JPS6280527A - 荷重検出装置 - Google Patents

荷重検出装置

Info

Publication number
JPS6280527A
JPS6280527A JP21917685A JP21917685A JPS6280527A JP S6280527 A JPS6280527 A JP S6280527A JP 21917685 A JP21917685 A JP 21917685A JP 21917685 A JP21917685 A JP 21917685A JP S6280527 A JPS6280527 A JP S6280527A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
strain
moment
strain gauges
force
gauges
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP21917685A
Other languages
English (en)
Inventor
Ryuji Takada
龍二 高田
Takami Kusaki
草木 貴己
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Construction Machinery Co Ltd filed Critical Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Priority to JP21917685A priority Critical patent/JPS6280527A/ja
Publication of JPS6280527A publication Critical patent/JPS6280527A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Force In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、物体に加わる荷重を検出する荷重検出装置に
関する。
〔発明の背景〕
ある物体又はある物体の特定部分に加わる荷重(力およ
びモーメント)を検出rることは、多くの分野において
不可欠のことである。例えば、高機能ロボットにより組
立作業や研摩・パリ取り作業を行なう場合、当該ロボッ
トのハンドに作用する力を正確に検出することが必要で
あるし、又、航空機、船舶、車両等のモデル試験を実施
する場合も、各部にかかる荷重の検出が主要な項目とな
る。
このような荷重を検出するための優れたセンサとして、
ある基準軸方向の力要素のみを検出する平行平板構造を
用いたセンサおよびある基準軸の軸まわりのモーメント
要素のみを検出する放射平板構造を用いたセンサが特開
昭60−62497号公報により提案されている。以下
、図に基づいてこれら平行平板構造および放射平板構造
を碌明する。
第15図は平行平板構造および放射平板構造の一構成要
素である平板状たわみ梁の斜視図である6図において、
1は支持部、2は支持部1に片持ち梁状に支持された平
板状たわみ梁である。いま互いに垂直な軸x、y、zを
図のように設定し、平板状だわみ梁2の先端部分におけ
るX、Y、Z各軸方向の力および各軸まわりのモーメン
トをそれぞれFx、Fv、FzおよびMx 1Mv 、
Mzとする。平板状たわみ梁2はZ軸方向の厚みは薄く
、X軸およびY軸方向の各寸法は厚み寸法に比べて。
はるかに大である。したがって、力F2に対しては曲げ
変形を生じ易く、また平板状たわみ梁2の先端がZ軸方
向のたわみを生じるようなモーメントMYに対しても変
形を生じ易い。これに対して、力FX、FVおよびモー
メントM2に対してはきわめて変形しにくい。モーメン
l−Mイに対する変形のし易さは力F2.モーメントM
yの場合と、力FX、FY、モーメントMzの場合の中
間位であって、平板状たわみ梁2の寸法や問題にしてい
る変形の大きさにより、その変形が無視できる場合もあ
れば、そうでない場合もある。このような平板状たわみ
梁2の特性に基づいて構成されたのが平行平板構造およ
び放射平板構造である。
第16図fan、 fb+は対称型平行平板構造の側面
図である。各図で、3は支持部1に支持された剛体より
なる固定部、4は各支持部1の反対側にあり剛体よりな
る可動部である。5.5′は各国定部3と可動部4との
間を連結する薄肉部であり、これら薄肉部5.5′は互
いに平行に配置されており、第15図に示す平板状たわ
み梁2に相当した変形機能を有する。6は平行平板構造
を示し、この平行平板構造6は薄肉部5.5′が平行に
配置されているため、剛体に方形の孔をあけた形状とな
っている。図から明らかなように、この対称型平行平板
構造は2個の平行平板構造を対称連結した構造となって
いるが、勿論、1つの平行平板構造であっても同様に荷
重検出が可能である。Kは平行平板構造6の可動部4の
中心を通る基準軸を示す。
5tar  5lll+  5901 5106はそれ
ぞれ薄肉部5゜5′の根本部に設けられたひずみゲージ
である。
このような平行平板構造6において、可動部4にZ軸方
向の力F2が加えられると、平行平板構造6は第16図
(b)に示すように薄肉部5,5′が同一形状の曲げ変
形を生じる。前述のように第15図の平板状たわみ梁2
はZ軸方向の力F2に対しては曲げ変形が生じ易く、さ
らに薄肉部5.5′それぞれの変形か゛同一形状の変形
であって互いに他を拘束する程度が小さいから、この変
形は容易に発生ずる。しかしながら、力F2以外の荷重
に対しては高い剛性を示す。
ここで、力F2が加えられたときの各びずみゲージの状
態は、ひずみゲージS、。+SI。。では引張りひずみ
となり、ひずみゲージS、。+59゜では圧縮ひずみと
なり、それらひずみの絶対値は等しい。そこで、同一ひ
ずみ状態となるひずみゲージどうしが相対するようにブ
リッジ回路を構成すれば、その端子からは力F2に比例
した信号を得ることができ、これによりZ軸方向の力の
要素を他の荷重要素の影響なく正確に検出することがで
きる。
次に、放射平板構造の構成および作用を説明する。第1
7図(81、(blは対称型放射平板構造の側面図であ
る。各図で、3は支持部1に支持された剛体よりなる固
定部、4は支持部10反対側にあり剛体よりなる可動部
である。11.11’は各固定部3と一町動部4との間
を連結rる薄肉部であり、これら薄肉部11.11’は
、点Oを中心に可動部4から各固定部3に向って交叉角
度θをもって放射状に延びており、そのそれぞれは第1
5図に示す平板状たわゐ梁2に相当した変形機能を有す
る。12は放射平板構造を示し、この放射平板構造12
は薄肉部11.11’が放射状に配置されているため、
剛体に台形の孔をあけた形状となっている。この対称型
放射平板構造は2個の放射平板構造を対称に連結した構
造となっているが、勿論、1個の放射平板構造であって
も同様に荷重検出が可能である。Kは放射平板構造12
の可動部4上の0点を通り紙面に垂直な軸で、この放射
平板構造12の基準軸とする。S + IO+ SL、
o+ S 1jot S 14oはそれぞれ薄肉部IL
II’の根本部分に設けられたひずみゲージである。
このような放射平板構造12において、可動部4にY軸
(基準軸K)まわりのモーメン)Myが加えられると、
放射平板構造12は第17図(blに示すように薄肉部
11.11’がほぼ同一形状の曲げ変形を生じる。前述
のように第14図の平板状たわみ!¥:2はそれに直交
する力に対しては曲げ変形が生じ易(、さら10薄肉部
11.11’それぞれの変形がほぼ同一形状であって互
いに他を拘束する程度が小さいから、この変形は容易に
発生ずる。しかしながら、モーメントM7以外の荷重に
対しては高い剛性を示す。
今、モーメントMvが作用すると、ひずみゲージ511
61514゜では引張りひずみを生じ、ひずみゲージS
 L!0+ 313゜では圧縮ひずみを生じ、これらひ
ずみの絶対値は等しい。そこで、前述の平行平板構造に
おけると同様の手法でブリッジ回路を構成すれば、Y軸
まわりのモーメント要素を、他の荷重要素の影響なく正
確に検出することができる。
ここで、ひずみゲージでブリッジ回路を構成して荷重を
検出する方法について説明する。この方法には、通常、
1ゲージ法、2ゲージ法および4ゲージ法(フルブリッ
ジ)がある。第18図(alは1ゲージ法によるブリッ
ジ回路の回路図である。図で、E!はブリッジ回路に印
加される電圧を示し、Eoはブリッジ回路の出力電圧を
示す。ブリッジ回路は1つのアクチブゲージSと3つの
ダミーゲージRで構成される。アクチブゲージSは荷重
を受けてひずむゲージであり、上記平行平板構造および
放射平板構造に設けられたひずみゲージS、。
〜S14゜に相当する。ダミーゲージRは上記XFE行
平1反構造および放射平板構造とは別の個所に設けられ
て、かつ、適宜の抵抗値を有する抵抗である。
アクチブゲージSに荷重が加わると、これに比例してア
クチブゲージSの抵抗値が変化し、この変化に応じて出
力電圧E0が変化し、これにより荷重が検出される。
第18図中)は2ゲージ法によるブリッジ回路の回路図
である。図で、第18図(alと同一部分には同一符号
が付しである。2ゲージ法では、アクチブゲージSを2
個、ダミーゲージRを2個用いてブリッジ回路が構成さ
れる。アクチブゲージSは相対して設けられている。荷
重によるアクチブゲージSの抵抗値の変化に応じて出力
電圧E0が変化する。
第18図(C)は4ゲージ法によるブリッジ回路の回路
図である。図で、第18図(a)と同一部分には同一符
号が付しである。この4ゲージ法では、ブリッジ回路は
すべてアクチブゲージSで構成される。
上記平行平板構造および放射平板構造の説明では、この
4ゲージ法を採用した例について説明した。
これら1ゲージ法、2ゲージ法、4ゲージ法において、
lゲージ法および2ゲージ法はアクチブゲージSの数が
少なくて済むという特徴を備えているが、一方、温度に
よる影響および検出対象とする荷重成分以外の荷重成分
による影響を受け、かつ、得られる出力電圧E0の値が
小さいという欠点がある。これに対して、4ゲージ法は
アクチブゲージSの数が多くなるという欠点はあるもの
の、温度変化による出力電圧の変動が極めて小さく、良
好な温度補償機能を有し、又、他の荷重成分はブリッジ
の構成方法によりほとんどキャンセルすることができ、
さらに、出力電圧として1ゲージ法の4倍、2ゲージ法
の2倍の電圧を得ることができるという優れた特徴を有
する。したがつて、精度を要する荷重検出装置では4ゲ
ージ法の採用が必要不可欠である。即ち、1つの荷重成
分を検出するのに4つのひずみゲージを必要とする。
以上、平行平板構造、放射平板構造の構成およびそれら
に設けられたひずみゲージによる荷重検出方法について
述べた。ところで、平行平板構造。
放射平板構造およびそれらを構成する平板状たわみ梁は
、ある特定の軸方向の力成分又は軸まわりのモーメント
成分には極めて変形し易く、他の軸に関する荷重成分に
対しては高い剛性を示す。しかしながら、これらは当該
能の軸に関する荷重成分に対して高い剛性を示すものの
、僅かではあるが変形する。この現象を利用して、最近
、1つの平行平板構造、放射平板構造、又は平板状たわ
み梁を用いて複数の荷重成分を検出する手段が研究され
ている。
このような手段を採用した場合、4ゲージ法では1つの
荷重成分の検出に4つのひずみゲージが使用されるので
あるから、検出される荷重成分が2つの場合は8つ、3
つの場合は12のひずみゲージを必要とする。即ち、検
出される荷重成分がNである場合、ひずみゲージは4N
個必要である。
しかし、ひずみゲージの数が増加するのは、次の理由に
より望ましくない。
(1)ひずみゲージは荷重検出構造の定められた個所に
貼着して設けられるが、これらはすべて手作業で行われ
、その作業に多くの手間と時間を要する。
(2)  ひずみゲージからリード線をひき出し、ブリ
ッジ回路を構成する配線作業に多くの手間と時間を要す
る。
(3)ひずみゲージ貼着部とそこからの配線部とにより
相当の面積を要し、荷重検出装置の小形化の抑制要因と
なっている。
(4)  ひずみゲージは高価である。
以上の事項から、ひずみゲージが増加すると、荷重検出
装置の製造において、より多くの手間と時間を要し、又
、荷重検出装置がより大きくなり、かつ高価になるとい
う問題がある。
〔発明の目的〕 本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり
、その目的は、ひずみゲージの数を減少させることがで
き、ひいては製造を容易とし、かつ装置の小形化を達成
することができる荷重検出装置を提供するにある。
〔発明の概要〕
上記の目的を達成するため、本発明は、荷重検出装置に
おけるたわみ梁部材の所定個所に設けられた複数のひず
みゲージにおいて、検出すべきすべての荷重成分により
変形するひずみゲージのうちの所定の2つと、他のひず
みケージのうら検出すべき各荷重成分に応じて選択され
る各2つのひずみゲージとによりブリッジ回路を構成し
たことを特徴とする。
〔発明の実施例〕
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。
第1図fal〜(ciは本発明の第1の実施例に係る荷
重検出装置のたわみ梁の上面図、側面図および下面図で
ある。図で、21は支持部、22は支持部21に支持さ
れたたわみ梁、22aはたわみ梁22の上面、22bは
たわみ梁22の下面である。S、 、 S″1.84は
たわみ梁22の上面22a上に貼着されたひずみゲージ
であり、ひずみゲージS+ 、S’l は上面22aの
長手方向中心線に対称に貼着され、ひずみゲージS4は
当該中心線上に貼着されている。S2゜S′2.S、は
たわみ梁22の下面22b上に貼着されたひずみゲージ
であり、ひずみゲージSt、gtは第1図(81にみら
れるように、ひすみゲージSl+S′1 と対向する位
置に貼着され、ひずみゲージS3はひずみゲージS4と
対向する位置に貼着されている。Aは力又はモーメント
の作用点、0は作用点Aにモーメントが作用したときの
モーメント測定原点である。作用点Aと原点Oとの間隔
がa、原点0とひずみゲージS3.S4との間隔がl、
たわみ梁22の厚みがhでそれぞれ表わされている。
このようなたわみ梁22において、作用点Aに第1図(
blで垂直方向の力FA、および紙面に垂直方向の軸ま
わりのモーメントMAが作用すると、これら荷重成分F
A、MAに応じてたわみ梁22が変形し、各ひずみゲー
ジにひずみを生じる。ここで、s′2が貼着されている
部分のひずみをと2、ひずみゲージSa、S4が貼着さ
れている部分のひずみをそれぞれと4.ε4とし、かつ
、たわみ梁22の材質の縦弾性係数をE、たわみ梁22
の断面2次モーメントをIとすると、上記各ひずみと1
.と2゜と3.ε4は次式で表される。
・ ・ ・ ・ ・ (3) ・・・・・(4) たわみ梁22の上記ひずみにしたがって、各ひずみゲー
ジもひずみを生じ、このひずみに応じて各ひずみゲージ
の抵抗値が変化する。この抵抗値の変化を捉えることに
より、荷重FA、MAを検出することができる。第2図
にこの検出のためのブリッジ回路を示す。
第2図は第1図(al〜(C1に示すひずみゲージで構
成されるブリッジ回路の回路図である。図で、第1図(
a)〜rQ)に示すひずみゲージと同一のものには同一
符号が付されている。E、はブリッジ回路の印加電圧、
E、は力FAに応じた出力電圧、E4はモーメンl” 
M aに応じた出力電圧を示す。図から明らかなように
、力FAの検出にはひずみゲージS r 、S 2.S
 :l、 S 4により構成されるブリッジ回路が用い
られ、又、モーメントMAの検出にはひずみゲージS、
、S2.S″++S″tにより構成されるブリッジ回路
が用いられる。ここで、 RI : ひずみゲージSIの抵抗値 R′、:  ひずみゲージダ、の抵抗値R2: ひずみ
ゲージS2の抵抗値 R−2:  ひすみゲージS″2の抵抗値R1: ひず
みゲージS、の抵抗値 R4: ひずみゲージS4の抵抗値 ΔR8: ひずみε、による抵抗値R1の変化量ΔR′
、:  ひずみと1による抵抗4+’fi R′+ の
変化量ΔR2: ひずみε2による抵抗値R2の変化量
ΔR′2:  ひずみε2による抵抗値Rzの変化量Δ
R3: ひずみε1による抵抗値R3の変化量ΔR4:
 ひずみと4による抵抗値R4の変化量K : 各ひず
みゲージのゲージ率 ΔEr : 上記抵抗値の変化量による出力電圧B。
の変化量 ΔEH: 上記抵抗値の変化量による出力電圧Eイの変
化量 とすると、次の各式が成立する。
=□(−ε、+ε2−ε、+ε4 )  ・ ・ ・(
5)に =□(−と1 +ε2 )     ・ ・ ・ ・ 
・(6)(51,(61式に+1)、 (2)、 (3
)、 (41式を代入すると、Ei        4
EI ここで、原点0まわりのモーメントM0はMo=  M
a−aFa      −−−−−(91であるから、
(8)式は となる。
上記(7)式からΔEr/BtはモーメントMAを含ま
ず、力FAにのみ比例した値となり、モーメントMAの
影響は全く受けない。さらに、値aは含まれず作用点A
の位置に関係な(力FAを検出することができる。又、
上記(10)式から、ΔE。
/EiはモーメントM0に比例した値となり、原点Oの
まわりのモーメントM。を検出することができる。
ところで、第2図に示す回路では、4ゲージ法の特徴、
即ち良好な温度補償機能を有し、上述のように他の荷重
成分の影響を排除することができ、かつ、大きな出力電
圧を得ることができるという特徴を有するのみならず、
次のような特徴をも有する。即ち、上記のように、2つ
の荷重成分ト′1゜MAを検出するためには、従来の4
ゲージ法においては、各荷重成分F A、MAのそれぞ
れについて4個のひずみゲージを備え、各別にブリッジ
を構成して対応する荷重成分を検出する手段が採られて
おり、2つの荷重成分F、、MAを検出するには8個の
ひずみゲージが必要であった。しかし、本実施例におい
ては、ひずみゲージ5r−8zを共通に使用するように
ブリッジ回路を構成することにより、6個のひずみゲー
ジを用いるのみで荷重成分F a 、 MAを検出する
ことができ、これにより、ひずみゲージの貼着作業と配
線作業に要する手間と時間を大きく軽減することができ
、かつ、装置の小形化と価格の低減を達成できるという
特徴をも有するものである。
このように、本実施例では、1つの力成分および1つの
モーメント成分を検出するたわみ梁において、モーメン
ト測定原点近辺の上下面に貼着されたひずみゲージ2つ
より成る1Miを、力成分およびモーメント成分検出ブ
リッジ回路に共通に用いるようにしたので、ひずみゲー
ジの数を2つ減少させることができ、これにより作業性
を向上せしめ、装置の小形化と価格の低減を行うことが
できる。
第3図(al〜(C1は本発明の第2の実施例に係る荷
重検出装置のたわみ梁の上面図5側面図および下面図で
ある0図で、第1図(al〜(C)に示す部分と同一部
分には同一符号を付して説明を省略する。S StS6
+ St、 Sa+ SQ、St。はひずみゲージであ
る。ひずみゲージSa、Stは原点0にお″いて、たわ
み梁22の上面22aの長手方向中心線から距;2;1
 c / 2離して貼着され、ひずみゲージS3.SI
lはそれぞれひずみゲージSa、S7から距離ffl/
illれて貼着される。ひずみゲージS9,31゜はそ
れぞれたわみ梁22の下面22bにおいて、ひずみゲー
ジ56−8%に対向する位置に貼着される。FAXは作
用点Aに、第3図(blで垂直方向に加えられた力を示
し、又、FA/は作用点Aに、第3図fblで紙面に垂
直方向に加えられた力を示す。
ここで、Eをたわみ梁22の材質の縮弾性係数、lvを
たわみ梁22の第3図(b)において紙面に垂直な軸ま
わりの断面2次モーメント、IXをたわみ梁22の第3
図(blにおいて垂直軸まわりの断面2次モーメントと
すると、ひずみゲージS 51 S 6+ S ff+
S6.SQ、510の貼着部分のひずみε2.ε6.ε
1.ε8゜と7.と、。は、 (a十e)FAy )  ・・・(11)IX ・・・(12) ・・・(13) (a +jり FAY  )   ・・・(14)・ 
・ ・(15) x となる。
第4図は第3図(al〜(C)に示すひずみゲージで構
成されるブリッジ回路の回路図である。図で、第3図(
al〜(C)に示すひずみゲージと同一のものには同一
符号が付されている。E FAXは力F。Xに応じた出
力電圧、E FAYは力F0に応じた出力電圧を示す。
力FAVは、ひずみゲージSs、Sb、S?、Ssで構
成されるブリッジ回路で検出され、力FAIIは、ひず
みゲージS 5+ S 6+ S Q+ S I Gで
構成されるブリッジ回路で検出される。ここで、 ΔEF□ : ひずみゲージの抵抗値の変化量による出
力電圧E FANの変化量 ΔEFAY  :  ひすみゲージの抵抗値の変化量に
よる出力電圧EFAYの変化量 とすると、さきの実施例にならって次式が成立する。
’E=       4EIy 上記(17)式のΔEarx/E= は力F□に比例し
た値であり、力F0および作用点Aの位置には影響され
ない。同様に、上記(18)式のΔE *vv / E
 籠は力FAvに比例した値であり、力F0および作用
点Aの位置に影響されない。
なお、上記の説明では、別々の力F AX + F A
Yが作用点Aに作用した場合について説明したが、これ
ら力FaxtFayを合成した1つの力が作用点Aに作
用した場合も、その分力F4g+Favが上記と同様に
検出されることになる。
このように、本実施例では、2つの力成分を検出するた
わみ梁において、その一方の面の4つのひずみゲージの
うちの長手方向中心線片側の2つのひずみゲージを、上
記2つの力成分を検出するブリッジ回路に共通に使用す
るようにしたので、第1の実施例と同じ効果を奏する。
第5図(a) 、 (b) 、 (c)は本発明の第3
の実施例に係る荷重検出装置のたわみ梁の上面図、側面
図および下面図である0図で、23は支持部21に両端
を支持されたたわみ梁、23aはたわみ梁23の上面、
23bはたわみ梁23の下面であるsol はたわみ梁
23の中心点、hはたわみ梁23の厚さ、Lは中心点0
゜からたわみ梁23の両端までの距離である@ g S
o ’j 6はそれぞれたわみ梁23の上面23aと下
面23bにおいて中心点OIから距離aの位置に貼着さ
れたひずみゲージ、ぎ。1g、はたわみ梁23の上面2
3aにおいて中心点O1から距@aの位置に貼着された
ひずみゲージ、gw、S’+aはたわみ梁23の下面2
3bでひずみゲージs’、、 、s”、に対向する位置
に貼着されたひずみゲージである。
このようなたわみ梁において、中心点0、に第3図(b
)で垂直方向の力Faおよび紙面に垂直方向の軸まわり
のモーメントMAが作用すると、たわみ梁23の各ひず
みゲージぎ、〜ぎ、。の貼着部分のひずみど5〜ど、。
は、第1の実施例にならって次式で表される。
2      L 本実施例に用いられるブリッジ回路は、第4図に示すブ
リッジ回路において、ひずみゲージS%。
S&、Sフs S *+ S 91 S +aの代りに
ひずみゲージタ、。
り4.り9.り2.ざ9.ざ、。を接続した構成である
。この場合、第4図において電圧E AFKの検出端で
力FAが検出され、電圧E、□の検出端でモーメントM
Aが検出されることになる。ここで、これら検出端で検
出される電圧をそれぞれEFA、E□とし、ひずみゲー
ジの抵抗値の変化量に応じる電圧EFAIEHAの変化
量をΔEFAIΔEMAとすると、第1の実施例になら
って次式が成立する。
L ・ ・ ・ ・(23) E、        4EI ・ ・ ・ ・(24) 上記(23)式のΔE ya/ E iは力FAに比例
した値であり、モーメントMAには影響されない。同様
に、上記(24)式のΔEXA/EtはモーメントM。
に比例した値であり、力FAには影響されない。
このように、本実施例では、1つの力成分と1つのモー
メント成分を検出する両端支持のたわみ梁において、中
心点から等距離にある上面両側に1つおよび2つのひず
みゲージを貼着し、下面のこれと対向する位置に同じく
1つおよび2つのひずみゲージを貼着し、上面の1つ貼
着されたひずみゲージと下面の1つ貼着されたひずみゲ
ージとを、上記力成分およびモーメント成分を検出する
ブリッジ回路に共通に使用するようにしたので、第1の
実施例と同じ効果を奏する。
第6図(a)〜fclは本発明の第4の実施例に係る荷
重検出装置の対称型平行平板構造の上面図、側面図およ
び下面図である。図で、第16図(alに示す部分と同
一部分には同一符号を付して説明を省略する。Si、S
i2は一方の平板状薄肉部5の固定部側および可動部側
の根本に貼着されたひずみゲージである。これらひずみ
ゲージS ll+  S +tは一方の側縁近くに貼着
される。SI?l  Sil+は他方の薄肉部5の固定
部側および可動部側の根本に貼着されたひずみゲージで
あり、ひずみゲージSz +S+zと反対側の側縁近く
に貼着される。SIJ+  S(4は一方の薄肉部5′
の固定部側および可動部側の根本であってひずみゲージ
S I ?+  S I 8と同じ側の側縁近くに貼着
されたひずみゲージである。SIS+Sいは他方の薄肉
部5′の固定部側および可動部側の根本であってひずみ
ゲージSll  S+4と反対側の側縁近くに貼着され
たひずみゲージである。
本実施例では、座標軸X、Y、Zが図示のように設定さ
れている。各ひずみゲージS、〜3111はすべてY軸
方向のひずみを検出する向きで貼着されており、又、Y
軸方向に延びる中心線から等距離にある。
このようなひずみゲージの配置において、可動部4に第
6回連(blに示すように、X軸方向の力Fに。
Y軸まわりのモーメントMvおよびZ軸まわりのモーメ
ントM2が作用した場合について考察する。
力F×が作用すると、平行平板構造6は第16図(bl
に示すように変形する。この場合、薄肉部5,5′の各
断面はすべて均一であるので、各ひずみゲージSll〜
S18に生じるひずみの絶対値はすべて等しい、この値
をとFXとする。又、モーメントMYが作用すると、平
行平板構造6には第7図に示すように薄肉部5,5′が
ねじれた変形が生じる。
この場合も、各ひずみゲージS、〜5lllはY軸に対
して対称位置に貼着されているので、それらのひずみの
絶対値はすべて等しい。この値をと、Vとする。さらに
、モーメントM2が作用すると、平行平板構造6は第8
図に示すような変形を生じる(ただし、第8図はモーメ
ントMzが第6図(blに示すのと逆方向に作用したと
きの変形を示す)。
この場合、左側の薄肉部5と右側の薄肉部5′は全体と
して圧縮応力を受けながらたわみ、又、右側の薄肉部5
と左側の薄肉部5′は全体として引張応力を受けながら
たわむ。このため、ひずみゲージS I + ”” S
 I 1のひずみの絶対値は2種類の値となる。これら
の値をと9□1.と、42□(εMal >と1.12
□)とする。即ち、たわみによる伸びと全体としての引
張りが重なったひずみゲージ又はたわみによる縮みと全
体としての圧縮が重なったひずみゲージはひずみの絶対
値(εMZI )が大きくなり、逆に、たわみによる伸
びと全体としての圧縮が重なったひずみゲージ又はたわ
みによる縮みと全体としての引張りが重なったひずみゲ
ージはひずみの絶対値(ε、4□2)が小さくなる。
前述のように、平行平板構造6は力Fxに対して極めて
変形し易いが、その他の荷重に対しては高い剛性を示す
、しかしながら、他の荷重のうちのモーメントMV、M
2に対しては上記のように、ある程度の変形を生じる0
本実施例はこの現象を利用して、1つの対称型平行平板
構造により3つの荷重、即ち、力Fx、モーメントMY
 、M2を検出するものである。
第9図は第6図(al〜(C)に示すひずみゲージで構
成されるブリッジ回路の回路図である0図で第6図18
)〜(C)に示すひずみゲージと同一のものには同一符
号が付されている@ Eywは力FBIに応じた出力電
圧、ε*x+EMvはそれぞれモーメントM2 。
Mvに応じた出力電圧を示す、力FxはひずみゲージS
+++ S+z+ slフl  5lfiで構成される
ブリッジ回路で検出され、モーメントM2はひずみゲー
ジS lff、S 14+  5171 3 +sで構
成されるブリッジ回路で検出され、モーメントMVはひ
ずみゲージS+s+ S+br S17+ S+sで構
成されるブリッジ回路で検出される。
ここで、ひずみゲージS I I”’ S 1 @の貼
着部分のひずみをと1.〜εlとし、ひずみゲージの抵
抗値の変化量による出力電圧EFXの変化量をΔE F
 X *出力電圧EMvの変化量をΔE□、出力電圧E
ゎの変化量をΔEや、とすると、次式が成立する。
・・・・・(25) ・・・・・(26) 以上、各荷重に対する各ひずみゲージのひずみおよび出
力電圧をまとめると次表のようになる。
ただし、上記表中(+)はひずみゲージの伸び、(−)
はひずみゲージの縮みを示す。
上式(25)〜(27)および表から明らかなように、
値ΔEFX/Elは力FXに比例するとともにモーメン
)MY、M2には無関係な値であり、値ΔE□/Eiは
モーメントM7に比例するとともにモーメントM2およ
び力F、には無関係な値であり、さらに、値ΔExt/
EiはモーメントM2に比例するとともにモーメントM
vおよび力F、には無関係な値である。したがって、他
の荷重成分の影響を受けることなく所要の荷重成分を検
出することができる。そして、通常の4ゲージ法によっ
てはひずみゲージ12枚を要するところ、ひずみゲージ
Sl?l  s+*を共通に使用することにより、8枚
で3つの荷重を検出し得る。
このように、本実施例では、1つの力成分・ヒ2つのモ
ーメント成分を検出する対称型平行平板構造において、
各薄肉部上下面の固定部側根本および可動部側根本に対
称的にひずみゲージを貼着し、それらのうちの1つの薄
肉部の2枚のひずみゲ−ジを上記力成分およびモーメン
ト成分を検出するブリッジ回路に共通に使用するように
したので、第1の実施例と同じ効果を奏する。
第10図(a)〜(C)は本発明の第5の実施例に係る
荷重検出装置の十文字状平行平板構造の斜視図、上面図
および下面図である。図で、24は柱状体、24a。
24cは柱状体24においてX軸方向に張出した張出部
、24b、 24aは柱状体24においてY軸方向に張
出した張出部である。25は柱状体24の中心部におい
てZ軸方向に形成された貫通孔である。26a、 26
a ’は隣接する張出部24a、 24b間を連結する
薄肉部であり互いに平行に設けられている。この薄肉部
26a。
26a′は、Y軸およびY軸に対して45度の角度で、
柱状体24の外側面から貫通孔25に貫通する方形孔を
形成することにより構成され、平行平板構造となる。 
26b、 26b ’ 、26c、 26c ’ 、2
6d、 26d ’はそれぞれ張出部24b、 24a
間、張出部24c、 24a間、張出部24d、 24
a間に、上記と同様の方形孔により構成された薄肉部で
あり、平行平板構造となる。
311乃至す7.は各薄肉部26a、 26b、26c
 ’ + 26dの根本中央部に設けられたひずみゲー
ジである。
ひずみゲージ”” ll+ s’、□は第10図fc)
に示すように、柱状体24の下面の薄肉部260′の根
本中央部に設けられている。このような柱状体24(十
文字状平行平板構造)が多軸力センサとして使用される
場合、張出部24a、 24cに一方の剛体(図示され
ていない)が高い剛性をもって連結され、又、張出部2
4b、 24dに他方の剛体(図示されていない)が高
い剛性をもって連結される。このため、張出部24a。
24a相互間および張出部24b、 24a相互間は、
当該一方の剛体および他方の剛体によって互いに剛に拘
束されることとなる。
第11図(81,(b)は第10図(Ml 〜(C) 
ニ示す十文字状平行平板構造に荷重が作用したときの斜
視図である。
即ち、第11図(alはZ軸方向の力F2が作用したと
きの、第10図(a)〜(C1に示す十文字状平行平板
構造の変形モードを示す。力F2は張出部24a、 2
4cに等分(Fz /2)に作用して十文字状平行平板
構造に図示のような変形を生ぜしめ、この変形に応じて
各ひずみゲージS”ll〜S”laにひずみが生じる。
一方、第11図(b)はY軸まわりにモーメントMVが
作用したときの、第10図(al〜(C)に示す十文字
状平行平板構造の変形モードを示し、この変形に応じて
各ひずみゲージS−Il−S″18にひずみが生じる。
同様に、Y軸まわりにモーメントMXが作用した場合も
、十文字状平行平板構造は第11図中)と等価の変形を
生じ、この変形に応じて各ひずみゲージS’ll〜S”
18にひずみが生じる。
本実施例に用いられるブリッジ回路は、第9図に示すブ
リッジ回路において、ひずみゲージSll〜5l11の
代りにり0.〜S’1mを接続した構成である(Sl、
の代りにS′11・・・5l11の代りにS″、を接続
した構成)、この場合、第9図において電圧EFXの検
出端で力F2が検出され、電圧E、42の検出端でモー
メントMxが検出され、さらに、電圧EMVの検出端で
モーメントMYが検出されることになる。ここで、力F
2+ モーメントMX 1Myの検出電圧をそれぞれE
rz + Exx + E、4yとし、ひずみゲージの
抵抗値の変化による各検出電圧の変化量をそれぞれΔE
2□、ΔENX+ΔEHVとし、又、各ひずみゲージぎ
、〜S’11のひずみをど、I〜ど、8で表わし、力F
2が作用したときのひずみゲージのひずみ≠!#の絶対
値をεFZ +モーメント成分が作用したときのひずみ
ゲージのひずみの絶対値をと□8.ε、X2(値εMX
I * εMXZは第4の実施例における値εイX+ 
+  と9□2に準じる値であり、εMXI >8MX
2である。)、モーメントMvが作用したときのひずみ
ゲージのひずみの絶対値をε、47□、とsvz  (
値εMYI+ εMv2も上記に準じ、εMl >εに
vzである會)とし・ひずみゲージの伸びを(+)で、
縮みを(−)で表わし、これらを第4の実施例にならっ
て表にまとめると次表のようになる。
上記の表から明らかなように、値ΔErz/Ezは力F
2に比例するとともにモーメントMに、Myとは無関係
な値であり、値ΔEMX/E iはモーメントMXに比
例するとともに力F2およびモーメントM、とは無関係
な値であり、さらに、値ΔE、V/ E ! L*モー
メントMYに比例するとともに力F2およびモーメント
Mlとは無関係な値である。したがって、他の荷重成分
の影響を受けることなく所要の荷重成分を検出すること
ができる。そして、ひずみゲージS” l’f+ S’
laを共通に使用することにより、ひずみゲージ8枚で
これら3つの荷重を検出することができる。
このように、本実施例では、1つの力成分と2つのモー
メント成分を検出する十文字状平行平板構造において、
組合せられた4つの平行平板の各薄肉部にそれぞれ2つ
のひずみゲージを貼着し、これら各薄肉部のうちの1つ
の薄肉部に貼着された2つのひずみゲージを上記力成分
およびモーメント成分を検出するブリッジ回路に共通に
使用するようにしたので、第1の実施例と同じ効果を奏
する。
第12図(a)〜(C)は本発明の第6の実施例に係る
荷重検出装置の対称型放射平板構造の上面図、側面図お
よび下面図である0図で、第16図(alに示す部分と
同一部分には同一符号を付して説明を省略する。又、本
実施例では、座標軸x、y、zは図示のように設定され
ている。S!O+  sz+は第12図(a)で左側薄
肉部11の一方側縁近くの根本部に貼着されたひずみゲ
ージ、Sty +Sts +Sza +Stsは第12
図(C)に示すように左側薄肉部11′の両側縁近くの
根本部に貼着されたひずみゲージ、Szh+5txSz
s+Szqは第12図(C1に示すように右側薄肉部1
1′の両側縁近くの根本部に貼着されたひずみゲージで
ある。各ひずみゲージS2゜〜St、はY軸方向の中心
線からほぼ等距離に位置し、又、Y軸方向のひずみを検
出するように貼着されている。
前述のように、放射平板構造12はモーメン)Mzに対
しては極めて変形し易いが、その他の荷重に対しては高
い両性を示す。しかしながら、他の荷重のうち、力FX
I モーメントMV 、MXに対してもある程度の変形
を生じる。本実施例はこの現象を利用して、1つの対称
型放射平板構造により、4つの荷重、即ち、力FX、モ
ーメントM、、MV。
M2を検出するものである。第12図(a)にモーメン
トMxが、又、第12図(blに力FX+モーメントM
V。
M2がそれぞれ矢印で示されている。
力FXが作用すると第13図に示すように両薄肉部11
.11がたわむと同時に伸び、両薄肉部11′。
11′はたわむと同時に縮む変形を生じる。モーメント
MX 、M、が作用すると、各薄肉部11.11’は第
7図に示す変形と類似のねじれ変形を生じる。
又、モーメントM2が作用すると、各薄肉部11゜11
′は第17図(′b)に示す変形と同じ変形(モーメン
トの方向が逆なので、変形は逆の変形)を生じる。
第14図は第12図(al〜(C)に示すひずみゲージ
で構成されるブリッジ回路の回路図である。図で、第1
2図(a)〜(C)に示すひずみゲージと同一のものに
は、同一の符号が付されている*Erxは力FXに応じ
た出力電圧、EMX +EHv+  Eイ2はそれぞれ
モーメントMx 、MY 、M2に応じた出力電圧を示
す。
力FxはひずみゲージSZO+Sz+ +Szb +S
zwで構成されるブリッジ回路で検出され、モーメント
MXはひずみゲージS2゜、S□、Sta+Stsで構
成されるブリッジ回路で検出され、モーメントMVはひ
ずみゲージSzo +Sz+ +Szz +Szxで構
成されるブリッジ回路で検出され、さらに、モーメン)
MzはひずみゲージS2゜+Sz+ +Szs +Sz
qで構成されるブリッジ回路で検出される。
ここで、ひずみゲージS2゜〜S29の貼着部分のひず
みをと2゜〜ε2.とし、ひずみゲージの抵抗値の変化
量による出力電圧E FX + E MX + E M
Y + E s□の変化量をそれぞれΔEFX+ΔEM
ll+ΔEMY lΔE、42とし、力FXが作用した
ときのひずみゲージのひずみの絶対値をε□、εFX□
 (εFXI >ε、4xz ) 、モーメントMVが
作用したときのひずみゲージのひずみの絶対値をと。1
.εMY2(εN’/1〉εMYt ) 、モーメント
M2が作用したときのひずみゲージのひずみの絶対値を
と、42とし、さらに、ひずみゲージの伸びを(+)で
、縮みを(=)で表わし、これらを第4の実施例になら
って表にまとめると次表のようになる。
上記の表から明らかなように、値ΔE FX/ E t
は力Fxに比例するとともにモーメントM、、、 My
+M2とは無関係な値であり、値ΔE+<x/E4はモ
ーメントMxに比例するとともに力FX+ モーメン)
Mv 、Mzとは無関係な値であり、値ΔE、4v/E
iはモーメントMyに比例するとともに力FX+モーメ
ントMX 1Mzとは無関係な値であり、又、ΔE H
z/ E = はモーメントM2に比例するとともに力
FX+ モーメントMx9Myとは無関係の値である。
したがって、他の荷重成分の影響を受けることなく、所
要の荷重成分を検出することができる。そして、ひずみ
ゲージSB+St+を共通に使用することにより、ひず
みゲージ10枚でこれら4つの荷重を検出することがで
きる。
このように、本実施例では、1つの力成分と3つのモー
メント成分を検出する対称型放射平板構造において、各
薄肉部の一方の面にY軸方向中心線から等距離に対にな
った2つのひずみゲージをそれぞれ貼着し、又、他方の
面の薄肉部の1つにY軸方向中心線から前記等距離に1
対のひずみゲージを貼着し、この1対のひずみゲージを
、上記力成分およびモーメント成分を検出するブリッジ
回路に共通に使用するようにしたので、第1の実施例と
同じ効果を奏する。
以上、本発明の実施例として、荷重検出装置の荷重作用
部分の構成がたわみ梁、対称型平行平板構造、十文字状
平行平板構造および対称型放射平板構造のものを例示し
て説明したが、当該荷重作用部分はたわみ梁をもつもの
であれば他の構造のものであってもよい。又、検出荷重
成分の数もその構造およびひずみゲージの貼着位置に応
じてく5意に選択することができる。そして、検出荷重
夜分の数をNとすると、従来の4ゲージ法ではひずみゲ
ージを4N枚必要としたのに対して、本発明では上記各
実施例から明らかなように、(2N+2)枚あればよく
、必要とするひずみゲージの数を(2N−2)枚減少さ
せることができることになる。
〔発明の効果〕
以上述べたように、本発明では、荷重作用部分を成すた
わみ梁構造の所定の個所にひずみゲージを設けるととも
に、これらひずみゲージのうちの1組のひずみゲージを
、検出すべき荷重成分のすべてに応じて変形を生じる個
所に設け、当該1組のひずみゲージを、各荷重成分を検
出するブリッジ回路に共通に使用するようにしたので、
ひずみゲージの数を減少させることができ、これにより
、ひずみゲージの貼着作業および配線作業の手間と時間
を減少させることができるとともに、荷重検出装置の小
形化および価格の低減を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)、 [b)、 (C)は本発明の第1の実
施例に係る荷重検出装置のたわみ梁の上面図、側面図お
よび下面図、第2図は第1図(Jl)、 (b)、 (
C)に示すひずみゲージにより構成されるブリッジ回路
の回路図、第3図(a)、 (b)、 (C)は本発明
の第2の実施例に係る荷重検出装置のたわみ梁の上面図
、側面図および下面図、第4図は第3図(a) 、 (
’IJ) 、 (c)に示すひずみゲージにより構成さ
れるブリッジ回路の回路図、第5図(al、 (b)、
 (C)は本発明の第3の実施例に係る荷重検出装置の
たわみ梁の上面図、側面図および下面図、第6図(a)
、 (b)、 (C)は本発明の第4の実施−ジにより
構成されるブリッジ回路の回路図、第1O図(al、 
(b)、 (C)は本発明の第5の実施例に係る荷(a
)、 (bl、 (C)に示す平行平板組合せ構造の変
形を示す斜視図、第12図[a)、 (bl、 fc)
は本発明の第6の実施例に係る荷重検出装置の対称型放
射平板構造のツジ回路の回路図、第15図は平板状たわ
み梁の斜視図、第16図(al、 lb)は対称型平行
平板構造の側面図、第17図(a)、 (b)は対称型
放射平板構造の側面図、第18図(at、 (bl、 
(clはそれぞれブリッジ回路の回路図である。 1,21・・・支持部、3・・・固定部、4・・・可動
部、5゜5 ’ 、 11.11 ’ 、 26a、 
26a ’ 、 26b、 26b ’ 、 26c。 26c ’ 、 26d、 26d ’ ・・・薄肉部
、6・・・平行平板構造、12・・・放射平板構造、2
2.23・・・たわみ梁、S、〜S1.。 S′1.ぎ2.S″、〜ぎ、。+StO〜St9・・・
ひずみゲージ。 代理人 弁理士  武 顕次部 (外1名)第1図 b’2’     s3 第2区 E/ 第3図 第4凶 Ei 第5図 第6図 第9図 Ei 第1O図 第1O図 (b) と /Cノ 龜 第1/図 tσノ 第1/図 (b) 第12図 第13図 第14区 i 第15図 伶 第76図 ] 第77区 18図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. たわみ梁部材より成り、当該たわみ梁部材の所定の個所
    に複数のひずみゲージを備え、当該たわみ梁部材に作用
    する複数の荷重成分を検出する荷重検出装置において、
    検出すべきすべての荷重成分により変形する前記ひずみ
    ゲージのうちの所定の2つのひずみゲージと、他の前記
    ひずみゲージのうち検出すべき各荷重成分に応じて選択
    される各2つのひずみゲージとにより構成されるブリッ
    ジ回路を設けたことを特徴とする荷重検出装置。
JP21917685A 1985-10-03 1985-10-03 荷重検出装置 Pending JPS6280527A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21917685A JPS6280527A (ja) 1985-10-03 1985-10-03 荷重検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21917685A JPS6280527A (ja) 1985-10-03 1985-10-03 荷重検出装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6280527A true JPS6280527A (ja) 1987-04-14

Family

ID=16731388

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP21917685A Pending JPS6280527A (ja) 1985-10-03 1985-10-03 荷重検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6280527A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01282437A (ja) * 1988-05-10 1989-11-14 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 荷重計測装置
JP2007275934A (ja) * 2006-04-07 2007-10-25 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 自動注湯システム

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6042629A (ja) * 1983-07-27 1985-03-06 シ−メンス・アクチエンゲセルシヤフト 多成分力およびモ−メント測定体
JPS61292028A (ja) * 1985-06-07 1986-12-22 Fujitsu Ltd 力検出装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6042629A (ja) * 1983-07-27 1985-03-06 シ−メンス・アクチエンゲセルシヤフト 多成分力およびモ−メント測定体
JPS61292028A (ja) * 1985-06-07 1986-12-22 Fujitsu Ltd 力検出装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01282437A (ja) * 1988-05-10 1989-11-14 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 荷重計測装置
JP2007275934A (ja) * 2006-04-07 2007-10-25 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 自動注湯システム

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7500406B2 (en) Multiaxial sensor
JP4909583B2 (ja) 多軸力ロードセル
US4448083A (en) Device for measuring components of force and moment in plural directions
EP0173405B1 (en) Multi-axis load sensor
JPH10332502A (ja) 6分力ロードセル
US20080184819A1 (en) Capacitance type sensor
US20210033475A1 (en) Sensor chip and force sensor device
JP7396731B2 (ja) 多軸触覚センサ
JP2699096B2 (ja) 測定装置
JP4249735B2 (ja) 力センサ
JP6817875B2 (ja) 力覚センサ
JPH0772026A (ja) 起歪体構造物およびこの起歪体構造物を用いた多軸力検出センサ
JPS6321530A (ja) 力検出装置
JP2009074969A (ja) 6軸力センサ
JPH05149811A (ja) 6軸力覚センサ
JPS6280527A (ja) 荷重検出装置
US20050120809A1 (en) Robotic force sensing device
JP3233210U (ja) ロードセル
JPS6157825A (ja) 荷重検出器
JPS6394690A (ja) 力検出装置
WO2019146696A1 (ja) センサチップ及び力覚センサ装置
JPH06265423A (ja) 多分力検出器
JPS6352028A (ja) 荷重検出器
JP3265539B2 (ja) 多分力計
JPS6321531A (ja) 力検出装置