JPS6269452A - 電子ビ−ム発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電流密度分布を均一にするための補正機構を有
する電子ビーム発生装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、電子ビームの強度変化を補正する手段としては、
ファラデーケーソを用いて、電子ビームの強度変化を測
定し、その変動周波数に対応する周波数成分ｔ′ｘ、ｙ
軸の偏向コイルに外部電源から入力し、変動周波数成分
金うち消し、強度変化を低減させることにより行ってい
友。

この方法によれば変動周波数成分が例えば５０Ｈｚのよ
うに単一である場合には、比較的容易に変動をうち消す
ことが可能である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、変動成分が数多く存在する場合や、変動が歪ん
でいる場合や、高周波成分を含んでいる場合などは、必
ずしも、前記の方法では十分に変動を抑えることができ
ないという問題がある。さらにまた、変動成分が途中で
変化した場合には、その変動を抑えられないといった問
題もある。

本発明の目的は、この問題点を解決した電子ビーム発生
装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明はカソード、制御電極及びアノードを含む電子銃
及びレンズコイル及び偏向コイルを含む光学系とを有す
る装置において、レンズコイルよりアノード側の上方に
、カソードの形状に対応し次ビームの通過孔を有する補
助電極金膜け、レンズコイルよシ試料側の下方に、電子
ビームの一部を検出するための検出電極を設け、検出電
極と補助電極間に検出電極の信号に対応した電位を補助
電極にフィードバックする回路を備えたことを特徴とし
た′電子ビーム発生装置である。

〔作　用〕

検出電極には、集束しない電子ビームの周辺の一部分の
電流を検出しているために、電子ビームの広がりの変化
や強度変化に対応し７′ｃ電流の変動が検出できるため
に、その変動成分全そのまま補助電極にフィードバック
する。補助電極は、電子ビームを静電的に集束あるいに
発散させる作用を有する几め、検出電極部での検出信号
を補助電極にフィードバックすることにより、電子ビー
ムの変動全逆位相でうち消すことが可能となる。

〔実施例〕

以下、図示の実施例により本発明の電子ビーム発生装置
について説明する。

第１図は本発明による電子ビーム発生装置の構成図を示
す。図において矩形状カソード１、カソードに対応した
矩形状のビーム通過孔２ａｔ有する制御電極２、カソー
ド１と相似形を有する矩形状のビーム通過孔を有する引
出電極３及び円形のビーム通過孔を有する７ノード４よ
シ線状電子ビーム１１を取シ出す。引出電極３はアノー
ド４より高い電位を印加することによフ低いアノード電
位で、よシ大電流を取り出すために設は九電極である。

このようにして取り出され交線状電子ビーム１１は、レ
ンズコイル８により、試料１０上に集束され、試料１０
上の走査は、偏向コイル９を用いて行なわれる。このレ
ンズコイル８と、偏向コイル９との間にビーム通過孔６
ａを有する検出を極６を設置し、アノード４とレンズコ
イル８との間にビーム通過孔５ａ′ｉｔ有する補助電極
５１ｆｔ設置する。

一方補助電極５と検出電極６間全増幅回路７ｆｔ含むフ
ィードバック配線によりて結線する。検出電極６は、線
状電子ビーム１１が集束されず、広がった領域に、配置
されているので、線状電子ビーム１１の周辺部分の周辺
ビーム１２のみを検出する。

その信号を増幅回路７により増幅し、検出信号と逆位相
の信号を補助電極５に印加する。この処理によシ線状電
子ビーム１１の広が９を調整して線状電子ビーム１１の
強度変化をうち消すことができる。

第２図には制御電極２、補助電極５及び検出電極６のそ
れぞれに対応した平面図を示す。補助電極５を通過する
線状電子ビームは、短辺側の方が、クロスオーバ一点が
よりカソード１に近い所に形成されるために、その広が
り方が大きくなっており、これを受けてビーム通過孔５
ａの形状は、制御電極２のビーム通過孔の短辺側に対応
した辺の方を長くしている。また、検出電極６のビーム
通過孔６ｂは、レンズコイル８の特性により左右される
が（すなわち、線状電子ビーム１１は、レンズコイル８
を通過中に、回転し、その方向が変化するが）、実施例
ではカソードの長手方向と同じ方向に長い矩形孔を設け
ている。

実施例によれば、ビームの加速電圧’ｋ　１０　ｋＶ　
。

引出電圧５０　ｋＶ、ビーム電流７５　ｍＡ　、ビーム
長４■（カソード１の長手方向長さ５日）の条件で、フ
ァラデーケージを用いてビームの電流密度を測定した結
果、強度変化を、５−以下に抑えることができた。

以上実施例においては、線状のカソードを用いて、線状
電子ビーム全敗り出す場合の方法について述べ友が、ス
ポット状の電子ビームを取り出す場合も同様な効果が得
られた。この場合はカソード１にヘアピン状のカソード
を用い、制御電極２、引出電極３、補助電極５、及び検
出電極６のビーム通過孔はすべて円形とした。

〔発明の効果〕

以上のように本装置を用いることにより、電子ビームの
強度変化を、その変動成分によりうち消し、強度変化の
少ない電子ビームを得ることができ、これにより、電子
ビームを用いて処理する場合の処理の均一性を向上でき
る効果音電するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による電子ビーム発生装置の構成図、
第２図は、制御電極、補助電極、検出電極のそれぞれの
平面図を示す。 １・・・カソード、２・・・制御電極、３・・・引出電
極、４・・・アノード、５・・・補助電極、５ａ・・・
通過孔、６・・・検出電極、７・・・増幅回路、８・・
・レンズコイル、９・・・偏向コイル、１０・・・試料
、１１・・・線状電子ビーム。 １２・・・周辺ビーム。 特許出頭人　日本電気株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. カソード、制御電極及びアノードを含む電子銃と、レン
   ズコイル、及び偏向コイルを含む光学系とを有する装置
   において、レンズコイルよりアノード側の上方に、カソ
   ードの形状に対応したビームの通過孔を有する補助電極
   を設け、レンズコイルより試料側の下方に、電子ビーム
   の一部を検出する検出電極を設け、検出電極と補助電極
   間に、検出電極の信号に対応した電位を補助電極にフィ
   ードバックする回路を備えたことを特徴とする電子ビー
   ム発生装置。