JPS6266Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は磁気デイスク装置等に使用される微小
浮揚量の浮揚型磁気ヘツドにおいて、その微小浮
揚量の動的な変動を電気的信号として取り出すた
めの構造を付加した磁気ヘツドに関するものであ
り、さらに詳しく述べると、静電容量法による浮
揚量の測定が可能な構造を有する浮揚量測定用磁
気ヘツドの改良に関するものである。

磁気デイスク装置においては、記録媒体と磁気
ヘツドとの微小な間隙を安定に保つため、記録媒
体である磁気デイスクの回転に伴なつてその表面
に発生する気体膜境界層の動圧を利用して磁気デ
イスク面上に微小な浮揚量で対向させた浮揚型磁
気ヘツドが使用されている。

浮揚型磁気ヘツドにおいては、この浮揚量がそ
の電磁特性に支配的な影響力をもち、磁気デイス
ク装置の性能向上のためには浮揚量の微小化と浮
揚量の動的変動の低減化、浮揚姿勢の安定化が必
要とされる。これらの要請を満たすためには浮揚
量の動的な微小変動を直接電気信号として取り出
す測定手段が必要となり、これには磁気ヘツドに
形成した電極面と磁気デイスク面との静電容量を
測定して浮揚量を求める静電容量法が適してい
る。

次に従来の浮揚量測定用の磁気ヘツドについて
図を参照して説明する。

第１図は従来の浮揚量測定用磁気ヘツドの斜視
図であり、第２図は磁気デイスクとともに第１図
の磁気ヘツドの浮揚状態を示す断面図である。図
において１０１は非導電性材料からなるスライダ
で、１０２ａ，ｂ，ｃがスライダ浮揚面であり１
０３は４個の金属膜で、この表面が電極面１０４
を形成している。

更にこの電極面１０４及びスライダ浮揚面１０
２ａ，ｂ，ｃの上にはガラスあるいは石英などの
硬質の非導電性材料の保護膜１０５が被せてあ
る。保護膜の厚さはミクロンオーダで、保護膜表
面１０６は鏡面研摩されている。また各電極面１
０４は導電性薄膜１０７を介してスライダ背面の
４本のリード線（図示せず）にそれぞれ独立に導
通結合されている。

この磁気ヘツドを用いて浮揚量の測定を行なう
場合は、第２図に示すようにスライダ１０１を磁
気デイスク表面１１１に浮揚させ、スライダの電
極面１０４と磁気デイスク内の導電体１１２の表
面１１３との間の静電容量を測定すればよい。

すなわち４個の電極面１０４の静電容量をそれ
ぞれ独立に測定すれば、各電極面１０４と磁気デ
イスク導電体表面１１３との間隙δが独立に求ま
り、従つて各電極部分における浮揚量ｈ（保護膜
表面１０６と磁気デイスク表面１１１の間隙）が
独立に求まり、磁気ヘツドの浮揚量分布が求ま
る。

ところでこの場合、各電極面１０３における浮
揚量ｈと静電容量ｃとの関係は保護膜１０５の厚
さ、磁気デイスク表面１１１と導電体表面１１３
の距離、あるいはまたリード線の浮遊容量などの
影響を強く受けるため、各磁気ヘツドの各電極及
び各磁気デイスク毎に、ｈとｃの関係を較正する
必要がある。

較正に際してはｈの測定が必要となるが、現在
の磁気ヘツドの浮揚量は１μｍ以下であるので、
その正確な測定は干渉色によらなければならな
い。次にその較正方法を図に従つて説明する。

第３図は浮揚量測定用磁気ヘツドの較正方法を
示す断面図で、磁気デイスクの替わりにガラス円
板１２１を周速度Ｕで回転させて、浮揚量測定用
磁気ヘツドを浮揚させている。この状態でガラス
円板を介して磁気ヘツド浮揚量を観察すれば、ガ
ラス円板表面１２２と保護膜表面１０６との間の
光の干渉により、動的な変動成分が平均化された
浮揚量に相当する干渉縞が生じる。このとき保護
膜表面１０６とスライダ浮揚面１０２ａ，１０２
ｂとの間でも光の干渉が起り干渉縞が生じるた
め、２種の干渉縞が混じり合つて観察されること
になり、干渉色による浮揚量の測定ができないこ
とになる。

従つて従来の浮揚量測定用の磁気ヘツドの静電
容量ｃと浮揚量ｈの較正は浮揚量が磁気デイスク
の周速Ｕに依存することを利用して、次のように
行なつていた。すなわちまず初めに電極も保護膜
もない通常の磁気ヘツドを浮揚量測定用磁気ヘツ
ドと同一寸法に製作し、この磁気ヘツドの浮揚量
をガラス円板との干渉色を利用して測定し、浮揚
量ｈと周速Ｕの関係を求める。次に浮揚量測定用
の磁気ヘツドと磁気デイスクを用いて磁気デイス
ク周速Ｕと静電容量ｃの関係を求める。この後浮
揚量測定用磁気ヘツドが通常の磁気ヘツドと同じ
浮揚特性をもつと仮定して、周速Ｕをパラメータ
として浮揚量ｈと静電容量ｃの関係を求めてい
た。

このように従来の浮揚量測定用の磁気ヘツドで
は、浮揚量ｈと静電容量ｃの関係を別の磁気ヘツ
ドを用いて間接的に測定しなければならなかつ
た。このため浮揚量ｈと静電容量ｃの較正が不正
確となる欠点を有していた。

本考案はこのような欠点を除去するため、保護
膜の材質をスライダの材質と同じ屈折率の硬質の
非導電性材質にしたもので、以下図面に従つて詳
細に説明する。

第４図は本考案の実施例を示す斜視図であり、
第５図はガラス円板とともに示す第４図の実施例
の断面図である。図において２０１は非導電性材
料からなるスライダで、２０２ａ，ｂ，ｃがスラ
イダ浮揚面である。２０３は４個の薄い金属膜
で、この表面が電極面２０４を形成している。更
に電極面２０４及びスライダ浮揚面２０２ａ，
ｂ，ｃの上にはスライダの材質と同材質あるいは
同じ屈折率を有するガラスなどの硬質の非導電性
材料からなる保護膜２０５がスパツタなどの手法
により被せてあり、保護膜表面２０６は鏡面研摩
されている。

更にこの実施例においては、導電性材料の薄膜
２０７をスライダ側面２０８からスライダ背面２
０９にかけて引き回し、この薄膜の一端が電極を
形成している金属膜２０３に他の一端がスライダ
背面でリード線（図示せず）に導通結合される構
造を有している。

このように本施例では、スライダの材質の屈折
率と保護膜の屈折率が同じであるため、スライダ
浮揚面における光の反射がなく、従つて保護膜表
面２０６とスライダ浮揚面２０２ａ，ｂ，ｃの間
で従来のような光の干渉は生じない。このため本
実施例をガラス円板２２１にて浮揚させた場合、
ガラス円板を通して観察すればガラス円板表面２
２２との光の干渉により、保護膜表面２０６上に
浮揚量ｈに相当する干渉色のみが観察され、動的
な変動成分が平均化された静的な浮揚量を測定す
ることができる。

本実施例に用いて浮揚特性の測定を行なうに
は、従来の場合と同様にスライダ２０１を磁気デ
イスク表面（図示せず）上に浮揚させ、スライダ
の電極面２０３と磁気デイスク中の導電体の表面
（図示せず）との間の静電容量を測定すればよ
い。この場合４個の電極の静電容量をそれぞれ測
定すればあらかじめ較正してある静電容量と浮揚
量の関係を用いて各電極面の部分の保護膜表面と
磁気デイスク表面との間隙すなわち浮揚量がその
動的な変動成分も含めそれぞれ独立に求まる。

次に浮揚量と静電容量の較正を行なう場合には
まず最初に第５図に示すように、本実施例をガラ
ス円板にて浮揚させ、ガラス円板表面２２２と保
護膜表面２０６との光の干渉により生じる干渉色
から静的な浮揚量を測定し、ガラス円板のヘツド
装着トラツクでの周速Ｕと本実施例の浮揚量ｈの
関係を求める。次に磁気デイスクを用いて周速Ｕ
と本実施例の静電容量ｃの時間平均の関係を求め
れば、周速Ｕをパラメータにして各磁気ヘツドの
各電極における静電容量ｃと浮揚量ｈの較正を行
なうことができる。

以上説明したように、本考案によれば同一磁気
ヘツドで浮揚量ｈと静電容量ｃの較正を行なうこ
とができ、従来なされていた２種の磁気ヘツドを
用いて較正を行なう場合に比べ、はるかに正確な
較正ができる。従つて従来に比べ、より正確な浮
揚量の動的変動の測定ができる。このため本考案
を実施した磁気ヘツドは単に浮揚動特性の実験に
使われるだけでなく、磁気デイスクあるいは磁気
デイスク装置の検査に使用することができる。

なお、本考案は実施例に示した以外の形状のス
ライダにおいても適用でき、電極面の数も任意で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の浮揚量測定用磁気ヘツドを示す
斜視図、第２図は磁気デイスクとともに示す第１
図の磁気ヘツドの断面図、第３図はガラス円板と
ともに示す第１図の磁気ヘツドの断面図、第４図
は本考案の一実施例を示す斜視図、第５図はガラ
ス円板とともに示す第４図の実施例の断面図であ
る。 図において、２０１はスライダ、２０２ａ，
ｂ，ｃはスライダ浮揚面、２０３は金属膜、２０
４は電極面、２０５は保護膜、２０７は導電性薄
膜、２２１はガラス円板である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 電気的不良導体材料で形成されたスライダの浮
   揚面の一部に電極面が設けられており、該電極面
   を含むすべての浮揚面がスライダの材質と同じ屈
   折率の硬質の非導電性材料からなる保護膜で被覆
   された構造を特徴とする浮揚型磁気ヘツド。