JPS6266214A - 光学部品の位置決め基板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は、光ファイバ、レンズ、プリズム、フィルタ等
の光学部品あるいは光学部品を収納したパッケージ類の
位置決め用の基板に関する。

〔従来技術とその問題点〕

光合分波器、分岐・結合器などは光通信システムを構築
する上で重要なデバイスであり、低損失低漏話など所要
の光学特性が要求される。これらの光学特性を満足させ
るためには、デバイスの構成要素である光ファイバ、レ
ンズ、プリズム、フィルタなどの光学部品あるいは光学
部品が収納されたパッケージ等を高精度に位置決めする
必要があり、かつ低コストにするためには、組立て工程
における調整箇所をできるだけ少なくすることも重要な
ことである。

光学部品あるいはパッケージ等を高精度でかつ調整箇所
を少なく、シて位置決めする手法として、感光性ガラス
をエツチング加工して位置決め用基板として用いる方法
も考えられている。

感光性ガラスは、マスク露光によシ複雑な形状でも高精
度に加工できるという特長を有しておシ、光ファイバと
光ファイバの接続など、同じ形状・寸法の光学部品配列
・位置決めに対しては非常に有用である。

しかしながら、異った形状・寸法の光学部品あるいはパ
ッケージ等の配列においては、位置決めが高精度に行え
ないという欠点があった。すなゎち、感光性ガラスのエ
ツチング加工においては、深さ方向に対し部分的にエツ
チングを行ったときその底面付近の断面形状は一般的に
曲面となっておシ、その曲率はエツチング壁に近くなれ
ばなる程大きいという性質を有して込る。この理由によ
シ、同じ形状・寸法の光学部品の配列においては高精度
に位置決めできるのに対し、異った形状・寸法の光学部
品あるいはパッケージ等の配列においては、位置ずれ・
角度ずれが生じ、高精度だ位置決めすることは困難とな
る。

一方、これを除外するために部分的エツチングではなく
、深さ方向【対し貫通させるエツチング加工する方法も
考えられるが、形状によりては、エツチングすることに
よシガラスが分離され、ばらばらになるという欠点があ
った。

〔発明の目的〕

本発明は、上述した光学部品あるいは光学部品を収納し
たパッケージ等の位置決め用基板としての感光性ガラス
の欠点を改良したもので、異った形状・寸法の光学部品
あるいは光学部品を収納したパッケージ等を高精度に位
置めできる位置決め用基板を提供することを目的とする
。

〔発明の概要〕

本発明は、感光性ガラスと感光性ガスラの露光部よ−シ
エッチング速度が１／１０以下となる材質かはり合わさ
れたものに対し露光・熱処理を行い、その後は）合せ面
までエツチング加工することによって形成されている光
学部品あるいは光学部品を収納したパッケージ類の位置
決め用基板である。

〔発明の効果〕

本発明によると、エツチングははカ合せ面において停止
するので、底面の曲率は極めて小さくなシ、異なった形
状・寸法の光学部品あるいは光学部品を収納したパッケ
ージ類を高精度に位置決めが可能となる。また、感光性
ガラスがエツチングされない材料によって保持されてい
るので、感光性ガラスの深さ方向に対して貫通するエツ
チングを行っても感光性ガラスが分離することはなく、
加工形状の制約は受けない。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例炉ついて図面を参照して詳細に説
明する。

第１図は本発明の一実施例を示す図で、第２図は本実施
例による位置決め用基板上に光学部品と光学部品を収納
したパッケージを配列した例を示す図である。

第２図は分岐結合器の例で、光学部品としてのフィルタ
（７）付プリズム（５）と光ファイバ（８）とレンズが
収納されたスリーブ（６）がそれぞれのエツチング部に
配置されている。

第２図のような構成では、スリーブ同志の相対的位置の
みならず、スリーブに対するフィルタの設置角度も重要
な位置決め要素である。このような要求に対して、従来
の感光性ガラスの部分エツチングによって形成された位
置決め用基板を用いると、スリーブ＋６）同志の相対的
位置は比較的高精度に位置決めできるものの、スリーブ
（６）に対するフィルタ（７）の角度を設定するのは困
難であった。

すなわち、エツチングの底面の断面は曲率が生じておシ
、その曲率は壁側はど大きいため、プリズム（５）を一
つの基準壁に押しあてて設置した場合、プリズムが傾き
、結果的にスリーブて対するフィルタの設定角度が理想
状態よりはずれて、その結゛果ファイバ同志の結合が低
下し、またフィルタの透過特性にも影響を及ぼすことに
なる。

これに対して、本発明による位置決め用基板はエツチン
グがはり合せ面で停止していることからエツチング底面
には曲率は生じておらず、平担てなっているのでプリズ
ムは傾くことなく設定されスリーブに対するフィルタの
設定角度は所要内に保持され、光フアイバ同志の光結合
を劣化させることなく、またフィルタの透過特性にも影
ぼすことなく、分岐・結合器を構成することができる。

なお、本実施例においては感光性ガラス（１）とはカ合
わせる板材（２）は板ガラスを用い、はり合わせはアク
リル系接着剤を用いた。アクリル系接着剤は、エツチン
グ液であるフッ酸溶液には溶解されにくいためはり合わ
せ面が劣化することはなく、また光学部品を設置すべき
溝に残存する残存接着剤はトルエン等で容易に除去する
ことができる。

また、とのはり合わせは、はり合わせるべき面を光学研
磨した後加熱処理してオプチカルコンタクト現象を利用
して接着することもできる。

第３因は発明の他の実施例を示す図である。感光性ガラ
ス（１）とはり合わせる板材（９）には、アルミナ系セ
ラミックを用いている。またはり合わせ面にはアルミニ
ー−ムを蒸着し鏡α１形成されている。

アルミナ系セラミックのように光散乱を生じさせる材料
をはり合わせるべき板材（９）として使用すると、露光
時に散乱された光が感光性ガラス（１）に照射されるた
め、その部分も照射量に応じてエツチングされ、所要の
加工精度はえられない。これに対し、本発明の実施例の
ように、感光性ガラス（１）と板材（９）の間に鏡面α
〔が形成されておれば、露光用光は板材（９）に達する
ことなくその結果光散乱は生じなくなる。また、鏡面α
１によって反射された光は露光として作用するので、露
光時間が鏡面αＱが形成されていない時と比較して％で
すむ。

本実施例では、感光性ガラス（１）のは９合わせ面にア
ルミニー−ムを蒸着した後アルミナ系セラミック（９）
とはり合わせた。蒸着したアルミニウムは露光部ではエ
ツチング剤によって溶解し、一部はり合わせ面のアルミ
ニウムも使節されるが、は９合わせ強度を劣化させるこ
とはない。

以上説明したように、本発明による位置決め用基板は異
なった形状・寸法の光学部品あるいは光学部品を収納し
たパッケージ等を高精度に位置決めし、光学デバイスを
作製するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例、第２図は本発明による位置
決め一基板上に光学部品を設置した例、第３図は本発明
の他の実施例を示す図である。 １・・・感光性ガラス、２，９・・・はり合わせ用板材
、３．４・・・エツチング部、５．６．７．８・・・光
学部品、１０・・・蒸着膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 光ファイバ、レンズ、プリズム、フィルタ等の光学部品
   あるいは光学部品が収納されたパッケージ等の位置決め
   基板において、感光性ガラスと感光性ガラスの露光部よ
   りエッチング速度が１／１０以下となる材質がはり合わ
   されたものにおいて、露光、熱処理、はり合せ面までの
   エッチング加工を行うことによって形成されていること
   を特徴とする光学部品の位置決め基板。