JPS6257222B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6257222B2 JPS6257222B2 JP55179814A JP17981480A JPS6257222B2 JP S6257222 B2 JPS6257222 B2 JP S6257222B2 JP 55179814 A JP55179814 A JP 55179814A JP 17981480 A JP17981480 A JP 17981480A JP S6257222 B2 JPS6257222 B2 JP S6257222B2
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- JP
- Japan
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- probe
- probe card
- board
- performance board
- wire
- Prior art date
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- Expired
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 32
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体ウエハ等のプローブテストを行
なうためのプローブテスト装置に関する。
なうためのプローブテスト装置に関する。
第１図に従来のプローブテスト装置を示す。ス
テージ１に載置されたプローブテストを行なおう
とするウエハ２にプローブカード３のプローブ４
が当接している。
テージ１に載置されたプローブテストを行なおう
とするウエハ２にプローブカード３のプローブ４
が当接している。
プローブカード３のプローブ４が設けられた面
とは反対側の面には図示しない配線によりプロー
ブ４と電気的に接続している。
とは反対側の面には図示しない配線によりプロー
ブ４と電気的に接続している。
ピン５が設けられ、その上の第１の部材６に設
けられた導電体凹部７に挿入されている。
けられた導電体凹部７に挿入されている。
この凹部７は部材６上の導電部８を介して一端
が部材６中に挿入されたワイヤ９に接続される。
が部材６中に挿入されたワイヤ９に接続される。
ワイヤ９の他端は第２の部材１０に挿入され、
その上の導電部１１を介してパーフオーマンス・
ボード１２のピン１３に接続される。尚、第１の
部材６と第２の部材１０を合わせてインサートリ
ングと称する。また、これらインサードボートお
よびプローブカード３は図のようにそれぞれ中央
部に開孔１７，１８を有する。
その上の導電部１１を介してパーフオーマンス・
ボード１２のピン１３に接続される。尚、第１の
部材６と第２の部材１０を合わせてインサートリ
ングと称する。また、これらインサードボートお
よびプローブカード３は図のようにそれぞれ中央
部に開孔１７，１８を有する。
パーフオーマンスボード１２のピン１３は、図
示しない配線により上面の導電部１４と電気的に
接続されている。
示しない配線により上面の導電部１４と電気的に
接続されている。
テスタ１５のピン１６は導電部１４に当接して
おり、導電部１４テスタ１５とは電気的に接続さ
れている。
おり、導電部１４テスタ１５とは電気的に接続さ
れている。
従来はテスタ１５とウエハ２との間の信号およ
び接地電位の伝達経路はいずれも、上記のピンお
よびワイヤにより形成されていた。
び接地電位の伝達経路はいずれも、上記のピンお
よびワイヤにより形成されていた。
このような従来の装置において、信号について
は５（Ｖ）のパルス高を有しているため、周囲か
ら100mV程度のノイズが伝達経路に重畳しても
何ら支障はないが、接地電位の経路においては問
題となる。
は５（Ｖ）のパルス高を有しているため、周囲か
ら100mV程度のノイズが伝達経路に重畳しても
何ら支障はないが、接地電位の経路においては問
題となる。
本発明は従来のこのような欠点を解決し、接地
電位の経路にノイズか重畳しにくくして正しいテ
ストを行なうことができるプローブテスト装置を
提供することを目的とする。
電位の経路にノイズか重畳しにくくして正しいテ
ストを行なうことができるプローブテスト装置を
提供することを目的とする。
かかる目的は、本発明により被試験体に当接す
るプローブを有するプローブカードと、該プロー
ブカードと一主表面側で電気的に接続され、かつ
他の主表面でテスタと電気的に接続されるパーフ
オーマンスボードと、該プローブカードとパーフ
オーマンスボード間に設けられ該プローブカード
とパーフオーマンスボードの接続端子を所定の接
続関係でつなぐインサートボードとを有するプロ
ーブテスト装置において、一端が該プローブカー
ドに、他端がパーフオーマンスボードにそれぞれ
コネクタを用いて接続され、インサートボードを
介した信号伝達経路より短く、かつ実質的に低抵
抗の接地線を設けたことにより達成される。
るプローブを有するプローブカードと、該プロー
ブカードと一主表面側で電気的に接続され、かつ
他の主表面でテスタと電気的に接続されるパーフ
オーマンスボードと、該プローブカードとパーフ
オーマンスボード間に設けられ該プローブカード
とパーフオーマンスボードの接続端子を所定の接
続関係でつなぐインサートボードとを有するプロ
ーブテスト装置において、一端が該プローブカー
ドに、他端がパーフオーマンスボードにそれぞれ
コネクタを用いて接続され、インサートボードを
介した信号伝達経路より短く、かつ実質的に低抵
抗の接地線を設けたことにより達成される。
以下、図面を用いて本発明の一実施例を説明す
る。
る。
尚、第１図と同じ番号は同じものを示す。
本実施例ではプローブカード３とパーフオーマ
ンス・ボード１２の間に、コネクタ２１，２２に
よつて両者に接続された綱シールド線２３を開孔
１７内を通つて設け、これを接地電位を伝達する
ための接地線とした。
ンス・ボード１２の間に、コネクタ２１，２２に
よつて両者に接続された綱シールド線２３を開孔
１７内を通つて設け、これを接地電位を伝達する
ための接地線とした。
尚、コネクタ２１はプローブカード３に設けら
れた２１′とこれとかみ合うシールド線側の２
１″コネクタ２２はパーフオーマンス・ボード１
２に設けられた２２′とこれにかみ合うシールド
線側の２２″からなる。
れた２１′とこれとかみ合うシールド線側の２
１″コネクタ２２はパーフオーマンス・ボード１
２に設けられた２２′とこれにかみ合うシールド
線側の２２″からなる。
このようにすればピンやワイヤを介する信号伝
達経路の長さがおよそ10cm程度に比らべ、接地線
は４cm程度の短さで済み、しかも綱シールド線で
あるので、抵抗値も信号伝達経路よりはるかに小
さくすることができる。
達経路の長さがおよそ10cm程度に比らべ、接地線
は４cm程度の短さで済み、しかも綱シールド線で
あるので、抵抗値も信号伝達経路よりはるかに小
さくすることができる。
従つて特にノイズの影響が問題となる接地線に
はノイズが重畳しにくくなる。
はノイズが重畳しにくくなる。
本発明者の実験により、100mV程度のノイズ
は重畳しないことが確かめられた。
は重畳しないことが確かめられた。
本実施例では、接地線として綱シールド線を用
いたが、本発明はこれに限定されず、要するに線
長が短かく、抵抗値の小さい線を用いればよい。
いたが、本発明はこれに限定されず、要するに線
長が短かく、抵抗値の小さい線を用いればよい。
以上説明したように、本発明によれば接地線に
対するノイズの影響が防止されるので、正しいプ
ローブテストを行なうことができるようになる。
対するノイズの影響が防止されるので、正しいプ
ローブテストを行なうことができるようになる。
第１図は従来例を示す図、第２図は本発明の一
実施例を示す図である。 ２：ウエハ（被試験体）、３：プローブカー
ド、４：プローブ、１２：パーフオーマンス・ボ
ード、１５：テスタ、２３：綱シールド線（接地
線）。
実施例を示す図である。 ２：ウエハ（被試験体）、３：プローブカー
ド、４：プローブ、１２：パーフオーマンス・ボ
ード、１５：テスタ、２３：綱シールド線（接地
線）。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被試験体に当接するプローブを有するプロー
ブカードと、該プローブカードと一主表面側で電
気的に接続され、かつ他の主表面でテスタと電気
的に接続されるパーフオーマンスボードと、該プ
ローブカードとパーフオーマンスボード間に設け
られ該プローブカードとパーフオーマンスボード
の接続端子を所定の接続関係でつなぐインサート
ボードとを有するプローブテスト装置において、 一端が該プローブカードに、他端がパーフオー
マンスボードにそれぞれコネクタを用いて接続さ
れ、インサートボードを介した信号伝達経路より
短く、かつ実質的に低抵抗の接地線を設けたこと
を特徴とするプローブテスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17981480A JPS57103062A (en) | 1980-12-19 | 1980-12-19 | Probe test device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17981480A JPS57103062A (en) | 1980-12-19 | 1980-12-19 | Probe test device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57103062A JPS57103062A (en) | 1982-06-26 |
| JPS6257222B2 true JPS6257222B2 (ja) | 1987-11-30 |
Family
ID=16072348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17981480A Granted JPS57103062A (en) | 1980-12-19 | 1980-12-19 | Probe test device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57103062A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4567432A (en) * | 1983-06-09 | 1986-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus for testing integrated circuits |
| JPH067138B2 (ja) * | 1986-10-27 | 1994-01-26 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
| JPH0729636Y2 (ja) * | 1989-11-21 | 1995-07-05 | 横河電機株式会社 | 半導体ウェハー検査装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5525422U (ja) * | 1978-08-04 | 1980-02-19 |
-
1980
- 1980-12-19 JP JP17981480A patent/JPS57103062A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5525422U (ja) * | 1978-08-04 | 1980-02-19 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57103062A (en) | 1982-06-26 |
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