JPS6254569A - 複合ろう付け部材の製造法 - Google Patents
複合ろう付け部材の製造法Info
- Publication number
- JPS6254569A JPS6254569A JP19357285A JP19357285A JPS6254569A JP S6254569 A JPS6254569 A JP S6254569A JP 19357285 A JP19357285 A JP 19357285A JP 19357285 A JP19357285 A JP 19357285A JP S6254569 A JPS6254569 A JP S6254569A
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- Japan
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- pure
- alloy
- brazing
- brazed
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、軽量にして、冷却効果が高く、例えば炭酸
ガスレーザーの反射鏡や、真空炉の内壁材などとして用
いるのに適した複合ろう付け部材の製造法に関するもの
である。
ガスレーザーの反射鏡や、真空炉の内壁材などとして用
いるのに適した複合ろう付け部材の製造法に関するもの
である。
従来、一般に、例えば炭酸ガスの反射鏡として、純Ｃｕ
％Ｉ表面を鏡面仕上げしたものや、ざらにこの表面にＡ
ｕめつぎを施したものなどが用いられている。
％Ｉ表面を鏡面仕上げしたものや、ざらにこの表面にＡ
ｕめつぎを施したものなどが用いられている。
しかしながら、これらのＣｕ１反ｍ鏡では、レーザー照
射時間が長くなると、鏡面に加−［材から発生した金属
や非金属の蒸気が蒸着し、その反用率が低下するように
なるばかりでなく、鏡面がレーザーのエネルギーを吸収
して溶融し、反射鏡を破損してしまうなどの事故が発生
している。
射時間が長くなると、鏡面に加−［材から発生した金属
や非金属の蒸気が蒸着し、その反用率が低下するように
なるばかりでなく、鏡面がレーザーのエネルギーを吸収
して溶融し、反射鏡を破損してしまうなどの事故が発生
している。
このような事故を防止するには、定期的に鏡面の蒸着物
を除去しなければならないが、反射鏡を構成する純Ｃｕ
やＡｕめっぎは非常に軟らかいために、ふき取るとぎに
鏡面を傷つけ易く、反射特性を損うことが多発していた
。
を除去しなければならないが、反射鏡を構成する純Ｃｕ
やＡｕめっぎは非常に軟らかいために、ふき取るとぎに
鏡面を傷つけ易く、反射特性を損うことが多発していた
。
このようなことから、近年、炭酸ガスレーザーの反（ト
）鏡の材料として、＠Ｃｕに代って硬質のＭｏを使用す
ることが定着しつつある。このｆｖｌ 。
）鏡の材料として、＠Ｃｕに代って硬質のＭｏを使用す
ることが定着しつつある。このｆｖｌ 。
製反射鏡としては、特に単結晶のものや、微細な結晶粒
の多結晶のものが蒸発物の付着も少なく、すぐれた性能
を発揮するものである。
の多結晶のものが蒸発物の付着も少なく、すぐれた性能
を発揮するものである。
一方、炭酸ガスレーザー装置は、地上設備ばかりでなく
、宇宙ステーションにも設置されるものであるため、装
置自体の軽量化が要求されるようになっており、これに
伴って、比重の大きい（重質の）Ｍｏ製反射鏡の宙吊軽
減が強く望までいる。
、宇宙ステーションにも設置されるものであるため、装
置自体の軽量化が要求されるようになっており、これに
伴って、比重の大きい（重質の）Ｍｏ製反射鏡の宙吊軽
減が強く望までいる。
そこで、本発明者等は、上述のような観点から、ＭｏＦ
ｊ反射鏡イエどのＭｏ部材や、Ｍｏ合金部材、さらに同
様に重質のＷ部材やＷ合金部材に着目し、これの軽量化
をはかるべく研究を行なった結果、純Ｍｏ、Ｍｏ合金、
＠Ｗ、およびＷ合金のうちのいずれかからなる部材の一
部を軽量の（比重の小さい）純へｌまたはＡ２合金で構
成し、一方、例えば純Ｍｏと純Ａｆｆｉは、比重（純Ｍ
ｏ：１０．２．純Ａｆｆｉ ： ２．７） 、熱膨張
率（純Ｍｏ：５ｘ１０′６／℃、純ＡＩ！：２３．３Ｘ
１０づ７℃）、および熱伝導率（純Ｍｏ： ０．３５
ｃａｌ／ｃｍ−５−”Ｃ１純Δｌ：０．５３ ｃａｔ
／ｃｍ−Ｓ−℃）など種々の点で特性上著しく異なる
ので、これら両部材を高い接合強度でろう付けすること
はきわめて困難であるが、上記の純Ｍｏ 、Ｍｏ合金、
純Ｗ、およびＷ合金のうちのいずれかからなる部材のろ
う付け面に、予め、イオンブレーティング法やめっき法
などの公知の手段により平均層厚で０，０１〜５０μｍ
のＣｕ層を国名形成しておき、この状態で、前記Ｃｕ層
を介し、Ｓｌ 二〇〜１４重量％を含有するＡｆｆｉ合
金からなるろう材をはさんで純Ａｆｆｉまたは△！合金
部材のろう付け面と重ね合わせ、真空中で加熱すると、
高い接合強度でのろう付けが可能となるという知見を得
たのである。
ｊ反射鏡イエどのＭｏ部材や、Ｍｏ合金部材、さらに同
様に重質のＷ部材やＷ合金部材に着目し、これの軽量化
をはかるべく研究を行なった結果、純Ｍｏ、Ｍｏ合金、
＠Ｗ、およびＷ合金のうちのいずれかからなる部材の一
部を軽量の（比重の小さい）純へｌまたはＡ２合金で構
成し、一方、例えば純Ｍｏと純Ａｆｆｉは、比重（純Ｍ
ｏ：１０．２．純Ａｆｆｉ ： ２．７） 、熱膨張
率（純Ｍｏ：５ｘ１０′６／℃、純ＡＩ！：２３．３Ｘ
１０づ７℃）、および熱伝導率（純Ｍｏ： ０．３５
ｃａｌ／ｃｍ−５−”Ｃ１純Δｌ：０．５３ ｃａｔ
／ｃｍ−Ｓ−℃）など種々の点で特性上著しく異なる
ので、これら両部材を高い接合強度でろう付けすること
はきわめて困難であるが、上記の純Ｍｏ 、Ｍｏ合金、
純Ｗ、およびＷ合金のうちのいずれかからなる部材のろ
う付け面に、予め、イオンブレーティング法やめっき法
などの公知の手段により平均層厚で０，０１〜５０μｍ
のＣｕ層を国名形成しておき、この状態で、前記Ｃｕ層
を介し、Ｓｌ 二〇〜１４重量％を含有するＡｆｆｉ合
金からなるろう材をはさんで純Ａｆｆｉまたは△！合金
部材のろう付け面と重ね合わせ、真空中で加熱すると、
高い接合強度でのろう付けが可能となるという知見を得
たのである。
この発明は、上記知見にもとづいてなされたもので、純
Ｍｏ 、Ｍｏ合金、純Ｗ、およびＷ合金のうちのいずれ
かからなる被ろう付け部材のろう付け面に、平均層厚で
０．０１〜５０μｍのＣｕＦＷを固着形成しておき、こ
の被ろう付け部材を、前記Ｃｕ層を介し、Ｓｉ：６〜１
４重量％を含有するＡ２合金からなるろう材を用いて、
Ｍ！、ＡｌまたはＡｆｆｉ合金からなる基体に真空ろう
付けすることからなる複合ろう付け部材の製造法に特徴
を有するらのである。
Ｍｏ 、Ｍｏ合金、純Ｗ、およびＷ合金のうちのいずれ
かからなる被ろう付け部材のろう付け面に、平均層厚で
０．０１〜５０μｍのＣｕＦＷを固着形成しておき、こ
の被ろう付け部材を、前記Ｃｕ層を介し、Ｓｉ：６〜１
４重量％を含有するＡ２合金からなるろう材を用いて、
Ｍ！、ＡｌまたはＡｆｆｉ合金からなる基体に真空ろう
付けすることからなる複合ろう付け部材の製造法に特徴
を有するらのである。
なお、この発明の方法において、Ｃｕ層の平均層厚を０
．０１〜５０μｍに限定したのは、その平均層厚が０．
０１μｍ未満では所望の接合強度を確保することができ
ず、一方その平均Ｎ厚が５０ＩＩＴｒＬを越えると、Ｃ
ｕ層形成時に発生した内部残留歪によって、ろう付け時
に被ろう付け部材のろう付け面からＣｕ層が剥離するよ
うになるという理由にらとづくものである。また、同じ
くろう材の８１含有号については、その含有量が６型苗
％未満では、ろう材の融点が６６０℃を越えて高くなり
すぎ、基体の融点より高いろう付け温度を必要とする場
合が生じるようになって、ろう何けが不可能となる場合
が生じ、一方その含有量が１４重ω％を越えても、ろう
材の融点が６６０℃を越えるようになる場合が生ずるよ
うになるばかりでなく、被ろう付け部材との反応が著し
くなってエロージョンを起すようになることから、その
含有量を６〜１４重徂％と定めたのである。
．０１〜５０μｍに限定したのは、その平均層厚が０．
０１μｍ未満では所望の接合強度を確保することができ
ず、一方その平均Ｎ厚が５０ＩＩＴｒＬを越えると、Ｃ
ｕ層形成時に発生した内部残留歪によって、ろう付け時
に被ろう付け部材のろう付け面からＣｕ層が剥離するよ
うになるという理由にらとづくものである。また、同じ
くろう材の８１含有号については、その含有量が６型苗
％未満では、ろう材の融点が６６０℃を越えて高くなり
すぎ、基体の融点より高いろう付け温度を必要とする場
合が生じるようになって、ろう何けが不可能となる場合
が生じ、一方その含有量が１４重ω％を越えても、ろう
材の融点が６６０℃を越えるようになる場合が生ずるよ
うになるばかりでなく、被ろう付け部材との反応が著し
くなってエロージョンを起すようになることから、その
含有量を６〜１４重徂％と定めたのである。
つぎに、この発明の方法を実施例により説明する。
被ろう付け部材として、それぞれ第１表に示される組成
を有し、かつ直径：２００ｍｍ×厚さ：２閾の寸法をも
った各種部材を用意し、この被ろう付け部材の片側面に
、予め、第１表に示される形成手段にて同じく第１表に
示される平均層厚のＣ１層を固着形成し、ついで、この
被ろう付け部材を、同じく第１表に示される組成、並び
にいずれも直径：２００ｍＸ厚さ：１８Ｍの寸法をしっ
た基体の上面に、前記Ｃｕ層を介し、同じく第１表に示
される組成および平均層厚を０するＡ２合金からなるろ
う材をはさんだ状態で重ね合わせ、この上に３ Ｋ９の
重りを置き、ｌ ｘ ｌ Ｑ（ｔｏｒｒの真空中、６０
０〜６３０℃の範囲内の所定湯度に１５分間保持の条件
で真空ろう付けを行ない、複合ろう付け部材を製造する
ことにより本発明法１〜８をそれぞれ実施した。
を有し、かつ直径：２００ｍｍ×厚さ：２閾の寸法をも
った各種部材を用意し、この被ろう付け部材の片側面に
、予め、第１表に示される形成手段にて同じく第１表に
示される平均層厚のＣ１層を固着形成し、ついで、この
被ろう付け部材を、同じく第１表に示される組成、並び
にいずれも直径：２００ｍＸ厚さ：１８Ｍの寸法をしっ
た基体の上面に、前記Ｃｕ層を介し、同じく第１表に示
される組成および平均層厚を０するＡ２合金からなるろ
う材をはさんだ状態で重ね合わせ、この上に３ Ｋ９の
重りを置き、ｌ ｘ ｌ Ｑ（ｔｏｒｒの真空中、６０
０〜６３０℃の範囲内の所定湯度に１５分間保持の条件
で真空ろう付けを行ない、複合ろう付け部材を製造する
ことにより本発明法１〜８をそれぞれ実施した。
つぎに、この結！！得られた複合ろう付け部材から試片
を切り出し、接合面の引張強さを測定したところ、第１
表に示される結果を示した。
を切り出し、接合面の引張強さを測定したところ、第１
表に示される結果を示した。
第１表に示される結果から、本発明法１〜８においては
、いずれも従来ろう付け接合がきわめて困難であるとさ
れていた純Ｍｏ 、Ｍｏ合金、純Ｗ。
、いずれも従来ろう付け接合がきわめて困難であるとさ
れていた純Ｍｏ 、Ｍｏ合金、純Ｗ。
およびＷ合金のうちのいずれかからなる部材と、純△ｔ
またはＡｆｆｉ合金からなる部材とを強固な接合強度で
ろう付けすることができることが明らかである。
またはＡｆｆｉ合金からなる部材とを強固な接合強度で
ろう付けすることができることが明らかである。
上述のように、この発明の方法によれば、純Ｍｏ、１ｙ
ｌｏ合金、純Ｗ、およびＷ合金のうちのいずれかからな
る重質の部材の一部を軽質の純ＡｌまたはＡｆｆｉ合金
で置換することが可能となるので、各種重質部材の軽量
化が可能となり、さらに純ＡｆｆｉまたはＡｆｆｉ合金
はづ゛ぐれた冷７４１作用をもつので、例えば炭酸ガス
レーザー用反９Ａ鏡や真空炉の内壁材などの製造に適用
した場合、これら部材はすぐれた性能を長期に亘って発
揮するようになるなど工業上有用な効果が１ｑられるの
である。
ｌｏ合金、純Ｗ、およびＷ合金のうちのいずれかからな
る重質の部材の一部を軽質の純ＡｌまたはＡｆｆｉ合金
で置換することが可能となるので、各種重質部材の軽量
化が可能となり、さらに純ＡｆｆｉまたはＡｆｆｉ合金
はづ゛ぐれた冷７４１作用をもつので、例えば炭酸ガス
レーザー用反９Ａ鏡や真空炉の内壁材などの製造に適用
した場合、これら部材はすぐれた性能を長期に亘って発
揮するようになるなど工業上有用な効果が１ｑられるの
である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 純Ｍｏ、Ｍｏ合金、純Ｗ、およびＷ合金のうちのいずれ
かからなる被ろう付け部材のろう付け面に、平均層厚で
０．０１〜５０μｍのＣｕ層を固着形成し、 ついで、この被ろう付け部材を、前記Ｃｕ層を介し、Ｓ
ｉ：６〜１４重量％を含有するＡｌ合金からなるろう材
を用いて、純ＡｌまたはＡｌ合金からなる基体に真空ろ
う付けすることを特徴とする複合ろう付け部材の製造法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19357285A JPS6254569A (ja) | 1985-09-02 | 1985-09-02 | 複合ろう付け部材の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19357285A JPS6254569A (ja) | 1985-09-02 | 1985-09-02 | 複合ろう付け部材の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6254569A true JPS6254569A (ja) | 1987-03-10 |
Family
ID=16310237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19357285A Pending JPS6254569A (ja) | 1985-09-02 | 1985-09-02 | 複合ろう付け部材の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6254569A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1392883A1 (en) * | 2001-04-26 | 2004-03-03 | Honeywell International, Inc. | Assemblies comprising molybdenum and aluminum; and methods of utilizing interlayers in forming target/backing plate assemblies |
| CN102000896A (zh) * | 2010-11-10 | 2011-04-06 | 中国电子科技集团公司第十四研究所 | Al合金Al-Cu瞬间液相扩散连接方法 |
-
1985
- 1985-09-02 JP JP19357285A patent/JPS6254569A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1392883A1 (en) * | 2001-04-26 | 2004-03-03 | Honeywell International, Inc. | Assemblies comprising molybdenum and aluminum; and methods of utilizing interlayers in forming target/backing plate assemblies |
| EP1392883A4 (en) * | 2001-04-26 | 2006-04-19 | Honeywell Int Inc | MOLYBDEN AND ALUMINUM-CONTAINING ARRANGEMENTS AND METHOD FOR USE OF INTERMEDIATE LAYERS IN THE MANUFACTURE OF TARGET / CARRIER PLATE ARRANGEMENTS |
| CN102000896A (zh) * | 2010-11-10 | 2011-04-06 | 中国电子科技集团公司第十四研究所 | Al合金Al-Cu瞬间液相扩散连接方法 |
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