JPS59947B2 - デンシセン ノ エネルギ−ブンセキソウチ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はオージエ電子やその他の電子線のエネルギー分
析装置に関するものである。

一般にエネルギーアナライザーにおいて、その分解能Ｒ
は電子のエネルギーをＥ、エネルギー不△Ｅ確定巾を△
ＥとしたときＲ＝ｉで与えられるが、アナライザーの形
式により、△Ｅ■Ｃｏｎｓｔのもの△Ｅと上− ■ｃｏ
ｎｓｔのものとに大別される。

解析の容易さからは前者の部類の方が便利であるが、種
々の面で優れた特徴を持つているシリンダリカルミラー
アナライナーや同心球型アナライザーは後者△Ｅに属し
ている。

該後者のアナライザー即ち一＝Ｃｏｎｓｔのものを用い
て電子のエネルギースペクトルを得た場合、第１図実線
ａで示す如くスペクトルは右上りのものとなる。

処が実際のスペクトルは点線ｂで示す如き形状をしてい
る。同図において、横線Ｅは電子エネルギーを示し、縦
線Ｉは強度を示している。同図かられかる様にエネルギ
ーＥが高くなる程得られたスペクトルａと実際のスペク
トルｂとの差が大きくなつており、非常に見づらいばか
りでなく、定量に関する解析を困難にする。而して本発
明はこの様な時題を解決するために成されたもので、シ
リンドリカルミラーアナラィザーや同心球型アナライザ
ーで得られたスペクトルを自動的に△Ｅ■Ｃｏｎｓｔの
形のアナライザーで得られるようなスペクトルに修正す
ることを特徴とする。

第２図は本発明の一実施例を示すブロック線図であり、
１は筒状電極２及び同心筒状電極３から成るシリンドリ
カルミラーアナライザーを示している。

４は試料で、該試料には図示外の電子線照射系より電子
線５が照射されている。

該電子線の照射によつて試料から発生した例えば、オー
ジエ電子６は前記シリンドリカルミラーアナライザー１
内に導かれ、電極２と３との間に形成される電界によつ
てそのエネルギーに応じて空間的に分離される。該アナ
ライザーを出た特定のエネルギーの電子は検出器７によ
つて検出され増巾器８を介して割算回路９に導入される
。一方前記電極２はアース電位に保たれ、電極３は可変
直流電源１０によつて負の電圧が印加されるようになつ
ている。該電源１０の両端間には分割抵抗Ｒが接続され
、該抵抗を通して電極３に印加する電圧に比例した電圧
Ｙが検出される。該信号は反転型増巾器１１を介して割
算回路９に導入される。この割算回路において、前記信
号Ｘと電極３に印加する電圧に比例した電圧Ｙとの比Ｙ
が求められる。

該信号は図示しないが適宜に増巾されて、表示装置又は
記録装置に導入される。この様な構成となせば、検出器
７によつて検出される電子のエネルギーに対応して抵抗
Ｒから基準信号が検出され、自動的に検出信号と基準信
号との比が求められるため、電子のエネルギーに拘りな
く検出効率が一定となり、従つて種々の優れた特徴をも
つシリンドリカルミラーアナラィザ一や同心球型アナラ
イザーを使用して解析の容易なスペクトルが得ることが
できる。

尚、以上上記は本発明の例示であり、実施に当つては色
々の変更が可能である。

例えば第２図においてはＸとＹとの比を求めるために割
算回路９を使用したが、増巾器８及び１１として対数増
巾器を使用する場合は割算回路９に変えて減算回路が使
用される。又これらの演算回路を使用せず、増巾器１１
からの信号によつて増巾器８の利得を制御する様にして
も同様の効果が得られる。更に、検出器７からの信号が
パルス状である場合には、増巾器８の後段にレートメー
ターを挿入すれば全く同様に適用し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のシリンドリカルミラーアナライザ一を使
用して得られたスペクトルを示し、第２図は本発明の一
実施例を示すプロツク線図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ２つの電極間に形成された電界により電子をそのエ
   ネルギーに応じて空間的に分離するための手段と、該手
   段によつて分離された特定エネルギーを有する電子を検
   出するための検出手段と、該検出手段によつて検出され
   る電子のエネルギーを変化させるため前記電極間の電圧
   を変化させるための手段と、該検出手段よりの出力信号
   を該エネルギーに関連させて記録又は表示するための手
   段とを具備する装置において、該検出手段よりの信号を
   該電圧値に応じて制御するための手段を具備することを
   特徴とする電子線のエネルギー分析装置。