JPS6279952A - 二次元位置決め装置の初期化方法 - Google Patents
二次元位置決め装置の初期化方法Info
- Publication number
- JPS6279952A JPS6279952A JP21848685A JP21848685A JPS6279952A JP S6279952 A JPS6279952 A JP S6279952A JP 21848685 A JP21848685 A JP 21848685A JP 21848685 A JP21848685 A JP 21848685A JP S6279952 A JPS6279952 A JP S6279952A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coordinates
- optical system
- itv camera
- initialization
- camera
- Prior art date
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- Pending
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- Automatic Assembly (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
２、特許請求の範囲
（イ）産業上の利用分野
本発明は、半導体製造装置などに備えられたＸ−Ｙテー
ブルに載置される試料の位置をＩＴＶカメラで光学的に
認識してその試料の光学的な二次元位置を検出する二次
元位置決め装置における初期化方法に係わり、特には、
Ｘ−Ｙテーブルと■ＴＶカメラとの相対的な角度ズレを
予め認識させるための初期化方法に関する。
ブルに載置される試料の位置をＩＴＶカメラで光学的に
認識してその試料の光学的な二次元位置を検出する二次
元位置決め装置における初期化方法に係わり、特には、
Ｘ−Ｙテーブルと■ＴＶカメラとの相対的な角度ズレを
予め認識させるための初期化方法に関する。
（ロ）従来技術とその問題点
一般に半導体製造装置などにおいては、Ｘ−Ｙテーブル
に載置される試料位置をＩＴＶカメラで光学的に認識し
てその試料の光学的な二次元位置を検出し、検出した二
次元位置と予め設定された光学上の加工位置とをパター
ン認識することにより、上記Ｘ−Ｙテーブルの移動を制
御して試料の加工位置を調整できるようにしたものがあ
る。
に載置される試料位置をＩＴＶカメラで光学的に認識し
てその試料の光学的な二次元位置を検出し、検出した二
次元位置と予め設定された光学上の加工位置とをパター
ン認識することにより、上記Ｘ−Ｙテーブルの移動を制
御して試料の加工位置を調整できるようにしたものがあ
る。
ところで、ＩＴＶカメラで認識される光学系における座
標とＸ−Ｙテーブルの移動座標とは相対的な位置関係に
よって定まるものである。したがって、ＩＴＶカメラが
Ｘ−Ｙテーブルの移動座標に対して傾斜して配置されて
いる場合には、Ｘ−ＹテーブルをたとえばＸ方向に移動
させても、ＩＴＶカメラで映し出される移動方向は、実
際の移動方向と異なることになる。
標とＸ−Ｙテーブルの移動座標とは相対的な位置関係に
よって定まるものである。したがって、ＩＴＶカメラが
Ｘ−Ｙテーブルの移動座標に対して傾斜して配置されて
いる場合には、Ｘ−ＹテーブルをたとえばＸ方向に移動
させても、ＩＴＶカメラで映し出される移動方向は、実
際の移動方向と異なることになる。
このような不都合を回避するため、従来は、■ＴＶカメ
ラの水平走査方向をＸ−Ｙテーブルの移動方向（たとえ
ばＸ方向）に一致させるようにしている。これには、Ｘ
−Ｙテーブルの移動座標に対してＩＴＶカメラの平行度
を出す必要があり、この作業は通常、ＩＴＶカメラによ
る映像を見ながら行っている。
ラの水平走査方向をＸ−Ｙテーブルの移動方向（たとえ
ばＸ方向）に一致させるようにしている。これには、Ｘ
−Ｙテーブルの移動座標に対してＩＴＶカメラの平行度
を出す必要があり、この作業は通常、ＩＴＶカメラによ
る映像を見ながら行っている。
しかしながら、従来はＩＴＶカメラの設置場所の関係上
、該カメラの向きをＸ−Ｙテーブルの移動座標に沿って
平行に配置することが困難な場合があり、またＩＴＶカ
メラをＸ−Ｙテーブルの移動座標に沿って平行に向けた
つもりでも、精度上の関係上、多少ともカメラが斜め方
向に傾いた状態で取り付けられることが往々生じる。Ｘ
−Ｙテーブルの駆動制御は、あくまでＩＴＶカメラで捕
らえた光学的な座標に基づいて行なわれるため、このよ
うにＩＴＶカメラとＸ−Ｙテーブルとの相対的な角度ズ
レが生じているＸ−Ｙテーブルに対してＸ方向だけの信
号を送るつもりが、Ｙ方向への信号を送る場合も出てく
ることになり、精度良い加工ができなくなる。このよう
に、従来は、■ＴＶカメラの位置設定操作が極めて面倒
であった。
、該カメラの向きをＸ−Ｙテーブルの移動座標に沿って
平行に配置することが困難な場合があり、またＩＴＶカ
メラをＸ−Ｙテーブルの移動座標に沿って平行に向けた
つもりでも、精度上の関係上、多少ともカメラが斜め方
向に傾いた状態で取り付けられることが往々生じる。Ｘ
−Ｙテーブルの駆動制御は、あくまでＩＴＶカメラで捕
らえた光学的な座標に基づいて行なわれるため、このよ
うにＩＴＶカメラとＸ−Ｙテーブルとの相対的な角度ズ
レが生じているＸ−Ｙテーブルに対してＸ方向だけの信
号を送るつもりが、Ｙ方向への信号を送る場合も出てく
ることになり、精度良い加工ができなくなる。このよう
に、従来は、■ＴＶカメラの位置設定操作が極めて面倒
であった。
本発明は従来のこのような問題点を解消するためになさ
れたものであって、簡単な初期化操作によってＩＴＶカ
メラとＸ−Ｙテーブルとの相対的な角度ズレを認識でき
るようにして、従来行なわれていたようなＩＴＶカメラ
のＸ−Ｙテーブルに対する位置設定操作を省略できるよ
うにすることを目的とする。
れたものであって、簡単な初期化操作によってＩＴＶカ
メラとＸ−Ｙテーブルとの相対的な角度ズレを認識でき
るようにして、従来行なわれていたようなＩＴＶカメラ
のＸ−Ｙテーブルに対する位置設定操作を省略できるよ
うにすることを目的とする。
（ハ）構成
本発明に係るテーブルに対する二次元位置決め装置にお
ける初期化方法は、Ｘ−Ｙテーブル上に設けられた初期
化マークをＩＴＶカメラで視覚的に認識してその光学系
における中心位置座標を検出し、次いで、Ｘ−Ｙテーブ
ルを既知量移動し、移動後の前記初期化マークの光学系
における中心位置座標を検出し、少なくとも前記二つの
中心位置座標と既知移動量とからＸ−Ｙテーブルに対す
るＩＴＶカメラの傾斜角度を求め、この傾斜角度から光
学系における座標とＸ−Ｙテーブルの移動座標との座標
変換係数を算出し、この座標変換係数に基づいて前記Ｘ
−Ｙテーブルの移動を修正することを特徴としている。
ける初期化方法は、Ｘ−Ｙテーブル上に設けられた初期
化マークをＩＴＶカメラで視覚的に認識してその光学系
における中心位置座標を検出し、次いで、Ｘ−Ｙテーブ
ルを既知量移動し、移動後の前記初期化マークの光学系
における中心位置座標を検出し、少なくとも前記二つの
中心位置座標と既知移動量とからＸ−Ｙテーブルに対す
るＩＴＶカメラの傾斜角度を求め、この傾斜角度から光
学系における座標とＸ−Ｙテーブルの移動座標との座標
変換係数を算出し、この座標変換係数に基づいて前記Ｘ
−Ｙテーブルの移動を修正することを特徴としている。
（ニ）実施例
以下、本発明の実施例を図面に基づいて具体的に説明す
る。第１図は本発明方法を適用するための二次元位置決
め装置の構成図である。同図において、ｌは二次元位置
決め装置、２はＸ方向、Ｙ方向の直行２方向に移動可能
なＸ−Ｙテーブルであって、このＸ−Ｙテーブル２上に
は所定位置に初期化マークＭが設けられている。４はＸ
−Ｙテーブルの初期化マークＭや該テーブルに配置され
る試料を映し出すＩＴＶカメラ、６はＩＴＶカメラから
の映像信号から初期化マークの中心位置座標を検出して
座標変換係数を算出し、この座標変換係数に基づく制御
信号を出力する位置検出制御部、８は位置検出制御部か
らの制御信号により前記ＸＹテーブルを駆動するテーブ
ル駆動部である。
る。第１図は本発明方法を適用するための二次元位置決
め装置の構成図である。同図において、ｌは二次元位置
決め装置、２はＸ方向、Ｙ方向の直行２方向に移動可能
なＸ−Ｙテーブルであって、このＸ−Ｙテーブル２上に
は所定位置に初期化マークＭが設けられている。４はＸ
−Ｙテーブルの初期化マークＭや該テーブルに配置され
る試料を映し出すＩＴＶカメラ、６はＩＴＶカメラから
の映像信号から初期化マークの中心位置座標を検出して
座標変換係数を算出し、この座標変換係数に基づく制御
信号を出力する位置検出制御部、８は位置検出制御部か
らの制御信号により前記ＸＹテーブルを駆動するテーブ
ル駆動部である。
次に、上記構成を備えた二次元位置決め装置を適用した
初期化方法について説明する。
初期化方法について説明する。
まず、Ｘ−Ｙテーブル２を手動操作するなどして、Ｘ−
Ｙテーブル２上の初期化マークＭをＩＴＶカメラ４の視
野内に移動させる。この時の初期化マークＭは、ＩＴＶ
カメラ４によって捕えられ、その映像信号が位置検出制
御部６に与えられる。
Ｙテーブル２上の初期化マークＭをＩＴＶカメラ４の視
野内に移動させる。この時の初期化マークＭは、ＩＴＶ
カメラ４によって捕えられ、その映像信号が位置検出制
御部６に与えられる。
そこで、この位置検出制御部によって、第２図に示すよ
うに、光学系における中心位置座標（Ｘ、、Ｙυを検出
する。
うに、光学系における中心位置座標（Ｘ、、Ｙυを検出
する。
次いで、図外のキーボードを操作するなどして、ＩＴＶ
カメラ４の視野内において、Ｘ−Ｙテーブル２を既知量
移動させる。この場合、キーボード操作に応答して位置
検出制御部６からテーブル駆動部８に対して、予め設定
された所定の駆動パルスが出力されることにより、既知
移動量が設定される。そして、位置検出制御部６で、第
３図に示すように、移動後の前記初期化マークＭの光学
系における中心位置座標（Ｘｔ、ｙｔ）を検出し、上記
二つの中心位置座標（Ｘ、ＳＹυ、（Ｘｔ、ｙｔ）と既
知移動量とからＸ−Ｙテーブル２に対するＩＴＶカメラ
４の傾斜角度θを求める。そして、この傾斜角度θから
光学系における座標とＸ−Ｙテーブルの移動座標との座
標変換係数を算出する。
カメラ４の視野内において、Ｘ−Ｙテーブル２を既知量
移動させる。この場合、キーボード操作に応答して位置
検出制御部６からテーブル駆動部８に対して、予め設定
された所定の駆動パルスが出力されることにより、既知
移動量が設定される。そして、位置検出制御部６で、第
３図に示すように、移動後の前記初期化マークＭの光学
系における中心位置座標（Ｘｔ、ｙｔ）を検出し、上記
二つの中心位置座標（Ｘ、ＳＹυ、（Ｘｔ、ｙｔ）と既
知移動量とからＸ−Ｙテーブル２に対するＩＴＶカメラ
４の傾斜角度θを求める。そして、この傾斜角度θから
光学系における座標とＸ−Ｙテーブルの移動座標との座
標変換係数を算出する。
このようにして二次元位置決め装置を初期化してしまえ
ば、以降は、ＩＴＶカメラ４で捕らえられた光学系の座
標に対して座標変換係数を掛は算すれば、その結果はＸ
−Ｙテーブル２の実際の移動座標となるので、ＩＴＶカ
メラ４で捕らえた光学的な座標に基づいてＸ−Ｙテーブ
ルの駆動を制御することが可能となる。
ば、以降は、ＩＴＶカメラ４で捕らえられた光学系の座
標に対して座標変換係数を掛は算すれば、その結果はＸ
−Ｙテーブル２の実際の移動座標となるので、ＩＴＶカ
メラ４で捕らえた光学的な座標に基づいてＸ−Ｙテーブ
ルの駆動を制御することが可能となる。
（へ）効果
以上のように本発明によれば、簡単な初期化操作によっ
てＩＴＶカメラとＸ−Ｙテーブルとの相対的な角度ズレ
を認識できるので、従来行なわれていたようなＩＴＶカ
メラのＸ−Ｙテーブルに対する位置設定操作を省略でき
る。すなわち、一旦座標変換係数を求めて初期化してし
まえば、それ以後はその必要はないので、ＩＴＶカメラ
の位置設定が殆ど手間がかからず、また仮に何等かの原
因で傾きが変化したとしても、再度、初期化することは
容易に行い得る他、テーブルが回転を必要とする場合に
おいても、高精度を伴って平行度を出すことが容易とな
る等の優れた利点を有する。
てＩＴＶカメラとＸ−Ｙテーブルとの相対的な角度ズレ
を認識できるので、従来行なわれていたようなＩＴＶカ
メラのＸ−Ｙテーブルに対する位置設定操作を省略でき
る。すなわち、一旦座標変換係数を求めて初期化してし
まえば、それ以後はその必要はないので、ＩＴＶカメラ
の位置設定が殆ど手間がかからず、また仮に何等かの原
因で傾きが変化したとしても、再度、初期化することは
容易に行い得る他、テーブルが回転を必要とする場合に
おいても、高精度を伴って平行度を出すことが容易とな
る等の優れた利点を有する。
第１図は本発明方法を実施するために適用される二次元
位置決め装置の構成図、第２図および第３図は本発明の
初期化方法の説明図である。 １・・・二次元位置決め装置、２・・・Ｘ−Ｙテーブル
、４・・・ＩＴＶカメラ、６・・・位置検出制御部、８
・・・テーブル駆動部。
位置決め装置の構成図、第２図および第３図は本発明の
初期化方法の説明図である。 １・・・二次元位置決め装置、２・・・Ｘ−Ｙテーブル
、４・・・ＩＴＶカメラ、６・・・位置検出制御部、８
・・・テーブル駆動部。
Claims (1)
- （１）Ｘ−Ｙテーブル上に設けられた初期化マークをＩ
ＴＶカメラで視覚的に認識してその光学系における中心
位置座標を検出し、次いで、Ｘ−Ｙテーブルを既知量移
動し、移動後の前記初期化マークの光学系における中心
位置座標を検出し、少なくとも前記二つの中心位置座標
と既知移動量とからＸ−Ｙテーブルに対するＩＴＶカメ
ラの傾斜角度を求め、この傾斜角度から光学系における
座標とＸ−Ｙテーブルの移動座標との座標変換係数を算
出し、この座標変換係数に基づいて前記Ｘ−Ｙテーブル
の移動を修正することを特徴とする二次元位置決め装置
の初期化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21848685A JPS6279952A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 二次元位置決め装置の初期化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21848685A JPS6279952A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 二次元位置決め装置の初期化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6279952A true JPS6279952A (ja) | 1987-04-13 |
Family
ID=16720677
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21848685A Pending JPS6279952A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 二次元位置決め装置の初期化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6279952A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01316155A (ja) * | 1988-06-13 | 1989-12-21 | Toshiba Corp | 半導体ペレット切削加工装置 |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP21848685A patent/JPS6279952A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01316155A (ja) * | 1988-06-13 | 1989-12-21 | Toshiba Corp | 半導体ペレット切削加工装置 |
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