JPS625711A - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
圧電振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPS625711A JPS625711A JP14259585A JP14259585A JPS625711A JP S625711 A JPS625711 A JP S625711A JP 14259585 A JP14259585 A JP 14259585A JP 14259585 A JP14259585 A JP 14259585A JP S625711 A JPS625711 A JP S625711A
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- JP
- Japan
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- electrode
- side electrode
- piezoelectric vibrator
- forming
- polarization
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、良好な分極特性を有するようにした圧電振
動子の製造方法に関する。
動子の製造方法に関する。
（従来の技術）
従来、リング状電極圧電振動子板は第２図（ａ）の平面
図、第２図（ｂ）の断面図に示すように、裏面側電極ｌ
は短筒秋に形成され、表面にはリング状に絶縁部４を介
して表面側電極３が形成されている。
図、第２図（ｂ）の断面図に示すように、裏面側電極ｌ
は短筒秋に形成され、表面にはリング状に絶縁部４を介
して表面側電極３が形成されている。
この表面において、表面側電極３と裏面側電極ｌが同心
円状になっている。
円状になっている。
このように、従来の電極圧電振動子板は片面側で←）極
、←）極を取り出し、動作する。なお、参考文献として
は、チタバリ研究会資料ＸＸＶＩ−１４８−９５９、超
音波加湿器用振動子東芝−ノ瀬他がある。
、←）極を取り出し、動作する。なお、参考文献として
は、チタバリ研究会資料ＸＸＶＩ−１４８−９５９、超
音波加湿器用振動子東芝−ノ瀬他がある。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、この第２図（＆）、第２図（ｂ）に示す
従来の電極圧電振動子板は裏面側電極１の表面側が廻シ
込んでいる九め、図示のごとく周辺で彎曲する分極力線
２が生じ、分極が不均一になシ、良好なインピーダンス
特性が得られない欠点があったＯ この発明は、前記従来技術がもっている問題点のうち１
分極が不均一な点と、良好なインピーダンス特性が得ら
れないという点について解決した圧電振動子の製造方法
を提供するものである。
従来の電極圧電振動子板は裏面側電極１の表面側が廻シ
込んでいる九め、図示のごとく周辺で彎曲する分極力線
２が生じ、分極が不均一になシ、良好なインピーダンス
特性が得られない欠点があったＯ この発明は、前記従来技術がもっている問題点のうち１
分極が不均一な点と、良好なインピーダンス特性が得ら
れないという点について解決した圧電振動子の製造方法
を提供するものである。
（問題点を解決するための手段）
この発明は、圧電振動子の製造方法において、表面側電
極と裏面側電極を全面電極とした後表面側を同心円状の
リング状電極を形成する工程を導′大したものである。
極と裏面側電極を全面電極とした後表面側を同心円状の
リング状電極を形成する工程を導′大したものである。
（作用）
この発明によれば、圧電振動子の製造方法に以上のよう
な工程を導入したので、表面側電極と裏面側電極をそれ
ぞれ相対向するように全面電極を形成した後分極を行い
、最後にレーザまたはサンドブラストによシ表面側電極
をリング状電極にし、したがって前記問題点を解決でき
る。
な工程を導入したので、表面側電極と裏面側電極をそれ
ぞれ相対向するように全面電極を形成した後分極を行い
、最後にレーザまたはサンドブラストによシ表面側電極
をリング状電極にし、したがって前記問題点を解決でき
る。
（実施例）
以下、この発明の圧電振動子の製造方法の実施例につい
て図面に基づき、第２図（ａ）、第２図（ｂ）と同一部
分に同一符号を付して説明する。第１図（ａ）〜第１図
（ｆ）はその一実施例の工程説明図である。
て図面に基づき、第２図（ａ）、第２図（ｂ）と同一部
分に同一符号を付して説明する。第１図（ａ）〜第１図
（ｆ）はその一実施例の工程説明図である。
まず、第１図（ａ）（平面図）、第１図（ｂ）（第１図
（ａ）の断面図）に示すように、裏面側電極１および表
面側電極３のベタ塗υ電極を形成する。
（ａ）の断面図）に示すように、裏面側電極１および表
面側電極３のベタ塗υ電極を形成する。
次に直流電圧をかけ分極する。分極することによシ第１
図（ｂ）のように分極力線２は平行でみだれてない均一
な分極力線のものが得られる。
図（ｂ）のように分極力線２は平行でみだれてない均一
な分極力線のものが得られる。
次に第１図（Ｃ）（平面図）、第１図（ｄ）（第１図（
ｃ）の断面図）に示すように、リング状の絶縁部４をレ
ーザまたはサンド！ラストトレミングによ９表面側のベ
タ電極を削夛絶縁部４を形成する。
ｃ）の断面図）に示すように、リング状の絶縁部４をレ
ーザまたはサンド！ラストトレミングによ９表面側のベ
タ電極を削夛絶縁部４を形成する。
最後に、第１図（ｅ）（平面図）、第１図（ｆ）（第１
図（ｅ）の断面図）に示すように、側面電極５を銀塗料
ま次はメッキで（、（！、Ｌ／キューリ点温度板温度以
下できるもの）形成する。以上によシ、絶縁部４の外側
のリング状電極３ａにして均一な分極特性の圧電振動子
が得られる。
図（ｅ）の断面図）に示すように、側面電極５を銀塗料
ま次はメッキで（、（！、Ｌ／キューリ点温度板温度以
下できるもの）形成する。以上によシ、絶縁部４の外側
のリング状電極３ａにして均一な分極特性の圧電振動子
が得られる。
（発明の効果）
以上詳細に説明したようにこの発明によれば、最初に表
裏両面側をベタ塗りの全面電極を形成した後に分極し、
最後にレーデまたはサンドブラストによシリング状電極
を形成するようにしたので、以下に列挙するごとき効果
を奏する。
裏両面側をベタ塗りの全面電極を形成した後に分極し、
最後にレーデまたはサンドブラストによシリング状電極
を形成するようにしたので、以下に列挙するごとき効果
を奏する。
（１）従来の電極のように廻シ込みがないため、最初、
電極が平面であり、均一な分極力線が形成さね、最終出
来上シの素子特性（インピーダンス特性）がよい。
電極が平面であり、均一な分極力線が形成さね、最終出
来上シの素子特性（インピーダンス特性）がよい。
（２） さらに、分極後レーザまたはサンドブラストで
電極・ぐターンを形成する九め、従来電極ノターン形成
に印刷用スクリーンまたはエツチングフィルムを使用し
てい念ものが不用であシ、コストがかからない利点があ
る。
電極・ぐターンを形成する九め、従来電極ノターン形成
に印刷用スクリーンまたはエツチングフィルムを使用し
てい念ものが不用であシ、コストがかからない利点があ
る。
（３） また、トレミング法のため容量特性を自由に
変えられる利点がある。
変えられる利点がある。
第１図（ａ）ないし第１図（ｆ）はこの発明の圧電振動
子の製造方法の一実施例の工程を示す説明図、第２図（
ＪＬ）は従来の圧電振動子の平面図、第２図（ｂ）は第
２図（ａ）の断面図である。 １・・・裏面側電極、２・・・分極力線、３・・・表面
側電極、４・・・絶縁部、５・・・側面電極。 ３；歌珀使１ｅ汝 ４：廼祿貯 Ｃ（１） （ｃ）４０；リンフ３
仄情ｌ主と （ｆ） （ｅ）。、抄ｑ、ｐ、
づ漬升湯Ｄシゴ称櫨咽 第１図
子の製造方法の一実施例の工程を示す説明図、第２図（
ＪＬ）は従来の圧電振動子の平面図、第２図（ｂ）は第
２図（ａ）の断面図である。 １・・・裏面側電極、２・・・分極力線、３・・・表面
側電極、４・・・絶縁部、５・・・側面電極。 ３；歌珀使１ｅ汝 ４：廼祿貯 Ｃ（１） （ｃ）４０；リンフ３
仄情ｌ主と （ｆ） （ｅ）。、抄ｑ、ｐ、
づ漬升湯Ｄシゴ称櫨咽 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （ａ）最初に全面にベタ塗りの全面電極を表裏両面に形
成した後分極を行う工程と、 （ｂ）表面側の上記全面電極をレーザまたはサンドブラ
スト法によりリング状の電極に表面側電極を形成する工
程と、 （ｃ）この表面側電極形成後に表面側電極と裏面側電極
間に側面電極を形成する工程と、 よりなる圧電振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14259585A JPS625711A (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14259585A JPS625711A (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 圧電振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS625711A true JPS625711A (ja) | 1987-01-12 |
Family
ID=15318956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14259585A Pending JPS625711A (ja) | 1985-07-01 | 1985-07-01 | 圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS625711A (ja) |
-
1985
- 1985-07-01 JP JP14259585A patent/JPS625711A/ja active Pending
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