JPS6258383A - 自動浮遊微粒子計測器 - Google Patents
自動浮遊微粒子計測器Info
- Publication number
- JPS6258383A JPS6258383A JP19753785A JP19753785A JPS6258383A JP S6258383 A JPS6258383 A JP S6258383A JP 19753785 A JP19753785 A JP 19753785A JP 19753785 A JP19753785 A JP 19753785A JP S6258383 A JPS6258383 A JP S6258383A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alarm
- value
- concentration
- comparator
- frequency
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、浮遊微粒子の瞬時値濃度を計測し、異常濃度
の微粒子を計測したとき警報を発する浮遊微粒子計測装
置に関するものである。
の微粒子を計測したとき警報を発する浮遊微粒子計測装
置に関するものである。
従来の浮遊微粒子計測器は、一定時間内に計数した微粒
子数を表示するように構成されている。
子数を表示するように構成されている。
したがって上記浮遊微粒子計測器に、高濃度の微粒子を
検知して警報を発する警報装置を連動させた場合には、
あらかじめ設定した値を、上記浮遊微粒子計測器の計測
累計値が超えた場合に警報を発する。そのため第４図に
示すように、異常濃度の継続時間が（ａ）のように短い
ときには、計測累計値は（ｂ）に示すように上記設定値
に至らず、異常濃度になっても破線で示す設定値に達せ
ず警報を発しないという欠点があった。例えば、浮遊微
粒子のサンプリング周期を１分とし、毎分１００００カ
ウントの高濃度で警報を発するように設定した場合には
、毎分２００００カウント相当、すなわち筈、Ｍに対す
る設定値の２倍の高濃度に汚染空気をサンプリングして
も、３０秒間は警報を発しないことにな。
検知して警報を発する警報装置を連動させた場合には、
あらかじめ設定した値を、上記浮遊微粒子計測器の計測
累計値が超えた場合に警報を発する。そのため第４図に
示すように、異常濃度の継続時間が（ａ）のように短い
ときには、計測累計値は（ｂ）に示すように上記設定値
に至らず、異常濃度になっても破線で示す設定値に達せ
ず警報を発しないという欠点があった。例えば、浮遊微
粒子のサンプリング周期を１分とし、毎分１００００カ
ウントの高濃度で警報を発するように設定した場合には
、毎分２００００カウント相当、すなわち筈、Ｍに対す
る設定値の２倍の高濃度に汚染空気をサンプリングして
も、３０秒間は警報を発しないことにな。
る。
本発明は、微粒子濃度の瞬時値を計測する浮遊微粒子計
測器であって、計測瞬時値が設定値をこえたときに警報
を発し、災害を防ぎ計測部の汚染を早期に防止できる自
動浮遊微粒子計測器を得ることを目的とする。
測器であって、計測瞬時値が設定値をこえたときに警報
を発し、災害を防ぎ計測部の汚染を早期に防止できる自
動浮遊微粒子計測器を得ることを目的とする。
本発明の自動浮遊微粒子計測器は、ポンプで吸引した試
料気体中に浮遊する微粒子に光を照射し、上記微粒子か
ら発する散乱光を検出して、微粒子の大きさおよび濃度
を計測する自動浮遊微粒子計測器において、上記散乱光
の受光信号パルスを計数表示するカウンタと並列に、周
波数・電圧変換回路を接続して、微粒子濃度の瞬時値に
比例するアナグロ値を出力するようにし、上記微粒子濃
度の瞬時値があらかじめ設定した値をこえたとき、警報
を発信する警報装置を設けたことにより、浮遊微粒子濃
度の瞬時値を計測できるとともに、上記瞬時値が設定値
をこえたときに警報を発し、汚染状態を早期に防げるよ
うにしたものである。
料気体中に浮遊する微粒子に光を照射し、上記微粒子か
ら発する散乱光を検出して、微粒子の大きさおよび濃度
を計測する自動浮遊微粒子計測器において、上記散乱光
の受光信号パルスを計数表示するカウンタと並列に、周
波数・電圧変換回路を接続して、微粒子濃度の瞬時値に
比例するアナグロ値を出力するようにし、上記微粒子濃
度の瞬時値があらかじめ設定した値をこえたとき、警報
を発信する警報装置を設けたことにより、浮遊微粒子濃
度の瞬時値を計測できるとともに、上記瞬時値が設定値
をこえたときに警報を発し、汚染状態を早期に防げるよ
うにしたものである。
つぎに本発明の実施例を図面とともに説明する第１図は
本発明による自動浮遊微粒子計測器の一実施例を示す構
成図、第２図は上記実施例に付設する初期火災警報用セ
ンサの構成例を示す図、第３図は垂直層流型クリーンル
ームに上記自動浮遊微粒子計測器を設置した一例を示す
図である。第１図において、サンプル空気吸入口ｌから
吸引ポンプ２によって吸引されたサンプル空気は、検出
部内でサンプル流３を形成する。上記サンプル流３に対
して光源４から集光レンズ５を通して光を照射すると、
上記サンプル流３中に浮遊する微粒子によって散乱光を
発生する。上記散乱光を集光レンズ６を介して光電セン
サ７で受光し、その受光信号を増幅器８を経てコンパレ
ータ９に入力し、コンパレータ９の出力をカウンタ１７
に表示している。上記の構成は通常の浮遊微粒子計測器
と同一である。大気汚染の計測とか、通常の空間におけ
るダスト計測のように、ダスト濃度が時間的にほぼ一定
であるときは、カウント計数は累計値でもよいが、クリ
ーンルーム内の異常発塵のようにダスト濃度が瞬間的に
太き（変化するときの計測は、上記のカウント累計値で
は不十分であり、したがって警報装置を作動させる場合
には、カウント累計値で警報を発するよりも、カウント
レート（すなわちカウント周波数に相当する）によって
警報を出す方が合理的であるといえる。そのため本実施
例では、コンパレータ９の出力を周波数電圧変換回路１
１を経てコンパレータ１２に入力し、カウントレートに
変換してレートメータ１６に表示するとともに、アナグ
ロ出力１５として取出せるように構成している。なお上
記第１図における１０および１３はそれぞれコンパレー
タ９および１２の設定電圧を示し、１４はフンパレータ
１２の出力側に接続されたリレー回路である。第２図は
初期火災警報用センサの構成例を示し、図における１８
は第１図の１〜１３までを含む部分を示し、１９は上記
部分に接続された遅延特性リレー、２０は警報接点出力
である。
本発明による自動浮遊微粒子計測器の一実施例を示す構
成図、第２図は上記実施例に付設する初期火災警報用セ
ンサの構成例を示す図、第３図は垂直層流型クリーンル
ームに上記自動浮遊微粒子計測器を設置した一例を示す
図である。第１図において、サンプル空気吸入口ｌから
吸引ポンプ２によって吸引されたサンプル空気は、検出
部内でサンプル流３を形成する。上記サンプル流３に対
して光源４から集光レンズ５を通して光を照射すると、
上記サンプル流３中に浮遊する微粒子によって散乱光を
発生する。上記散乱光を集光レンズ６を介して光電セン
サ７で受光し、その受光信号を増幅器８を経てコンパレ
ータ９に入力し、コンパレータ９の出力をカウンタ１７
に表示している。上記の構成は通常の浮遊微粒子計測器
と同一である。大気汚染の計測とか、通常の空間におけ
るダスト計測のように、ダスト濃度が時間的にほぼ一定
であるときは、カウント計数は累計値でもよいが、クリ
ーンルーム内の異常発塵のようにダスト濃度が瞬間的に
太き（変化するときの計測は、上記のカウント累計値で
は不十分であり、したがって警報装置を作動させる場合
には、カウント累計値で警報を発するよりも、カウント
レート（すなわちカウント周波数に相当する）によって
警報を出す方が合理的であるといえる。そのため本実施
例では、コンパレータ９の出力を周波数電圧変換回路１
１を経てコンパレータ１２に入力し、カウントレートに
変換してレートメータ１６に表示するとともに、アナグ
ロ出力１５として取出せるように構成している。なお上
記第１図における１０および１３はそれぞれコンパレー
タ９および１２の設定電圧を示し、１４はフンパレータ
１２の出力側に接続されたリレー回路である。第２図は
初期火災警報用センサの構成例を示し、図における１８
は第１図の１〜１３までを含む部分を示し、１９は上記
部分に接続された遅延特性リレー、２０は警報接点出力
である。
したがって上記自動浮遊微粒子計測器が、第２図に示す
構成を有する場合には、浮遊微粒子の濃度瞬時値があら
かじめ設定された値をこえたときに警報を発することが
できる。
構成を有する場合には、浮遊微粒子の濃度瞬時値があら
かじめ設定された値をこえたときに警報を発することが
できる。
クリーンルームの異常発塵の一例として設備機器の過熱
による発煙がある。もし火災発生の初期における微量の
発煙を素早く検出することができれば、災害防止に太き
（貢献できるのは明らかである。上記のような目的に対
しては、上記実施例に示したようなカウントレートによ
る警報発信が有効である。光散乱式浮遊微粒子計測器は
、通常の煙感知器よりは高感度な粒子検出を行うことが
できることと、クリーンルームでは正常のクリーン度が
高いということの２つの理由から、信頼性が高い防災シ
ステムを作ることかできる。第３図は垂直層流型のクリ
ーンルームの断面模式図で、警報装置を設けた自動浮遊
微粒子計測器の取付は状態を示している。クリーンルー
ム２２に高性能フィルタ２５を通して供給された清浄空
気は、グレーティング２３を通って床下のリターン空気
ダクト２４ヘ循還する。したかって第３図では自動浮遊
微粒子計測器２１を上記リターン空気ダクト２４の入口
近くに設け、上記ダクトに導入される空気中に浮遊する
微粒子の瞬時値を検出し、該検出値があらかじめ設定さ
れた値をこえるときに、上記警報接点。
による発煙がある。もし火災発生の初期における微量の
発煙を素早く検出することができれば、災害防止に太き
（貢献できるのは明らかである。上記のような目的に対
しては、上記実施例に示したようなカウントレートによ
る警報発信が有効である。光散乱式浮遊微粒子計測器は
、通常の煙感知器よりは高感度な粒子検出を行うことが
できることと、クリーンルームでは正常のクリーン度が
高いということの２つの理由から、信頼性が高い防災シ
ステムを作ることかできる。第３図は垂直層流型のクリ
ーンルームの断面模式図で、警報装置を設けた自動浮遊
微粒子計測器の取付は状態を示している。クリーンルー
ム２２に高性能フィルタ２５を通して供給された清浄空
気は、グレーティング２３を通って床下のリターン空気
ダクト２４ヘ循還する。したかって第３図では自動浮遊
微粒子計測器２１を上記リターン空気ダクト２４の入口
近くに設け、上記ダクトに導入される空気中に浮遊する
微粒子の瞬時値を検出し、該検出値があらかじめ設定さ
れた値をこえるときに、上記警報接点。
出力２０に接続された警報器によって警報を発すること
ができる。
ができる。
なお、上記自動浮遊微粒子計測器が警報を発するととも
に、サンプル流３を形成するための吸引ポンプ２の動作
を停止させる手段を有する場合（Δ微粒子を高濃度に含
む試料を引続き吸引することがな（、そのため計測部の
汚染を早期に防止することが可能である。
に、サンプル流３を形成するための吸引ポンプ２の動作
を停止させる手段を有する場合（Δ微粒子を高濃度に含
む試料を引続き吸引することがな（、そのため計測部の
汚染を早期に防止することが可能である。
上記のように本発明による自動浮遊微粒子計測器は、ポ
ンプで吸引した試料気体中に浮遊する微粒子に光を照射
し、上記微粒子から発する散乱光を検出して、微粒子の
大きさおよび濃度を計測する自動浮遊微粒子計測器にお
いて、上記散乱光の受光信号パルスを計数表示するカウ
ンタと並列に周波数・電圧変換回路を接続して、微粒子
の濃度の瞬時値に比例するアナグロ値を出力するように
し、上記微粒子濃度の瞬時値があらかじめ設定した値を
こえたとき、警報を発信する警報装置を設けたことによ
り、浮遊微粒子濃度の瞬時値を計測することができ、ま
た警報装置の設置によって、上記浮遊微粒子の濃度の瞬
時値があらかじめ設定した値をこえたときに警報を発し
、災害を未然に防ぐことができる。さらに警報の発信と
ともに吸引ポンプを停止することによって、３１測部の
汚染を早期に防止できる。
ンプで吸引した試料気体中に浮遊する微粒子に光を照射
し、上記微粒子から発する散乱光を検出して、微粒子の
大きさおよび濃度を計測する自動浮遊微粒子計測器にお
いて、上記散乱光の受光信号パルスを計数表示するカウ
ンタと並列に周波数・電圧変換回路を接続して、微粒子
の濃度の瞬時値に比例するアナグロ値を出力するように
し、上記微粒子濃度の瞬時値があらかじめ設定した値を
こえたとき、警報を発信する警報装置を設けたことによ
り、浮遊微粒子濃度の瞬時値を計測することができ、ま
た警報装置の設置によって、上記浮遊微粒子の濃度の瞬
時値があらかじめ設定した値をこえたときに警報を発し
、災害を未然に防ぐことができる。さらに警報の発信と
ともに吸引ポンプを停止することによって、３１測部の
汚染を早期に防止できる。
第１図は本発明による自動浮遊微粒子計測器の一実施例
を示す構成図、第２図は上記実施例に付設する初期火災
報知用センサの構成例を示す図、第３図はクリーンルー
ムに上記自動浮遊微粒子計測器を設置した一例を示す図
、第４図（ａｌは異常濃度が短い継続時間を示す図、第
４図（ｂｌは上記継続時間におけるカウント数の変化を
示す図である。 ２・・・吸引ポンプ ３・・・サンプル流４・・
・光源 ７・・・光電センサ１１・・・周波
数・電圧変換回路 １４・・・リレー回路 ＋５・・・アナグロ出力
１６・・・レートメータ １７・・・カウンタ２０
・・・警報接点出力
を示す構成図、第２図は上記実施例に付設する初期火災
報知用センサの構成例を示す図、第３図はクリーンルー
ムに上記自動浮遊微粒子計測器を設置した一例を示す図
、第４図（ａｌは異常濃度が短い継続時間を示す図、第
４図（ｂｌは上記継続時間におけるカウント数の変化を
示す図である。 ２・・・吸引ポンプ ３・・・サンプル流４・・
・光源 ７・・・光電センサ１１・・・周波
数・電圧変換回路 １４・・・リレー回路 ＋５・・・アナグロ出力
１６・・・レートメータ １７・・・カウンタ２０
・・・警報接点出力
Claims (2)
- （１）ポンプで吸引した試料気体中に浮遊する微粒子に
光を照射し、上記浮遊微粒子から発する散乱光を検出し
て、微粒子の大きさおよび濃度を計測する自動浮遊微粒
子計測器において、上記散乱光の受光信号パルスを計数
表示するカウンタと並列に、微粒子濃度の瞬時値に比例
するアナグロ値を指示または出力するための周波数・電
圧変換回路を接続し、上記微粒子濃度の瞬時値があらか
じめ設定した値をこえたとき警報を発信する警報装置を
設けたことを特徴とする自動浮遊微粒子計測器。 - （２）上記警報装置は、該警報装置が動作すると同時に
吸引ポンプを停止させる手段を有するものであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の自動浮遊微粒子
計測器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19753785A JPS6258383A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 自動浮遊微粒子計測器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19753785A JPS6258383A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 自動浮遊微粒子計測器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6258383A true JPS6258383A (ja) | 1987-03-14 |
Family
ID=16376121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19753785A Pending JPS6258383A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 自動浮遊微粒子計測器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6258383A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6580892B2 (en) * | 2000-12-22 | 2003-06-17 | Bridgestone Corporation | Developing roller and image formation apparatus |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4895876A (ja) * | 1972-03-18 | 1973-12-08 | ||
| JPS5655856A (en) * | 1979-10-15 | 1981-05-16 | Toa Medical Electronics Co Ltd | Automatic analyzing device for blood |
| JPS5819537A (ja) * | 1981-07-28 | 1983-02-04 | Toa Medical Electronics Co Ltd | 粒子計数装置の異状検出装置 |
| JPS59947B2 (ja) * | 1974-04-22 | 1984-01-09 | 日本電子株式会社 | デンシセン ノ エネルギ−ブンセキソウチ |
| JPS59128432A (ja) * | 1983-01-13 | 1984-07-24 | Sanyo Electric Co Ltd | ガス濃度測定装置 |
-
1985
- 1985-09-09 JP JP19753785A patent/JPS6258383A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4895876A (ja) * | 1972-03-18 | 1973-12-08 | ||
| JPS59947B2 (ja) * | 1974-04-22 | 1984-01-09 | 日本電子株式会社 | デンシセン ノ エネルギ−ブンセキソウチ |
| JPS5655856A (en) * | 1979-10-15 | 1981-05-16 | Toa Medical Electronics Co Ltd | Automatic analyzing device for blood |
| JPS5819537A (ja) * | 1981-07-28 | 1983-02-04 | Toa Medical Electronics Co Ltd | 粒子計数装置の異状検出装置 |
| JPS59128432A (ja) * | 1983-01-13 | 1984-07-24 | Sanyo Electric Co Ltd | ガス濃度測定装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6580892B2 (en) * | 2000-12-22 | 2003-06-17 | Bridgestone Corporation | Developing roller and image formation apparatus |
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