JPS6259440B2 - - Google Patents

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JPS6259440B2
JPS6259440B2 JP57168543A JP16854382A JPS6259440B2 JP S6259440 B2 JPS6259440 B2 JP S6259440B2 JP 57168543 A JP57168543 A JP 57168543A JP 16854382 A JP16854382 A JP 16854382A JP S6259440 B2 JPS6259440 B2 JP S6259440B2
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JP
Japan
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recovery device
energy recovery
electrode
ions
ion energy
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JP57168543A
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JPS5960899A (ja
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Kyoshi Hashimoto
Tooru Sugawara
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Toshiba Corp
Original Assignee
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/14Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using charge exchange devices, e.g. for neutralising or changing the sign of the electrical charges of beams
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/02Arrangements for confining plasma by electric or magnetic fields; Arrangements for heating plasma
    • H05H1/22Arrangements for confining plasma by electric or magnetic fields; Arrangements for heating plasma for injection heating

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 この発明は、イオンのエネルギーを回収するイ
オン・エネルギー回収装置に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
イオン・エネルギー回収装置は、例えばプラズ
マ加熱用の中性粒子入射装置(NBI)における、
非中性化イオンのエネルギー回収に用いられる。
第1図に、エネルギー回収装置を具備したNBI
を示す。放電室1からひきだされたイオンは、加
速電極2の間を通過する際に加速されて、高エネ
ルギーのイオンになる。その後、比較的圧力の高
い中性ガスでみたされた中性化セル3を通過する
際に中性分子との間に荷電交換をおこして、高速
の中性粒子を得る。しかし、この中性化の効率は
エネルギーがあがるにしたがい低下する。中性化
されなかつたイオンは、各所の容器壁などに衝突
し、そのエネルギーは空費されてしまう。そのた
め、同図に示すエネルギー回収装置4を設置し
て、残留イオンのエネルギーを回収して、器壁の
損傷を防ぐとともに、電力として再利用する。
この回収装置は、回収電極5の前後に同電極へ
の電子の流入を防止するための電子抑制電極6,
7が設置される。このときのビーム軸にそつての
電位分布9を中性化セルを接地した場合を第1図
に例示した。このときには、電子抑制電極6,7
に負電位を与えることにより、回収装置域の外で
生まれた電子に対して静電障壁が形成される。
最近、装置の小型化の要請に従つて、従来は装
置内を高真空にしていたものを低真空化しなけれ
ばならなくなつてきた。ところが低真空化すると
回収装置内においても、中性ガスとイオンビーム
との衝突によつて荷電粒子が生成される。このう
ち、イオンは、その大半が、電子抑制電極6,7
にあつめられ熱負荷となる。その値を試算してみ
る。100keVのH+ビームを10KeVの残留エネルギ
ーで回収することを考える。電子抑制電圧を−
50KVとし、回収域の電場強度を7KV/cmとし回
収領域の圧力を1×10-4Torrとするとイオンパ
ワーは高速イオンの入射パワーの約2%になる。
この値自身は、無視することはできないが、回収
装置全体の損失から許容されると考えられる。し
かし、イオン照射をうけた電極は電子を放出して
新たな損失源となる。しかも、その際、放出電子
数は、入射イオン数より多くなる。たとえば、モ
リブデン電極を用いると、電子放出係数は、概ね
3ケ/イオンである。したがつて、この放出電子
が回収電極に衝突すると、その損失は、高速イオ
ンの入射パワーの8.4%にも達し、高速イオンの
回収時のパワーが、入射時の10%であることを考
えるとこの損失は深刻である。この電子による損
失が、第1図に示す静電障壁を用いた電子抑制法
を用いる方式の最大の問題点であることを本発明
者らが見い出したのである。
また、電子抑制電極を照射するイオンには、回
収装置外で生まれたイオンの流入や、回収電極表
面での一次イオンの反射によるものがある。これ
らはいずれも前述のイオン同様、それ自身熱源と
なるほか、二次電子の放出を伴う。
〔発明の目的〕 本発明は、このような事情に鑑みてなされたも
ので、エネルギー回収電極の損失をおさえ、効率
の良いイオン・エネルギー回収装置を提供するこ
とを目的とする。
〔発明の概要〕
本発明は高速イオンを静電場によつて減速し、
電流として回収することによりイオンのもつ運動
エネルギーを電気エネルギーに変換するイオン・
エネルギー回収装置において、イオンビームに随
伴する電子除去の為の負電場の静電障壁形成用の
電極、即ち電子抑制電極に、磁場発生用として、
電流通電のための導線、あるいは永久磁石を設け
たイオン・エネルギー回収装置である。
〔発明の効果〕
本発明によれば、簡単な構成でエネルギー回収
電極の荷電粒子による損失を低減でき効率の良い
装置を構成できる。
〔発明の実施例〕
以下本発明の実施例を詳細に説明する。なお従
来装置とその構成が同一の部分については同一符
号を符けてその説明を省略する。特に本発明が従
来装置と比較できる点は、荷電粒子による損失
が、イオン照射に基く二次電子の放出にあること
に注目したことである。このことは、イオン照射
をうけても、電子の放出を伴なわなければ、損失
がおさえられることを意味している。その方法と
して、電子抑制電極の周囲に磁場を発生させ、電
子の放出を抑えることである。第2図の例では、
電極近傍の電場は、電極に垂直で一様と考えてよ
い。また、電極に充分密に導線を配すれば、この
導線を流れる電流によつて発生する磁束は、電極
に沿つて平行で、しかも、電極近傍では磁束密度
は一定になる。このときの電極からの放出電子の
挙動を考える。放出電子の放出時のエネルギー
は、電場強度に比べると無視でき、零とおいてさ
しつかえない。磁束密度が充分であれば、サイク
ロイド軌動をえがく電子は、電極に沿つてドリフ
ト運動をするだけで回収電極に達しない。その様
子を模式的に第2図に示した。そして電子照射に
よる電子放出係数は入射電子のエネルギーが低い
場合には一般に1以下であり、電子が電極に衝突
するたびに減少し、ついには、電子放出は停止す
る。
同図で電極からもつともはなれる距離aは a=E/(B・wc) である。ただし、wcは電子のサイクロトロン周
波数E、Bは電界強度と磁束密度である。aを例
えば2cmとすると、必要なBは、140ガウス程度
であり、この磁束密度を得るに要する電流密度
は、電極にそつて220A/cmである。これは、通
常のホロー導体を利用すれば容易に達成できる。
第2図は、導線を電極板内に埋設する例を示し
たが、導線自身が充分な強度を有している場合
は、導線のみで電極を構成しても全く同じ効果を
有する。その際、第3図のように、導線間隙を大
きくするかわりに、通電々流を増すことにより、
実効的な電子放出を防止できる。導線間隙を大き
くすることは、コンバータ内のガスを排出するた
めのコンダクタンスと大きくすることであり、コ
ンバータ内圧力を減減する効果も有する。
以上は、磁場発生に電流を用いる例を示した
が、電流のかわりに永久磁石を用いても同様な効
果がえられることはいうまでもない。
ただし、電極全体に単一の永久磁石を用いれば
好ましいが通常は第4,5図に示すように複数個
の永久磁石12を電極6に形成した磁石収納容器
13に収納配置してなる。このときには、磁力線
の放出部及び吸いこみ部付近では、BとEが垂直
にはならず、電子のとじこめに寄与しない部分が
生ずる。しかし、その場合でも、強力な磁石の使
用により、第4図に示すように同極性同志を対抗
して設けるようにして単一磁石を大きくしたり、
第5図に示すように電極の表裏に異極性となるよ
うに磁石間隙をあけてたてに配置することによ
り、有効でない部分を減少することができる。こ
のように磁石の配列の工夫により、磁石を用いな
い場合に比べて、電子放出は大幅に低減できる。
本発明は、平板状のビームを用い、しかも、回
収電極中央に開口部のある、NBI用の“イン・ラ
イン型”について説明したが、ビーム形状によら
ないことはもちろんのこと、NBI用エネルギー回
収装置に限定されることなく、一般的な、高速イ
オンのエネルギー回収装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
第1図はエネルギー回収装置をもつNBI装置の
構成図、第2図は本発明の実施例を示す要部図、
第3図は、電極を導線のみで構成した場合の要部
斜視図、第4図および第5図は、永久磁石を用い
た例を示す要部斜視図である。 1……放電室、2……加速電極、3……中性化
セル、4……エネルギー回収装置、5……回収電
極、6,7……電子抑制電極、8……ドリフト
管、10……ホロー導体、11……電子軌道、1
2……永久磁石、13……磁石収納容器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 高速イオンを静電場によつて減速し、イオン
    の有する運動エネルギーを電気エネルギーに変換
    して電流として回収するイオン・エネルギー回収
    装置において、イオンを回収してその回収された
    イオンを電気エネルギーに変換する回収電極と、
    前記イオン・エネルギー回収装置の外部で生成さ
    れる電子の通過を抑制し、前記イオン・エネルギ
    ー回収装置にイオンが流入する方向の上流側に配
    置される電子抑制電極と、この電子抑制電極によ
    つて生成される2次電子を抑制するために前記電
    子抑制電極の近辺から磁界を発生するための磁場
    形成手段とを具備してなることを特徴とするイオ
    ン・エネルギー回収装置。 2 磁場形成手段を電極面に沿つて導電線を埋設
    して構成し、この導電線に電流を流して磁場を形
    成してなることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項記載のイオン・エネルギー回収装置。 3 導電線を冷却液の通る中空導体としたことを
    特徴とする特許請求の範囲第2項記載のイオン・
    エネルギー回収装置。 4 電子抑制電極を導電線を平板状に束ねて形成
    したことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    のイオン・エネルギー回収装置。 5 磁場形成手段を電極面に沿つて設けた永久磁
    石で構成したことを特徴とする特許請求の範囲第
    1項記載のイオン・エネルギー回収装置。 6 永久磁石を電極平面に沿つて同極性同志が対
    向するように直列に複数個配置してなることを特
    徴とする特許請求の範囲第5項記載のイオン・エ
    ネルギー回収装置。 7 永久磁石を電極平面の表裏に異極性となるよ
    うに複数個配置したことを特徴とする特許請求の
    範囲第5項記載のイオン・エネルギー回収装置。
JP57168543A 1982-09-29 1982-09-29 イオン・エネルギ−回収装置 Granted JPS5960899A (ja)

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