第１表に※印を何丁）が
この発明の範囲から外ｎたちのである。
Ｓｉ含有量のうちのいずれか（第１表に※印を何丁）が
この発明の範囲から外ｎたちのである。
つぎに、本発明法１〜４および比較法１〜４にした。こ
の測定結果ｆａ０：第０：に示し念。
の測定結果ｆａ０：第０：に示し念。
第１表に示される結果から、本発明法１〜４によって製
造された複合ろう付け部材は、いずｎも強固な接合強度
を示すのに対して、Ｃｕ層の平均層厚およびろう材のＳ
ｉ含有量のうちのいず汎かの条件がこの発明の範囲から
外ｎた比較法１〜４においては、いずれも十分な接合強
度を示さないことが明らかである。
造された複合ろう付け部材は、いずｎも強固な接合強度
を示すのに対して、Ｃｕ層の平均層厚およびろう材のＳ
ｉ含有量のうちのいず汎かの条件がこの発明の範囲から
外ｎた比較法１〜４においては、いずれも十分な接合強
度を示さないことが明らかである。
上述のように、この発明の方法によれば、従来ろう付け
接合がきわめて困難であるとされていた純Ｍｏ、Ｍｏ合
金、純Ｗ、お工びＷ合金のうちのいずｎかからなる重質
部材と、純Ｓｔからなる軽質部材と２強固な接合強度で
ろう付けすることができるので、前記重質部材の一部を
前記軽質部材で置換することか可能となり、そｎだけ軽
量化した複合ろう付け部材を製造することができるよう
になるほか、前記軽質部材を構成する純Ｓｉは硬質にし
て、前記重質部材と同様に丁ぐｎ、ｅ熱伝導性を有する
ので、例えば炭酸ガスレーザー用反射鏡や真空炉の内壁
材などとして用いた場合に、丁ぐｎた性能を長期に亘っ
て発揮するようになるなど工業上有用な効果かも几らさ
ｎるのである。
接合がきわめて困難であるとされていた純Ｍｏ、Ｍｏ合
金、純Ｗ、お工びＷ合金のうちのいずｎかからなる重質
部材と、純Ｓｔからなる軽質部材と２強固な接合強度で
ろう付けすることができるので、前記重質部材の一部を
前記軽質部材で置換することか可能となり、そｎだけ軽
量化した複合ろう付け部材を製造することができるよう
になるほか、前記軽質部材を構成する純Ｓｉは硬質にし
て、前記重質部材と同様に丁ぐｎ、ｅ熱伝導性を有する
ので、例えば炭酸ガスレーザー用反射鏡や真空炉の内壁
材などとして用いた場合に、丁ぐｎた性能を長期に亘っ
て発揮するようになるなど工業上有用な効果かも几らさ
ｎるのである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 純Ｍｏ、Ｍｏ合金、純Ｗ、およびＷ合金のうちのいずれ
かで構成された重質部材のろう付け面、並びに純Ｓｉか
らなる軽質部材のろう付け面のそれぞれに、平均層厚で
０．０１〜５０μｍのＣｕ層を固着形成し、 ついで、これら両部材を、Ｓｉ：０．１〜１４重量％を
含有するＡｌ合金からなるろう材を用いて真空ろう付け
することを特徴とする複合ろう付け部材の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15377286A JPH0698480B2 (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 複合ろう付け部材の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15377286A JPH0698480B2 (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 複合ろう付け部材の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6310071A true JPS6310071A (ja) | 1988-01-16 |
| JPH0698480B2 JPH0698480B2 (ja) | 1994-12-07 |
Family
ID=15569799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15377286A Expired - Lifetime JPH0698480B2 (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 複合ろう付け部材の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0698480B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06329337A (ja) * | 1993-05-19 | 1994-11-29 | Murata Mach Ltd | 紡糸巻取りシステム |
| JP2005177982A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-07-07 | Yukiwa Seiko Inc | 回動工具 |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP15377286A patent/JPH0698480B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06329337A (ja) * | 1993-05-19 | 1994-11-29 | Murata Mach Ltd | 紡糸巻取りシステム |
| JP2005177982A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-07-07 | Yukiwa Seiko Inc | 回動工具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0698480B2 (ja) | 1994-12-07 |
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