JPS6299493A - 転写型の製造方法 - Google Patents
転写型の製造方法Info
- Publication number
- JPS6299493A JPS6299493A JP23949085A JP23949085A JPS6299493A JP S6299493 A JPS6299493 A JP S6299493A JP 23949085 A JP23949085 A JP 23949085A JP 23949085 A JP23949085 A JP 23949085A JP S6299493 A JPS6299493 A JP S6299493A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- electroforming
- cathode
- transfer mold
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の概要〕
感光性ポリマー転写型を製造する際にその転写型の外周
リング上部に高圧陰極部を設け、その外周リング上部に
電鋳によりバリを集中生成させハリが生成した外周リン
グ」二部を除去し、ハリのない外周リングを製造し、良
好な転写型を製造する。
リング上部に高圧陰極部を設け、その外周リング上部に
電鋳によりバリを集中生成させハリが生成した外周リン
グ」二部を除去し、ハリのない外周リングを製造し、良
好な転写型を製造する。
本発明は感光性ポリマー（ｐｈｏｔｏ ｐｏｌｙｍｅｒ
：２Ｐ）転写型の製造方法に係り、特に電鋳による感光
性ポリマー転写型製造方法に関する。
：２Ｐ）転写型の製造方法に係り、特に電鋳による感光
性ポリマー転写型製造方法に関する。
従来感光性ポリマー転写型（以下２Ｐ転写型と記す）は
円盤状のガラス基板」−にパターニングされた例えばシ
ソプレイ社製マイクロポジット１３００−３１等の感光
性レジスト七に特に３００人の厚さのＮｉ電極膜を形成
し、得られた電極原盤１１−にＮｉメッキされた／ｌか
らなる外周リング２及び内周リング５を配置し、得られ
た電極原盤表面にＮｉを約０．３１の厚さに電鋳（厚め
つき）させ、電鋳層８ａを形成し、ガラスからなる裏打
ち板６を矢印の如く原盤に押し付け（Ｍ打ちをし）るこ
とによって製造される。しかし−に記Ｎｉを電極原盤表
面に電鋳する際第３図に示すように外周リング２のエツ
ジにも塊状のＮｉのバリ８ｂが生成する。そのバリ８ｂ
のために裏打ち板６が精度よく原盤に嵌合せず所定の裏
打ちができないという問題があった。
円盤状のガラス基板」−にパターニングされた例えばシ
ソプレイ社製マイクロポジット１３００−３１等の感光
性レジスト七に特に３００人の厚さのＮｉ電極膜を形成
し、得られた電極原盤１１−にＮｉメッキされた／ｌか
らなる外周リング２及び内周リング５を配置し、得られ
た電極原盤表面にＮｉを約０．３１の厚さに電鋳（厚め
つき）させ、電鋳層８ａを形成し、ガラスからなる裏打
ち板６を矢印の如く原盤に押し付け（Ｍ打ちをし）るこ
とによって製造される。しかし−に記Ｎｉを電極原盤表
面に電鋳する際第３図に示すように外周リング２のエツ
ジにも塊状のＮｉのバリ８ｂが生成する。そのバリ８ｂ
のために裏打ち板６が精度よく原盤に嵌合せず所定の裏
打ちができないという問題があった。
本発明はパリのない外周リングを有する転写型を製造す
ることを目的とする。
ることを目的とする。
上記問題点は本発明によれば陰極となる金属からなる内
周リングと外周リングとを設けた電極原盤表面に金属を
電鋳させる工程を含む転写型の製造方法において、該外
周リングの上端部を高圧陰極として該電鋳］二稈を行な
うことを特徴とする転写型の製造方法によって解決され
る。
周リングと外周リングとを設けた電極原盤表面に金属を
電鋳させる工程を含む転写型の製造方法において、該外
周リングの上端部を高圧陰極として該電鋳］二稈を行な
うことを特徴とする転写型の製造方法によって解決され
る。
本発明によれば従来の外周リング上に更に高圧陰極部と
なる外周リング上端部を設けることによって電鋳時該外
周リング」二端部に集中的にハリを発生させ、そのハリ
と共に外周リング」二端部を取り除き、ハリによる裏打
ちの不具合を防止できるものである。
なる外周リング上端部を設けることによって電鋳時該外
周リング」二端部に集中的にハリを発生させ、そのハリ
と共に外周リング」二端部を取り除き、ハリによる裏打
ちの不具合を防止できるものである。
（実施例〕
以下本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図及び第２図は本発明の一実施例を説明するための
概略断面図である。
概略断面図である。
第１図に示すようにガラス基板、約１０００人のレジス
ト、約３００人のＮ１メッキ層からなる原盤１上にＮｉ
メッキを栴したアルミニウムからなる外周リング２及び
内周リング５を被着させる。外周グ３上には高電圧用陰
極用の陰極リング４を付着させ、この状態で電鋳を行な
う。電鋳（厚めつき）電圧はＩＯＶをかけ、例えばＡＡ
からなる陰極リング４には２０Ｖをかけた。この電鋳に
より原盤上にＮｉが約０．３ ｍｍの厚さの電鋳層８ａ
を形成されると共に陰極リング４部表面に塊状のＮｉの
パリが（図示せず）が生成された。次にこのＮｉパリが
生成された陰極リングを絶縁リング３と共に原盤上から
取り除き、パリのない外周リング２を得た。次に電鋳層
８ａの表面を、第２図に示すように裏打ち板６を用いて
裏打ちし、２Ｐ転写型が製造される。
ト、約３００人のＮ１メッキ層からなる原盤１上にＮｉ
メッキを栴したアルミニウムからなる外周リング２及び
内周リング５を被着させる。外周グ３上には高電圧用陰
極用の陰極リング４を付着させ、この状態で電鋳を行な
う。電鋳（厚めつき）電圧はＩＯＶをかけ、例えばＡＡ
からなる陰極リング４には２０Ｖをかけた。この電鋳に
より原盤上にＮｉが約０．３ ｍｍの厚さの電鋳層８ａ
を形成されると共に陰極リング４部表面に塊状のＮｉの
パリが（図示せず）が生成された。次にこのＮｉパリが
生成された陰極リングを絶縁リング３と共に原盤上から
取り除き、パリのない外周リング２を得た。次に電鋳層
８ａの表面を、第２図に示すように裏打ち板６を用いて
裏打ちし、２Ｐ転写型が製造される。
以上説明したように本発明によれば外周リング」二方に
設けた陰極部にパリを生成させ該高圧陰極部を取り除く
ことによって従来の外周リングでのパリの発生を防止で
き、その後の裏打ち工程を正確にしかも精度よ〈実施す
ることができる。
設けた陰極部にパリを生成させ該高圧陰極部を取り除く
ことによって従来の外周リングでのパリの発生を防止で
き、その後の裏打ち工程を正確にしかも精度よ〈実施す
ることができる。
第１図及び第２図は本発明の詳細な説明するための概略
断面図であり、第３図は従来例を説明するための概略断
面図である。 １・・・原盤、 ２・・・外周リング、３・
・・絶縁リング、 ４・・・陰極リング、５・・・
内周リング、 ６・・・裏打ち板、８ａ・・・電鋳層
、 ８ｂ・・・パリ。 実施例 従来例 第３国
断面図であり、第３図は従来例を説明するための概略断
面図である。 １・・・原盤、 ２・・・外周リング、３・
・・絶縁リング、 ４・・・陰極リング、５・・・
内周リング、 ６・・・裏打ち板、８ａ・・・電鋳層
、 ８ｂ・・・パリ。 実施例 従来例 第３国
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、陰極となる金属からなる内周リングと外周リングと
を設けた電極原盤表面に金属を電鋳させる工程を含む転
写型の製造方法において、 該外周リングの上端部を高圧陰極として該電鋳工程を行
なうことを特徴とする転写型の製造方法。 ２、前記転写型が感光性ポリマー転写用とすることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の転写型の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23949085A JPS6299493A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 転写型の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23949085A JPS6299493A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 転写型の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6299493A true JPS6299493A (ja) | 1987-05-08 |
Family
ID=17045549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23949085A Pending JPS6299493A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | 転写型の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6299493A (ja) |
-
1985
- 1985-10-28 JP JP23949085A patent/JPS6299493A/ja active Pending
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