JPS62576B2

JPS62576B2 -

Info

Publication number: JPS62576B2
Application number: JP14110077A
Authority: JP
Inventors: Yoshiaki Arimura; Kazuhiro Tsumura; Yutaka Hitomi
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1977-11-26
Filing date: 1977-11-26
Publication date: 1987-01-08
Also published as: JPS5474376A

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、例えば半導体チツプのマウント行程
で用いられる半導体チツプ等の微小物体の位置を
検出するの位置検出方式に関する。

半導体素子を自動的に組立てる場合、機械的な
手段を用い容易に正確な位置合せが可能な部品
と、部品が微小であるため機械的な位置合せが不
可能な部品がある。

本発明はこのうち機械的な位置合せが不可能な
微小部品の位置ずれを光学的な手段で検出し、部
品の組立を自動化ならしめるに適したもので、目
標物の位置を微細に検出できる位置検出方式を提
供することを目的とするものである。

以下本発明の一実施例として集積回路素子（以
下ICチツプと言う）のマウント工程をあげて詳
細に説明する。

第１図において、目標物となるICチツプ１は
リング２の上部に引伸ばして張られた合成樹脂製
フイルム３の上へ１個ずつ離された状態で配列さ
れている。

この引伸し精度が良ければ、リング２を移動さ
せる移動機構であるＸ−Ｙステージ４で定量送り
を行い基準地点へ設定出来るが、現実には合成樹
脂フイルム３の伸びが一様ではないため、引伸し
精度が悪く、ICチツプ１の位置ずれの検出をし
Ｘ−Ｙステージ４の駆動制御が必要となる。

ICチツプ１は光源５の照明光５ａで照明さ
れ、撮像装置６でICチツプ１の光学像を２次元
の像に対応して電気信号に変換する。撮像装置６
には、たて32ビツト、横32ビツトで１画面当り
1024ビツトの映像信号を得ることができるような
テレビカメラを用いればよい。

撮像装置６の映像信号７と同期信号８はアナロ
グ−デジタル変換器（以下Ａ−Ｄ変換器と言う）
９に入力され、同期信号８の１画面信号と、一ラ
イン走査信号と、一絵素子信号に同期して１画面
分の映像信号を順次７ビツトのデジタル量に変換
し、メモリ１０の映像番地、すなわちEIZO番地
より１番地毎に最後にEIZO＋1023番地までデー
タバス１１を介して記憶する。メモリ番地は、ア
ドレスバス１２から得られる同期信号により、ア
ドレスバツフア（アドレス選択回路）１３が作動
して制御される。こしてデジタル変換が終了する
とＡ−Ｄ変換器９より比較用基準信号を発生する
ためのしきい値算出器１５へ終了信号１４が送ら
れる。

しきい値算出器１５は終了信号１４を受信する
と、メモリ１０のEIZO番地乃至EIZO＋1023番地
の映像信号のデジタル量を順次読み出しデジタル
量に応じて決められた各カウンタの内容を１カウ
ント増加させ積算する。

第２図はしきい値算出器１５の具体的構成を示
しており、これを参照して対象ICチツプ選別の
ためのしきい値算出方式を説明する。すでに述べ
たようにＡ−Ｄ変換が終了すると、Ａ−Ｄ変換器
９より終了信号１４がアドレス制御部２０１へ入
力されアドレスバス１２、アドレスバツフア１３
を介し、メモリ１０のEIZO番地のデータをデー
タバス１１を介し２進−10進変換用デコーダ２０
２へ出力される。このデータはそのデジタル量に
応じて制御部２０１からのタイミングパルス２０
３に同期してデコーダ２０２で変換される。そし
てデコーダ２０２の各桁に接続された各カウンタ
２０４(i)（ｉ＝１〜Ｎ）に入力され、そのカウン
タ２０４(i)を１カウントずつ増加させる。同じ動
作をEIZO＋1023番地まで行う。

こうして映像信号の大きさ（波高値レベル）の
分類が終ると、まず大きさの小さい映像信号の数
を計数したカウンターより順次計数値を累計す
る。そして、その値が撮像装置６でチツプの存在
しない引伸しテープ３のみの部分を検出する撮像
装置６の絵素子数の平均値にほぼ等しい値ｆ_Lに
なるまで計算器２０５でカウンタ毎に決められて
いる映像データの大きさとその計数値の積を累計
し、これを値ｆ_Lで割り映像信号の値の低い領域
の信号レベル平均値_Lを計算する。

一方、大きさの高い映像信号数を計算したカウ
ンタより順次計算値を計数し、その値が４個より
８個の間の任意の値で、カウンタ２０４(i)のデー
タの大きさとその計数値の積を累計し、その個数
で割り映像信号の高い領域の平均値をｅ_Hを計算
器２０５で計算する。

こうして求めた低い領域の平均値_Lは、引伸
テープ３の反射面による映像信号の平均値とほぼ
等しいが、完全にチツプの存在による映像成分と
分離するため、信号選別のためのしきい値は、低
い領域の平均値_Lに高い領域の平均値_Hと低い
領域の領均値_Lの差の５分の１を加算した値、
すなわち、しきい値をEsとすれば Es＝ｅ_Ｌ−ｅ_Ｌ／５＋_L に設定すれば良いことが試行により見い出され
る。この値をメモリ１０のBIAS番地に記憶させ
るとともに、しきい値Ｅ_Bは信号線１６で対象物
抽出装置１７に入力される。

第３図に映像信号のデジタル値をしきい値_B
と比較し、しきい値以上の映像信号のみを図示し
たものを示す。図に於いて水平番地３００と垂直
番地３０１でメモリ１０のEIZO＋ｉ番地自体を
表わしている。EIZO番地はＸ＝０、Ｙ＝０と表
わし、EIZO＋1023番地は、Ｘ＝31、Ｙ＝31と表
わす。つまり番地のｉ＝32・Ｙ＋Ｘの関係を満た
している。ここで以後の位置検出等に必要なチツ
プは３０６であり、その他のチツプ３０２〜３０
５とチツプ３０７〜３１０は不要なチツプであ
る。

第３図のチツプ３０６を抽出する第１の方法を
第４図、第５図、第６図を参照して説明する。

まず第４図で示す中心座標０の上下、左右に前
記しきい値Ｅ_B以上の映像信号があるか否かを調
べ、その番地自体（内容値ではない）をCHIP(i)
として後述するメモリに登録し、さらに登録され
たすべてのCHIP(i)について調べる。尚第３図の
３０６のように０〜４を調べた場合、すべてＥ_B
より小さくなることがあるので５、６のような水
平方向位置も調べる。

第５図にそれらの具体的抽出動作例を示す。対
象物を調べる最初の原点座標は、第３図の中心線
３１１，３１２の交点Ｘ＝15、Ｙ＝15であり、
EIZO番地に換算すればEIZO＋495となる。

まず第５図の丸印はしきい値以上のICチツプ
であり、円内の数字はCHIR(j)番地の登録番地ｊ
である。

まず原点０の映像信号がメモリ１０から読み出
され、しきい値Ｅ_Bと比較されるが、しきい値以
下であるのでCHIP(j)番地には登録されない。次
に上下左右を調べるとしきい値Ｅ_B以上あるので
CHIP(j)番地に番地ｊの値１、２、３、４とその
映像番地EIZO＋ｉが同時に登録される。次に１
を中心に上下左右をチエツクし、しきい値以上の
５６を登録する同様にCHIP(i)番地に登録された
EIZO＋ｉ番地のすべてについて行うと、円内に
数字で示した部分のみ抽出できる。上下左右のチ
エツクで登録された番地を何回もチエツクする
が、二重登録を防ぐため登録したEIZO＋ｉ番地
の存在するメモリの最高ビツト（桁）すなわち０
ビツト目をチエツクビツトとして、“１”にセツ
トして、メモリの第０ビツト目の値を調べること
により二重登録を防いでいる。

第６図に示した具体的回路構成を参照して説明
すると、しきい値Ｅ_Bは上述したように信号線１
６で設定部６０２の０ビツトを除いた部分に設定
される。最初の原点座標Ｘ＝15、Ｙ＝15（EIZO
＋495番地）は制御部６００に記憶されており、
アドレスバス１２、アドレスバツフア１３を介し
てメモリ１０のEIZO＋495番地の内容がデータバ
ス１１を介し、レジスタ６０４へ入力される。制
御部６００より設定部６０２の登録チエツクビツ
ト６０２ａを信号線６０５で“１”レベルとす
る。設定部６０２は、チエツクビツト６０２ａの
大きさＣとしきい値Ｅ_Bの加算した値（Ｃ＋Ｅ_B）
となり、レジスタ６０４の内容と比較される。レ
ジスタ６０４の内容が上記（Ｃ＋Ｅ_B）より低け
れば制御部６００より比較指令信号６０６を発し
て比較器６０３を作動させても信号線６０７には
信号は発生しない。すなわちレジスタ６０４の内
容は初めて調べられた番地の内容である。次に制
御部６００からの信号でチエツクビツト６０２ａ
を“０”レベルにしてレジスターの内容６０４と
比較させるがしきい値以下であるので比較指令信
号６０６を発しても信号線６０７には信号が依然
として表われない。次に座標原点の上の番地をレ
ジスタ６０４に読み出し、設定部６０２の信号
（Ｃ＋Ｅ_B）と比較し、それより小さければ、しき
い値Ｅ_Bと比較するレジスタ６０４の内容がＥ_Bよ
り大きい場合、比較指令信号６０６を発すると信
号線６０７に信号を発生し、レジスタ６０４のチ
エツクビツト６０４ａを“１”レベルに設定し、
今までのEIZO＋ｉ番地の内容と交換すると共に
チツプ登録部６０１のCHIP(j)番地にEIZO＋ｉが
登録される。次にCHIP(j)の０番地より順次登録
された番地を制御部６００に設定し、メモリ１０
のデータを読み出し、上下左右を調べ対象チツプ
を抽出する。

対象チツプを抽出する第２の手段を説明する。
第３図で示す映像信号をしきい値以下の数をＸ番
地、Ｙ番地ごとに計算すれば第７図の様になる。
Ｘ番地では、原点Ｘ＝15をはさんで７０１と７０
２が最大となり、Ｙ番地では７０３と７０４が最
大となる。すなわちＸ番地がＸ＝10よりＸ＝20ま
で、Ｙ番地がＹ＝８よりＹ＝21までの範囲で囲ま
れた部分が対象チツプとなる。

次に第８図で具体的なチツプ抽出装置の構成を
説明する。

しきい値Ｅ_Bは前述した信号線１６で設定され
ている。メモリ１０のデータは制御器８００、ア
ドレスバス１２、アドレスバツフア１３を介しデ
ータバスでレジスタ８０１にEIZO番地よりEIZO
＋1023番地まで順次読み出され比較器８０２で比
較される。

制御器８００で指定するEIZO＋ｉ番地は10ビ
ツトの２進数で出力されるが、上位５ビツトを２
進−10進変換用デコーダ８０４に、又下位５ビツ
トをデコーダ８０５に入力させればデコーダ８０
４はＹ番地、デコーダ８０５はＸ番地を出力す
る。各番地に１個ずつカウンタ８０６〜８７０を
接続し、EIZO＋ｉ番地のデータを読み出し、比
較器８０２でしきい値と比較し、大きければ制御
器８００より比較指定パルス８７１を比較器８０
２に送ればデコーダ８０４，８０５を介してＹ(i)
番地Ｘ(i)番地に相当するカウンタ８０６〜８７０
の内容が１ガウントずつ増加する。同様にして
EIZO＋1023まで比較を行い、終了したら最大値
検出部８７２で原点（Ｘ＝15、Ｙ＝15）をはさむ
最大値の番地すなわち、第７図の７０１，７０
２，７０３，７０４に対応した番地を検出し、Ｘ
番地はＸ＝10より大きくＸ＝20より小さい範囲、
Ｙ番地はＹ＝８より大きくＹ＝21より小さい範囲
に対象チツプがあることを制御器８００に伝達す
る。制御器８００は再びメモリ１０のEIZOより
EIZO＋1023までを順次読み出しEIZO＋ｉ番地が
10＜Ｘ＜20、８＜Ｙ＜21の範囲にあればレジスタ
８０１の最上位８０１ａを信号線８７３で“１”
レベルに設定し、メモリ１０のEIZO＋ｉ番地の
データを書き替える。抽出が終ると終了信号１８
をチツプ不良検出装置１９に発生する。

対象物を抽出する方式の第３の方式として、第
９図、第１０図、第１１図を基に説明する。

まず第９図に示す任意の位置１４０１を中心に
上下左右の４方向で映像がしきい値Ｅ_B以下にな
る番地を調べそれより前の番地をそれぞれ１４０
２，１４０３，１４０４，１４０５とする。これ
らの番地と中心の1401番地を比較して一番距離の
離れている1403番地を出発点SPとして記憶す
る。

次に出発点SPの1403番地とその左側1406番地
と左下側1407番地と下側の1408番地で４分割され
た検出視野１４０９を構成する。この４分割され
た検出視野１４０９でしきい値Ｅ_B以上としきい
値Ｅ_B以下の境界線を調べる。

これら４分割された視野１４０３，１４０６，
１４０７，１４０８の各番地の映像信号がしきい
値Ｅ_B以上であるか否を調べそのしきい値Ｅ_B以上
のパタンが第１０図に示す基準パタン１５０１〜
１５１３と比較し、一致したパタンを探し、その
番地を記憶すると共にそのパタンに示してある矢
印の方向へ検出視野を１段移動させ再び４分割さ
れた視野１４０３，１４０６，１４０７，１４０
８の番地の映像信号がしきい値Ｅ_B以上か否かを
調べ、第１０図の基準パタンに基ずき視野１４０
９を移動させると共に、しきい値以上の番地を記
憶する。これらの視野１４０３，１４０６，１４
０７，１４０８のいずれかの番地が出発点SPに
重なり一致するまで行う。

記憶されたしきい値Ｅ_B以上の番地で囲んだ部
分が対象物となる。

次に第１１図の具体的回路構成を参照して動作
を説明する。

しきい値Ｅ_Bは上述した信号線１６で設定部１
６０１に設定される。

任意の中心位置１４０１より上、下、左、右に
映像信号を調べるがまず上方向に調べるすなわち
中心位置１４０１をEIZO＋ｉ番地とすれば、撮
像装置６の横一列が32番地で構成されているか
ら、中心位置の上の番地は（EIZO＋ｉ）−32でそ
の番地が制御部１６００よりアドレスバス１２、
アドレスバツフア１３を介しメモリ１０を制御
し、その番地の映像信号がメモリ１０よりデータ
バス１１でレジスタ１６０３に入力され、コンパ
レータ１６０２でしきい値Ｅ_Bと比較されしきい
値以上ならばその番地（EIZO＋ｉ）−32を信号線
１６０８を介して上方向番地ORGUとしてチツプ
登録部１６０４に記憶する。そして（EIZO＋
ｉ）番地の映像信号がしきい値Ｅ_B以下になるま
でくり返し、そのつど上方向番地ORGUを書き替
える。

次に中心位置１４０１より下方向、左方向、右
方向で同じ様に境界を調べ、信号線１６０８を介
してそれぞれ下方向番地ORGD、左方向ORG
Ｌ、右方向ORGRをチツプ登録部１６０４に記憶
する。

４方向の境界が求められたら信号線１６０８を
介して４方向の境界番地を制御部１６００に読み
出し制御部１６００で中心位置との距離を計算
し、信号線１６０８を介して最長位置サンプル１
４０３のORGDを、チツプ登録部１６０４に出発
点SPとして記憶し、その他のORGU、ORGL、
ORGＲ、をチツプ登録部１６０４から取り消
す。

出発点１４０３の左側１４０６、左下側１４０
７、下側１４０８のEIZO＋ｉ番地をレジスタ１
６０３に読み出し、しきい値Ｅ_Bと比較する。そ
してしきい値以上であつたら信号線１６０８を介
してチツプ登録部１６０４にそのEIZO＋ｉ番地
自体を記憶すると共に、信号線１６０９を介して
パタン登録部１６０５に４分割視野のどの部分が
しきい値以上かを記憶し、４つの視野の比較が終
つたら基準パタン比較部１６０６で基準パタンと
比較し、第１０図に示す進行方向を信号線１６１
０で制御部１６００に伝え、この進行方向の信号
で次に比較するEIZO＋ｉ番地を制御部１６００
で設定する。

EIZO＋ｉ番地が出発点１４０３のSP番地と一
致するまで映像信号としきい値の比較が行われ
る。

EIZO＋ｉ番地と出発点SP番地が一致すればチ
ツプ登録部１６０４に記憶された番地が対象物の
輪郭となる。

次に上述した種々の方法により検出された第１
２図に示すチツプ９００が正常か否か調べるチツ
プ良否判定回路１９の具体的構成について第１３
図を参照して説明する。

まずメモリ１０のEIZO＋ｉ番地よりそのデー
タの最上位が“１”レベルの映像信号を演算機１
０００に読み込み、プログラム１００１にしたが
い最上位の“１”ビツトを取り除き、取り除いた
後のデイジタル映像信号の緩和をE₀とする。次
に第１２図のチツプ９００を周辺１番地分ずつ取
り除き残つた部分すなわち線９０１ａ，９０１
ｂ，９０１ｃ，９０１ｄで囲つた部分の映像信号
の総和をEinとして、そのときの絵素子数Ｋで
Einを割れば１絵素子当りの映像信号の平均値
が求められる。

周辺を１番地分取除くのはチツプ像の周辺は光
電素子の一部しか入力しないため映像信号電圧の
差が大きいので完全に光電素子に入力する中心線
のみで平均値を求める。

チツプの大きさはパネル１００２より入力さ
れ、メモリ１０のSIZE番地に絵素子数に換算さ
れ入力されているので、演算機１０００にその値
Ｓを読み出し、上述した平均値に絵素子数Ｓを
乗すれば仮想映像信号Esが求まる。このEsとEo
を演算機１０００で比較して実測の映像信号の総
和Eoがα₁Es＜Eo＜α₂Esの転用ならばチツプは
良品、それ以外は不良品である。α_１、α_２は比
例定数であり光学系の傾斜も考慮して実験的に求
めると光学系の傾きを30度とすればα_１＝0.97、
α_２＝1.03尚、第１２図の空白９０２は赤インキ
による不良の刻印であり、又第３図のチツプ３０
２，３０４の空白は欠け割機である。

チツプの良否の判定が終了すると終了信号２０
が位置検出装置２１へ入力される。

位置検出はチツプの良否にかかわらずチツプが
あればかならず行う必要がある。第１４図の境界
１１０１と１１０２でチツプを４分割すればＡ，
Ｂ，ＣＤの領域に分けられる。この領域のチツプ
の映像信号を累計すればそれぞれ値Ea、Eb、
Ec、Edが求まる。この値よりＸ方向のずれ量を
△ｘとすれば △ｘ＝（Ｅａ＋Ｅｄ）−（Ｅｂ＋Ｅｃ）／Ｅｏ×ｌｘ
／２ｙ方向のずれ量を△ｙ △ｙ＝（Ｅａ＋Ｅｂ）−（Ｅｃ＋Ｅｄ）／Ｅｏ×ｌｙ
／２ただし、Eo＝Ea＋Eb＋Ec＋Ed、lxはチツプ
のＸ方向の距離、lyはチツプのＹ方向の距離であ
る。上記式では偏差を総和Eoで割つているの
で、光源のドリフト、チツプの反射率の変化の影
響を取り除く効果もある。

第１５図は位置検出装置の具体的な回路構成で
あり、制御部１２００でアドレスバス１２、アド
レスバツフア１３を介しメモリ１０のEIZO＋ｉ
番地は順次読み出され、そのデータの最上位が
“１”ビツトであればデコーダ１２０１にその番
地の上位５ビツト（Ｙ座標）を入力させ、デコー
ダ１２０２に下位５ビツト（Ｘ座標）を入力させ
境界を設定器１２０５，１２０６に設定する。す
なわちいずれもＹ＝15、Ｘ＝15とする。この設定
値とEIZO＋ｉ番地を比較すれば比較器１２０３
のＹ、又はY₂のいずれかに、１２０４はX₁又は
X₂のいずれかに比較信号が出力される。EIZO＋
ｉ番地のデータは最上位ビツト“１”が取り除か
れ、Y₁又はY₂とX₁又はX₂の信号で加算器１２０
７〜１２１０に加算される。加算器１２０７には
Ea＋Eb１２０８にはEc＋Ed１２０９にはEd＋
Ec１２１０にはEa＋Edが累計される。

演算器１２１１でＸ方向のずれをパルスモータ
のパルス数に変換した信号を計算し１２１２に出
力する。最上位のレベル“１”は−Ｘ方向、
“０”は＋Ｘ方向として出力する。同様にｙ方向
の信号を１２１３に出力する。

上述の説明は対象チツプが存在している場合で
あつたが、対象チツプが原点にない場合は、第４
図に示す番号の順に６ケ所のEIZO＋ｉ番地でデ
ータがしきい値Ｅ_B以上あるか調べいずれもしき
い値Ｅ_B以下であればCHIPLESSの信号を出す。

また、第７図の場合はチツプが存在しないと７
０１と７０２，７０３と７０４がつながるので、
この場合もCHIPLESSの信号を出す。

第１図に説明をもどすと、マウンタの制御は良
品チツプに対しては位置補正を行ない、およびコ
レツト３０を下げチツプ１を吸着してフレーム３
１上にマウントする。その後Ｘ−Ｙテーブル４を
Ｘ方向に１チツプ分ステツプモータ４ｘで移動さ
せ次のチツプ１を撮像装置６の視野に入れる。一
方不良チツプに対しては、位置補正を行いかつＸ
−Ｙテーブル４をＸ方向に１チツプ分ステツプモ
ータ４ｘで移動させる。

チツプのない場合はＸ−Ｙテーブル４をＸ方向
に１チツプ分ステツプモータ４ｘで移動させる。

マウント制御機２４からは、ｘ方向の補正量と
ｙ方向の補正量と、吸着コレツト３０の制御信号
とＸ方向、Ｙ方向の定量送りのステツプ信号を送
る。

マウンタ制御信号２５はパワーユニツト２８で
パワー増巾し、各部へ供給される。

定量送りはパワーユニツト２８で設定されてい
るのでステツプ信号のみを送る。

パネル部２６は、チツプサイズの設定用デジタ
ルスイツチと、補正用のオフセツト値用デジタル
スイツチを備えており、また、マウンターの動作
すなわち自動及び停止調整等のスイツチが付いて
おりこれらのスイツチにより与えられた情報をデ
ジタル信号に変換して、メモリ１０のPANEL(i)
番地へ記憶させ、必要に応じて他の回路より読み
出しが行なわれる。

以上本発明の一実施例を説明したが、変形例と
して第１図に点線２７で囲んで示す部分を第１６
図に示すとおり、入力インタフエース１３００マ
イクロプロセツサ（中央処理ユニツト）１３０
１、メモリユニツト１３０２、バスライン１３０
３および出力インタフエース１３０４より構成
し、ソフトウエアの手段で、第１図の構成と同等
の機能をもたせることができる。

以上詳述した本発明によれば、半導体マウント
の自動化を行なうときの微細な位置を検出するに
適した高精度、高分解度の位置検出方式が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例を示す配置図、第２図は
しきい値算出回路の構成を示すブロツク図、第３
図はしきい値以上の映像信号とメモリ番地の関係
を示す説明図、第４図は対象物を抽出する第１の
方法を説明するための説明図、第５図は対象物を
抽出した結果を説明するための説明図、第６図は
対象物抽出回路の一例を示すブロツク図、第７図
は対象物を抽出する第２の方法を説明するための
説明図、第８図は対象物抽出回路の一例を示すブ
ロツク図、第９図は対象物を抽出する第３の方法
を説明するための説明図、第１０図は対象物抽出
パターンを示す説明図、第１１図は対象物抽出回
路の一例を示すブロツク図、第１２図は抽出され
た対象物であるチツプの像を示す説明図、第１３
図は不良チツプ選別回路の一例を示すブロツク
図、第１４図はチツプの位置ずれを検出する方法
を説明するための説明図、第１５図は位置検出装
置の一例を示すブロツク図、第１６図は本発明他
の実施例を示す配置図である。１……半導体チツプ４……Ｘ−Ｙステージ６…
…撮像装置、９……Ａ−Ｄ変換器１０……メモ
リ、１５……しきい値算出回路１７……対象物抽
出回路、１９……チツプ良否選別回路、２１……
位置検出装置、２４……マウント制御機２８……
パワーユニツト。

Claims

【特許請求の範囲】１目標物を撮像装置で撮像して得られた映像信
号をＡ−Ｄ変換器により撮像装置の同期信号に同
期してデジタル量に変換し、このデジタル信号を
メモリの２次元座標に対応した番地に記憶させた
後、前記メモリより映像信号を順次読み出し、映
像信号レベルの高い領域の高圧の高い順に所定の
サンプル数を平均した平均値と低い領域の電圧の
低い順に所定のサンプル数を平均した平均値より
しきい値を求めこのしきい値で前記目標物とその
周辺の背景部分を区別し、さらに区別された目標
物の中から特定の対象物を信号処理により抽出
し、抽出された対象物に関するデータから前記対
象物の位置ずれ信号を求めることを特徴とする位
置検出方式。２上記特許請求の範囲第１項に記載した位置検
出方式において、前記高い領域の平均値は前記メ
モリに記憶された映像信号のレベルの高い順に約
４個〜８個のサンプル数で求めかつ低い領域の平
均値は、対象群以外の背景に対応する絵素子数と
ほぼ等しいサンプル数で求め、さらにしきい値は
高い領域の平均値と低い領域の平均値との差の約
５分の１の値を低い領域の平均値に加算してしき
い値としたことを特徴とする位置検出方式。３上記特許請求の範囲第１項に記載した位置検
出方式において、前記撮像装置の視野の任意の位
置を中心に記憶された映像信号をしきい値と比較
し、しきい値以上の絵素子が前記中心位置の上下
又は左右に連鎖的につながるか否かを調べ、つな
がつた部分を対象物とし、記憶装置の相対応する
番地にその情報を書き込むことを特徴とする位置
検出方式。４上記特許請求の範囲第１項に記載した位置検
出方式において、前記撮像装置の視野の任意の位
置を挟むように、しきい値以下の絵素子が連続し
た直線でつながるかを調べこれら直線で囲つた部
分を対象物とし、記憶装置の相対応する番地にそ
の情報を書き込むことを特徴とする位置検出方
式。５上記特許請求の範囲第１項に記載した位置検
出方式において、前記撮像装置の視野の任意の位
置を中心に、上方向と下方向と左方向と右方向に
記憶された映像信号と、しきい値を比較し、しき
い値以上としきい値以下の境界を調べ、その境界
位置と前記視野の任意の位置の中心との距離を比
較し、一番距離の離れた位置を出発点とし、しき
い値以上と、しきい値以下の境界にそつて試行を
行ない、その境界線が出発点と重なる迄試行を行
ない、前記視野の任意の位置の中心を囲む部分を
対象物として記憶装置の相対応する番地にその情
報を書き込むことを特徴とする位置検出方式。６上記特許請求の範囲第５項に記憶した位置検
出方式において、前記対象物の絵素子の外周を１
絵素子分ずつ取り除き残された絵素子の映像信号
より１絵素子の信号レベル平均値を求め、この平
均値に対象物の面積を絵素子数に換算した値を乗
じた理想対象物信号値と、前記対象物の全絵素子
の信号を合計した値を比較し、この値に係数を乗
じて基準値と比較し目標物の良否を判定すること
を特徴とする位置検出方式。７上記特許請求の範囲第１項に記載した位置検
出方式において、任意の線を境界にして視野を水
平方向と垂直方向に４分割して、前記対象物の映
像信号を視野の左側と右側で各々小計して、左側
と右側の差を求め、この差を対象物の全映像信号
の合計値で割り、さらに距離係数を乗じて、水平
方向の位置ずれを求め、又これとは別に前記視野
の上側と下側で各々小計し、上側と下側の差を求
めこの差を前記対象物の全映像信号の合計値で割
り、さらに距離係数を乗じて垂直方向の位置ずれ
を求めることを特徴とする位置検出方式。８上記特許請求の範囲第３項から第５項に記載
した位置検出方式において、対象物が抽出出来な
いときには対象物なしの信号を発生することを特
徴とする位置検出方式。９上記特許請求の範囲第１項に記載した位置検
出方式において、対象物の有無、対象物の良否及
び対象物の位置ずれ信号を発生させて目標物駆動
機構を制御することを特徴とする位置検出方式。