JPS63100333A - レ−ザエネルギ−検出装置 - Google Patents
レ−ザエネルギ−検出装置Info
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- JPS63100333A JPS63100333A JP61246709A JP24670986A JPS63100333A JP S63100333 A JPS63100333 A JP S63100333A JP 61246709 A JP61246709 A JP 61246709A JP 24670986 A JP24670986 A JP 24670986A JP S63100333 A JPS63100333 A JP S63100333A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザビームの強度を検出するレーザエネ
ルギー検出装置に関するものである。
ルギー検出装置に関するものである。
従来、この種のレーザエネルギー検出装置としては、例
えばこの出頭の発明の出願人が先に提案した特願昭５８
−１６０６５６号（昭和５８年９月１日出願）−の「レ
ーザ出力制御装置」があった。
えばこの出頭の発明の出願人が先に提案した特願昭５８
−１６０６５６号（昭和５８年９月１日出願）−の「レ
ーザ出力制御装置」があった。
すなわち、上記従来例のレーザ出力制御装置は、レーザ
媒質を励起することによりレーザ光を得るレーザ装置に
おいて、このレーザ光の一部を取り出す手段と、この手
段により堰り出されたレーザ光を均一に減光されたレー
ザ光とする積分球と、この積分球からのレーザ光の出力
を高速度で検出するレーザ光検出器を備え、所定のレー
ザ光の出力指令値と上記レーザ光検出器の出力とを比較
し、上記レーザ媒質の励起強度を制御するよう番こして
成る構成を有し、これによりレーザ光の出力を高速度で
応答制御できるようにしたものである。
媒質を励起することによりレーザ光を得るレーザ装置に
おいて、このレーザ光の一部を取り出す手段と、この手
段により堰り出されたレーザ光を均一に減光されたレー
ザ光とする積分球と、この積分球からのレーザ光の出力
を高速度で検出するレーザ光検出器を備え、所定のレー
ザ光の出力指令値と上記レーザ光検出器の出力とを比較
し、上記レーザ媒質の励起強度を制御するよう番こして
成る構成を有し、これによりレーザ光の出力を高速度で
応答制御できるようにしたものである。
上記のような従来のレーザ出力制御装置１こおいては、
レーザ光を均一に減光されたレーザ光とする積分球は、
その積分球へ入射するレーザ光、すなわち入射するレー
ザビームのエネルギーラスべて積分球、レーザ光検出器
等にて消費してしまうために、レーザビームの途中で光
軸を変えず番こそのレーザビームの強度を検出すること
ができなかった。また、積分球ｆこ高出力のレーザビー
ムを入力すると、積分球の表面温度が上昇してレーザビ
ームの強度の検出値ｌこ誤差が出るなどの問題点があっ
た。
レーザ光を均一に減光されたレーザ光とする積分球は、
その積分球へ入射するレーザ光、すなわち入射するレー
ザビームのエネルギーラスべて積分球、レーザ光検出器
等にて消費してしまうために、レーザビームの途中で光
軸を変えず番こそのレーザビームの強度を検出すること
ができなかった。また、積分球ｆこ高出力のレーザビー
ムを入力すると、積分球の表面温度が上昇してレーザビ
ームの強度の検出値ｌこ誤差が出るなどの問題点があっ
た。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、単に積分球中にレーザビームを通過させることに
よって、容易に、かつ確実にレーザビームのエネルギー
を検出できるレーザエネルギー検出装置を得ることを目
的とする。
ので、単に積分球中にレーザビームを通過させることに
よって、容易に、かつ確実にレーザビームのエネルギー
を検出できるレーザエネルギー検出装置を得ることを目
的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発明に係るレーザエネルギー検出装置は、レーザビ
ームを入力ポートと出力ポートを有する積分球中に通過
させ、レーザビームを横切るように一定間隔で張設され
たワイヤにより構成されるレーザビーム散乱器によりレ
ーザビームの一部を積分球内に反射させ、レーザ検出器
（こよりレーザビームのエネルギーを検出するようにし
たものである。
ームを入力ポートと出力ポートを有する積分球中に通過
させ、レーザビームを横切るように一定間隔で張設され
たワイヤにより構成されるレーザビーム散乱器によりレ
ーザビームの一部を積分球内に反射させ、レーザ検出器
（こよりレーザビームのエネルギーを検出するようにし
たものである。
この発明のレーザエネルギー検出：ｊＡ置においては、
レーザビームを入力ポートと出力ポートを有する積分球
中に通過させると共に、レーザビームを横切るように一
定間隔で張設されたワイヤにより構成されるレーザビー
ム散乱器ｆこよりレーザビームの一部を積分球内に反射
させることによって、レーザビームのエネルギーを容易
ζこ、かつ確実に検出することができる。
レーザビームを入力ポートと出力ポートを有する積分球
中に通過させると共に、レーザビームを横切るように一
定間隔で張設されたワイヤにより構成されるレーザビー
ム散乱器ｆこよりレーザビームの一部を積分球内に反射
させることによって、レーザビームのエネルギーを容易
ζこ、かつ確実に検出することができる。
第１図はこの発明の一実施例であるレーザエネルギー検
出装置ｔこおける積分球の動作を説明するための図であ
る。図に示すように積分球１は入力ポート２と出力ポー
ト３を有し、レーザビーム４を入力ポート２と出力ポー
ト３間を通過させる。
出装置ｔこおける積分球の動作を説明するための図であ
る。図に示すように積分球１は入力ポート２と出力ポー
ト３を有し、レーザビーム４を入力ポート２と出力ポー
ト３間を通過させる。
出力ポート３にはレーザビーム散乱器５を取り付けてあ
り、このレーザビーム散乱器５によりレーザビーム４の
一部を積分球１内に反射させる。次いで、レーザビーム
散乱器５により反射されたレーザビーム４を積分球１の
内面で乱反射させ、レーザビーム４のエネルギーを均一
化させる。レーザ検出器６は、積分球１に取り付けてあ
り、このレーザ検出器６は上記均一化されたレーザビー
ム４のエネルギーを検出する。
り、このレーザビーム散乱器５によりレーザビーム４の
一部を積分球１内に反射させる。次いで、レーザビーム
散乱器５により反射されたレーザビーム４を積分球１の
内面で乱反射させ、レーザビーム４のエネルギーを均一
化させる。レーザ検出器６は、積分球１に取り付けてあ
り、このレーザ検出器６は上記均一化されたレーザビー
ム４のエネルギーを検出する。
第２図は、第１図のレーザエネルギー検出装置ζこシけ
るレーザビーム散乱器の動作を説明するための図である
。第２図（ａ）において、ワイヤ７はレーザビーム４に
対して高反射材、例えば銅、白金。
るレーザビーム散乱器の動作を説明するための図である
。第２図（ａ）において、ワイヤ７はレーザビーム４に
対して高反射材、例えば銅、白金。
鉄、金、モリブデン、タングステンなど、又はこれらの
材料をメツキした細い線材で形成され、このワイヤ７の
多数を一定の間隔を置いて張設することによりレーザビ
ーム散乱器５が構成される。
材料をメツキした細い線材で形成され、このワイヤ７の
多数を一定の間隔を置いて張設することによりレーザビ
ーム散乱器５が構成される。
このようなレーザビーム散乱器５では、第２図（ｂ）に
示すようにワイヤ７にレーザビーム４が当った部分から
反射がなされる。ワイヤ７の太さはレーザビーム４の直
径に比べて十分に細いものを使用すれば、レーザビーム
４のモードを悪くすることは無い。また、レーザビーム
４が積分球１中を通過後に、１メートル以上レーザビー
ム４が伝ＦＡＴることにより、ワイヤ７による影弓を無
くすことができる。一般の炭酸ガス（ＣＯｚ ）レーザ
発掻器におけるレーザビーム４の直径は約１５〜３０ｍ
ｍであるから、ワイヤ７の直径は上記値の１／１００以
下の約０．０２〜０．２ｍａ度が良い。第２図ｔｅｌに
はワイヤ７を、浴子伏に張設して成るレーザビーム散乱
器５が示されており、このような構成のレーザビーム散
乱器５では、レーザビーム４をより一層均−に散乱反射
することができる。
示すようにワイヤ７にレーザビーム４が当った部分から
反射がなされる。ワイヤ７の太さはレーザビーム４の直
径に比べて十分に細いものを使用すれば、レーザビーム
４のモードを悪くすることは無い。また、レーザビーム
４が積分球１中を通過後に、１メートル以上レーザビー
ム４が伝ＦＡＴることにより、ワイヤ７による影弓を無
くすことができる。一般の炭酸ガス（ＣＯｚ ）レーザ
発掻器におけるレーザビーム４の直径は約１５〜３０ｍ
ｍであるから、ワイヤ７の直径は上記値の１／１００以
下の約０．０２〜０．２ｍａ度が良い。第２図ｔｅｌに
はワイヤ７を、浴子伏に張設して成るレーザビーム散乱
器５が示されており、このような構成のレーザビーム散
乱器５では、レーザビーム４をより一層均−に散乱反射
することができる。
第３図は、この発明の他の実施例であるレーザエネルギ
ー検出装置における積分球を示す一部欠截斜視図でるる
。第３図に示す積分球１においては、その積分球１の内
部に上記のような１４成のレーザビーム散乱器５が設け
られている４戎を有し、この場合でも上記実施例と同様
の効果を奏する。
ー検出装置における積分球を示す一部欠截斜視図でるる
。第３図に示す積分球１においては、その積分球１の内
部に上記のような１４成のレーザビーム散乱器５が設け
られている４戎を有し、この場合でも上記実施例と同様
の効果を奏する。
従って、上述したようにこの発明ｌこよるレーザエネル
ギー検出装置は、特にレーザ加工伎Ｌ’ｆのレーザ出力
の検出に応用した場合に、検出したレーザ出力をフィー
ドバック１ムリ御すること（こよりレーザビームの強度
を安定にすることができ、これにより高ｆｙｆ度のレー
ザ加工が行われ得る。
ギー検出装置は、特にレーザ加工伎Ｌ’ｆのレーザ出力
の検出に応用した場合に、検出したレーザ出力をフィー
ドバック１ムリ御すること（こよりレーザビームの強度
を安定にすることができ、これにより高ｆｙｆ度のレー
ザ加工が行われ得る。
この発明は以上説明したとおり、レーザエネルギー検出
装置において、レーザビームを入力ポートと出力ポート
を有する積分球中に通過させ、レーザビームを横切るよ
うに一定間隔で張設されたワイヤにより構成されるレー
ザビーム散乱器によりレーザビームの一部を積分球内に
反射させ、レーザ検出６薯こよりレーザビームのエネル
ギーヲ検出するようにしたので、単に積分球中にレーザ
ビームを通過させることによって、容易ｆこ、かつ確実
にレーザビームのエネルギーを検出できるレーザエネル
ギー検出装置が得られるという優れた効果を奏するもの
である。
装置において、レーザビームを入力ポートと出力ポート
を有する積分球中に通過させ、レーザビームを横切るよ
うに一定間隔で張設されたワイヤにより構成されるレー
ザビーム散乱器によりレーザビームの一部を積分球内に
反射させ、レーザ検出６薯こよりレーザビームのエネル
ギーヲ検出するようにしたので、単に積分球中にレーザ
ビームを通過させることによって、容易ｆこ、かつ確実
にレーザビームのエネルギーを検出できるレーザエネル
ギー検出装置が得られるという優れた効果を奏するもの
である。
第１図はこの発明の−−Ａ施例であるレーザエネルギー
検出製置における噴分球の動作を説明するための図、第
２図は、第１図のレーザエネルギー検出器ｍ Ｈこおけ
るレーザビーム散乱器の動作を説明するための図、第３
図はこの発明の他の実施例であるレーザエネルギー検出
装置における積分球を示す一部欠哉斜視図である。 図にシいて、１・・・１責分球、２・・・入カーｔｒ−
ト、３・・・出力、ｗ−）、４・・・レーザビーム、５
・・・レーザビーム散乱器、６・・・レーザ検出器、７
・・・ワイヤである。 なお、各図中、同一符号は同一、又は［］ｆｆｉ部分を
示す。
検出製置における噴分球の動作を説明するための図、第
２図は、第１図のレーザエネルギー検出器ｍ Ｈこおけ
るレーザビーム散乱器の動作を説明するための図、第３
図はこの発明の他の実施例であるレーザエネルギー検出
装置における積分球を示す一部欠哉斜視図である。 図にシいて、１・・・１責分球、２・・・入カーｔｒ−
ト、３・・・出力、ｗ−）、４・・・レーザビーム、５
・・・レーザビーム散乱器、６・・・レーザ検出器、７
・・・ワイヤである。 なお、各図中、同一符号は同一、又は［］ｆｆｉ部分を
示す。
Claims (2)
- （１）レーザ発振器の出力するレーザビームのエネルギ
ーの一部を取り出し、そのレーザビームの強度を検出す
るレーザエネルギー検出装置において、前記レーザビー
ムを通過させる入力ポートと出力ポートを有する積分球
と、前記レーザビームを横切るように一定間隔で張設さ
れたワイヤにより構成されるレーザビーム散乱器と、こ
のレーザビーム散乱器及び前記積分球により反射されて
均一化されたレーザビームのエネルギーを検出するレー
ザ検出器を備えることを特徴とするレーザエネルギー検
出装置。 - （２）前記レーザビーム散乱器のワイヤは、前記レーザ
ビームの高反射材で形成されることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のレーザエネルギー検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61246709A JPS63100333A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | レ−ザエネルギ−検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61246709A JPS63100333A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | レ−ザエネルギ−検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63100333A true JPS63100333A (ja) | 1988-05-02 |
Family
ID=17152472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61246709A Pending JPS63100333A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | レ−ザエネルギ−検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63100333A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104359550A (zh) * | 2014-11-13 | 2015-02-18 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 锥形激光光强测试装置及测试方法 |
| JP2015042972A (ja) * | 2013-07-29 | 2015-03-05 | ウルトラテック インク | 高強度光線測定システム、及び方法 |
-
1986
- 1986-10-17 JP JP61246709A patent/JPS63100333A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015042972A (ja) * | 2013-07-29 | 2015-03-05 | ウルトラテック インク | 高強度光線測定システム、及び方法 |
| CN104359550A (zh) * | 2014-11-13 | 2015-02-18 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 锥形激光光强测试装置及测试方法 |
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