JPS6291845A - 立体像ｘ線観察装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は封入された内部の部品や構造を非破壊的に観察
するＸ線観察装置に関する。

〔概要〕

本発明は、パルス状のＸ線を発生するＸ線発生部と被観
察物を回転する手段とを備えたＸ線観察装置において、 Ｘ線のパルスと被観察物の回転速度とを同期させて画像
処理することにより、 被観察物の内部の立体像を映像化するものである。

〔従来の技術〕

従来のＸ線透視装置は第２図に示す試料台１６に被観察
物１１を設置し、上部に設けられたＸ線発生器２で発生
させたＸ線を窓６を介して被観察物１１に照射しえられ
た透視像をＸ線テレビカメラに結像させるか、またはフ
ィルムで撮影して内部形状を観察するものであった。こ
の場合、被観察物は静止した状態における一方向の断面
形状を観察するのが通常であった。

これはＸ線発生器２においてフィラメント３とターゲッ
ト５とが固定しており、Ｘ線発生電源７より定常流の電
源電流が発生しているためである。

本発明者らは、さきに実願昭６０−１４４０１５におい
て、ターゲットの背面の中心部にターゲツト面と傾斜し
ている固定軸を結合し、この回転軸を所定の角速度で回
転すれば、Ｘ線発生器の窓からはこの角速度に対応した
周期のパルス状Ｘ線が発生するＸ＆＊発生器を提寓した
。

従来の一方向のみの観察像ではＸ線照射軸に対し深さ方
向の情報が得られず二次面での判断しかできない。

このため欠陥部の位置検出や欠陥部の重なりの有無など
の判定があいまいになるおそれがある。

従来この問題を解決するために、最初観察した軸方向に
対し、直角方向に被観察物を再度設置して観察を行いこ
の二つの像から三次元の像をつくり判断精度を向上する
ことが行われた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし有用な立体像を観察することは不可能であり、観
察の信幀度が低下する欠点があった。

本発明は、この欠点を解決して、Ｘ′４１Ａ透視による
内部の立体像が得られる立体像Ｘ線観察装置を提供する
ことを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、パルス状のＸ線発生部と被観察物の回転機構
とＴＶカメラと画像処理部とＴＶモニターを備えたＸ線
観察装置において、 Ｘ線の照射パルス間隔と、被観察物の回転速度を同期さ
せる手段と位相のコントロールにより各透視断面の透過
Ｘ線線量をテレビジョンカメラでとらえたのち画像処理
部で信号処理しテレビジョンモニター上に任意の回転角
における透視像あるいは全回転角の像を合成処理した立
体透視像を再現させることを特徴とする。

すなわち本発明は、パルス状のＸｆ！を発生するＸ線発
生部と、このＸ線が照射される位置に被観察物を配置し
この被観察物を回転させる手段と、この被観察物のＸ線
透視像を受光するテレビジョンカメラと、このテレビジ
ョンカメラの出力信号を処理するマイクロコンピュータ
を含む画像処理部とを備えたＸ線観察装置において、上
記Ｘ線発生部のパルス発生タイミングと、上記回転させ
る手段の回転動作と、上記画像処理部の処理タイミング
とを同期させる手段を備え、上記画像処理部は、上記出
力信号から上記被観察物の立体像を得る信号処理手段を
備えたことを特徴とする。

〔作用〕

パルス状Ｘ線のパルス周期と被観察物の回転速度を同期
させて、被観察物のＸ線による透視像をテレビジョンカ
メラに入力し、画像信号を得る。

この画像信号を処理してテレビジョンモニターに立体像
や任意角度の断面像を映像する。

〔実施例〕

次に本発明の一実施例の図面を参照して説明する。

第１図は上記実施例の縦断面図で、Ｘ線遮蔽壁を有する
暗箱型のキャビネソｌ−１の内部にＸ線発生器２と試料
台１６とＸ線用のテレビジョンカメラ１２とが収納され
ている。上記ｘｂｉ発生器２はその一端にベリリウム等
の薄板からなる窓６を有し、内部にはｘ′ｌａ発生電源
７の出力により電子ビームを発生するフィラメント３と
、このフィラメント３に対向し、ターゲット回転モータ
４に接続され上記電子ビームの放射方向に対し傾斜して
おり、かつこの電子ビームの入射によってＸ線を発生す
るターゲット５とが内蔵される。

試料台１６には被観察物１１を回転するように取付けた
試料回転モータ９を備え、上記Ｘ線発生器２の窓６から
放出されるＸ線で、上記被観察物１１の透視像を受ける
位置にＸ線用のテレビジョンカメラ１２があり、この画
像出力は画像処理装置１３を介してテレビジョンモニタ
ー１５上に映像される。

ここに本発明の特徴とするところは、上記ターゲット回
転モータ４の回転速度を制御し、窓６よリパルス状のＸ
線を放出するターゲット回転制御盤８と、被観察物１１
を回転する試料回転モータ９の回転速度を制御し、テレ
ビジョンカメラ１２に被観察物１１の所定の回転位置に
おけるストロボ透視像を入力する試料回転制御盤１０と
を同期させ、Ｘ線のパルス周期と被観察物の回転動作と
を同期する制御盤１４を備えたことと、 上記画像処理装置１３は、それぞれの回転角度における
被観察物の透視像をテレビジョンカメラ１２より画像信
号として出力されたものを、公知の画像処理技術（ＣＡ
Ｄ）を用いて、これを適宜テレビジョンモニター１５に
送出することにある。

第１図において、Ｘ線発生器２のフィラメント３はＸ線
発生電源７の付勢により連続した電子ビームが発生され
るが、ターゲット回転制御盤８により制御されるターゲ
ット回転モータ４により回転駆動されるターゲット５に
上記電子ビームが照射されて、Ｘ線が発生する。ターゲ
ット５は傾斜した状態で回転しているので、発生したＸ
線のうち窓６を通過して被観察物１１に照射されるもの
はパルス状である。

一方被観察物１１は試料回線制御盤１０により制御され
る試料回転モータ９によって回転駆動されるので、ター
ゲット回転モータ４と試料回転モータ９との回転運動を
適宜同期させておけば、被観察物１１を透過してテレビ
ジョンカメラ１２がとらえる透視像は、被観察物１１が
所定の角度ごと回転したそれぞれの断面のものとなる。

このようにしてとらえた透視像の画像信号は画像処理装
置１３により公知の方法で処理されて、被観察物１１の
内部の立体像が得られ、テレビジョンモニター１５に映
像される。ここで、ターゲット回転制御盤８、試料回転
制御盤１０および画像処理装置１３は制御盤１４により
適宜同期制御される。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明はテレビジョンモニターに被
観察物の任意の断面像ならびに立体像を写し出すことが
できる。

このため従来のＸ！透視装置では不可能であった立体像
や任意の断面の透視像が観察でき、試験能力を大幅に向
上させ、特に複雑な形状をしたデバイス、ユニッｌ−Ｍ
やＩＣ等におけるボンディングワイヤの形状観察など大
きな効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の縦断面図。 第２図は従来例の縦断面図。 １・・・キャビネット、２・・・Ｘ５ａ発生器、３・・
・フィラメント、４・・・ターゲット回転モータ、５・
・・ターゲット、６・・・窓、７・・・Ｘ線発生電源、
８・・・ターゲット回転制御盤、９・・・試料回転モー
タ、ＩＯ・・・試料回転制御盤、１１・・・被観察物、
１２・・・テレビジョンカメラ、１３・・・画像処理装
置、１４・・・制御盤、１５・・・テレビジョンモニタ
ー、１６・・・試料台。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）パルス状のＸ線を発生するＸ線発生部と、このＸ
   線が照射される位置に被観察物を配置しこの被観察物を
   回転させる手段と、 この被観察物のＸ線透視像を受光するテレビジョンカメ
   ラと、 このテレビジョンカメラの出力信号を処理するマイクロ
   コンピュータを含む画像処理部と を備えたＸ線観察装置において、 上記Ｘ線発生部のパルス発生タイミングと、上記回転さ
   せる手段の回転動作と、上記画像処理部の処理タイミン
   グとを同期させる手段を備え、上記画像処理部は、 上記出力信号から上記被観察物の立体像を得る信号処理
   手段を備えた ことを特徴とする立体像Ｘ線観察装置。