JPH09113444A - 光ファイバ測光装置 - Google Patents
光ファイバ測光装置Info
- Publication number
- JPH09113444A JPH09113444A JP29760395A JP29760395A JPH09113444A JP H09113444 A JPH09113444 A JP H09113444A JP 29760395 A JP29760395 A JP 29760395A JP 29760395 A JP29760395 A JP 29760395A JP H09113444 A JPH09113444 A JP H09113444A
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- Japan
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- light
- optical fiber
- angle
- light receiving
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 時間分解波形の歪みを除く。
【解決手段】 光ファイバ１６の出射端と光電子増倍管
１８の間に受光立体角可変機構として２枚の円板２０ａ
と２０ｂからなるものが配置されている。この可変機構
は角度制限器付減光円板２０ａ，２０ｂであり、２枚の
円板２０ａと２０ｂが互いに平行に保持されて回転軸２
２に固定されており、２枚の円板２０ａ，２０ｂが互い
の位置関係を保持したままで同時に回転できるようにな
っている。円板２０ａと２０ｂには対向する位置に対に
なった穴２４−１，２４−２，……が設けられている。
２４−１は大きな穴で光ファイバ１６の端面より大き
く、受光立体角の制限が殆どないのに対し、穴２４−２
以降に多数つらなっている対になった穴はだんだん小さ
くなっており、小さくなるほど受光立体角の制限が強く
なる。
１８の間に受光立体角可変機構として２枚の円板２０ａ
と２０ｂからなるものが配置されている。この可変機構
は角度制限器付減光円板２０ａ，２０ｂであり、２枚の
円板２０ａと２０ｂが互いに平行に保持されて回転軸２
２に固定されており、２枚の円板２０ａ，２０ｂが互い
の位置関係を保持したままで同時に回転できるようにな
っている。円板２０ａと２０ｂには対向する位置に対に
なった穴２４−１，２４−２，……が設けられている。
２４−１は大きな穴で光ファイバ１６の端面より大き
く、受光立体角の制限が殆どないのに対し、穴２４−２
以降に多数つらなっている対になった穴はだんだん小さ
くなっており、小さくなるほど受光立体角の制限が強く
なる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は生体などの光散乱体
の試料に測定光を照射し、その試料の他の部分から出て
くる光を光ファイバの一端で受光し、その光ファイバの
他端を検出器に向けて検出を行なうことにより、試料内
の情報を非破壊的に得る光ファイバ測光装置に関するも
のである。このような光ファイバ測光装置は、例えば生
体酸素モニタや光ＣＴなどとして利用される。
の試料に測定光を照射し、その試料の他の部分から出て
くる光を光ファイバの一端で受光し、その光ファイバの
他端を検出器に向けて検出を行なうことにより、試料内
の情報を非破壊的に得る光ファイバ測光装置に関するも
のである。このような光ファイバ測光装置は、例えば生
体酸素モニタや光ＣＴなどとして利用される。
【０００２】
【従来の技術】６００〜１２００ｎｍの範囲の近赤外光
線は生体の透過性がよく、生体中の数ｃｍの距離を通過
した後でも十分測定が可能な強度を保つ。そして、好都
合なことに、生体機能を反映する重要な物質であるヘモ
グロビンやチトクロムオキシダーゼなどの吸収スペクト
ルがちょうどこの波長域に存在するので、近赤外光のこ
の性質を利用して生体機能を無侵襲で測定することが行
なわれている。
線は生体の透過性がよく、生体中の数ｃｍの距離を通過
した後でも十分測定が可能な強度を保つ。そして、好都
合なことに、生体機能を反映する重要な物質であるヘモ
グロビンやチトクロムオキシダーゼなどの吸収スペクト
ルがちょうどこの波長域に存在するので、近赤外光のこ
の性質を利用して生体機能を無侵襲で測定することが行
なわれている。
【０００３】光ファイバを用いて生体を測定する場合、
超短光パルスを光ファイバによって試料に照射し、試料
から出てくる光を光ファイバを介して検出器、例えば光
電子増倍管で受光し、時間分解光信号測定装置に導いて
いる。１つの点から試料に照射し、多数の点から出てく
る拡散光を多数の受光用光ファイバにより同時に並列に
受光して検出器に導くこともある。
超短光パルスを光ファイバによって試料に照射し、試料
から出てくる光を光ファイバを介して検出器、例えば光
電子増倍管で受光し、時間分解光信号測定装置に導いて
いる。１つの点から試料に照射し、多数の点から出てく
る拡散光を多数の受光用光ファイバにより同時に並列に
受光して検出器に導くこともある。
【０００４】図１は光ＣＴの送光部と受光部の一例を表
わしたものである。被検体２の周囲に送光部の光ファイ
バの送光端Ｉ1〜Ｉｎが配置され、送光端の間に１個ず
つの受光端Ｏ1〜Ｏｎが配置されている。送光端からは
送光パルスによって測定光が順次送光され、全ての受光
端で受光される。測定手順は、まず送光端Ｉ1からパル
ス光を被検体２に照射し、被検体２を透過し又は被検体
２内で反射した光を全ての受光端Ｏ1〜Ｏｎで同時に並
列で受光することによりｎ個の受光信号を得る。
わしたものである。被検体２の周囲に送光部の光ファイ
バの送光端Ｉ1〜Ｉｎが配置され、送光端の間に１個ず
つの受光端Ｏ1〜Ｏｎが配置されている。送光端からは
送光パルスによって測定光が順次送光され、全ての受光
端で受光される。測定手順は、まず送光端Ｉ1からパル
ス光を被検体２に照射し、被検体２を透過し又は被検体
２内で反射した光を全ての受光端Ｏ1〜Ｏｎで同時に並
列で受光することによりｎ個の受光信号を得る。
【０００５】次に、送光部を１ステップ進めて、すなわ
ち送光端Ｉ2から光パルスを被検体２に照射し、全ての
受光端Ｏ1〜Ｏｎで受光する。これを繰り返して送光端
Ｉ1〜Ｉｎまでｎ個の送光部を切り換えたｎ回の測定に
より、合計でｎ2個の受光信号を得ることができ、これ
から計算により断層像を求めることができる。
ち送光端Ｉ2から光パルスを被検体２に照射し、全ての
受光端Ｏ1〜Ｏｎで受光する。これを繰り返して送光端
Ｉ1〜Ｉｎまでｎ個の送光部を切り換えたｎ回の測定に
より、合計でｎ2個の受光信号を得ることができ、これ
から計算により断層像を求めることができる。
【０００６】試料から出てくる光を光ファイバで受光す
る場合、試料から射出される拡散光をできるだけ多く伝
送するために、受光ファイバの端面を試料に密着させる
のが普通である。試料に密着させることにより、光ファ
イバの開口数（ＮＡ）いっぱいの光量を利用できるから
である。
る場合、試料から射出される拡散光をできるだけ多く伝
送するために、受光ファイバの端面を試料に密着させる
のが普通である。試料に密着させることにより、光ファ
イバの開口数（ＮＡ）いっぱいの光量を利用できるから
である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】拡散光に対して光ファ
イバの開口数いっぱいの最大の量の光を利用すると、時
間分解波形が変形することがわかった。具体的な例で示
すと、試料として散乱性の板状試料を用い、それにパル
ス光を照射し、散乱光を光ファイバで受光した。その実
測データは、図２（Ａ）に示されるものである。その図
中に記入されている距離０，５，１５ｍｍは、受光ファ
イバの端面と試料との距離であり、距離０ｍは受光ファ
イバの端面を試料に密着させた場合である。
イバの開口数いっぱいの最大の量の光を利用すると、時
間分解波形が変形することがわかった。具体的な例で示
すと、試料として散乱性の板状試料を用い、それにパル
ス光を照射し、散乱光を光ファイバで受光した。その実
測データは、図２（Ａ）に示されるものである。その図
中に記入されている距離０，５，１５ｍｍは、受光ファ
イバの端面と試料との距離であり、距離０ｍは受光ファ
イバの端面を試料に密着させた場合である。
【０００８】受光ファイバの端面を試料に密着させた場
合のデータを模式的に示すと、図２（Ｂ）のようにな
る。ピークの長時間側の部分では、破線で示される正し
い波形に対し、実線で示されるような歪んだサブピーク
が現われる。本発明はこの時間分解波形の歪みを除くこ
とを目的とするものである。
合のデータを模式的に示すと、図２（Ｂ）のようにな
る。ピークの長時間側の部分では、破線で示される正し
い波形に対し、実線で示されるような歪んだサブピーク
が現われる。本発明はこの時間分解波形の歪みを除くこ
とを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】時間分解波形の歪みを改
善するために、光ファイバの性質について詳細な検討を
行なった。拡散光は試料表面からあらゆる方向に出る。
このため、拡散光では通常の散乱していない光に比べ、
光ファイバの軸に対して斜めに進む光の量が極端に多
い。すなわち、拡散光を受光し伝送するする場合には斜
めの光について十分な考慮を必要とする。そこで、斜め
に入る光が光ファイバを通った後、どのような角度分布
で反対側の光ファイバ端から出るかを、定常光の場合
と、パルス光を時間分解測定する場合の２つの場合につ
いて実測を行なった。
善するために、光ファイバの性質について詳細な検討を
行なった。拡散光は試料表面からあらゆる方向に出る。
このため、拡散光では通常の散乱していない光に比べ、
光ファイバの軸に対して斜めに進む光の量が極端に多
い。すなわち、拡散光を受光し伝送するする場合には斜
めの光について十分な考慮を必要とする。そこで、斜め
に入る光が光ファイバを通った後、どのような角度分布
で反対側の光ファイバ端から出るかを、定常光の場合
と、パルス光を時間分解測定する場合の２つの場合につ
いて実測を行なった。
【００１０】図３は定常光の測定結果である。測定は、
（Ｂ）のように、光ファイバ３の一端から角度θ1で定
常光を入射させ、他端から角度θ2の位置で検出器４で
受光する。検出器４の受光角（すなわち光ファイバから
の出射角）θ2を変化させることによって、入射角θ1と
出射角θ2との関係を実測した結果が（Ｃ）である。光
ファイバの長さは２ｍである。（Ｃ）の結果を模式的に
示すと、（Ａ）のように光ファイバ３からリング状に出
射する。図３の結果から、光ファイバにある角度θ1で
斜めに入った光は、殆どその角度が保持されたままで反
対側の出口から出ることがわかる。
（Ｂ）のように、光ファイバ３の一端から角度θ1で定
常光を入射させ、他端から角度θ2の位置で検出器４で
受光する。検出器４の受光角（すなわち光ファイバから
の出射角）θ2を変化させることによって、入射角θ1と
出射角θ2との関係を実測した結果が（Ｃ）である。光
ファイバの長さは２ｍである。（Ｃ）の結果を模式的に
示すと、（Ａ）のように光ファイバ３からリング状に出
射する。図３の結果から、光ファイバにある角度θ1で
斜めに入った光は、殆どその角度が保持されたままで反
対側の出口から出ることがわかる。
【００１１】パルス光を時間分解測定した結果を図４に
示す。（Ａ）に示されるように、光ファイバ３の一端か
らパルス光源６によって入射角θ1でパルス光を入射さ
せ、他端からの出射光を時間分解測定器のストリークカ
メラ８で受光角θ2で受光する。光ファイバの長さは２
ｍである。（Ｂ）はその実測データである。
示す。（Ａ）に示されるように、光ファイバ３の一端か
らパルス光源６によって入射角θ1でパルス光を入射さ
せ、他端からの出射光を時間分解測定器のストリークカ
メラ８で受光角θ2で受光する。光ファイバの長さは２
ｍである。（Ｂ）はその実測データである。
【００１２】斜め入射（この例では３０°）の場合で
も、入射角θ1と出射角θ2が等しいときに透過光の強度
が最大になる。また、角度が２°離れるだけで強度が半
分になることから、入射角θ1と出射角θ2が等しいとこ
ろに光が集中していることがわかる。さらに、最も重要
な点として、３０°で斜めに入る光は０度の光より０．
７ナノ秒程度も遅れることが示されている。
も、入射角θ1と出射角θ2が等しいときに透過光の強度
が最大になる。また、角度が２°離れるだけで強度が半
分になることから、入射角θ1と出射角θ2が等しいとこ
ろに光が集中していることがわかる。さらに、最も重要
な点として、３０°で斜めに入る光は０度の光より０．
７ナノ秒程度も遅れることが示されている。
【００１３】図４の結果から、斜めに入るパルス光を光
ファイバの出口で斜め方向から時間分解法で測定する
と、出口の出射角θ2と入口の入射角θ1が等しいときに
強度が最大となり、入射角θ1と出射角θ2が大きくなる
と入射角及び出射角が０度の場合に比べてパルスの時間
遅れが生じることが分かった。
ファイバの出口で斜め方向から時間分解法で測定する
と、出口の出射角θ2と入口の入射角θ1が等しいときに
強度が最大となり、入射角θ1と出射角θ2が大きくなる
と入射角及び出射角が０度の場合に比べてパルスの時間
遅れが生じることが分かった。
【００１４】したがって、いろいろの斜めの角度の光が
混合されたものを受光すると、遅れ量の異なる光の重ね
合わせとなるために、時間分解が悪くなることは避けら
れない。このように、拡散光のようないろいろに進む光
が混合したものが光ファイバに入射すると、時間遅れの
異なる光の合成となり、大きな波形の歪みを生じる。こ
れが図２に示した波形歪みの原因である。
混合されたものを受光すると、遅れ量の異なる光の重ね
合わせとなるために、時間分解が悪くなることは避けら
れない。このように、拡散光のようないろいろに進む光
が混合したものが光ファイバに入射すると、時間遅れの
異なる光の合成となり、大きな波形の歪みを生じる。こ
れが図２に示した波形歪みの原因である。
【００１５】ここで、もし光の強度に余裕がある場合に
は、光ファイバ中を伝わる光の斜めの角度を制限して入
射、出射角度＝０付近の光のみを選択して使うようにす
れば、波形の歪みは避けられる。一方、感度を重視する
場合には、開口数いっぱいの大きな角度の光を用いる
が、この場合は時間分解能が犠牲になる。ただ、幸いな
ことに光が弱いのは送光側と受光側の距離が大きい場合
であって、このときは光の通過距離自身が大きくなるの
で、必然的に幅広いパルスとなり、時間分解が多少悪く
ても問題はない。
は、光ファイバ中を伝わる光の斜めの角度を制限して入
射、出射角度＝０付近の光のみを選択して使うようにす
れば、波形の歪みは避けられる。一方、感度を重視する
場合には、開口数いっぱいの大きな角度の光を用いる
が、この場合は時間分解能が犠牲になる。ただ、幸いな
ことに光が弱いのは送光側と受光側の距離が大きい場合
であって、このときは光の通過距離自身が大きくなるの
で、必然的に幅広いパルスとなり、時間分解が多少悪く
ても問題はない。
【００１６】そこで、本発明は試料から検出器までの光
路に、受光立体角の可変機構を設ける。光ファイバの入
口側又は出口側に設けた受光立体角の可変機構によっ
て、高時間分解と高感度化の兼ね合いの調節を行ない、
必要な場合に波形の歪みを減らすことができるようにす
る。
路に、受光立体角の可変機構を設ける。光ファイバの入
口側又は出口側に設けた受光立体角の可変機構によっ
て、高時間分解と高感度化の兼ね合いの調節を行ない、
必要な場合に波形の歪みを減らすことができるようにす
る。
【００１７】
【作用】受光立体角の可変機構を設けて受光立体角を調
節することにより、受光立体角を大きくすれば波形歪み
は生じるが高感度な受光を行なうことができ、逆に受光
立体角を小さくすれば感度は低下するが、高時間分解を
得ることができる。
節することにより、受光立体角を大きくすれば波形歪み
は生じるが高感度な受光を行なうことができ、逆に受光
立体角を小さくすれば感度は低下するが、高時間分解を
得ることができる。
【００１８】
【実施例】図５（Ａ）は一実施例を概略的に表わしたも
のである。生体などの試料１０に対して測定光入射側の
光ファイバ１２によって測定光を照射する。試料１０中
を拡散した散乱光１４は受光ファイバ１６の一端で受光
される。光ファイバ１６の他端は検出器の光電子増倍管
１８に対向して設けられている。光ファイバ１６は例え
ば内径が３〜５ｍｍのバンドル光ファイバである。
のである。生体などの試料１０に対して測定光入射側の
光ファイバ１２によって測定光を照射する。試料１０中
を拡散した散乱光１４は受光ファイバ１６の一端で受光
される。光ファイバ１６の他端は検出器の光電子増倍管
１８に対向して設けられている。光ファイバ１６は例え
ば内径が３〜５ｍｍのバンドル光ファイバである。
【００１９】光ファイバ１６の出射端と光電子増倍管１
８の間には本発明の受光立体角可変機構として２枚の円
板２０ａと２０ｂからなるものが配置されている。この
可変機構は角度制限器付減光円板２０ａ，２０ｂであ
り、２枚の円板２０ａと２０ｂが互いに平行に保持され
て回転軸２２に固定されており、２枚の円板２０ａ，２
０ｂが互いの位置関係を保持したままで同時に回転でき
るようになっている。円板２０ａと２０ｂには対向する
位置に対になった穴２４−１，２４−２，……が設けら
れている。２４−１は大きな穴で光ファイバ１６の端面
より大きく、受光立体角の制限が殆どないのに対し、穴
２４−２以降に多数つらなっている対になった穴はだん
だん小さくなっており、小さくなるほど受光立体角の制
限が強くなる。
８の間には本発明の受光立体角可変機構として２枚の円
板２０ａと２０ｂからなるものが配置されている。この
可変機構は角度制限器付減光円板２０ａ，２０ｂであ
り、２枚の円板２０ａと２０ｂが互いに平行に保持され
て回転軸２２に固定されており、２枚の円板２０ａ，２
０ｂが互いの位置関係を保持したままで同時に回転でき
るようになっている。円板２０ａと２０ｂには対向する
位置に対になった穴２４−１，２４−２，……が設けら
れている。２４−１は大きな穴で光ファイバ１６の端面
より大きく、受光立体角の制限が殆どないのに対し、穴
２４−２以降に多数つらなっている対になった穴はだん
だん小さくなっており、小さくなるほど受光立体角の制
限が強くなる。
【００２０】受光立体角の制限の程度は、図５（Ｂ）に
示されるように、両円板２０ａ，２０ｂの穴の面積と両
円板間の距離Ｌによって決まり、それぞれの穴の面積を
Ｓ，Ｓ’とすると、受光立体角はＳＳ'／Ｌ2で表わされ
る。穴が小さいほど減光量が大きくなる。
示されるように、両円板２０ａ，２０ｂの穴の面積と両
円板間の距離Ｌによって決まり、それぞれの穴の面積を
Ｓ，Ｓ’とすると、受光立体角はＳＳ'／Ｌ2で表わされ
る。穴が小さいほど減光量が大きくなる。
【００２１】一般に、光電子増倍管１８は入射光が強す
ぎると測定に障害を生じるので、減光器が必要である
が、時間分解能向上の観点から用いる減光器は、受光立
体角の制限がなく単に減光だけを行なうニュートラルフ
ィルタだけのものであるよりも、本発明のように可能な
限り受光立体角が制限できるものを採用することが好ま
しい。しかし、減光量が角度制限用の穴だけでは不足す
るときには、さらに図５（Ａ）に示されているようなニ
ュートラルフィルタ２６などを加えて所与の減光量にす
る。
ぎると測定に障害を生じるので、減光器が必要である
が、時間分解能向上の観点から用いる減光器は、受光立
体角の制限がなく単に減光だけを行なうニュートラルフ
ィルタだけのものであるよりも、本発明のように可能な
限り受光立体角が制限できるものを採用することが好ま
しい。しかし、減光量が角度制限用の穴だけでは不足す
るときには、さらに図５（Ａ）に示されているようなニ
ュートラルフィルタ２６などを加えて所与の減光量にす
る。
【００２２】受光立体角可変機構の位置については、入
射角と出射角が保存されることに注目すると、光ファイ
バ１６の入口側であってもよく出口側であってもよい。
しかし、実際上は入口側の光ファイバ端を試料に密着さ
せると、入口側での角度の制限が難しいので、図５
（Ａ）の実施例のように出口側に受光立体角可変機構を
設けるのがよい。
射角と出射角が保存されることに注目すると、光ファイ
バ１６の入口側であってもよく出口側であってもよい。
しかし、実際上は入口側の光ファイバ端を試料に密着さ
せると、入口側での角度の制限が難しいので、図５
（Ａ）の実施例のように出口側に受光立体角可変機構を
設けるのがよい。
【００２３】
【発明の効果】本発明では簡単な機構で光ファイバから
出る光の受光立体角の調節ができ、感度と時間分解能と
の兼ね合いを自由に設定することができる。受光立体角
可変機構は強すぎる光の減光器としての機能を合わせも
つ。
出る光の受光立体角の調節ができ、感度と時間分解能と
の兼ね合いを自由に設定することができる。受光立体角
可変機構は強すぎる光の減光器としての機能を合わせも
つ。
【図１】光ＣＴの送光部と受光部の一例を示す断面図で
ある。
ある。
【図２】時間分解波形を示す図であり、（Ａ）は実測デ
ータの図、（Ｂ）は受光ファイバ端を試料に密着させた
場合の波形歪みを模式的に示す図である。
ータの図、（Ｂ）は受光ファイバ端を試料に密着させた
場合の波形歪みを模式的に示す図である。
【図３】光ファイバに斜め方向に入射させた定常光の出
射角度依存性を示す図であり、（Ａ）は光ファイバから
リング状に出る光を模式的に示した図、（Ｂ）は出射角
度の測定方法を示す図、（Ｃ）は実測データである。
射角度依存性を示す図であり、（Ａ）は光ファイバから
リング状に出る光を模式的に示した図、（Ｂ）は出射角
度の測定方法を示す図、（Ｃ）は実測データである。
【図４】光ファイバへの入射光がパルス光である場合の
入射角と出射角の関係を示す図であり、（Ａ）は時間分
解測定法を模式的に示した図、（Ｂ）は実測データの図
である。
入射角と出射角の関係を示す図であり、（Ａ）は時間分
解測定法を模式的に示した図、（Ｂ）は実測データの図
である。
【図５】（Ａ）は一実施例を示す概略斜視図、（Ｂ）は
受光立体角を説明する図である。
受光立体角を説明する図である。
【符号の説明】 ３，１６ 光ファイバ １０ 試料 ２０ａ，２０ｂ 受光立体角可変機構の一対の円板 １８ 光電子増倍管 ２２ 回転軸 ２４−１，２４−２ 円板の受光立体角制限用の穴 ２６ 減光フィルタ
Claims (1)
- 【請求項１】 光散乱体の試料に測定光を照射し、その
試料の他の部分から出てくる光を光ファイバの一端で受
光し、その光ファイバの他端を検出器に向けて検出を行
なう光ファイバ測光装置において、 試料から検出器までの光路に、受光立体角の可変機構を
設けたことを特徴とする光ファイバ測光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29760395A JPH09113444A (ja) | 1995-10-20 | 1995-10-20 | 光ファイバ測光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29760395A JPH09113444A (ja) | 1995-10-20 | 1995-10-20 | 光ファイバ測光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09113444A true JPH09113444A (ja) | 1997-05-02 |
Family
ID=17848704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29760395A Pending JPH09113444A (ja) | 1995-10-20 | 1995-10-20 | 光ファイバ測光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09113444A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4530429B1 (ja) * | 2009-04-14 | 2010-08-25 | 株式会社ファインテック | Ｌｅｄ検査方法及びｌｅｄ検査装置 |
| CN113687406A (zh) * | 2021-09-23 | 2021-11-23 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 脉冲中子发射时间探测器 |
-
1995
- 1995-10-20 JP JP29760395A patent/JPH09113444A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4530429B1 (ja) * | 2009-04-14 | 2010-08-25 | 株式会社ファインテック | Ｌｅｄ検査方法及びｌｅｄ検査装置 |
| JP2010266424A (ja) * | 2009-04-14 | 2010-11-25 | Finetec Co Ltd | Ｌｅｄ検査方法及びｌｅｄ検査装置 |
| CN113687406A (zh) * | 2021-09-23 | 2021-11-23 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 脉冲中子发射时间探测器 |
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