JPS6295713A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS6295713A JPS6295713A JP61245181A JP24518186A JPS6295713A JP S6295713 A JPS6295713 A JP S6295713A JP 61245181 A JP61245181 A JP 61245181A JP 24518186 A JP24518186 A JP 24518186A JP S6295713 A JPS6295713 A JP S6295713A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic head
- pole
- magnetic pole
- head according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 26
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 14
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 12
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 10
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000218220 Ulmaceae Species 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、垂直磁化によって情報が書込まれる記録媒
体Ｃ：対する成層薄膜磁気ヘッドに関するものである。
体Ｃ：対する成層薄膜磁気ヘッドに関するものである。
この種の磁気ヘッドで磁束を總く磁気導体を備え、その
記録媒体（一対向する主磁極と補助磁極を構成する磁極
片終端部は特定の相互間隔を保って基板の平坦面に設け
られ、磁極片の間に形成された中間室内Ｃ二沓込み・読
出し巻線の巻回が収められているものは、たとえば欧州
特許０１４６００３Ａ１（−示されてしする。
記録媒体（一対向する主磁極と補助磁極を構成する磁極
片終端部は特定の相互間隔を保って基板の平坦面に設け
られ、磁極片の間に形成された中間室内Ｃ二沓込み・読
出し巻線の巻回が収められているものは、たとえば欧州
特許０１４６００３Ａ１（−示されてしする。
情報を記憶するための垂直磁化の原理は広く知られてい
る（例えば［アイ・イー・イー・イー・トランザクショ
ンズ・オン・マグネチフス（Ｉ ＥＥＥＴｒａｎｓａｃ
ｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｍａｇｎｓｔｉｅｓ ）Ｊ
ＭＡＯ−１６１［１］、１９８０年１月、ｐ、７１−
７６ および上記の欧州特許参照）。
る（例えば［アイ・イー・イー・イー・トランザクショ
ンズ・オン・マグネチフス（Ｉ ＥＥＥＴｒａｎｓａｃ
ｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｍａｇｎｓｔｉｅｓ ）Ｊ
ＭＡＯ−１６１［１］、１９８０年１月、ｐ、７１−
７６ および上記の欧州特許参照）。
この垂直磁化方式に対しては特殊な書込み・読出し磁気
ヘッドが必要となる。これＣ二連した磁気ヘッドは一般
に磁束案内用として非磁性基板上にとりつけられたリン
グヘッド其・似の磁気導体を備える。この磁気導体は例
えば記録媒体に同った２つの磁極片を含み、一方の磁極
片は記録層の反転磁化に必要な充分強い垂直磁場を作る
主磁極を構成する。この場合必要な磁気帰還作用は補助
磁極を構成する他方の磁極片を通して行われる。
ヘッドが必要となる。これＣ二連した磁気ヘッドは一般
に磁束案内用として非磁性基板上にとりつけられたリン
グヘッド其・似の磁気導体を備える。この磁気導体は例
えば記録媒体に同った２つの磁極片を含み、一方の磁極
片は記録層の反転磁化に必要な充分強い垂直磁場を作る
主磁極を構成する。この場合必要な磁気帰還作用は補助
磁極を構成する他方の磁極片を通して行われる。
この形式の磁気ヘッドでは補助Ｆｆｉ極は磁束の帰還だ
けに側用されなければならない。ただし書込み用の主磁
極を適当に配置して補助磁極によって書込まれた情報の
上に東ねて書込みを行うようにすることができるから、
補助磁極による同時書込みも場合によっては受は入れる
ことができる。しかし補助磁極の後方の極端による同時
読出しを少くともある程度まで抑制するためには、両磁
極間の間隔を比較的大きくして補助磁極中の磁束密度が
充分低くできるようにしなければならないが、 ヘッドの運動方向において前後に配置された磁極を持つ
磁気ヘッドでは磁極間の間隔を埋める間隙層の形成が特
に薄膜技術Ｃ二よる場合極めて困難である。
けに側用されなければならない。ただし書込み用の主磁
極を適当に配置して補助磁極によって書込まれた情報の
上に東ねて書込みを行うようにすることができるから、
補助磁極による同時書込みも場合によっては受は入れる
ことができる。しかし補助磁極の後方の極端による同時
読出しを少くともある程度まで抑制するためには、両磁
極間の間隔を比較的大きくして補助磁極中の磁束密度が
充分低くできるようにしなければならないが、 ヘッドの運動方向において前後に配置された磁極を持つ
磁気ヘッドでは磁極間の間隔を埋める間隙層の形成が特
に薄膜技術Ｃ二よる場合極めて困難である。
冒頭Ｃ二重げた欧州特許明細書に記載されている磁気ヘ
ッドでは上記の理由に基き磁極片の両方の磁極がヘッド
の運動方向において前後ではなく横に並べて設けられる
。これによって両方の磁極片と少くとも１つの書込み・
読出しコイルの巻回を比較的簡単Ｃ：非磁性基板上Ｃ二
配置することができる。
ッドでは上記の理由に基き磁極片の両方の磁極がヘッド
の運動方向において前後ではなく横に並べて設けられる
。これによって両方の磁極片と少くとも１つの書込み・
読出しコイルの巻回を比較的簡単Ｃ：非磁性基板上Ｃ二
配置することができる。
この場合両磁極は比較的広い間隔を保って設けられるか
ら、両磁場間Ｃ二特殊の間隙層を形成させることは場合
によって不必要となる。
ら、両磁場間Ｃ二特殊の間隙層を形成させることは場合
によって不必要となる。
上記の欧州特許による磁気ヘッドは主磁極と補助磁極を
備え記録媒体に対して垂直に置かれた２つの磁極片の外
に、それらに対して垂直に伸びる特殊の結合片を含む。
備え記録媒体に対して垂直に置かれた２つの磁極片の外
に、それらに対して垂直に伸びる特殊の結合片を含む。
この結合片は両磁極片の間の磁束帰還Ｃ二側用されるも
ので、磁性材料で作られその磁化容易軸は磁極片の磁化
容易軸に対してほぼ垂直になっている。これに対応する
磁束案内体の形成は比較的困帷で島師となる。
ので、磁性材料で作られその磁化容易軸は磁極片の磁化
容易軸に対してほぼ垂直になっている。これに対応する
磁束案内体の形成は比較的困帷で島師となる。
更に公知の磁気ヘッドでは書込み・読出しコイルの巻回
が比較的広い補助磁極区域の外側で結合片と主磁極の磁
極片の間Ｃ：形成された結合区域の周囲だけを通過しな
ければならない。このような構成は磁束案内体とコイル
巻線な設（する基板の平坦面がそれＣ二応じた広い幅を
持つことを必要とする。この場合基板は飛翔体と呼ばれ
ているものの一部を形成する。この飛翔体の記録媒体に
回った下面Ｃ；は少くとも１つの滑走部が設けられ、こ
の滑走部の前面は磁気ヘッド取付は用の平坦面となって
いる。ディスク・メモリの場合記録媒体表面上の磁気ヘ
ッドの飛行高度は極めて低く１例えば０．３μｍ以下に
なるから空気力学上の理由に基き滑走部の幅は１００μ
島単位、例えば６００μ鴫以下ζ二限定される。従って
上記の欧州特許による磁気ヘッドをこのように型い平坦
面上に実現することは困難である。
が比較的広い補助磁極区域の外側で結合片と主磁極の磁
極片の間Ｃ：形成された結合区域の周囲だけを通過しな
ければならない。このような構成は磁束案内体とコイル
巻線な設（する基板の平坦面がそれＣ二応じた広い幅を
持つことを必要とする。この場合基板は飛翔体と呼ばれ
ているものの一部を形成する。この飛翔体の記録媒体に
回った下面Ｃ；は少くとも１つの滑走部が設けられ、こ
の滑走部の前面は磁気ヘッド取付は用の平坦面となって
いる。ディスク・メモリの場合記録媒体表面上の磁気ヘ
ッドの飛行高度は極めて低く１例えば０．３μｍ以下に
なるから空気力学上の理由に基き滑走部の幅は１００μ
島単位、例えば６００μ鴫以下ζ二限定される。従って
上記の欧州特許による磁気ヘッドをこのように型い平坦
面上に実現することは困難である。
この発明の目的は、冒頭に挙げた薄膜磁気ヘッドを改良
して上記程度の飛行高度の固定ディスクメモリ用として
も薄膜技術により比較的簡単に実現されるようにするこ
とである。
して上記程度の飛行高度の固定ディスクメモリ用として
も薄膜技術により比較的簡単に実現されるようにするこ
とである。
この目的は特許請求の範囲第１項（：特徴として挙げた
構造とすることによって達成される。
構造とすることによって達成される。
この発明による磁気ヘッドの構成の示す利点は、補助磁
極を含む比較的広がりの大きい磁極片が基板表向で占め
る面積の一部がコイル巻線配置用として提供されること
である。これによって主磁極と補助磁極の間（：比較的
大きな間隔を保ちながら比較的コンパクトな構成が達成
される。その上玉磁極又は補助磁極の磁極片の間の特殊
な結合片は必要でなくなる。これＣ：よってこの発明に
よる磁気ヘッドは薄膜技術により比較的簡単Ｃ二製作さ
れる。
極を含む比較的広がりの大きい磁極片が基板表向で占め
る面積の一部がコイル巻線配置用として提供されること
である。これによって主磁極と補助磁極の間（：比較的
大きな間隔を保ちながら比較的コンパクトな構成が達成
される。その上玉磁極又は補助磁極の磁極片の間の特殊
な結合片は必要でなくなる。これＣ：よってこの発明に
よる磁気ヘッドは薄膜技術により比較的簡単Ｃ二製作さ
れる。
〔実施例〕
次に内面Ｃ二ついてこの発明を更に詳細に説明する。
第８図は飛翔体上に設けられた公知の磁気ヘッドの一部
な示す。基板４の平坦面Ｐは飛翔体の前面又は背面を形
成し、ここに２つの磁気ヘッドｍとｍ’が設けられてい
る。これらの磁気ヘッドは公知のものである（欧州特許
００１２９１０Ａ１゜００１２９１２ＡＩ参照）。一方
の磁気ヘッド例えばｍは記録媒体Ｍの垂直磁化用のもの
であって、媒体Ｍ上を僅かな飛行高度りを保って通過す
る。
な示す。基板４の平坦面Ｐは飛翔体の前面又は背面を形
成し、ここに２つの磁気ヘッドｍとｍ’が設けられてい
る。これらの磁気ヘッドは公知のものである（欧州特許
００１２９１０Ａ１゜００１２９１２ＡＩ参照）。一方
の磁気ヘッド例えばｍは記録媒体Ｍの垂直磁化用のもの
であって、媒体Ｍ上を僅かな飛行高度りを保って通過す
る。
他方の磁気ヘッドｍ′は製造技術上の理由で設けられる
もので何等の機能も行わない。磁気ヘッドＣ二対する記
録媒体の相体連動方向は矢印Ｖで示されている。例えば
約０．２μ鶏の飛行高度を確保するため、気体力学の原
理に基き基板４の記録媒体ＭＣ二回った下面５は構造化
され、少くとも２つの滑走部に１とに２がそれぞれ矩形
断面をもって形成される。これらの滑走部が占める平坦
面Ｆの部分区域３に磁気ヘッドｍとｍ’が設けられる。
もので何等の機能も行わない。磁気ヘッドＣ二対する記
録媒体の相体連動方向は矢印Ｖで示されている。例えば
約０．２μ鶏の飛行高度を確保するため、気体力学の原
理に基き基板４の記録媒体ＭＣ二回った下面５は構造化
され、少くとも２つの滑走部に１とに２がそれぞれ矩形
断面をもって形成される。これらの滑走部が占める平坦
面Ｆの部分区域３に磁気ヘッドｍとｍ’が設けられる。
区域３の接方向の拡がりｑは１００μｍを単位とする程
度に限定されているから、ここに公知の磁気ヘッドを取
りつけることは困難である。しかし第１図Ｃ：示したこ
の発明Ｃ：よる磁気ヘッドはそれ程の困難無く取りつけ
ろことができる。
度に限定されているから、ここに公知の磁気ヘッドを取
りつけることは困難である。しかし第１図Ｃ：示したこ
の発明Ｃ：よる磁気ヘッドはそれ程の困難無く取りつけ
ろことができる。
第１図に示すこの発明の実施例は垂直磁化原理に基いて
書込みと読出しのＩｆｆ能を行うものである。このヘッ
ドヱは第８図に示し２Ｍ板４の平坦面３に作られた滑走
部にの区域に置かれる。この磁気ヘッド（ニエって記録
媒体Ｍの記録層６がトラック７に沿って垂直磁化される
。記録層は例えば面に垂直に配回されたＣｏＣｒ合金か
ら成り、通常軟磁性材料例えばＮｉＦｅ、ＣｏＺｒ又は
ＣｏＨｆ 合忙の基材６ａ上Ｃ二置かれる。
書込みと読出しのＩｆｆ能を行うものである。このヘッ
ドヱは第８図に示し２Ｍ板４の平坦面３に作られた滑走
部にの区域に置かれる。この磁気ヘッド（ニエって記録
媒体Ｍの記録層６がトラック７に沿って垂直磁化される
。記録層は例えば面に垂直に配回されたＣｏＣｒ合金か
ら成り、通常軟磁性材料例えばＮｉＦｅ、ＣｏＺｒ又は
ＣｏＨｆ 合忙の基材６ａ上Ｃ二置かれる。
磁気ヘッドヱには２つの磁極片８と９があり、それらの
記録媒体Ｍに回った終端部］０と１１は記録媒体の表面
に対して少くとも近似的（：垂面であり、この部分に主
磁極ｐ、と補助磁極Ｐ、が作られる。磁極片の磁性層は
一軸磁気異方性を示し、その磁化容易軸は記録層６ｃ二
平行し運動方向Ｖに対して垂１ｉを配回されている。両
路端部１ｏと１１の間には比較的広い幅Ｗの空気間隙１
３が作られている。磁極Ｐ１ とＰ！は運動方向Ｖに対
して横に並べて設けられるから、それを支持する基板平
坦面３は基板の下面５との間Ｃ二値かれている飛翔体縁
端１４を持って平坦面３への垂直Ｎが運動方向Ｖ又はト
ラック７の長さ方向に平行し、記録媒体Ｍの表面に平行
な１つの平面内にあるように配回され案内される。
記録媒体Ｍに回った終端部］０と１１は記録媒体の表面
に対して少くとも近似的（：垂面であり、この部分に主
磁極ｐ、と補助磁極Ｐ、が作られる。磁極片の磁性層は
一軸磁気異方性を示し、その磁化容易軸は記録層６ｃ二
平行し運動方向Ｖに対して垂１ｉを配回されている。両
路端部１ｏと１１の間には比較的広い幅Ｗの空気間隙１
３が作られている。磁極Ｐ１ とＰ！は運動方向Ｖに対
して横に並べて設けられるから、それを支持する基板平
坦面３は基板の下面５との間Ｃ二値かれている飛翔体縁
端１４を持って平坦面３への垂直Ｎが運動方向Ｖ又はト
ラック７の長さ方向に平行し、記録媒体Ｍの表面に平行
な１つの平面内にあるように配回され案内される。
上記の実施例Ｃ二よれば、主磁極Ｐ１を含む磁極片８の
全体と磁極片９の補助磁極Ｐｖ ’ｊ”構成する終端部
１１だけが直接基板表面３に接している。
全体と磁極片９の補助磁極Ｐｖ ’ｊ”構成する終端部
１１だけが直接基板表面３に接している。
更にこの発明によれば磁極片９は補助磁極片Ｐ。
に対して反対の側Ｃ：おいて磁極片８の上に重なるよう
（：作られている。１５として示されている重り合い領
域は斜線を引いて示されている。この領域１５において
磁極片９は部分区域１６だけで直接磁極片８に接し、そ
こに両方の磁極片の間の磁気帰還部Ｒが成立し、これに
よって磁束専体１７はリングヘッド状の形態をとる。帰
還区域１６の外では両磁極片が遠く離れ、それによって
形成された中間室Ｃ：書込み・読出しコイルの巻回１８
を収めることができる。因にはこの巻回が２つだけ磁気
帰還区域１６を半円状Ｃ：取巻いて示されている。
（：作られている。１５として示されている重り合い領
域は斜線を引いて示されている。この領域１５において
磁極片９は部分区域１６だけで直接磁極片８に接し、そ
こに両方の磁極片の間の磁気帰還部Ｒが成立し、これに
よって磁束専体１７はリングヘッド状の形態をとる。帰
還区域１６の外では両磁極片が遠く離れ、それによって
形成された中間室Ｃ：書込み・読出しコイルの巻回１８
を収めることができる。因にはこの巻回が２つだけ磁気
帰還区域１６を半円状Ｃ：取巻いて示されている。
第１図Ｃ二示したこの発明による磁気ヘッドの■−ｎ線
に沿う断面を第２図に示す。この図面から磁気帰還区域
１６とコイル巻線の巻回１８７収める磁極片８と９の間
の中間室１９の構成が明らかとなる。その上磁気ヘッド
ヱの成層構造も明瞭に示されている。この成層構造は磁
極Ｐ１ とＰ、が並べて設けられているものとして公知
の薄膜技術により比較的簡単に製作される。この場合主
磁極と補助磁極乞形成する磁性層は特殊ＮｉＦｅ合金、
例えばパーマロイ父はｃｏｚｒ合金、ＣｏＨｆ合金等の
非晶質材料から成るものが使用さｎる。
に沿う断面を第２図に示す。この図面から磁気帰還区域
１６とコイル巻線の巻回１８７収める磁極片８と９の間
の中間室１９の構成が明らかとなる。その上磁気ヘッド
ヱの成層構造も明瞭に示されている。この成層構造は磁
極Ｐ１ とＰ、が並べて設けられているものとして公知
の薄膜技術により比較的簡単に製作される。この場合主
磁極と補助磁極乞形成する磁性層は特殊ＮｉＦｅ合金、
例えばパーマロイ父はｃｏｚｒ合金、ＣｏＨｆ合金等の
非晶質材料から成るものが使用さｎる。
第３図には第１図の磁気ヘッドヱの璽−１線に沿う断面
を示す。この切断面には両ＦＩＨ極Ｐ、、Ｐ。
を示す。この切断面には両ＦＩＨ極Ｐ、、Ｐ。
の記録媒体に向う終端部と滑走部にとしての構造が作ら
れている基板４の下面５が表われている。
れている基板４の下面５が表われている。
補助磁極Ｐ、の目に見える面は主磁極Ｐ、よりも遥に大
きく、少くともその１０倍以上であることは図面から明
らかである。
きく、少くともその１０倍以上であることは図面から明
らかである。
ｔｉ＆１図乃至第３肉に示した磁気ヘッドの実施例−は
基板４の平坦面にヘッドの成層構造が設けられることか
ら出鞄したものである。しかし第４図に示すように両磁
極片の一方を少くともその磁極を構成する終端部におい
て基板内に埋め込むことも可能である。第４図には磁気
ヘッドｌユの断面が示されているが、この断面はｔ４＋
１図の］−ｎ線に沿い両ｆａ楡片間の帰還部１６を辿る
ものである。
基板４の平坦面にヘッドの成層構造が設けられることか
ら出鞄したものである。しかし第４図に示すように両磁
極片の一方を少くともその磁極を構成する終端部におい
て基板内に埋め込むことも可能である。第４図には磁気
ヘッドｌユの断面が示されているが、この断面はｔ４＋
１図の］−ｎ線に沿い両ｆａ楡片間の帰還部１６を辿る
ものである。
磁気ヘッドＪでは補助磁極を構成する磁極片２１が基板
ｌユにはめ込まれている。ここでは本来の基板２３が導
電材料例えばＡＩ、Ｏ，を高濃度に含むＴｉＣから成り
、従って例えばＡＩ、Ｏｓ の絶縁層２４が必要となる
ものとしである。磁極片２１は絶縁層２４のくぼみ２５
に入れられる。このくぼみは例えばイオンビーム・エツ
チング又は鋸引き等の公知技術又はその組合せＣ：よっ
て作ることができる。その際磁極片の縁端２６が少くと
も磁極末端部において丸くされていると有利である。
ｌユにはめ込まれている。ここでは本来の基板２３が導
電材料例えばＡＩ、Ｏ，を高濃度に含むＴｉＣから成り
、従って例えばＡＩ、Ｏｓ の絶縁層２４が必要となる
ものとしである。磁極片２１は絶縁層２４のくぼみ２５
に入れられる。このくぼみは例えばイオンビーム・エツ
チング又は鋸引き等の公知技術又はその組合せＣ：よっ
て作ることができる。その際磁極片の縁端２６が少くと
も磁極末端部において丸くされていると有利である。
この丸みづけは特にイオンビーム・エツチングにおいて
住する。磁極片２】の磁性層がこのように構造化される
と、この磁極片と基板平坦面２７Ｑ）間にくさび形の９
２８が作られるが、この溝は必要があれば埋めて平坦に
することができる。この平担面には磁気ヘッドの製造過
程Ｃ二対応してまず書込み・読出しコイルの個々の巻回
１Ｂをとりつけ、帰還部Ｒに予定されている区域１６は
明けておく。次いで主磁極を形成する磁極片２９の層乞
析出させ、帰還区域１６では補助磁極を形成するＦＢ砲
片２１（：直接接触させる。
住する。磁極片２】の磁性層がこのように構造化される
と、この磁極片と基板平坦面２７Ｑ）間にくさび形の９
２８が作られるが、この溝は必要があれば埋めて平坦に
することができる。この平担面には磁気ヘッドの製造過
程Ｃ二対応してまず書込み・読出しコイルの個々の巻回
１Ｂをとりつけ、帰還部Ｒに予定されている区域１６は
明けておく。次いで主磁極を形成する磁極片２９の層乞
析出させ、帰還区域１６では補助磁極を形成するＦＢ砲
片２１（：直接接触させる。
磁気ヘッド２０を支持する基板に１の別の切断面？第５
図Ｃ二示す。この切断面は第３図に対応するものである
。図には主磁極Ｐ、とはめ込まれた補助磁極Ｐ、の互に
貰る大きさの磁杓面が示されている。更に補助磁極にお
いて鋭い縁端がなく、補助磁極から出る磁場の過大上昇
が起らないようになっていることも図Ｃ二示されている
。この場合基板表面２７は溝２８を例えばＡＩ、０．で
埋めることにより平坦化されている。
図Ｃ二示す。この切断面は第３図に対応するものである
。図には主磁極Ｐ、とはめ込まれた補助磁極Ｐ、の互に
貰る大きさの磁杓面が示されている。更に補助磁極にお
いて鋭い縁端がなく、補助磁極から出る磁場の過大上昇
が起らないようになっていることも図Ｃ二示されている
。この場合基板表面２７は溝２８を例えばＡＩ、０．で
埋めることにより平坦化されている。
第６図に磁気ヘッドの別の実施倒立」が示されている。
この磁気ヘッドは外側の磁極片３４が２つの補助磁極Ｐ
、ＩとＰｆｆｉ＃を形成し、主磁極Ｐ１ヲ構成する磁極
片８に対して少くとも近似的に対称配置されている点で
第１図のヘッドｌと岑っている。この配置（：エリ磁場
の振幅は補助磁極Ｃ＝おいてほぼ２等分され、それによ
って磁束の案内が改善され、磁気抵抗がそれＣコシじて
低減される。補助磁極ｐ、ｌとＰｆｆ＃は丸くされた縁
端３５１ｋ−持つのが有利である。
、ＩとＰｆｆｉ＃を形成し、主磁極Ｐ１ヲ構成する磁極
片８に対して少くとも近似的に対称配置されている点で
第１図のヘッドｌと岑っている。この配置（：エリ磁場
の振幅は補助磁極Ｃ＝おいてほぼ２等分され、それによ
って磁束の案内が改善され、磁気抵抗がそれＣコシじて
低減される。補助磁極ｐ、ｌとＰｆｆ＃は丸くされた縁
端３５１ｋ−持つのが有利である。
磁気ヘッドとユも第４図、第５図の実施形態に対応する
形に作り得ることは自明である。この場合磁極片持に補
助磁極を形成する磁極片３４を基板４又は２２にはめ込
むと有利である。
形に作り得ることは自明である。この場合磁極片持に補
助磁極を形成する磁極片３４を基板４又は２２にはめ込
むと有利である。
第６図の磁気ヘッド３３の斜投影図を第７図に示す。図
に矢印３７で示すように１つの主磁極と１つ又はそれ以
上の補助磁極を形成する磁極片は、磁化容易軸が記録媒
体Ｍの記録層６の表面に平行し相対運動方向ｖＣ垂直に
なっている磁性層から構成されている。図には磁極片３
４の両補助磁極Ｐ！’＋ Ｐ！＃ を構成する磁性層
が３８として示されている。
に矢印３７で示すように１つの主磁極と１つ又はそれ以
上の補助磁極を形成する磁極片は、磁化容易軸が記録媒
体Ｍの記録層６の表面に平行し相対運動方向ｖＣ垂直に
なっている磁性層から構成されている。図には磁極片３
４の両補助磁極Ｐ！’＋ Ｐ！＃ を構成する磁性層
が３８として示されている。
第３図は第１図の実施例の２ケ所の断面図、第４図と第
５図はこの発明の第２の実施例の断面図、第６図と第７
図はこの発明による磁気ヘッドの別の構成例を示し、第
８図は公知の磁気ヘッドを飛翔体に装置したものを示す
。
５図はこの発明の第２の実施例の断面図、第６図と第７
図はこの発明による磁気ヘッドの別の構成例を示し、第
８図は公知の磁気ヘッドを飛翔体に装置したものを示す
。
２・・・磁気ヘッド、 ４・・・基板、 Ｍ・・・記録
媒体、 Ｋ・・・滑走部、 ６・・・記録層、 ７・・
・ トランク、８，９・・・磁極片、 ＩＱ、１１．
・・終端部、 Ｐ、・・・主磁極、 Ｐ、・・・補助磁
極。
媒体、 Ｋ・・・滑走部、 ６・・・記録層、 ７・・
・ トランク、８，９・・・磁極片、 ＩＱ、１１．
・・終端部、 Ｐ、・・・主磁極、 Ｐ、・・・補助磁
極。
１５・・・重なり合い領域、 Ｒ・・・磁気帰還部、
］７・・・磁気導体、 １８・・・電流導体、 １
９・・・中間室。
］７・・・磁気導体、 １８・・・電流導体、 １
９・・・中間室。
ｒｆｉｌ１８）代理人弁理士冨村 澤 −−ＦＩＧ ３
ＩＧ４
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）磁束を導く磁気導体の記録媒体に向つた磁極片終端
部が特定の相互間隔を保つて基板の平坦面に並べて設け
られ、書込み・読出し巻線が磁極片の間に形成された中
間室に置かれているものにおいて、磁気導体（￥１７￥
）として部分的に重なり合つた磁極片（８、９；２１、
２９；３４）だけが設けられ、これらの磁極片が共通の
重なり合い領域（１５）においてその部分区域（１６）
を相互接合されて磁気帰還部（Ｒ）を構成し、この相互
接合区域の外側では間隔を保つて電流導体（１８）用の
中間室（１９）を形成することを特徴とする磁化可能の
記録層を含む垂直磁化型記録媒体に対する成層構造の薄
膜磁気ヘッド。 ２）基板（４；￥２２￥）がくぼみ（２５）を備え、少
くとも１つの磁極（Ｐ＿２；Ｐ＿２′、Ｐ＿２″）を構
成する磁極片終端部（１１）がこのくぼみに設けられて
いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気
ヘッド。 ３）少くとも補助磁極（Ｐ＿２；Ｐ＿２′、Ｐ＿２″）
を構成する磁極片終端部（１１）が基板（４、￥２２￥
）のくぼみ（２５）にはめ込まれていることを特徴とす
る特許請求の範囲第２項記載の磁気ヘッド。 ４）基板（￥２２￥）が絶縁層（２４）を備え、この絶
縁層にくぼみ（２５）が作られていることを特徴とする
特許請求の範囲第２項又は第３項記載の磁気ヘッド。 ５）基板（￥２２￥）がＴｉＣ−Ａｌ＿２Ｏ＿３から成
る部分（２３）を含み、この部分の上にＡｌ＿２Ｏ＿３
絶縁層（２４）が置かれていることを特徴とする特許請
求の範囲第４項記載の磁気ヘッド。 ６）はめ込まれた磁極片（２１）の自由面がそれに接す
る基板（￥２２￥）の平坦面（２７）と共に少くとも近
似的に一つの平面を形成し、この平面に書込み・読出し
巻線の巻回（１８）と磁極片（２９）の帰還部（Ｒ）を
形成する部分が設けられることを特徴とする特許請求の
範囲第２項乃至第５項の１つに記載の磁気ヘッド。 ７）少くとも補助磁極（Ｐ＿１；Ｐ＿２′、Ｐ＿３″）
において対応する磁極片（９；２１；３４）の縁端（２
８、３５）が丸くなつていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項乃至第６項の１つに記載の磁気ヘッド。 ８）補助磁極（Ｐ＿２；Ｐ＿２′、Ｐ＿２″）の記録媒
体（Ｍ）に向つた面が主磁極（Ｐ＿１）の対応する面の
少くとも１０倍の大きさであることを特徴とする特許請
求の範囲第１項乃至第７項の１つに記載の磁気ヘッド。 ９）書込み・読出しコイル巻線の巻回（１８）が帰還部
区域（１６）を少くとも部分的に包囲することを特徴と
する特許請求の範囲第１項乃至第８項の１つに記載の磁
気ヘッド。 １０）主磁極（Ｐ＿１）を構成する磁極片（８）の傍ら
において別の磁極片（３４）が主磁極（Ｐ＿１）の両側
に２つの補助磁極（Ｐ＿２′、Ｐ＿２″）を構成するよ
うに設けられていることを特徴とする特許請求の範囲第
１項乃至第９項の１つに記載の磁気ヘッド。 １１）両補助磁極（Ｐ＿２′、Ｐ＿２″）が主磁極（Ｐ
＿１）に対して対称的に配置されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第１０項記載の磁気ヘッド。 １２）主磁極（Ｐ＿１）を構成する磁極片（８）と補助
磁極（Ｐ＿２；Ｐ＿２′、Ｐ＿２″）の少くとも１つを
構成する磁極片（９、２１、３４）との磁性層（３８）
が一軸異方性を示し、その磁化容易軸（３７）は少くと
も近似的に記録媒体（Ｍ）のメモリ層（６）に平行であ
り相対運動方向（ｖ）に垂直であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項乃至第１１項の１つに記載の磁気ヘ
ッド。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3537181 | 1985-10-18 | ||
| DE3537181.1 | 1985-10-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6295713A true JPS6295713A (ja) | 1987-05-02 |
Family
ID=6283919
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61245181A Pending JPS6295713A (ja) | 1985-10-18 | 1986-10-15 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4740855A (ja) |
| EP (1) | EP0223984B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6295713A (ja) |
| DE (1) | DE3669003D1 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4843507A (en) * | 1986-12-03 | 1989-06-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Magnetic head with laminated structure |
| JPS63292405A (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-29 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | 垂直磁気記録用磁気ヘツド |
| JPH01199310A (ja) * | 1987-10-27 | 1989-08-10 | Fuji Photo Film Co Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
| US6301076B1 (en) * | 1998-03-20 | 2001-10-09 | Seagate Technology Llc | Narrow track inductive write head having a two-piece pole |
| US7268974B2 (en) * | 2004-04-30 | 2007-09-11 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Magnetic write head having a notched yoke structure with a trailing shield and method of making the same |
| DE102004026185A1 (de) * | 2004-05-28 | 2005-12-22 | Kuka Roboter Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben einer Maschine, wie eines Mehrachs- Industrieroboters |
| US7343667B2 (en) * | 2004-09-30 | 2008-03-18 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Methods of making a side-by-side read/write head with a self-aligned trailing shield structure |
| US7295401B2 (en) * | 2004-10-27 | 2007-11-13 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Laminated side shield for perpendicular write head for improved performance |
| JP2008010123A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Toshiba Corp | ヨーク型磁気ヘッド、および磁気ディスク装置 |
| US7889458B2 (en) * | 2006-11-13 | 2011-02-15 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Write head with self-cross biased pole for high speed magnetic recording |
| JP5738521B2 (ja) * | 2009-07-03 | 2015-06-24 | エイチジーエスティーネザーランドビーブイ | 垂直磁気記録ヘッド |
| US8929028B2 (en) | 2010-12-21 | 2015-01-06 | HGST Netherlands B.V. | Perpendicular magnetic write head having a laminated trailing return pole |
| US8780508B2 (en) | 2012-06-29 | 2014-07-15 | Seagate Technology Llc | Magnetic element with biased side shield lamination |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5542352A (en) * | 1978-09-19 | 1980-03-25 | Seiko Epson Corp | Integrated head |
| US4190872A (en) * | 1978-12-21 | 1980-02-26 | International Business Machines Corporation | Thin film inductive transducer |
| US4219854A (en) * | 1978-12-21 | 1980-08-26 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic head assembly |
| JPS57183618A (en) * | 1981-05-08 | 1982-11-12 | Fujitsu Ltd | Thin film magnetic head |
| JPS5819717A (ja) * | 1981-07-30 | 1983-02-04 | Fujitsu Ltd | 垂直磁化記録再生用ヘッド |
| US4404609A (en) * | 1981-10-30 | 1983-09-13 | International Business Machines Corporation | Thin film inductive transducer for perpendicular recording |
| JPS58150121A (ja) * | 1982-03-01 | 1983-09-06 | Ricoh Co Ltd | 垂直磁気記録ヘツド |
| DE3343933A1 (de) * | 1983-12-05 | 1985-06-13 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Magnetkopf mit haupt- und hilfspol fuer ein senkrecht zu magnetisierendes aufzeichnungsmedium |
-
1986
- 1986-09-29 US US06/913,016 patent/US4740855A/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-10-06 EP EP86113798A patent/EP0223984B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-10-06 DE DE8686113798T patent/DE3669003D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1986-10-15 JP JP61245181A patent/JPS6295713A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0223984B1 (de) | 1990-02-07 |
| DE3669003D1 (de) | 1990-03-15 |
| US4740855A (en) | 1988-04-26 |
| EP0223984A1 (de) | 1987-06-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0472187B1 (en) | Planar thin film magnetic head | |
| US6252748B1 (en) | Thin film magnetic head with widening outer layer of multi-layer pole | |
| US5073836A (en) | Single pole write and a differential magneto-resistive read for perpendicular recording | |
| US7295401B2 (en) | Laminated side shield for perpendicular write head for improved performance | |
| US4251842A (en) | Magnetic recording and reproducing device | |
| US4639811A (en) | Combined magnetic write and read head for the vertical magnetization of a corresponding recording medium | |
| US6381093B2 (en) | Thin film magnetic head with magnetic films with increasing widths from a surface facing a recording medium | |
| JPS61153816A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS6295713A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| US5241439A (en) | Combined read/write thin film magnetic head with two pairs of flux guides | |
| US6137652A (en) | Thin film magnetic head with separated yoke and pole tips | |
| US4782416A (en) | Magnetic head having two legs of predetermined saturation magnetization for a recording medium to be magnetized vertically | |
| US4675766A (en) | Combined magnetic write and read head for a recording medium which can be magnetized perpendicularly | |
| US20030214753A1 (en) | Thin film magnetic recording inductive write head with laminated write gap | |
| US7031110B2 (en) | Thin film magnetic head, magnetic head device and magnetic recording/reproducing device | |
| KR20030076179A (ko) | 기록용 자기 헤드 및 자기 기억장치 | |
| US5229903A (en) | Magnetic head with inclined core | |
| JPS60138717A (ja) | 磁気ヘツド | |
| US6965496B2 (en) | Thin film magnetic head, magnetic head device and magnetic recording/reproducing device | |
| JPS60256907A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPH0333924Y2 (ja) | ||
| JPS60237616A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH11306513A (ja) | 高密度記録再生ヘッド及び高トラック密度磁気記録再生装置 | |
| JPH0572642B2 (ja) | ||
| TAKAHASHI et al. | Submicron Track Width Head with High Efficiency Cores |