JPS6257145A - 光熱磁気記録媒体 - Google Patents
光熱磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6257145A JPS6257145A JP19821185A JP19821185A JPS6257145A JP S6257145 A JPS6257145 A JP S6257145A JP 19821185 A JP19821185 A JP 19821185A JP 19821185 A JP19821185 A JP 19821185A JP S6257145 A JPS6257145 A JP S6257145A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- axis
- atomic ratio
- alloy
- easy magnetization
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、光熱磁気記録媒体に関し、例えば光磁気メ
モリ、磁気記録、表示素子などに用いられるものに関す
る。
モリ、磁気記録、表示素子などに用いられるものに関す
る。
従来、光熱磁気記録媒体としては、Ｍ（ＩＢ ｉＳＭｒ
ｌＣｕＢｉナトノ多結晶体薄膜、Ｇｄ０ｏ 、 ＧｄＦ
ｅ 、 ＴｂＦｅ 、 ＤｙＦｅ 。
ｌＣｕＢｉナトノ多結晶体薄膜、Ｇｄ０ｏ 、 ＧｄＦ
ｅ 、 ＴｂＦｅ 、 ＤｙＦｅ 。
ＧｄＴｂＦｅ、 ＴｂＤｙＦｅなどの非晶質薄膜、ＧＩ
Ｇなど）単結晶薄膜などが知られている。これらの薄膜
のうち、大面積の薄膜を室温近傍の温度で製作する製膜
性、信号を小さな光熱エネルギーで書込むための書込み
効率、書込まれた信号を８Ｎ比よく読出すだめの読出し
効率などの点から、最近では上記の非晶質薄膜が優れて
いると考えられている。
Ｇなど）単結晶薄膜などが知られている。これらの薄膜
のうち、大面積の薄膜を室温近傍の温度で製作する製膜
性、信号を小さな光熱エネルギーで書込むための書込み
効率、書込まれた信号を８Ｎ比よく読出すだめの読出し
効率などの点から、最近では上記の非晶質薄膜が優れて
いると考えられている。
しかしながら、これらの非晶質薄膜においても種々の欠
点が指摘されている０例えば、ＧｄＦｅは保磁力が小さ
く、記録された情報が不安定である。
点が指摘されている０例えば、ＧｄＦｅは保磁力が小さ
く、記録された情報が不安定である。
また、ＧｄＦｅ １ＧｄＣｏは磁気的補償点を利用した
書込みを行なっており、書込み効率を均一にするために
、製膜の際、膜組成を厳しく管理しなければならないと
いう問題点がある。また、ＴｂＦｅ ｓ ＤｙＦｅ％Ｔ
ｂＤｙＦｅはキューリ点書込みのため、膜組成をそれほ
ど激しく管理する必要はないが、キュリ一点が１００°
Ｃ前後と低いために、信号を読出す時にパワーの強い光
ヲ用いることができないという問題点がある。キュリ一
温度は低ければ書込み効率は向上するが、書込まれた信
号が、周囲の温度とか読出し光により乱されてしまう。
書込みを行なっており、書込み効率を均一にするために
、製膜の際、膜組成を厳しく管理しなければならないと
いう問題点がある。また、ＴｂＦｅ ｓ ＤｙＦｅ％Ｔ
ｂＤｙＦｅはキューリ点書込みのため、膜組成をそれほ
ど激しく管理する必要はないが、キュリ一点が１００°
Ｃ前後と低いために、信号を読出す時にパワーの強い光
ヲ用いることができないという問題点がある。キュリ一
温度は低ければ書込み効率は向上するが、書込まれた信
号が、周囲の温度とか読出し光により乱されてしまう。
従ってキュリ一温度は、書込み可能であれば高い穆よく
、実用上の状態を考慮すれば２００℃前後が望ましい。
、実用上の状態を考慮すれば２００℃前後が望ましい。
また、反射光による読出しＳＮ比は、反射率を几、カー
回転角をθにとすると、ＪθＫに比例する。
回転角をθにとすると、ＪθＫに比例する。
従って、ＳＮ比よく読出すためには、カー回転角を大き
くすればよい０表１に非晶質薄膜による光熱磁気記録媒
体の主なもののカー回転角とキュリ一温度を示す、この
表１におけるＴｂＦｅＣ０に関しては、特開昭５８−７
８７４６号公報に報告されている０表１ 〔発明が解決しようとする問題点〕 表１に示されるように、ＴｂＦｅ０ｏは、キュリ一点が
２００″０ＩｔｉＩ後で望ましく、カー回転角もこの中
では最も大きく、８Ｎ比よく読出すことができる。
くすればよい０表１に非晶質薄膜による光熱磁気記録媒
体の主なもののカー回転角とキュリ一温度を示す、この
表１におけるＴｂＦｅＣ０に関しては、特開昭５８−７
８７４６号公報に報告されている０表１ 〔発明が解決しようとする問題点〕 表１に示されるように、ＴｂＦｅ０ｏは、キュリ一点が
２００″０ＩｔｉＩ後で望ましく、カー回転角もこの中
では最も大きく、８Ｎ比よく読出すことができる。
しかしこの値でも充分ではなく、更にカー回転角を大き
くする研究が進められている。また、地球上における希
土類の存在度は、原子番号が奇数のＴｂｓ Ｈｏｓ ’
Ｉ’ｍ、 Ｌｕは、偶数のＧｄ、 Ｄｙ、 Ｅｒｓ ｙ
ｂに比べて小さい。従ってＴｏＦｅＯｏは高価になり、
同様な特性を有し、資源希少でない成分で達成すること
が待たれていた。
くする研究が進められている。また、地球上における希
土類の存在度は、原子番号が奇数のＴｂｓ Ｈｏｓ ’
Ｉ’ｍ、 Ｌｕは、偶数のＧｄ、 Ｄｙ、 Ｅｒｓ ｙ
ｂに比べて小さい。従ってＴｏＦｅＯｏは高価になり、
同様な特性を有し、資源希少でない成分で達成すること
が待たれていた。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、高価で希少な成分を含まず、ＳＮ比の良い読出し
が可能で、熱安定性にすぐれ、薄膜として製造が容易な
光熱磁気記録媒体を得ることを目的とする。
ので、高価で希少な成分を含まず、ＳＮ比の良い読出し
が可能で、熱安定性にすぐれ、薄膜として製造が容易な
光熱磁気記録媒体を得ることを目的とする。
この発明に係る光熱磁気記録媒体は、膜面に垂直方向に
磁化容易軸を有し、Ｇｄ−Ｄｙ−Ｆｅ−Ｃｏの４元系非
晶質磁性合金より成るものである。
磁化容易軸を有し、Ｇｄ−Ｄｙ−Ｆｅ−Ｃｏの４元系非
晶質磁性合金より成るものである。
この発明においては、地球上に希少であるＴｌ）を含ま
ず、原子番号が偶数の希土類であるＧｄ、Ｄｙを成分と
する合金により光熱磁気記録媒体を構成する。
ず、原子番号が偶数の希土類であるＧｄ、Ｄｙを成分と
する合金により光熱磁気記録媒体を構成する。
この発明は、Ｇｄ−Ｄｙ−Ｆｅ−Ｃｏの４元系非晶質磁
性合金により光熱磁気記録媒体を構成するものである。
性合金により光熱磁気記録媒体を構成するものである。
この合金において、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を向
けるのに充分な磁気異方性を持つ組成として、ＦｅとＣ
ｏを合、わせた原子比が５０ ａｔｏｍ％〜ｇ（１ａｔ
ｏｍｓの範囲に存在することが望ましい。６０２ｔＯｍ
％以下の時は垂直磁化容易軸が鈍化して得にくくなり、
９０ａｔｏｍ％以上では磁化容易軸が面方向に向き、好
ましくない。さらに特に好ましくは７０ａｔｏｍ％〜８
５ ａｔｏｍ ％で、良好な垂直磁化容易軸が得られる
。
けるのに充分な磁気異方性を持つ組成として、ＦｅとＣ
ｏを合、わせた原子比が５０ ａｔｏｍ％〜ｇ（１ａｔ
ｏｍｓの範囲に存在することが望ましい。６０２ｔＯｍ
％以下の時は垂直磁化容易軸が鈍化して得にくくなり、
９０ａｔｏｍ％以上では磁化容易軸が面方向に向き、好
ましくない。さらに特に好ましくは７０ａｔｏｍ％〜８
５ ａｔｏｍ ％で、良好な垂直磁化容易軸が得られる
。
更にカー回転角が従来の構成元素による値に比べて充分
に大きくなるためには、 ＦｅとＣｏとを合わせた原子
比を１００チとした場合、ｃｏがＦｅに対して１ ａｔ
ｏｍ％以上の原子比で存在することが望ましい、特に好
ましくは５ ａｔｏｍ％〜８０ ａｔｏｍｓで適切なカ
ー回転角とキュリ一温度が得られる。
に大きくなるためには、 ＦｅとＣｏとを合わせた原子
比を１００チとした場合、ｃｏがＦｅに対して１ ａｔ
ｏｍ％以上の原子比で存在することが望ましい、特に好
ましくは５ ａｔｏｍ％〜８０ ａｔｏｍｓで適切なカ
ー回転角とキュリ一温度が得られる。
即ち、磁化容易軸が膜面に垂直な方向に向けられるだけ
十分な磁気異方性を持ち、ＳＮ比の向上のための充分な
カー回転角を持たせるだめの組成としては、 （Ｇｄ ＋ −ｚ Ｄｙ ｚ ） １−ｙ （Ｆｅ １
−ｘ Ｃｏｘ ）ｙ トｆ ル（！：、０．０１≦Ｘ
＜１．０．５≦ｙ≦０．９．０＜Ｚ＜１であることが望
ましい。
十分な磁気異方性を持ち、ＳＮ比の向上のための充分な
カー回転角を持たせるだめの組成としては、 （Ｇｄ ＋ −ｚ Ｄｙ ｚ ） １−ｙ （Ｆｅ １
−ｘ Ｃｏｘ ）ｙ トｆ ル（！：、０．０１≦Ｘ
＜１．０．５≦ｙ≦０．９．０＜Ｚ＜１であることが望
ましい。
この組成で、非晶質薄膜を形成するには、例えばヌパッ
タリング法や真空蒸着法などによって製膜する。
タリング法や真空蒸着法などによって製膜する。
以下、この発明を実施例によって詳細に説明するが、こ
れによりこの発明を限定するものではない。
れによりこの発明を限定するものではない。
実施例１
高周波スパッタ装置において、１８０１１冨−のガラス
を基板とし、ターゲットとして８インチ−のＦｅ上に５
闘０のＧｄ、 ＤＹ、 ００片を均一に並べたものを使
用した。チェンバー内を５Ｘ１０ Ｔｏｒｒ以下にな
るまで真空排気した後、Ａｒガスを導入し、真喰排気系
のバルブを操作することにより、Ａｒ圧を８１１ＩＩ’
Ｉ’ｏｒｒにした。高周波電源により８００Ｗのスパッ
タ電力で製膜を行った。この様にしてできた膜厚１５０
０Ａの膜は膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有し、Ｘ線
的に非晶質であった。用いたターゲットの組成は（Ｇｄ
Ｏ４０Ｄｙ Ｏ，５）０．２１ （Ｆｅ Ｏ，８Ｃｏ
Ｏ，２）０．７９であり、カー回転角は、波長６８８
μｍのＨｅ −Ｎｅ レーザで測定した所０．４２度
、キュリ一点は１９２℃であつ ア゛七二 。
を基板とし、ターゲットとして８インチ−のＦｅ上に５
闘０のＧｄ、 ＤＹ、 ００片を均一に並べたものを使
用した。チェンバー内を５Ｘ１０ Ｔｏｒｒ以下にな
るまで真空排気した後、Ａｒガスを導入し、真喰排気系
のバルブを操作することにより、Ａｒ圧を８１１ＩＩ’
Ｉ’ｏｒｒにした。高周波電源により８００Ｗのスパッ
タ電力で製膜を行った。この様にしてできた膜厚１５０
０Ａの膜は膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有し、Ｘ線
的に非晶質であった。用いたターゲットの組成は（Ｇｄ
Ｏ４０Ｄｙ Ｏ，５）０．２１ （Ｆｅ Ｏ，８Ｃｏ
Ｏ，２）０．７９であり、カー回転角は、波長６８８
μｍのＨｅ −Ｎｅ レーザで測定した所０．４２度
、キュリ一点は１９２℃であつ ア゛七二 。
実施例１におけるＦｅターゲット上のＣｏＯ量を変化さ
せ、その他は実施例１と同様の方法で作成した実施例２
〜６、及びＣｏを含まない組成の比較例１のターゲット
組成、カー回転角及びキュリ一温度を表２に示す。
せ、その他は実施例１と同様の方法で作成した実施例２
〜６、及びＣｏを含まない組成の比較例１のターゲット
組成、カー回転角及びキュリ一温度を表２に示す。
上記実施例に基づき、Ｆｅとｃｏを合わせた原子比を１
とした時ＣｏＯ量とカー回転角の関係を第１図に示す０
図において、横軸はｃｏ量であり、縦軸はカー回転角（
度）を示している。さらに、Ｃ０ｊｌとキュリ一温度の
関係を第２図に示し、横軸はｃ。
とした時ＣｏＯ量とカー回転角の関係を第１図に示す０
図において、横軸はｃｏ量であり、縦軸はカー回転角（
度）を示している。さらに、Ｃ０ｊｌとキュリ一温度の
関係を第２図に示し、横軸はｃ。
量であり１縦軸はキュリ一温度（°Ｃ）を示している。
表２、第１図、及び第２図に示されるように、この発明
に係る実施例においてキュリ一点は２００℃前後で、熱
安定性に優れている。また、カー回転角も、比較例！よ
り大きく、さらに、従来のＴｂ Ｆｅ Ｃｏの０．８５
に比べても、同程度のものが得られ、８Ｎ比が良く読出
し可能である。さらに、資源希少の原子番号が奇数の希
土類を成分に含んでいないため、比較的安価に得られ、
また、製膜性も容易である。
に係る実施例においてキュリ一点は２００℃前後で、熱
安定性に優れている。また、カー回転角も、比較例！よ
り大きく、さらに、従来のＴｂ Ｆｅ Ｃｏの０．８５
に比べても、同程度のものが得られ、８Ｎ比が良く読出
し可能である。さらに、資源希少の原子番号が奇数の希
土類を成分に含んでいないため、比較的安価に得られ、
また、製膜性も容易である。
以上のように、この発明によれば、膜面に垂直方向に磁
化容易軸を有し、Ｃｄ −Ｄｙ−Ｆｅ−Ｃｏの４元系非
晶質磁性合金より構成しだので、高価で希少な成分を含
まず、ＳＮ比の良い読出しが可能で、熱安定性にすぐれ
、薄膜として製造が容易な光熱磁気記録媒体を得ること
ができる。
化容易軸を有し、Ｃｄ −Ｄｙ−Ｆｅ−Ｃｏの４元系非
晶質磁性合金より構成しだので、高価で希少な成分を含
まず、ＳＮ比の良い読出しが可能で、熱安定性にすぐれ
、薄膜として製造が容易な光熱磁気記録媒体を得ること
ができる。
第１図は、この発明に係る４元系非晶質磁性合金におい
て、Ｆｅとｃｏを合わせた原子比を１とした時のｃｏ量
とカー回転角の関係を示すグラフ、第２図は同じ＜ｃｏ
量とキュリ一温度の関係を示すグラフである。
て、Ｆｅとｃｏを合わせた原子比を１とした時のｃｏ量
とカー回転角の関係を示すグラフ、第２図は同じ＜ｃｏ
量とキュリ一温度の関係を示すグラフである。
Claims (4)
- （１）膜面に垂直方向に磁化容易軸を有し、Ｇｄ−Ｄｙ
−Ｆｅ−Ｃｏの４元系非晶質磁性合金より成る光熱磁気
記録媒体。 - （２）ＦｅとＣｏを合わせた原子比が５０ａｔｏｍ％〜
９０ａｔｏｍ％である特許請求の範囲第１項記載の光熱
磁気記録媒体。 - （３）ＦｅとＣｏを合わせた原子比が７０ａｔｏｍ％〜
８５ａｔｏｍ％である特許請求の範囲第２項記載の光熱
磁気記録媒体。 - （４）Ｃｏは、ＦｅとＣｏを合わせた原子比を１００と
した時、Ｆｅに対して５〜８０ａｔｏｍ％である特許請
求の範囲第１項ないし第８項のいずれかに記載の光熱磁
気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19821185A JPS6257145A (ja) | 1985-09-05 | 1985-09-05 | 光熱磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19821185A JPS6257145A (ja) | 1985-09-05 | 1985-09-05 | 光熱磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6257145A true JPS6257145A (ja) | 1987-03-12 |
Family
ID=16387335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19821185A Pending JPS6257145A (ja) | 1985-09-05 | 1985-09-05 | 光熱磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6257145A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60251540A (ja) * | 1984-05-26 | 1985-12-12 | Ricoh Co Ltd | 非晶質磁気光学層 |
-
1985
- 1985-09-05 JP JP19821185A patent/JPS6257145A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60251540A (ja) * | 1984-05-26 | 1985-12-12 | Ricoh Co Ltd | 非晶質磁気光学層 |
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