JPS6272188A - レ−ザ管 - Google Patents
レ−ザ管Info
- Publication number
- JPS6272188A JPS6272188A JP60211052A JP21105285A JPS6272188A JP S6272188 A JPS6272188 A JP S6272188A JP 60211052 A JP60211052 A JP 60211052A JP 21105285 A JP21105285 A JP 21105285A JP S6272188 A JPS6272188 A JP S6272188A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nitride
- laser tube
- molybdenum
- tube
- metallized layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野１
本発明は、放電管として窒化物系レラミックス焼結体を
使用したシー１ア管に関する。
使用したシー１ア管に関する。
［発明の技術的前頭とその問題点］
アルゴンイオンレーザは、高電流密度のアルゴンガス放
電により比較的容易に連続発振可能なガスレートアであ
り、また主な発振線が１０本以上と他のガスレーザと比
較して多く、ほかにも実用的見地から多くの匝れた特質
を持つため、その製品化が進められている。
電により比較的容易に連続発振可能なガスレートアであ
り、また主な発振線が１０本以上と他のガスレーザと比
較して多く、ほかにも実用的見地から多くの匝れた特質
を持つため、その製品化が進められている。
アルゴンイオンレーザ装置において、レーザ管は重要な
機能を有しており、なかでも放電細管部は使用時に苛酷
な高温および放電下におかれるため、その構成材料には
、これらの過酷な動作条件に耐えられることか必要とさ
れる。従来このような放電細管部の構成材料としては、
酸化ヘリウム磁器が使用されてぎたが、酸化ヘリウムは
高価であるうえに、毒性があるという問題があった。
機能を有しており、なかでも放電細管部は使用時に苛酷
な高温および放電下におかれるため、その構成材料には
、これらの過酷な動作条件に耐えられることか必要とさ
れる。従来このような放電細管部の構成材料としては、
酸化ヘリウム磁器が使用されてぎたが、酸化ヘリウムは
高価であるうえに、毒性があるという問題があった。
酸化ヘリウムに代えて窒化アルミニウムや窒化ケイ素等
の窒化物系レラミックス焼結体を使用することも検討さ
れているが、窒化物系セラミックス焼結体は、金属で封
着する適当な方法がなく、シール性の高いレーナ管は得
ることができなかった。
の窒化物系レラミックス焼結体を使用することも検討さ
れているが、窒化物系セラミックス焼結体は、金属で封
着する適当な方法がなく、シール性の高いレーナ管は得
ることができなかった。
［発明の目的］
本発明はこのような問題を解消するためなされたもので
、新規な窒化物系レラミックス焼結体と金属との接合技
術を用いた酸化ヘリウムと同等の熱伝導性、耐熱衝撃性
を有し、かつシール性が高く、安価なレーリ゛管を提供
することを目的とする。
、新規な窒化物系レラミックス焼結体と金属との接合技
術を用いた酸化ヘリウムと同等の熱伝導性、耐熱衝撃性
を有し、かつシール性が高く、安価なレーリ゛管を提供
することを目的とする。
［発明の概要１
すなわら本発明のレーザ管は、シー１ア管の放電管部か
窒化物系レラミックス焼結体で形成され、その４１１１
管の両端の周面が銅からなるメタライズ層あるいはタン
グステンおよび／またはモリブデンとＩＶａ族遷移金屈
の窒化物とから主としてなるメタライズ層を介して金属
部材に接合されてシールされていることを特徴としてい
る。
窒化物系レラミックス焼結体で形成され、その４１１１
管の両端の周面が銅からなるメタライズ層あるいはタン
グステンおよび／またはモリブデンとＩＶａ族遷移金屈
の窒化物とから主としてなるメタライズ層を介して金属
部材に接合されてシールされていることを特徴としてい
る。
本発明に使用される窒化物系ｉラミックス焼結体として
は、窒化アルミニウム、窒化ケイ素等があげられるが、
特に窒化アルミニウムか好適している。
は、窒化アルミニウム、窒化ケイ素等があげられるが、
特に窒化アルミニウムか好適している。
本発明においては、放電細管の両端部をコバール合金等
の金属で１１着するため放電細管の両端の円周面をメタ
ライズするため、次に示す方法か採られる。
の金属で１１着するため放電細管の両端の円周面をメタ
ライズするため、次に示す方法か採られる。
（イ） 窒化物系はラミックス焼結体の表面を酸化処理
したのら、酸素を含有する、例えば、タフピッチ電解銅
等の箔を放電細管の両端の円周面に巻きつけ、この状態
で銅の融点（１０８３°Ｃ）以下、銅−酸化銅の共晶合
金の融点（１０６５°Ｃ）以上に加熱することにより放
電細管の両端部に銅からなるメタライズ層を形成する。
したのら、酸素を含有する、例えば、タフピッチ電解銅
等の箔を放電細管の両端の円周面に巻きつけ、この状態
で銅の融点（１０８３°Ｃ）以下、銅−酸化銅の共晶合
金の融点（１０６５°Ｃ）以上に加熱することにより放
電細管の両端部に銅からなるメタライズ層を形成する。
この方法において、加熱雰囲気は使用する銅か適量の酸
素（１００〜１０１０００ｐｐを含む場合は窒素等の不
活性ガス雰囲気とし、銅が酸素を含まない場合は酸素を
適量（２０〜ｉｏｏ。
素（１００〜１０１０００ｐｐを含む場合は窒素等の不
活性ガス雰囲気とし、銅が酸素を含まない場合は酸素を
適量（２０〜ｉｏｏ。
容ｆｆｌｐｐｍ）含む雰囲気とする。
（ロ） 窒化物系セラミックス焼結体からなる放電細管
の両端の円周面に、タングステン酸および／またはモリ
ブデン酸の金属塩とＩＶａ族遷移金属またはその化合物
とを含むメタライズ用組成物を塗布し、その後金属塩の
溶融温度に加熱して金属塩を溶融させ、次いで不活性雰
囲気中で１１００°Ｃ以上の温度に加熱して焼成するこ
とにより、タングステンおよび／またはモリブデンとＩ
Ｖａ族遷移金屈の窒化物とを主とするメタライズ層を形
成する。
の両端の円周面に、タングステン酸および／またはモリ
ブデン酸の金属塩とＩＶａ族遷移金属またはその化合物
とを含むメタライズ用組成物を塗布し、その後金属塩の
溶融温度に加熱して金属塩を溶融させ、次いで不活性雰
囲気中で１１００°Ｃ以上の温度に加熱して焼成するこ
とにより、タングステンおよび／またはモリブデンとＩ
Ｖａ族遷移金屈の窒化物とを主とするメタライズ層を形
成する。
本発明のレーザ管は、このようにして形成された放電細
管の両端のメタライズ層にニッケルめっきが施され、ろ
う材によりコバール合金等に接合して、シールすること
により寄られる。
管の両端のメタライズ層にニッケルめっきが施され、ろ
う材によりコバール合金等に接合して、シールすること
により寄られる。
［発明の実施例１
次に本発明の実施例について説明する。
実施例１
窒化アルミニウム粉末に焼結助剤として酸化イツトリウ
ムを添加混合し、さらにバインダを適迅加えて図面に示
す両端に円錐状部１ａを有する細孔１ｂをもつ円筒形状
に成形し、次いで不活性雰囲気中て約１８００°Ｃで汀
）間加熱焼成して窒化アルミニウム製の放電細管１を製
）盾した。
ムを添加混合し、さらにバインダを適迅加えて図面に示
す両端に円錐状部１ａを有する細孔１ｂをもつ円筒形状
に成形し、次いで不活性雰囲気中て約１８００°Ｃで汀
）間加熱焼成して窒化アルミニウム製の放電細管１を製
）盾した。
この細管の両端の円周面に、モリブデン酸リチウムと酸
化チタンとの混合粉末に適量のバインクーと溶剤を加え
て作製したメタライズ用ペーストを塗イロし、次いで乾
燥したのち、空気中で約７５０°Ｃ１て５分間加熱して
モリブデン酸リチウムを溶融ざぜた。その後、窒素：水
素÷１：１の混合カス中で１３００’Ｃ１６０分間加熱
焼成してモリブデンと窒化チタンとから主としてなるメ
タライズ層２を形成さけた。このようにして形成された
放電細管のメタライズ層にそれぞれニッケルめっきを施
し、銀ろうを用いてコバール合金製のアノード部、カソ
ード部を接合した。
化チタンとの混合粉末に適量のバインクーと溶剤を加え
て作製したメタライズ用ペーストを塗イロし、次いで乾
燥したのち、空気中で約７５０°Ｃ１て５分間加熱して
モリブデン酸リチウムを溶融ざぜた。その後、窒素：水
素÷１：１の混合カス中で１３００’Ｃ１６０分間加熱
焼成してモリブデンと窒化チタンとから主としてなるメ
タライズ層２を形成さけた。このようにして形成された
放電細管のメタライズ層にそれぞれニッケルめっきを施
し、銀ろうを用いてコバール合金製のアノード部、カソ
ード部を接合した。
この放電細管を使用してアルゴンイオンレーザを発振さ
せたところ３００Ｗの入力に対しても放電細管に異常は
みられず、安定したレーザ出力が１１られだ。またヘリ
ウムリークテストの結果はリーク速度１０ ’ ｃｃ
ａｔｍ／ｓｅｃ以下で長時間変化なく、シール性は良好
であった。また酸化ベリラム製の放電細管を使用したも
のに比べて特性は遜色ないかコストが１／３〜１１５と
安価てあった。
せたところ３００Ｗの入力に対しても放電細管に異常は
みられず、安定したレーザ出力が１１られだ。またヘリ
ウムリークテストの結果はリーク速度１０ ’ ｃｃ
ａｔｍ／ｓｅｃ以下で長時間変化なく、シール性は良好
であった。また酸化ベリラム製の放電細管を使用したも
のに比べて特性は遜色ないかコストが１／３〜１１５と
安価てあった。
実施例２
実施例１で使用したのと同様の窒化アルミニウム製放電
細管に空気中で約１３００℃、で１０時間の加熱処理を
施し表面を酸化した。次いて両端の円周面にタフピッチ
電解銅からなる箔を巻きつけ、窒素雰囲気中で１０７５
°Ｃ１３０分間加熱して銅からなるメタライズ層を形成
させた。このようにして形成した放電細管のメタライズ
層に実施例１と同様にコバール合金製のアノード部、カ
ソード部を接合した。
細管に空気中で約１３００℃、で１０時間の加熱処理を
施し表面を酸化した。次いて両端の円周面にタフピッチ
電解銅からなる箔を巻きつけ、窒素雰囲気中で１０７５
°Ｃ１３０分間加熱して銅からなるメタライズ層を形成
させた。このようにして形成した放電細管のメタライズ
層に実施例１と同様にコバール合金製のアノード部、カ
ソード部を接合した。
このようにして製造した欣ｆｆ１Ｋｌｌｌ管を使用して
アルゴンイオンレーザをブを振さけたところ３００〜■
の入力に対しても細管に異常はみられず、またシール製
−す良好であった。
アルゴンイオンレーザをブを振さけたところ３００〜■
の入力に対しても細管に異常はみられず、またシール製
−す良好であった。
［発明の効果１
以上説明したように本発明のレー奢ア管は放電細管に窒
化物系レラミックス焼結体を使用しているので電気絶縁
性、熱伝力性、耐衝撃・１）１に漫れ、安価で、１行性
の点ても問題がなく、また放電細管部か全屈と強固に接
合しているのでリークｌ覆、シール性か高い。
化物系レラミックス焼結体を使用しているので電気絶縁
性、熱伝力性、耐衝撃・１）１に漫れ、安価で、１行性
の点ても問題がなく、また放電細管部か全屈と強固に接
合しているのでリークｌ覆、シール性か高い。
図面は本発明に使用する放電ｔＵｔ管の断面図である。
１・・・・・・・・・放電■１管
２・・・・・・・・・メタライズ層
代理人弁理士 則 近 憲 佑
同 湯山幸夫
Claims (6)
- （１）レーザ管の放電管部が窒化物系セラミックス焼結
体で形成され、その管の両端の周面が銅からなるメタラ
イズ層あるいはタングステンおよび／またはモリブデン
とIVａ族遷移金属の窒化物とから主としてなるメタライ
ズ層を介して金属部材に接合されていることを特徴とす
るレーザ管。 - （２）窒化物系セラミックス焼結体が窒化アルミニウム
焼結体を主体とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ
管。 - （３）銅からなるメタライズ層が、表面に酸化処理を施
した窒化物系セラミックス焼結体に銅材を接触配置させ
この状態で加熱焼成して形成される特許請求の範囲第１
項または第２項記載のレーザ管。 - （４）銅材が酸素を含有する銅材であり、加熱焼成が不
活性雰囲気中で行なわれている特許請求の範囲第３項記
載のレーザ管。 - （５）タングステンおよび／またはモリブデンとIVａ族
遷移金属の窒化物とから主としてなるメタライズ層がモ
リブデンと窒化チタンから主としてなるメタライズ層で
ある特許請求の範囲第１項または第２項記載のレーザ層
。 - （６）モリブデンと窒化チタンとから主としてなるメタ
ライズ層が、モリブデン酸リチウムと二酸化チタンとを
主体とするメタライズ用組成物の焼成により形成されて
いる特許請求の範囲第５項記載のレーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60211052A JPS6272188A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | レ−ザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60211052A JPS6272188A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | レ−ザ管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6272188A true JPS6272188A (ja) | 1987-04-02 |
| JPH0319716B2 JPH0319716B2 (ja) | 1991-03-15 |
Family
ID=16599587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60211052A Granted JPS6272188A (ja) | 1985-09-26 | 1985-09-26 | レ−ザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6272188A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63258086A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガスレ−ザ−管用プラズマ細管 |
| CN100360474C (zh) * | 2005-12-15 | 2008-01-09 | 郭奉炎 | 一次烧结法陶瓷金属化处理工艺 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5563894A (en) * | 1978-11-06 | 1980-05-14 | Nec Corp | Gas laser tube and manufacturing method thereof |
| JPS60219783A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-02 | Nec Corp | ガスレ−ザ管 |
-
1985
- 1985-09-26 JP JP60211052A patent/JPS6272188A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5563894A (en) * | 1978-11-06 | 1980-05-14 | Nec Corp | Gas laser tube and manufacturing method thereof |
| JPS60219783A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-02 | Nec Corp | ガスレ−ザ管 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63258086A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガスレ−ザ−管用プラズマ細管 |
| CN100360474C (zh) * | 2005-12-15 | 2008-01-09 | 郭奉炎 | 一次烧结法陶瓷金属化处理工艺 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0319716B2 (ja) | 1991-03-15 |
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