JPS6263093A - ワ−ク検出方法 - Google Patents
ワ−ク検出方法Info
- Publication number
- JPS6263093A JPS6263093A JP20239685A JP20239685A JPS6263093A JP S6263093 A JPS6263093 A JP S6263093A JP 20239685 A JP20239685 A JP 20239685A JP 20239685 A JP20239685 A JP 20239685A JP S6263093 A JPS6263093 A JP S6263093A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- control system
- encoder
- arm
- rotation angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、各種の搬送装置によりワークを搬送する際に
ワークの有無を検出する方法に関する。
ワークの有無を検出する方法に関する。
従来、搬送装置の一対のアームによりワークを挟持して
搬送する際、アームの挟持部分にリミットスイッチ、フ
ォトセンサ又は感圧スイッチ等を設けてワークの検出を
行なっている。
搬送する際、アームの挟持部分にリミットスイッチ、フ
ォトセンサ又は感圧スイッチ等を設けてワークの検出を
行なっている。
しかしながら、リミットスイッチはワークを検出する毎
に動作するため、耐久性が低く、一方フオドセンサ、感
圧スイッチは電気配線等がアーム近辺に必要となるため
、搬送等の障害となる。特に、ゴミ発生を非常に嫌う半
導体製造装置では発塵を最少限に抑える必要があるため
、ワークを挟持するアーム近辺は可能な限り単純な構造
にすることが要求されている。
に動作するため、耐久性が低く、一方フオドセンサ、感
圧スイッチは電気配線等がアーム近辺に必要となるため
、搬送等の障害となる。特に、ゴミ発生を非常に嫌う半
導体製造装置では発塵を最少限に抑える必要があるため
、ワークを挟持するアーム近辺は可能な限り単純な構造
にすることが要求されている。
本発明は、ワークを挟持するアームにセンサ等を設けて
ワークの存在を直接検出することなく、確実かつ再現性
よくワークの有無を検出し得る方法を提供しようとする
ものである。
ワークの存在を直接検出することなく、確実かつ再現性
よくワークの有無を検出し得る方法を提供しようとする
ものである。
本発明は、互いに歯合した一対の歯車と、これら歯車に
軸着され、ワークを挟持する一対のアームと、前記歯車
の一方を回転、駆動する。モータと、このモータの回転
数より前記歯車の回転角度を検出するエンコーダと、こ
のエンコーダに接続された制御系とを具備した搬送装置
によりワーク検出を行なうに際し、予めワークを挟持し
た時のアームの回転角度を臨界角度として前記制御系に
入力し、前記アームの回転角度を前記エンコーダを介し
て制御系にフィードバックし、該制御系で前記臨界角度
と比較することによりワークの有無を検出することを特 徴とするものである。かかる本発明によれば、既述の如
くワークを挟持するアームにセンサ等を設けてワークの
存在を直接検出することなく、確実かつ再現性よくワー
クの有無を検出できる。
軸着され、ワークを挟持する一対のアームと、前記歯車
の一方を回転、駆動する。モータと、このモータの回転
数より前記歯車の回転角度を検出するエンコーダと、こ
のエンコーダに接続された制御系とを具備した搬送装置
によりワーク検出を行なうに際し、予めワークを挟持し
た時のアームの回転角度を臨界角度として前記制御系に
入力し、前記アームの回転角度を前記エンコーダを介し
て制御系にフィードバックし、該制御系で前記臨界角度
と比較することによりワークの有無を検出することを特 徴とするものである。かかる本発明によれば、既述の如
くワークを挟持するアームにセンサ等を設けてワークの
存在を直接検出することなく、確実かつ再現性よくワー
クの有無を検出できる。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の実施例を第１図及び第２図を参照して説
明する。
明する。
図中の１ａ、１ｂは、互いに歯合する一対の歯車である
。これら歯ｌ１１ａ、１ｂには、ワークを挟持するため
の二段階に屈曲した形状の一対のアーム２ａ、２ｂが軸
着されている。前記一方の歯車１ａの前記アーム２ａと
反対側には、駆動軸３を介して減速機４が連結され、か
つ該減速機４にはモータ５及び該モータ５の回転数より
前記歯車１ａの回転角度を検出するエンコーダ６が順次
連結されている。このエンコーダ６は、制御系７に接続
されている。
。これら歯ｌ１１ａ、１ｂには、ワークを挟持するため
の二段階に屈曲した形状の一対のアーム２ａ、２ｂが軸
着されている。前記一方の歯車１ａの前記アーム２ａと
反対側には、駆動軸３を介して減速機４が連結され、か
つ該減速機４にはモータ５及び該モータ５の回転数より
前記歯車１ａの回転角度を検出するエンコーダ６が順次
連結されている。このエンコーダ６は、制御系７に接続
されている。
次に、前述した第１図及び第２図の搬送装置によるワー
クの検出方法を説明する。
クの検出方法を説明する。
まず、ワーク８がアーム２ａ、２ｂ間に存在する場合に
は、モータ５を駆動し、減速機４を介して駆動軸３によ
り一方の歯車１ａを反時計回り方向に回転することによ
って、この歯車１ａと歯合した歯車１ｂが時計回り方向
に回転し、これら歯車１ａ、Ｉｂに軸着したアーム２ａ
、２ｂが互いに近接ように回動してワーク８を挟持し、
しかる後アーム２ａ、２ｂ等を移動させてワーク８を所
定の位置に搬送する。この際、ワーク８を挟持した時の
一方のアーム１ａの回転角度（歯車１ａの回転角度）を
エンコーダ６によりモータ５の回転数から検出し、その
角度を臨界角度として制御系７に入力する。
は、モータ５を駆動し、減速機４を介して駆動軸３によ
り一方の歯車１ａを反時計回り方向に回転することによ
って、この歯車１ａと歯合した歯車１ｂが時計回り方向
に回転し、これら歯車１ａ、Ｉｂに軸着したアーム２ａ
、２ｂが互いに近接ように回動してワーク８を挟持し、
しかる後アーム２ａ、２ｂ等を移動させてワーク８を所
定の位置に搬送する。この際、ワーク８を挟持した時の
一方のアーム１ａの回転角度（歯車１ａの回転角度）を
エンコーダ６によりモータ５の回転数から検出し、その
角度を臨界角度として制御系７に入力する。
次いで、前記ワークと同寸法のワークに対して同様な操
作を実行する。この際、一方のアーム２ａの回転角度（
歯車１ａの回転角度）をエンコーダ６によりモータ５の
回転数から検出して、その検出信号を制御系７にフィー
ドバックし、該制御系７で前記臨界角度と比較する。こ
の時、エンコーダ６で検出した回転角度が臨界角度と等
しい場合には、アーム２ａ、２ｂ間にワークが存在して
いると判定され、制御系７からの信号によりアーム２ａ
、２ｂを移動させてワークを所定に位置に搬送する。こ
れに対し、エンコーダ６により検出した回転角度が臨界
角度より大きい値の場合には、アーム２ａ、２ｂ間にワ
ークが存在しないとして判定され、制御系７によるアー
ム２ａ、２ｂ等を移動する信号は発せられない。
作を実行する。この際、一方のアーム２ａの回転角度（
歯車１ａの回転角度）をエンコーダ６によりモータ５の
回転数から検出して、その検出信号を制御系７にフィー
ドバックし、該制御系７で前記臨界角度と比較する。こ
の時、エンコーダ６で検出した回転角度が臨界角度と等
しい場合には、アーム２ａ、２ｂ間にワークが存在して
いると判定され、制御系７からの信号によりアーム２ａ
、２ｂを移動させてワークを所定に位置に搬送する。こ
れに対し、エンコーダ６により検出した回転角度が臨界
角度より大きい値の場合には、アーム２ａ、２ｂ間にワ
ークが存在しないとして判定され、制御系７によるアー
ム２ａ、２ｂ等を移動する信号は発せられない。
従って、極めて簡単な操作で、かつ既存の装置を利用し
てワークの有無を検出でき、半導体製造装置等に有効に
適用できる。
てワークの有無を検出でき、半導体製造装置等に有効に
適用できる。
以上詳述した如く、本発明のワーク検出方法によればワ
ークを挟持するアームにセンサ等を設けてワークの存在
を直接検出することなく、確実かつ再現性よくワークの
有無を検出でき、ひいてはゴミの発生を非常に嫌う半導
体製造装置に組込まれる搬送装置や、低温、高温、腐蝕
性の雰囲気、水中に置かれる搬送装置に有効に利用でき
る等顕著な効果を有する。
ークを挟持するアームにセンサ等を設けてワークの存在
を直接検出することなく、確実かつ再現性よくワークの
有無を検出でき、ひいてはゴミの発生を非常に嫌う半導
体製造装置に組込まれる搬送装置や、低温、高温、腐蝕
性の雰囲気、水中に置かれる搬送装置に有効に利用でき
る等顕著な効果を有する。
第１図は本発明のワーク検出方法に用いられる搬送装置
の概略正面図、第２、図は第１図の装置の概略底面図で
ある。 １ａ１１ｂ・・・歯車、２ａ、２ｂ・・・アーム、５・
・・モータ、６・・・エンコーダ、７・・・制御系、８
・・・ワーク。
の概略正面図、第２、図は第１図の装置の概略底面図で
ある。 １ａ１１ｂ・・・歯車、２ａ、２ｂ・・・アーム、５・
・・モータ、６・・・エンコーダ、７・・・制御系、８
・・・ワーク。
Claims (1)
- 互いに歯合した一対の歯車と、これら歯車に軸着され、
ワークを挟持する一対のアームと、前記歯車の一方を回
転、駆動するモータと、このモータの回転数より前記歯
車の回転角度を検出するエンコーダと、このエンコーダ
に接続された制御系とを具備した搬送装置によりワーク
検出を行なうに際し、予めワークを挟持した時のアーム
の回転角度を臨界角度として前記制御系に入力し、前記
アームの回転角度を前記エンコーダを介して制御系にフ
ィードバックし、該制御系で前記臨界角度と比較するこ
とによりワークの有無を検出することを特徴とするワー
ク検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20239685A JPS6263093A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | ワ−ク検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20239685A JPS6263093A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | ワ−ク検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6263093A true JPS6263093A (ja) | 1987-03-19 |
| JPH0411349B2 JPH0411349B2 (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=16456800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20239685A Granted JPS6263093A (ja) | 1985-09-12 | 1985-09-12 | ワ−ク検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6263093A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011110615A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Gunma Prefecture | ロータリーダイカッターシステム |
| WO2016063314A1 (ja) * | 2014-10-22 | 2016-04-28 | 川崎重工業株式会社 | ロボットハンド及びロボット |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5997870A (ja) * | 1982-11-25 | 1984-06-05 | 松下電器産業株式会社 | 自動追従制御装置 |
-
1985
- 1985-09-12 JP JP20239685A patent/JPS6263093A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5997870A (ja) * | 1982-11-25 | 1984-06-05 | 松下電器産業株式会社 | 自動追従制御装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011110615A (ja) * | 2009-11-24 | 2011-06-09 | Gunma Prefecture | ロータリーダイカッターシステム |
| WO2016063314A1 (ja) * | 2014-10-22 | 2016-04-28 | 川崎重工業株式会社 | ロボットハンド及びロボット |
| KR20170044179A (ko) * | 2014-10-22 | 2017-04-24 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 로봇 핸드 및 로봇 |
| JPWO2016063314A1 (ja) * | 2014-10-22 | 2017-09-07 | 川崎重工業株式会社 | ロボットハンド及びロボット |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0411349B2 (ja) | 1992-02-28 |
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