JPS6270824A - 投影検査装置 - Google Patents
投影検査装置Info
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- JPS6270824A JPS6270824A JP60210648A JP21064885A JPS6270824A JP S6270824 A JPS6270824 A JP S6270824A JP 60210648 A JP60210648 A JP 60210648A JP 21064885 A JP21064885 A JP 21064885A JP S6270824 A JPS6270824 A JP S6270824A
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- Japan
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- projection
- screen
- image
- detection element
- splitting prism
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の技術分野)
本発明は、投影レンズからの結像光束を反射部材を介し
てスクリーン上に投影する投影検査装置の改良に関する
。
てスクリーン上に投影する投影検査装置の改良に関する
。
(発明の背景)
従来、複雑な2次元物体の形状を計測する最も一般的な
方法は工場顕微鏡ないし投影検査器で載物台を使用して
各点の座標を測定し、演算をすることによって形状を求
める。この方法はエンコーダー等の使用によってデジタ
ル測定ができ、その出力をコンピューター等で処理する
ことによって複雑な形状の情報をただちに得ることが可
能になった。このような測定では、投影器も物体の測定
点を指し示す機能しか持たないが、投影器の広い視野は
測定点の全体中での位置を把握するうえで大変便利なも
のである。さらに工場顕微鏡より楽な観察姿勿であるた
め長時間の測定にも疲れないという利点も持っている。
方法は工場顕微鏡ないし投影検査器で載物台を使用して
各点の座標を測定し、演算をすることによって形状を求
める。この方法はエンコーダー等の使用によってデジタ
ル測定ができ、その出力をコンピューター等で処理する
ことによって複雑な形状の情報をただちに得ることが可
能になった。このような測定では、投影器も物体の測定
点を指し示す機能しか持たないが、投影器の広い視野は
測定点の全体中での位置を把握するうえで大変便利なも
のである。さらに工場顕微鏡より楽な観察姿勿であるた
め長時間の測定にも疲れないという利点も持っている。
そのような投影器の長所をより生かすものとしてスクリ
ーンにレトロフィツトで取り付ける位置検出装置がある
。これはスクリーン十字線と測定点を合致させるを生じ
る個人誤差をなくして精度を上げ、さらに測定点の検出
時間を短縮し、能率を向上させようとしたもので特開昭
59−162404のようなものが従来より知られてい
る。
ーンにレトロフィツトで取り付ける位置検出装置がある
。これはスクリーン十字線と測定点を合致させるを生じ
る個人誤差をなくして精度を上げ、さらに測定点の検出
時間を短縮し、能率を向上させようとしたもので特開昭
59−162404のようなものが従来より知られてい
る。
しかしながら、上記従来例では、スクリーンの表面に後
付けされる前記位置検出装置は直径が10mm程度もあ
るため、該位置検出装置が取付けられた領域がスクリー
ン上で覆われてしまい、測定点が若干不明確になり、測
定がしずらく、複雑な形状の測定では測定点がずれるこ
とによって誤差が生じ易かった。また、代表点の測定だ
けでは測定として不十分な複雑な形状の測定として、今
なお重要な測定法であるチャートを使用しての比較測定
を行なう場合には、該位置検出装置をスクリーンの表面
から取り外す必要があり、該位置検出装置を必要に応じ
て取り付けたり、取り外したりすることは大変煩わしい
という問題点があった。
付けされる前記位置検出装置は直径が10mm程度もあ
るため、該位置検出装置が取付けられた領域がスクリー
ン上で覆われてしまい、測定点が若干不明確になり、測
定がしずらく、複雑な形状の測定では測定点がずれるこ
とによって誤差が生じ易かった。また、代表点の測定だ
けでは測定として不十分な複雑な形状の測定として、今
なお重要な測定法であるチャートを使用しての比較測定
を行なう場合には、該位置検出装置をスクリーンの表面
から取り外す必要があり、該位置検出装置を必要に応じ
て取り付けたり、取り外したりすることは大変煩わしい
という問題点があった。
このような問題点の改善を指向した従来の投影検査装置
として、例えば第5図に示すようなものがある。
として、例えば第5図に示すようなものがある。
第5図に示す従来の位置検出装置内蔵型投影検査装置は
、投影レンズ1からの結像光束をスクリーン2に反射す
る反射部材3と該投影レンズ1との間に、該投影レンズ
1からの結像光束を反射部材3に反射する別の反射部材
4を配置し、該反射部材4の一部を半透過面にすること
により、該投影レンズ1からの結像光束を2分し、該反
射部材4の透過光路上に位置検出装置5を配置したもの
である。
、投影レンズ1からの結像光束をスクリーン2に反射す
る反射部材3と該投影レンズ1との間に、該投影レンズ
1からの結像光束を反射部材3に反射する別の反射部材
4を配置し、該反射部材4の一部を半透過面にすること
により、該投影レンズ1からの結像光束を2分し、該反
射部材4の透過光路上に位置検出装置5を配置したもの
である。
しかしながら、第5図に示す従来例では、前記反射部材
4を半透過面にした場合には、該反射部材4を投影レン
ズ1の光軸に斜めに配置しているので、該反射部材4を
透過して前記位置検出装置5に入射する光束には収差が
生じており、この収差によって該位置検出装置5による
位置検出精度が悪影響を受けてしまうという問題点があ
った。
4を半透過面にした場合には、該反射部材4を投影レン
ズ1の光軸に斜めに配置しているので、該反射部材4を
透過して前記位置検出装置5に入射する光束には収差が
生じており、この収差によって該位置検出装置5による
位置検出精度が悪影響を受けてしまうという問題点があ
った。
さらに、上記特開昭59−162404号公報に開示さ
れた従来の問題点を解決した投影検査装置の他の従来例
としては、第6図に示すようなものがある。
れた従来の問題点を解決した投影検査装置の他の従来例
としては、第6図に示すようなものがある。
第6図に示す従来の投影検査装置は、投影レンズ1から
の結像光束をハーフミラ−6で2分割し、該ハーフミラ
−6の反射光をスクリーン2に、ハーフミラ−6の透過
光を位置検出装置5にそれぞれ導くように構成したもの
である。
の結像光束をハーフミラ−6で2分割し、該ハーフミラ
−6の反射光をスクリーン2に、ハーフミラ−6の透過
光を位置検出装置5にそれぞれ導くように構成したもの
である。
しかしながら、第6図に示す従来例では、位置検出装置
5側にもかなりの光量を送る必要があるため、スクリー
ンz側に送られる光量が減り、該スクリーン2上の明る
さが低下してしまい、これによって比較的明るい雰囲気
では使用することができなくなってしまい、また投影レ
ンズ1とスクリーン2どの間の結像光束は非常に太いた
め、前記ハーフミラ−6としては大きなものが必要であ
り、このような大きなハーフミラ−6を精度良く作るこ
とが難しく、2重像等が生じるのを避けるにI5士該ハ
ーフミラ−6を厚くすることができず、したがって該ハ
ーフミラ−6を保持することが難しいという問題点があ
った。
5側にもかなりの光量を送る必要があるため、スクリー
ンz側に送られる光量が減り、該スクリーン2上の明る
さが低下してしまい、これによって比較的明るい雰囲気
では使用することができなくなってしまい、また投影レ
ンズ1とスクリーン2どの間の結像光束は非常に太いた
め、前記ハーフミラ−6としては大きなものが必要であ
り、このような大きなハーフミラ−6を精度良く作るこ
とが難しく、2重像等が生じるのを避けるにI5士該ハ
ーフミラ−6を厚くすることができず、したがって該ハ
ーフミラ−6を保持することが難しいという問題点があ
った。
(発明の目的)
本発明は、このような従来の問題点に着目して成された
もので、スクリーン上での明るさをほとんど低下させる
ことなく、検出素子上での明るさを十分確保でき、これ
によって比較的明るい雰囲気での使用が可能であり、か
つ測定が迅速に行なえ、操作性の良い投影検査装置を提
供することを目的としている。
もので、スクリーン上での明るさをほとんど低下させる
ことなく、検出素子上での明るさを十分確保でき、これ
によって比較的明るい雰囲気での使用が可能であり、か
つ測定が迅速に行なえ、操作性の良い投影検査装置を提
供することを目的としている。
(発明の概要)
かかる目的を達成するための本発明の要旨は、投影レン
ズからの結像光束を反射部材を介してスクリーン上に投
影する投影検査装置において、該投影レンズとスクリー
ンとの間に、接合面上に半透過面が形成された光束分割
プリズムを配置し、該光束分割プリズムの透過光路上に
前記反射部材およびスクリーンを配置し、該光束分割プ
リズムの反射光路上に、検出素子と、該光束分割プリズ
ムで反射された光束を前記スクリーンへの投影倍率より
小さい倍率で前記検出素子上に結像する収斂性レンズと
を設けたことを特徴とする投影検査装置に存する。
ズからの結像光束を反射部材を介してスクリーン上に投
影する投影検査装置において、該投影レンズとスクリー
ンとの間に、接合面上に半透過面が形成された光束分割
プリズムを配置し、該光束分割プリズムの透過光路上に
前記反射部材およびスクリーンを配置し、該光束分割プ
リズムの反射光路上に、検出素子と、該光束分割プリズ
ムで反射された光束を前記スクリーンへの投影倍率より
小さい倍率で前記検出素子上に結像する収斂性レンズと
を設けたことを特徴とする投影検査装置に存する。
そして、上記投影検査装置では、前記反射光路上に配置
された収斂性レンズは前記光束分割ブリズムで反射され
た光束を前記スクリーンへの投影倍率より小さい倍率で
前記検出素子上に結像しているため、縮小像の照度は高
められるので、該検出素子への光量の分割を少なくして
も、検出素子を作動させるに十分な照度が得られる。し
たがって、スクリーンへの光量を十分確保できる。
された収斂性レンズは前記光束分割ブリズムで反射され
た光束を前記スクリーンへの投影倍率より小さい倍率で
前記検出素子上に結像しているため、縮小像の照度は高
められるので、該検出素子への光量の分割を少なくして
も、検出素子を作動させるに十分な照度が得られる。し
たがって、スクリーンへの光量を十分確保できる。
(実施例)
以下、図面に基づいて本発明の各実施例を説明する。
第1図および第2図は本発明の第1実施例を示している
。
。
第1図に示す投影検査装置10は、投影レンズ系20か
らの結像光束をダハプリズム30、光束分割プリズム4
0およびミラー50を介してスクリーン60上に投影す
るように構成されている。
らの結像光束をダハプリズム30、光束分割プリズム4
0およびミラー50を介してスクリーン60上に投影す
るように構成されている。
投影検査装置10の本体11のベース部12内には、ス
テージ13上に載置された被測定物Sを透過照明するた
めの透過照明系14が内蔵されている。
テージ13上に載置された被測定物Sを透過照明するた
めの透過照明系14が内蔵されている。
本体11の中央部外側には、前記投影レンズ系20を介
して被測定物Sを落射照明するための落射照明系15が
取り付けられている。
して被測定物Sを落射照明するための落射照明系15が
取り付けられている。
該投影レンズ系20はレンズマウント16を介して本体
11に取り付けられている。
11に取り付けられている。
前記光束分割プリズム40はダハプリズム30とミラー
50との間でダハプリズム30にごく接近して配置され
ている。
50との間でダハプリズム30にごく接近して配置され
ている。
該光束分割プリズム40の透過光路A上にはミラー50
およびスクリーン60が配置され、該光束分割プリズム
40の反射光路B上には、縁端検出素子70と、光束分
割プリズム40で反射された光束をスクリーン60への
投影倍率より小さい倍率で縁端検出素子70上に結像す
る収斂性レンズ80とが配置されている。縁端検出素子
70は投影検査装置本体11の上部に設けられており、
透過光路Aのミラー50とスクリーン60との間で、反
射光路Bが交差している。
およびスクリーン60が配置され、該光束分割プリズム
40の反射光路B上には、縁端検出素子70と、光束分
割プリズム40で反射された光束をスクリーン60への
投影倍率より小さい倍率で縁端検出素子70上に結像す
る収斂性レンズ80とが配置されている。縁端検出素子
70は投影検査装置本体11の上部に設けられており、
透過光路Aのミラー50とスクリーン60との間で、反
射光路Bが交差している。
第1図および第2図に示すように、光束分割プリズム4
0は、2つのくさび形プリズム41.42が接合されて
形成されでいる。
0は、2つのくさび形プリズム41.42が接合されて
形成されでいる。
該2つのくさび形プリズム41.42の接合面43は、
半透過面と成っており、該接合面43で反射された結像
光束はくさび形プリズム41の入射面41aで全反射さ
れるように該くさび形プリズム41が形成されている。
半透過面と成っており、該接合面43で反射された結像
光束はくさび形プリズム41の入射面41aで全反射さ
れるように該くさび形プリズム41が形成されている。
さらに、該くさび形プリズム41には、入射面41aで
全反射された反射光の光軸に垂直に射出面41bが形成
されている。
全反射された反射光の光軸に垂直に射出面41bが形成
されている。
該射出面41bに近接した位置には、該射出面41bか
ら射出された光束を縁端検出素子70上に結像する前記
収斂性レンズ80が配置されている。
ら射出された光束を縁端検出素子70上に結像する前記
収斂性レンズ80が配置されている。
上述した如く、該収斂性レンズ80が、光束分割プリズ
ム40で反射されて射出面41bから射出された光束を
スクリーン60への投影倍率より小さい倍率で縁端検出
素子70上に結像するようにしたのは、縁端検出素子7
0上の明るさは収斂性レンズ80の倍率の2乗に反比例
するため、光束分割プリズム40により分割される縁端
検出素子70側への光量を少なくしても、該縁端検出素
子70を作動させるのに十分な明るさが得られるようし
、これによってスクリーン60側へ送られる光量の損失
を最少限にするためである。
ム40で反射されて射出面41bから射出された光束を
スクリーン60への投影倍率より小さい倍率で縁端検出
素子70上に結像するようにしたのは、縁端検出素子7
0上の明るさは収斂性レンズ80の倍率の2乗に反比例
するため、光束分割プリズム40により分割される縁端
検出素子70側への光量を少なくしても、該縁端検出素
子70を作動させるのに十分な明るさが得られるようし
、これによってスクリーン60側へ送られる光量の損失
を最少限にするためである。
本実施例の投影検査装置10としてスクリーン60の有
口径が300+am、投影系の全長が1200mm程度
の投影検査装置を考えた場合には、該収斂性レンズ80
の倍率βは+0.4倍位が望ましい。該収斂性レンズ8
0の倍率βは+0.4倍位に設定した場合には、光束分
割プリズム40の接合面43の透過率を80%〜90%
程度にしても、スクリーン60上の明るさをほとんど低
下させることなく、かつ縁端検出素子70を十分作動さ
せることができる。
口径が300+am、投影系の全長が1200mm程度
の投影検査装置を考えた場合には、該収斂性レンズ80
の倍率βは+0.4倍位が望ましい。該収斂性レンズ8
0の倍率βは+0.4倍位に設定した場合には、光束分
割プリズム40の接合面43の透過率を80%〜90%
程度にしても、スクリーン60上の明るさをほとんど低
下させることなく、かつ縁端検出素子70を十分作動さ
せることができる。
以下、作用を説明する。
透過照明系14あるいは落射照明系15で照明された被
測定物Sは投影レンズ系20によってスクリーン60上
に結像される。該投影レンズ系20からの結像光束はダ
ハプリズム30によって左右が反転され、光束分割プリ
ズム40を介してミラー50に向けて射出される。前記
入射面41aから光束分割プリズム40内に入射した結
像光束の一部は接合面43を反射し、大部分の光束は接
合面43を透過する。
測定物Sは投影レンズ系20によってスクリーン60上
に結像される。該投影レンズ系20からの結像光束はダ
ハプリズム30によって左右が反転され、光束分割プリ
ズム40を介してミラー50に向けて射出される。前記
入射面41aから光束分割プリズム40内に入射した結
像光束の一部は接合面43を反射し、大部分の光束は接
合面43を透過する。
該接合面43を透過した結像光束は、くさび形プリズム
42からミラー50に向けて射出され、該ミラー50で
反射された結像光束はスクリーン60に正立像で投影さ
れ、該スクリーン60上に被測定物Sの拡大投影像が形
成される。ここで、上述したように、接合面43の透過
率が80%〜90%程度に設定されているので、該スク
リーン60側へ送られる光量の損失は最少限に抑えられ
ており、スクリーン60上の明るさはほとんど低下して
いない。
42からミラー50に向けて射出され、該ミラー50で
反射された結像光束はスクリーン60に正立像で投影さ
れ、該スクリーン60上に被測定物Sの拡大投影像が形
成される。ここで、上述したように、接合面43の透過
率が80%〜90%程度に設定されているので、該スク
リーン60側へ送られる光量の損失は最少限に抑えられ
ており、スクリーン60上の明るさはほとんど低下して
いない。
一方、接合面43で反射された結像光束は、くさび形プ
リズム41の入射面41aで全反射され、射出面41b
から収斂性レンズ80に向けて射出される。該収斂性レ
ンズ80は、射出面41bからの結像光束を+0.4倍
位の小さい倍率で縮小して縁端検出素子70上に結像す
る。ここで、前記接合面43の透過率が80%〜90%
程度に設定されているため、光束分割プリズム40によ
り分割される縁端検出素子70側への光量は少ないが、
該縁端検出素子70上の明るさは収斂性レンズ80の倍
率の2乗に反比例するので、該縁端検出素子70には、
該縁端検出素子70が作動するのに十分な明るさの像が
形成される。即ち、縮小率β=0.4により、1/β2
=1/(0,4)2 =6.25倍の明るさとなる。
リズム41の入射面41aで全反射され、射出面41b
から収斂性レンズ80に向けて射出される。該収斂性レ
ンズ80は、射出面41bからの結像光束を+0.4倍
位の小さい倍率で縮小して縁端検出素子70上に結像す
る。ここで、前記接合面43の透過率が80%〜90%
程度に設定されているため、光束分割プリズム40によ
り分割される縁端検出素子70側への光量は少ないが、
該縁端検出素子70上の明るさは収斂性レンズ80の倍
率の2乗に反比例するので、該縁端検出素子70には、
該縁端検出素子70が作動するのに十分な明るさの像が
形成される。即ち、縮小率β=0.4により、1/β2
=1/(0,4)2 =6.25倍の明るさとなる。
なお、上記実施例では縁端検出素子70を、スクリーン
60への光束から外して本体11の上部に配置し、これ
によって空間の有効利用を図ったが、該縁端検出素子7
0を、スクリーン60を正面から見た場合に本体11の
左側部あるいは右側部に配置し、収斂性レンズ80から
の光束を反射部材で折り曲げて縁端検出素子70に導く
ように構成してもよい。
60への光束から外して本体11の上部に配置し、これ
によって空間の有効利用を図ったが、該縁端検出素子7
0を、スクリーン60を正面から見た場合に本体11の
左側部あるいは右側部に配置し、収斂性レンズ80から
の光束を反射部材で折り曲げて縁端検出素子70に導く
ように構成してもよい。
また、前記光束分割プリズム40の取り付は位置につい
ては、前記レンズマウント16がターレット式のもので
ある場合には、空間的余裕がないため、該光束分割プリ
ズム40をダハプリズム30とミラー50との間に配置
するのがもつとも望ましいが、該レンズマウント16が
ターレット式のものでない場合には、空間的余裕ができ
るため、該光束分割プリズム40を上記以外の場所に配
置することもできる。
ては、前記レンズマウント16がターレット式のもので
ある場合には、空間的余裕がないため、該光束分割プリ
ズム40をダハプリズム30とミラー50との間に配置
するのがもつとも望ましいが、該レンズマウント16が
ターレット式のものでない場合には、空間的余裕ができ
るため、該光束分割プリズム40を上記以外の場所に配
置することもできる。
次に、本発明の第2実施例を説明する。
第3図および第4図は本発明の第2実施例を示している
。第3図は光束分割プリズム40の入射面を含む面内で
の構成図であり、第4図は第3図中の矢印■の方向から
見た構成図である。
。第3図は光束分割プリズム40の入射面を含む面内で
の構成図であり、第4図は第3図中の矢印■の方向から
見た構成図である。
この第2実施例は、前記光束分割プリズム40で反射さ
れた結像光束を前記縁端検出素子70に導くと共に合焦
位置検出系にも導くように構成したものであり、その他
の構成は上記第1実施例のものと同様である。
れた結像光束を前記縁端検出素子70に導くと共に合焦
位置検出系にも導くように構成したものであり、その他
の構成は上記第1実施例のものと同様である。
第3図および第4図に示すように、前記くさび形プリズ
ム41の射出面41bには、該射出面41bから射出さ
れる結像光束を2分するビームスプリッタ90が固着さ
れている。該ビームスプリッタ90の透過光路側の射出
面には、前記収斂性レンズ80が固着されており、該ビ
ームスプリッタ90の反射光路側の射出面には、該ビー
ムスプリッタ90で反射された結像光束を縮小して合焦
位置検出系100の合焦位置検出素子101上に結像す
る収斂性レンズ110が固着されている。
ム41の射出面41bには、該射出面41bから射出さ
れる結像光束を2分するビームスプリッタ90が固着さ
れている。該ビームスプリッタ90の透過光路側の射出
面には、前記収斂性レンズ80が固着されており、該ビ
ームスプリッタ90の反射光路側の射出面には、該ビー
ムスプリッタ90で反射された結像光束を縮小して合焦
位置検出系100の合焦位置検出素子101上に結像す
る収斂性レンズ110が固着されている。
該収斂性レンズ110の倍率β′は、前記収斂性レンズ
80の倍率(β=+0.4)よりさらに小さく、β’=
+0.2倍程度である。したがって、ビームスプリッタ
9oの透過光と反射光との分割比を8:2程度としても
、合焦位置検出素子101上の明るさは、縁端検出素子
70上の明るさとほぼ同じになる。
80の倍率(β=+0.4)よりさらに小さく、β’=
+0.2倍程度である。したがって、ビームスプリッタ
9oの透過光と反射光との分割比を8:2程度としても
、合焦位置検出素子101上の明るさは、縁端検出素子
70上の明るさとほぼ同じになる。
従って、このような構成とすれば第2実施例でも、光束
分割プリズム40の接合面43の透過率を、上記第1実
施例の場合と同様に80%〜90%程度にすることがで
き位置検出素子と合焦検出素子を配置してもスクリーン
上の明るさをほとんど低下させることがない。
分割プリズム40の接合面43の透過率を、上記第1実
施例の場合と同様に80%〜90%程度にすることがで
き位置検出素子と合焦検出素子を配置してもスクリーン
上の明るさをほとんど低下させることがない。
前記合焦位置検出系100は、公知の方法にょリ、ビー
ムスプリッタ90で分割された結像光束をプリズム10
2でさらに2分割すると共に光路差を生じさせ、合焦位
置検出素子101上におし)て前ピン位置および後ビン
位置で高周波成分を抽出して合焦位置を検出するように
構成されたものである。
ムスプリッタ90で分割された結像光束をプリズム10
2でさらに2分割すると共に光路差を生じさせ、合焦位
置検出素子101上におし)て前ピン位置および後ビン
位置で高周波成分を抽出して合焦位置を検出するように
構成されたものである。
上記構成を有する第2実施例の投影検査装置では、光束
分割プリズム40の接合面43で反射された結像光束は
、前記くさび形プリズム41の入射面41aで全反射さ
れて射出面41bから射出された後、ビームスプリッタ
90によって透過光と反射光とに2分される。
分割プリズム40の接合面43で反射された結像光束は
、前記くさび形プリズム41の入射面41aで全反射さ
れて射出面41bから射出された後、ビームスプリッタ
90によって透過光と反射光とに2分される。
該ビームスプリッタ90を透過した結像光束は収斂性レ
ンズ80によって縮小されて縁端検出素子70上に結像
される。一方、ビームスプリッタ90で反射された結像
光束は、収斂性レンズ110によって縮小され、プリズ
ム102を介して合焦位置検出素子101上に結像され
る。
ンズ80によって縮小されて縁端検出素子70上に結像
される。一方、ビームスプリッタ90で反射された結像
光束は、収斂性レンズ110によって縮小され、プリズ
ム102を介して合焦位置検出素子101上に結像され
る。
また、この第2実施例においても、前記接合面43の透
過率が80%〜90%程度に設定されているため、スク
リーン60側へ送られる光量の損失は最少限に抑えられ
ており、スクリーン60上の明るさはほとんど低下して
いない。
過率が80%〜90%程度に設定されているため、スク
リーン60側へ送られる光量の損失は最少限に抑えられ
ており、スクリーン60上の明るさはほとんど低下して
いない。
一方、収斂性レンズ80、収斂性レンズ110はビーム
スプリッタ90で分割された結像光束をそれぞれスクリ
ーン60に形成される像よりも小さい倍率で縮小して縁
端検出素子701合焦位置検出素子101上に結像して
いるので、縁端検出素子70、合焦位置検出素子101
上には該縁端検出素子70、合焦位置検出素子101が
作動するのに十分な光量がそれぞれ入っている。
スプリッタ90で分割された結像光束をそれぞれスクリ
ーン60に形成される像よりも小さい倍率で縮小して縁
端検出素子701合焦位置検出素子101上に結像して
いるので、縁端検出素子70、合焦位置検出素子101
上には該縁端検出素子70、合焦位置検出素子101が
作動するのに十分な光量がそれぞれ入っている。
なお、光束分割プリズム40の接合面43上に形成され
る半透過面は、この接合面の全面にわたって均一に形成
されてもよいし、光路の一部のみの光を反射すべく部分
的な半透過面としてもよい0部分的な半透過面とする場
合にも、この面での透過率が80〜90%に保たれるた
め、スクリーン上でのカゲリはほとんどない、また上記
第2実施例において、前記収斂性レンズ80および収斂
性レンズ110は空間的余裕があればビームスプリンタ
90に接合する必要がない。
る半透過面は、この接合面の全面にわたって均一に形成
されてもよいし、光路の一部のみの光を反射すべく部分
的な半透過面としてもよい0部分的な半透過面とする場
合にも、この面での透過率が80〜90%に保たれるた
め、スクリーン上でのカゲリはほとんどない、また上記
第2実施例において、前記収斂性レンズ80および収斂
性レンズ110は空間的余裕があればビームスプリンタ
90に接合する必要がない。
さらに、本発明は上記各実施例に限定されるものではな
く、縁端検出素子70を設けずに、合焦位置検出系10
0のみを前記光束分割プリズム40の反射光路上に配置
するように構成してもよいことは言うまでもない。
く、縁端検出素子70を設けずに、合焦位置検出系10
0のみを前記光束分割プリズム40の反射光路上に配置
するように構成してもよいことは言うまでもない。
(発明の効果)
本発明に係る投影検査装置によれば、光束分割プリズム
で反射された結像光束を収斂性レンズによってスクリー
ンへの投影倍率より小さい倍率で検出素子上に結像させ
ているので、スクリーン上での明るさをほとんど低下さ
せることなく、検出素子上での明るさを十分確保でき、
これによって比較的明るい雰囲気での使用が可能であり
、かつ測定がし易く、測定を迅速に行なうことができ、
操作性が良い。
で反射された結像光束を収斂性レンズによってスクリー
ンへの投影倍率より小さい倍率で検出素子上に結像させ
ているので、スクリーン上での明るさをほとんど低下さ
せることなく、検出素子上での明るさを十分確保でき、
これによって比較的明るい雰囲気での使用が可能であり
、かつ測定がし易く、測定を迅速に行なうことができ、
操作性が良い。
第1図および第2図は本発明の第1実施例を示しており
、第1図は投影検査装置を示す概略的な光学系配置図、
第2図は主要部を示す拡大側面図、第3図および第4図
は本発明の第2実施例を示しており、第3図は主要部を
示す側面図、第4図は第3図の■矢視図、第5図は従来
例を示す概略的な光学系配置図、第6図は別の従来例を
示す概略的な光学系配置図である。 10・・・投影検査装置 20・・・投影レンズ系(投影レンズ)40・・・光束
分割プリズム 43・・・接合面 50・・・ミラー(反射部材
)60・・・スクリーン 70・・・縁端検出素子(検出素子) 101・・・合焦位置検出素子(検出素子)80.11
0・・・収斂性レンズ A・・・光束分割プリズムの透過光路 第4図
、第1図は投影検査装置を示す概略的な光学系配置図、
第2図は主要部を示す拡大側面図、第3図および第4図
は本発明の第2実施例を示しており、第3図は主要部を
示す側面図、第4図は第3図の■矢視図、第5図は従来
例を示す概略的な光学系配置図、第6図は別の従来例を
示す概略的な光学系配置図である。 10・・・投影検査装置 20・・・投影レンズ系(投影レンズ)40・・・光束
分割プリズム 43・・・接合面 50・・・ミラー(反射部材
)60・・・スクリーン 70・・・縁端検出素子(検出素子) 101・・・合焦位置検出素子(検出素子)80.11
0・・・収斂性レンズ A・・・光束分割プリズムの透過光路 第4図
Claims (1)
- 投影レンズからの結像光束を反射部材を介してスクリー
ン上に投影する投影検査装置において、該投影レンズと
スクリーンとの間に、接合面上に半透過面が形成された
光束分割プリズムを配置し、該光束分割プリズムの透過
光路上に前記反射部材およびスクリーンを配置し、該光
束分割プリズムの反射光路上に、検出素子と、該光束分
割プリズムで反射された光束を前記スクリーンへの投影
倍率より小さい倍率で前記検出素子上に結像する収斂性
レンズとを設けたことを特徴とする投影検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60210648A JPH0629712B2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | 投影検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60210648A JPH0629712B2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | 投影検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6270824A true JPS6270824A (ja) | 1987-04-01 |
JPH0629712B2 JPH0629712B2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=16592785
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60210648A Expired - Lifetime JPH0629712B2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | 投影検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0629712B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0321810A (ja) * | 1989-06-19 | 1991-01-30 | Asahi Optical Co Ltd | パターン検査装置 |
JPH05157988A (ja) * | 1991-05-16 | 1993-06-25 | Nippon Avionics Co Ltd | 背面型液晶カラー投射装置 |
-
1985
- 1985-09-24 JP JP60210648A patent/JPH0629712B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0321810A (ja) * | 1989-06-19 | 1991-01-30 | Asahi Optical Co Ltd | パターン検査装置 |
JPH05157988A (ja) * | 1991-05-16 | 1993-06-25 | Nippon Avionics Co Ltd | 背面型液晶カラー投射装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0629712B2 (ja) | 1994-04-20 |
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