JPS62502172A - ガス殺菌システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ガス殺菌システム 発明の背景 本出願は１９８２年１０月１９日出願に係る出願番号出願番号６０１，４４３に 関係するものであってそれらの内容はここに参照用として含めである。

本発明は限定されたチャンバにガスを分配するシステムおよび物質および物品を 殺菌するためのシステムに関し、特に外来物質により汚染されている道具および 計器のような例えば医用装置のごとき物品を殺菌ガスを用いて殺菌するためのシ ステムに関する。本発明のシステムは必要に応じて医用物品および物質以外のも のの殺菌にも使用出来る。本発明のシステムは特に互いに反応して殺菌ガスを発 生する二つの成分を本発明の装置によりフィールドにおいて組合せるごとくなっ たガス殺菌システムに関する。これは、反応して殺菌ガスをつくるこれら成分を 別々に運ぶことを可能にし、事故の可能性を最少限にすることが出来る。

特に本発明は殺菌ガスとして二酸化塩素を用いるシステムに関する。二酸化塩素 ガスは不安定であり人体に有害である。例えば、二酸化塩素ガスは時間経過とと もに組成分に分解しそしてそのため容易には輸送出来ない。

それ故、二酸化塩素ガスを運ぶことは望ましくない。更に、二酸化塩素ガスは多 少爆発性を有し、また触媒的な分解を受ける傾向を有する。しかしながら、反応 して二酸化塩素ガスをつくる成分（例えば亜塩素酸ナトリウムと塩素ガス）は比 較的容易に運ぶことが出来そして必要な場所で殺菌性二酸化塩素ガスを発生する ように反応させることが出来る。

従来のシステムは一般に殺菌剤としてエチレンオキサイドガスを使用している。

例えばシブロン（５ｙｂｒｏｎ）コーポレーションの医用製品部門で製造されて いるキャッスル４０４０エチレンオキサイド殺菌装置は従来システムの一例であ る。エチレンオキサイドは従来システムにおいて殺菌ガスとして使用されてはい るが、二酸化塩素は好適な殺菌剤である。

更に従来のシステムは一般にむしろ簡単な設計のものであり装置の信頼性を維持 し事故に対する安全対策をとるための進歩した手段を有していない。また、これ らシステムはその内の一つの要素が故障したとき、殺菌プロセスを続ける前に手 動的な調整または保守要員によるその故障の修正が必要となるような大きい冗長 度を与えら本発明の目的は物品を殺菌するためのバクテリア、芽胞、細菌そして またはウィルスを殺す性質のあるガスを用いる殺菌システムを提供することであ る。

本発明の他の目的は、反応して殺菌ガスをつくる少くとも２つの成分が本発明の 装置内で必要に応じて反応させられて有効量の殺菌ガスをつくるようになった殺 菌システムを提供することである。

本発明の他の目的は殺菌剤が二酸化塩素ガスである殺菌システムを提供すること である。

本発明の更に他の目的は組込まれた冗長度およびシステムの信頼性と安全性を維 持するための手段を有するガス殺菌システムを提供することである。

本発明の他の目的は多目的形でありプログラムされたマイクロプロセスで制御さ れるガス殺菌システムを提供することである。

本発明の一実施例によれば本発明のこれらおよび他の目的は、ガスにより物品を 処理するシステムにより達成されるのであり、そのシステムは第１成分を受ける 第１手段と、第１成分と反応してガスをつくる第２成分を受ける第プ手段と、こ れら両成分を反応させて上記ガスをつくるための手段と、上記ガスをチャンバ手 段に供給してチャンバ内の物品を処理するための弁手段と、上記チャンバからガ スを除去するための手段と、上記反応させる手段、上記供給する手段および上記 除去する手段を制御するための電子的制御手段とを有し、この電子的制御手段は 上記物品がガスにより処理される一つのサイクルを限定する一連の連続した状態 を通じて本装置を動作させるように予定の段階シーケンスを実行し、その後にチ ャンバ内の雰囲気を許容安全度内にするようにチャンバからガスを除去するよう にするコンピュータ手段から成っている。

本発明の他の実施例によれば、ガスにより物品を処理するためのシステムは処理 されるべき物品を受け入れるチャンバ手段と、このチャンバ手段にガスを供給す るためにこのチャンバ手段に結合した弁を含む手段と、予定の時間間隔後にチャ ンバ手段からガスを除去する手段と、上記弁手段および除去する手段を制御する ためにチャンバ手段から測定されたパラメータのいくつかに関連した複数の電気 信号を受ける電子制御手段と、から成り、この電子制御手段は予定の命令シーケ ンスに従って複数の状態を通り本装置を周期動作させるコンピュータ手段を含み 、このコンピュータ手段は本装置の故障に応答して複数の限定された故障状態の 、その故障の生じたサイクルにおける状態により決まる１つの状態に対し本装置 の動作を中止させる手段を含んでいる。

本発明の更に他の実施例によれば、ガスによる物品処理システムは処理されるべ き物品を受け入れるチャンバ手段と、このチャンバ手段にガスを供給するために このチャンバに結合する弁を含む手段と、予定の時間間隔後にチャンバ手段から ガスを除去する手段と、上記弁手段と除去手段を制御するためにチャンバ手段か ら測定されたパラメータのいくつかに関連する複数の電気信号を受ける電子制御 手段・と、から成り、この電子制御手段は予定の命令シーケンスに従って複数の 状態を通り本装置を周期動作させるメモリを含むコンピュータ手段と、上記弁手 段の開閉条件を示す入力信号を弁手段から受ける手段と、この弁手段を選択的１ ζ開閉するための出力信号を弁手段に与える手段と、からなり、入力および出力 信号のイメージ信号が上記メモリに記憶され、このメモリにはマスク手段が記憶 され、コンピュータ手段が上記イメージ信号を比較して入力および出力イメージ 信号がマスク手段内の１ビツトの設定に応じて一致しないときアラーム信号を発 生する。

本発明の他の目的、特徴および利点は次の説明から明らかになろう。

図面の簡単な説明 本発明を次の図面について更に詳細に説明する。

第１図は本発明によるガス殺菌システムの全体を示すブロック図である。

第２図は本発明によるガス殺菌システムの殺菌チャンバと弁およびポンプ部のブ ロック図である。

第３図はこのガス殺菌システムの電子制御回路のブロック図である。

第３Ａ図は第３図の電子制御装置に使用されるアドレス表およびこれらアドレス により制御される対応した要素または信号を示す図である。

第４図は種々のシステムクロック周波数およびシステムの中断を生じさせる方法 を示すブロック図である。

第５図はガス殺菌システム用制御パネルの一実施例の正面図であって制御装置の 表示ランプおよび制御スイッチを示す図である。

第６図は本発明のガス殺菌システム用状態図である。

第７図は本発明のガス殺菌システム用の第６図の状態図に対応する状態出力マト リクスである。

第７Ａおよび７Ｂ図は第６図の状態図を実行するためのシーケンスプログラム用 フローチャートである。

第８図は本発明のガス殺菌システム用の安全インターロック構成のブロック図で ある。

第９図は本発明のガス殺菌システムの電子制御装置のメモリ内のソフトウェア用 機能流れ図である。

第１０図はガス殺菌システム用ソフトウェアのタイミング機能用流れ図である。

第１１図はガス殺菌システム用ソフトウェアのタイミング機能の１つについての 流れ図である。

第１２図は本発明のガス殺菌システム用電子制御装置のデータメモリのメモリマ ツプである。

第１３図は本発明のガス殺菌システム用電子制御装置のソフトウェアのタイミン グ機能の他の１つについての流れ図である。

第１４図は本発明のガス殺菌システム用ソフトウェアのタイミング機能の他の１ つのフローチャートである。

第１５図は本発明のガス殺菌システム用ソフトウェアのタイミング機能の他の１ つのフローチャートである。　゛第１６図は制御ユニットのタイミング機能をリ セットするために制御ユニット内で用いられるプログラムのフローチャートであ る。

第１７図は本発明のシステムから入力データを読込むために制御ユニット内で行 われるプログラム用フローチャートである。

第１８図は１つの要素の故障時に時限アラームを発生するために制御ユニット内 で行われるプログラム用フローチャートである。

第１９図は１つの要素の故障の場合に他のアラームを与えるために制御ユニット 内で行われるプログラム用フローチャートである。

第２０図は本システムの制御される要素にデータを書込むために制御ユニットで 行われるプログラムのフローチャートである。

第２１図は制御されるシステムからアナログ入力データを読込むために制御ユニ ット内で行われるプログラム用フローチャートである。

第２２図は本システムの種々のタイミング機能を与えるために制御ユニット内で 行われるプログラムの一般的フローチャートである。

第２４図は本システムの出力を制御するために制御ユニット内で行われるプログ ラム用フローチャートである。

図面をみるに、第１図はガス殺菌システムの全体を示している。このシステムは 殺菌チャンバ１０．好適にはマイクロプロセッサで制御される電子制御回路１０ ０、弁およびポンプ部２０および表示装置１１０からなる。

チャンバ１０内の適正なセンサにより発生される、チャンバ１０内の温度、圧力 、湿度および殺菌ガス濃度に関係する信号を含むセンサ入力５はチャンバ１０か ら制御回路１００に送られる。これらセンサ入力は上記の測定されるチャンバパ ラメータに関係するアナログ信号と、後述する例えばチャンバ内温度が所望の値 となったことを示す信号のようなディジタル信号と、を含んでいる。

スタートサイクルスイッチＳ１はこのシステムの動作を開始させ、そして中断リ セットスイッチＳ２は後述のように中断モードとなるとき、すなわち、故障ある いはアラーム条件が生じたときシステム状態を限定された条件にするために用い られる。弁およびポンプ部２０の動作は後述するが、別々の成分からその都度発 生される二酸化塩素ガス源２２、水蒸気および窒素２４を含んでいる。

この弁およびポンプ部は図示のように大気に排気されるようになっている。弁お よびポンプ部２０は多段のシーケンス制御される弁と適正な時点で殺菌チャンバ 内に必要な条件を与えるための真空ポンプとを含んでいる。好適な殺菌ガスであ る二酸化塩素の不安定性と潜在的な毒性のために、反応したとき二酸化塩素ガス を発生する成分を運ぶことが望ましい。例えばこれら成分は亜塩素酸ナトリウム 、Ｎａ２ＣＩＯ２および塩素ガス、Ｃ１２である。

適正な制御信号７が電子制御回路１００により弁およびポンプ部２０とチャンバ ｌＯに送られてこのシステムの要素を制御する。更に制御される要素からの帰還 信号８が制御回路１００に送られ制御装置がシステムの状態をモニタ出来るよう になっており、そしてこのシステムの状態をオペレータに知らせるための信号１ ４が表示パネル１１０に与えられる。

更にカートリッジ検出信号１２が装着されるガスカートリッジ（Ｃ１２成分のカ ートリッジ）から送られてそれがシステムに装着されたことを指示する。

機能一般 第２図は弁およびポンプ部２０の構成を詳細に示している。弁およびポンプ部２ ０は弁Ｖ１．Ｖ２．Ｖ３゜Ｖ４．Ｖ４ａ、Ｖ５．Ｖ６．Ｖ７．Ｖ８．Ｖ９および ＶＩＯ，ポンプＰ１およびＰ２、空気フィルタ１３、排気される二酸化塩素ガス の毒性をなくすための、前記出願に示されている解毒装置２２、および適当な水 蒸気、窒素、Ｃ１２ガス、空気および亜塩素酸ナトリウム源を含んでいる。第２ 図に示すようにこれら弁のいくつかは単にシーケンス動作するだけであるが他は 例えばガス濃度、湿度および圧力のような測定されるプロセス変数の値の内の選 ばれたものに応じて制御される。安全性の観点から、多弁（Ｖ）は２個のリミッ トスイッチ（ＬＳ）を有し、その開閉条件（例えばＬＳ２ｏ、ＬＳ２ｃ）を示す ようになっている。添附するソフトウェアリストにおいて開放リミットスイッチ をＬＳＯｘ、閉成りミツトスイッチをＬＳＣｘで示している。両スイッチはサイ クルの中断を防ぐためにサイクル中の適正な時点で適正な位置となっていなけれ ばならない。更に多数のランプが第５図に示すように表示パネルに設けてあり、 これらが殺菌サイクルの位置または故障条件の発生を指示する。

サイクルはチャンバの扉１１が閉じた後にオペレータが５ＴＡＲＴ−ＣＹＣＬＥ 　（Ｓｌ）スイッチを一時的に押すことによりスタート出来る。これについては 第１図を参照のこと。その後、このサイクルは電子制御装置１００のマイクロプ ロセッサのメモリに記憶されたプログラムに従って自動的に進行する。このプロ セスについては後述する。

更に冗長度を与えるために例えば弁ｖ３とＶ８が開かないとき弁ｖ９とｖｌｏの ような手動弁が設けである。

これら弁は、チャンバ内に殺菌ガスがあるとき弁ｖ３とｖ８が開かない場合、潜 在的に有毒であるガスが解毒装置２２を介して除去出来るように保守要員により 手動的に操作出来る。補助ポンプが設けられてガスがこれら手動弁を通り排出出 来るようになっている。

殺菌サイクル 殺菌サイクルはマイクロプロセッサ制御を受ける事象とその結果としての作用の インターロックされたシーケンスである。このシーケンスのステップは第６図の 状態図と第７図の状態出力マトリクスに詳細に示しである。

これらステップは第７Ａ、７Ｂ図のフローチャートで示され且つ添附するプログ ラムリストに示されているシーケンスプログラムにより行われる。２種の事象す なわち独立事象と従属事象がこのシーケンス中に生じる。いくつかの独立事象は 外的事象であって制御される弁（例えばリミットスイッチ）から制御装置へのコ ンタクト入力信号を含み、これらは第３図にＸ０ｘ−Ｘ３ｘで示しである。夫々 のコンタクト入力信号は８ビツトワードの１ビツトであり、そのような制御入力 信号の集合でディジタル入力（Ｄ　Ｉ　Ｎ）で一般に示しである。独立事象には 例えば圧力、温度、湿度および殺菌ガス濃度のような測定されるあるいはアナロ グなプロセス値（Ａ　Ｉ　Ｎ）に対応する信号の受け入れも含まれる。測定値信 号は制御装置により行われる論理比較動作に関連する。他の独立事象は内部的に 生じるものがあり、これらは一般に第５図に示す表示パネルのランプを点灯させ る。制御装置は独立事象の論理的組合せである従属事象を評価して眞（ＴＲＵＥ ）または誤（ＦＡＬＳＥ）結果を選別する。

従属事象が眞となると対応する作用が行われる。すなわち制御システムが第７図 の状態出力マトリクスにより限定される新しいプロセス状態に移る。従属事象が 眞でない場合には制御装置はそのメモリにプロセス状態を保持しそしてその従属 事象の再評価の前に５０ミリ秒の期間待機する。システム故障の場合にはこのシ ステムは後述するように直ちに適正な中断（ＡＢＯＲＴ）状態に自動的に移る。

このプロセスはサイクルが完了あるいは中断されるまで続けられる。

因衾判 この殺菌システムは種々の弁および他の要素の正しい動作を補償するための多数 のチェック機能を備えている。

後述するように制御装置の主タイミングプログラムにより行われるインターロッ クソフトウェアは６２５０マイクロ秒毎にすべての弁の正しい位を確認する。弁 がそのコマンドされた状態にないときにはアラーム条件が宣せられる。これらイ ンターロックの動作は弁の動作が行われた後にインターロックのチェックが続き そして夫々のプロセス段階での異った故障プログラミング（ＡＢＯＲＴ状態）に 入ることが出来るようになっている点で従来のリレー論理またはプログラマブル 論理制御装置とは異っている。１つの弁の正しい状態は動作が確認された後にメ モリに保持されそしてこの保持された条件が６２５０マイクロ秒毎にチェックさ れる。第８図はこのチェックルーチンを行うに必要な安全インターロック要素の ブロック図である。作動に続く初期事象一時間切れ条件または以降の状態のチェ ックに合格しなければ殺菌サイクルの異常な終了が生じる。このサイクルの安全 な終了についての制御作用シーケンスは殺菌サイクル中のすべての点について限 定されそして任意の異常（ＡＬＡＲＭ）のプロセス条件の場合に直ちに開始され る。本発明によるこの状態チェックはリミットスイッチがシステムサイクル中の ある点でバイパスされるとこのスイッチが不適正な位置にあるものと決定されて システムをＡＢＯＲＴ状態に入れるから、フィールドでのインターロックスイッ チの故意のバイパスを防ぐことが出来る。

第８図に示すようにこの安全インターロックシステムは電子制御装置の内部メモ リ（ＲＯＭ）に記憶されたシーケンスプログラム１２０を含んでいる。シーケン プログラム１２０は添附のメモリ内のプログラムリスト中でＳＥＱで示されてお り、このプログラムのフローチャートはｉ７Ａ、７Ｂ図に示しである。このメモ リに同じ（記憶されているのは接点状態チェックプログラム１２２と、シーケン スプログラム内の特定の点により決定される一連のマスク１２４である。接点状 態チェックプログラムはＣ８Ｃで示され、そのフローチャートは第１８゜１９図 に示しである。「開放した」リミットスイッチ接点１２７（弁が開くと閉じ、弁 が閉じると開く）と「閉じた」接点１２９（弁が閉じると閉じ、開くと開く）か らの実際の入力信号のメモリ内に記憶されたイメージである入力１２６が、例え ば殺菌チャンバ１０の扉１１の゛ような他の要素からの入力と共に与えられる。

一連の接点出力１２５もこのシーケンスプログラムの特定の状態により与えられ る。接点状態チェックプログラム１２２は接点入力を接点出力１２５と比較する 。入力が出力によりつくられる所望の位とは異ったものであれば、対応するビッ トがマスク１２４内でオンとなるときにのみアラーム条件とされる。この安全性 の特徴は任意の不正確な弁位置を直ちに検出する。ハードウェアに組込まれた警 報タイマ１３２はマイクロプロセッサ制御装置が故障したときその時限が切れる と電子スイッチ１３４を開くことにより弁１３０へのすべての出力を不能とする ことによって更に高い安全レベルを与え、それによりコンビエータの故障の場合 に弁およびポンプ部２０内の任意の弁のＷ＃勢を妨げるべく利用される。

第７Ａ、７Ｂ図はシーケンスプログラムＳＥＱ用のフローチャートである。この シーケンスプログラムは適当な時間間隔をもって発生されるフラグについて本質 的にチェックを行いそして特定の機能が行われるべきときを決定する。主ディス パッチプログラムと呼ばれる他のプログラムから入れられる。第７Ａ図に示すよ うにこのシーケンスプログラムが入れられると、本システムの現在の状態が１８ ０で示すようにメモリからとり出される。

この現在の状態は第１２図に示すように内部ＣＰＵＲＡＭのレジスタ２１０ａに 記憶される。内部ＣＰＵＲＡＭの組織は第１２図に関連して後述する。１８２に おいて状態が最大状態番号を越えたかどうかを決定するためのチェックが行われ る。もしそうであれば、第６図について詳述するＡＢＯＲＴ状態、すなわち状態 ３１が１８４において入れられる。そうでなければ、次の状態についての条件が 第７Ｂ図に示すフローチャートを有するプログラムＳＴを入れることにより１８ ６において実行される。

第７Ｂ図に示すように、プログラムＳＴはまず１８８結果の一方について評価す る。夫々の従属事象はそれが眞であれば夫々特定されねばならない多数の独立事 象の論理的組合せである。もし従属事象が眞でないならばマイクロプロセサの内 部ＲＡＭ　（第１２図参照）内のメモリロケーションのホールドフラグ（Ｆφ） が１９０においてセットされる。眞であれば次の状態が１９２でセットされそし て新しいＡＢＯＲＴ状態が必要であれば新しいＡＢＯＲＴ状態がセットされるが 、１９３では入れられない。

１９４において、前の事象のタイムアウト（時間切れ）はそれによりＡＢＯＲＴ 状態になるようなアラーム条件を発生させないように不能とされなければならな い。タイムアウトはプログラムで実行されるタイマにより与えられるのがあり、 これらタイマーはそれにより限定される予定の時間内に例えば弁の動きのような 特定の作用の発生をモニタする。この特定の動作が生じたならばこのタイムアウ トはタイマが動作しつづけるから不能となる。

このタイムアウトを不能にするために、第１８図に示すように内部ＲＡＭ　（第 １２図）内のタイマカウンタイネーブルレジスタ（ＴＣＥＮ）２０７がリセット される。

このようにタイマが作動するときタイマについてのフラグがタイマカウンタフラ グレジスタ（ＴＣＦＬ）２０２（第１２図）にセットされるとアラームは発生さ れない。

タイムアウトアラームが発生されると１ビットＴＭＯＦが第１８図に示すように ５ＴＡＴＵＳレジスタにセットされる。

１９５においてマスクがリセットされ、すなわち生ずべき特定の事象に対応する ビットが「無関心」条件にセットされ、接点出力における対応ビットが接点状態 チェックプログラムによるアラーム条件を相殺しない。この点において１９６で 示すように動作が行われる。次にこの動作についてのタイムアウトカウントが後 述するように入れられる。この動作のタイムアウトフラグは次にイネーブルとさ れた１９７で示すように現在モニタされる動作のタイミングのよい発生について のモニタを行う。

ホールドフラグＦφはそのとき１９８でリセットされ、第７Ａ図のフローチャー トに対し５ＥＱＲ点へのもどしが行われる。

２００ａにおいてアラームまたはタイムアウト条件が生じたかどうかを決定する ためのテストが行われる。アラームまたはタイムアウトが生じていれば、現在の 状態が２０１において直ちに現在のＡＢＯＲＴ状態にセットされる。次にホール ドフラグＦφが２０２においてそれがセットされたかどうかについてチェックさ れる。セットされていればバックグランドまたは主ディスバッチプログラムにも どり、それからすべてのサブルーチンが入れられる。フラグＦφがセットされて いなければシステムは次の状態に続くべくシーケンスプログラムにとどまりそし てフラグＦφがセットされればそれから出る。

第１９図は接点状態チェックプログラムの詳細を示す、図示のように接点入力に 対応する接点入力状態はシステムマイクロブセサの内部ＲＡＭ内の適正なロケー ションに記憶される。これらメモリロケーションは図示の通りである。第１２図 参照のこと。同じことが、特定の状態について生じる事象を特定する接点出力状 態ビットについて行われる。同じく内部ＲＡＭに記憶されるマスクＭＳＫＯ−Ｍ ＳＫ３は接点状態チェックプログラムにより評価される。接点入力が接点出力か ら変化すれば状態レジスタ２０４内に１ビツトを設定することによりアラーム条 件が発生されるのであり、これはＲＡＭ内の１つのロケーションである（第１２ 図）。しかしこれはマスク内の対応するビットがオンとなるときにのみ行われる 。

このビットがオフであって対応する出力の変化が生じうるようにされたことを示 す場合にはアラームは発生されず、そして接点出力は後述するような出力バッフ ァに書込まれてアラームを作動させずに例えば弁またはポンプのような適当な被 制御またはシーケンス要素を作動させる。

他の安全特性もこのシステムに与えられている。上述のように保守要員により操 作される手動弁ｖ９とＶＩＯおよび補助ポンプＰ２は弁■８とｖ３および主ポン プＰ１が適性動作しないときのために設けてあり、かくして冗長度が与えられる 。更に、第２図に示すように殺菌チャンバｌＯ内の過湿、過圧の可能性を防止す るための安全手段が設けである。感熱スイッチｌｌａはチャンバ内のヒータＨＴ φ１に直列に設けてられて過熱を検出する。例えばヒータＩＴφ１がオフになら ないならば感熱スイッチｌｌａが過熱を検出して回路を中断する。

また、チャンバ内に過圧が生じたならば圧力逃がし弁９がチャンバ内のガスを第 ２解毒器２２ａを通して大気に排気するために設けである。

弁ｖ４に直列にチェック弁１５も設けてあり、これがシステムに二酸化塩素ガス を供給する。チェック弁１５は、弁ｖ４とＶ４ａが閉じない場合、塩素ガス源が 窒素ガス源からの窒素ガスにより加圧されることを防止する。

チェック弁１５は塩素ガスがその源から流れ出すことのみを許すものであり、弁 ｖ４とＶ４ａが閉じない場合に窒素ガスが塩素ガス源に流れ込むのを防止する。

オペレータの相互作用 本発明のシステムの装置および殺菌サイクルは人的介入を最少にし最大の安全性 を与えるものである。第５図は本発明の表示パネルの一実施例であって種々の表 示ランプを示している。その内のあるものは設けてはあるが使用されず、拡張の 場合のためのものである。殺菌サイクルはチャンバ１０の扉１１が適正に閉じら れるまで開始されえない。ＤＯＯＲ−ＯＰＥＮ　（ドア開）ランプ（ＬＴＩ）が そのときＬＴＯｌで示すように消灯して第７図の状態１における「１」から状態 ２における「０」へと状態が変化し、そしてＲＥＡＤＹ−ＦＯＲ−ＣＹＣＬＥ　 （サイクル　レディー）ランプ（ＬＴｌｌ）が点灯する。第５図参照のこと。サ イクルの開始のためにはオペレータは準備が整ったとき５ＴＡＲＴ−ＣＹＯＬＥ 　（スタートサイクル）（Ｓｌ）スイッチ（第１図）を押すだけでよい。その後 はサイクルが終了してＲＥＭＯＶＥ−ＬＯＡＤ　（負荷除去）ランプ（ＬＴ１７ ）が点灯するまで、あるいはアラーム条件がサイクルを停止させるまでオペレー タの介在は不要となる。後者の場合には故障を示すアラームランプの１個が点灯 する。オペレータはどのランプが点灯したかを知り、必要な処置を行いそしてそ の後にＡＢＯＲＴ−ＲＥＳＥＴ　（中断リセット）（Ｓ２）スイッを押してシス テムを限定された条件にもどしそして、出来れば故障条件を回避する。例えば、 ＰＵＲＧＥ−ＦＡＩＬランプ（Ｌ　Ｔ　５）が窒素タンクが空となる可能性によ り点灯するならばタンクを８２スイツチを押す前に交換すべきである。同様に他 の故陣鷺−ドについてもスイッチＳ２を押す前に故障条件の診断を行い手当を行 うべきである。サイクルの中断のための次の動作は予定のものであり自動化され ている。

これ以上のオペレータによる手当は不要である。更に、一つの要素が故障したと き、システムがその故障状態から回復するように故障した要素を例えばポンプあ るいは弁のような他の要素と交換しうるようにするための冗長度がシステムに与 えられている。

制御回路の設計 電子制御回路１００の全体設計を第３図に示す。この制御回路はマイクロプロセ ッサで制御されるものであり、好適にはビットで番地づけ可能なデータについて プール演算を実行しうるために、インテル・コーポレーション製タイプ８０３１ ．８０５１または８７５１マイクプロセサＣＰＵ１０２を利用するとよい。ＣＰ Ｕ１０２は内蔵型ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）と読取専用メモリ（ＲＯＭ 　）を有する。更にこの制御回路は外部ＲＯＭ１０４とサイコール・インコーホ レーテッド社のタイプＸ２２１０でもよく上述のように電力低下後にも臨界的な データを記憶する不発揮性シャドウＲＡＭ　（ＳＲＡＭ）１０６を含んでいる。

この制御回路はまた水晶クロック発振器１０ｇ、ディジタル入力（Ｄ　Ｉ　Ｎ） を受ける入力ラッチ１１３、アナログ入力（Ａ　Ｉ　Ｎ）用のＡ／Ｄコンバータ １１４およびフィルタ１１４ａ、ディジタル出力（ＤＯＵ）用出力ラッチ１１７ 、およびウォッチドッグタイマ１１２　（ＷＤＴ）を含んでいる。このタイマは 第８図について述べるようにマイクロプロセッサの故障により減勢された状態に する弁へのすべての出力をディスエーブルとするように構成されている。Ａ／Ｄ コンバータ１１４とアナログフィルタ１１４ａは測定されたガス濃度、温度、圧 力および湿度パラメータからのアナログ人力をディジタルデータに変換する。

中央処理装置１０２はアドレス／データバス１１６に接続しており、このバスは ＲＡＭ１０６、ＲＯＭ１０４およびバストランシーバ１０５にも接続する。アド レスラッチ１０３はＣＰＵ／１０２からのライン１０７によリイネーブルとされ そして他のバス１０９すなわち読取／書込およびアドレスバスへのアドレスをラ ッチする。

バス１０９はＤＩＮラッチ１１３、Ａ／Ｄコンバータ１１４、タイムスタンプク ロック１１９およびＤＯＵラット１１７が殺菌シーケンスプログラムの実行中の 適正な時点でアドレスづけされうるようにするのでありすなわちＣＰＵ１０２が 種々の弁のリミットスイッチからの入力データをめるときＤＩＮラッチ１１３が アドレスづけされる。他の時点においてはＡ／Ｄコンバータ１１４またはＤＯＵ ラッチ１１７がアドレスづけされる。

２個のデコーダすなわちリードイネーブルデコーダ１２０とライトイネーブルデ コーダ１２２がバス１０９に接続してラッチ１１３と１１７およびＡ／Ｄコンバ ータ１１４を読取または書込み状態にする。適当な読取／書込コマンドがこれら デコーダの制御のためにライン１２６に与えられる。

更に、ブタ−バス１２４がこれら入力および出力ラッチおよびＡ／Ｄコンバータ からまたはそれらへのデータの読取用に設けである。

データバスイネーブル１２５およびＲＡＭコマンドライン１２７を含むいくつか の他の制御ラインも使用される。ライン１２５は、例えば出力情報を弁の制御の ため１、：　Ｄ　ＯＵラッチ１１７に書込むことのような入力および出力動作が 行われているとき、非常に短い間隔でそして入力／出力（Ｉｌｏ）サブルーチン （例えばサブルーチンＷＣＯ（書込接点出力）、ＲＣＩ（読取接点入力）および ＲＡＩ（読取アナログ接点）、添附アペンディックス参照）中にのみパストラン シーバ１０５をイネーブルとする。このように弁およびポンプ部の種々の弁を作 動するためのデータバス１２４上のデータは限られた条件のある場合を除き弁へ は送られない。これはシステムの安全性を更に高いものにする。更に、パストラ ンシーバＸＣＵＲ１０５は双方向性を有し、データ転送の方向は図示のように読 取および書込ラインの内の１本により制御される。

ＲＡＭコマンドライン１２７は故障が永久的に記入されて他の目安となるデータ が電源故障の場合に記憶されうるようにシャドウＲＡＭ１０６に信号を出す。

リセットライン１２９がライトイネーブルデコーダ１２２とウォッチドッグタイ マ１２２の間に設けられそしてイネーブルライン１３０が、タイマ１１２とＤＯ Ｕラッチ１１７の間に設けである。前述のようにタイマ１１２はＣＰＵ１０２を モニタして適正なシステム動作を管理する。通常、ＣＰＵ１０２はライン１２９ を介してこのタイマを定常的にリセットする。ＣＰＵが強動作した場合には、リ セット信号は時間通りに発生せず、タイマ１１２は時間切れとなってライン１３ ０上の出力イネーブル信号を除去する。この信号の除去はすべてのＤＯＵラッチ １１７の出力をディスエーブルとし、ＣＰＵの故障の場合の弁の附勢を防止する 。従ってこのシステムに更に高い安全性が与えられる。

この制御回路の要素は第３図に示すようにデータバス１１６と１２４に接続する か、これらはメモリアドレスに割当てられており、これらアドレスを介してマイ クロプロセッサによりアクセスしうるようになっている。第３Ａ図はこれらアド レスの構成を参照用に示している。

上述のようにこれら装置の内のあるもの、例えばＳＲＡＭ１０６とＤＯＵラッチ １１７はそれらの含むデータが、マイクロプロセッサのポートラインのビットが 適正にシーケンスづけられるときにのみ変化出来るようにするものである。これ は、ある種のマイクロプロセッサの故障モードによりメモリ内容あるいは弁位置 に望ましくない変化が生じないようにするという安全上の特徴を与える。

すべてのプロセサとプログラムタイミングは好適には５．９９０４ＭＨｚの周波 数を有する基本クロック発振器１０８からとり出される。第４図は使用される種 々の周波数の関係を示している。第３図に示すように、データ／アドレスバスに より、あるいは直列データ通信ライン１１８を介して読取られてプロセスデータ の時間の印字用のクロック−カレンダを与えるための精密クロ０．り１１９がこ のシステムに加えられてもよい。

第４図に示すように、基本プロセサタイミングはクロック装置１０８の周波数は ＣＰＵの内部カウンタ段１３０と１３２により１２分周されて４９９．２００Ｈ ｚのＣＰＵアドレスラッチイネーブル（ＡＬＥ）信号をつくる。ＡＬＥ信号はア ドレスがバス１０９に生じるようにアドレスラッチ１０３をストローブするべく 使用され、そして更にＡ／Ｄコンバータ１１４の動作を制御する。

信号ＡＬＥは内部分周段１３４と１３６に送られる。

分周段１３４は信号ＴＩＭＥＲ１を与え、この信号が内部カウンタ段１３８て分 周されて直列データ転送用の１２００ビット／秒信号にされ、これが直列ライン １１８を介して遠隔のロケーションへのシステムデータの伝送のために適宜使用 される。

カウンタ段１３６は中断信号ＴＩＭＥＲＯを与える、このＴＩＭＥＲＯは６２５ ０マイクロ秒毎に状態変化を与え、主タイミング機能プログラムＴＭＲＯにすべ ての接点入力とアナログ入力の読取および６２５０マイクロ秒毎のすべての接点 出力の書込みを可能にさせる。このプログラムおよび動作システムの他のプログ ラムの動作は後に詳述する。

ＴＩＭＥＲＯ中断信号は次にプログラムＴＭＲＯソフトウェアカウンタ段１４２ ，１４４，１４６により分周されて夫々５０ミリ秒、１秒および１分の周期で生 じるプログラム実行信号ＴＩＣ，ＳＥＣおよびＭＩＮをつくる。これらは後に詳 述する。

第３Ａ図はアドレスバス１０９上のアドレス割当ての詳細である。図示のように 、バス１０９は１６ビツトバスである。内部ＣＰＵＲＡＭはアドレススペース０ Ｏ−ＦＦを与えられ、バス１０９上のビットＡ　ｏ　”−Ａ　ｙがこのＲＡＭの ロケーションを固定する。内部ＲＯＭはビットＡ　−Ａ　で固定され、その内ビ ットＡＩ２〜Ａ１５は図示のように常に０である。０００〜０ＦＦＦのアドレス が用いられる。他の要素すなわち外部ＲＯＭ１０４、外部ＲＡＭ１０６、クロッ ク１１９、Ａ／Ｄコンバータ１１４、ＤＩＮラッチ１１３、ＤＯＵラッチ１１７ およびウォッチドッグタイマ１１２は第３Ａ図に示すアドレスを与えられる。図 示のように、ＤＩＮラッチとＤＯＵラッチの夫々は４個の８ビツトワードをラッ チすることが出来、ＤＩＮラッチは種々のリミットスイッチおよび他の接点入力 から、そしてＤＯＵは種々の弁、ポンプ等へのものである。ディジタル人力ＤＩ Ｎとディジタル出力ＤＯＵは夫々４個の８ビツトワードにさらに分割され、各グ ループの８個のビットのすべてが第３Ａ図に示す夫々のアドレスにより１時にア クセスされる。

第３Ａ図に示すようにアナログである圧力、温度、湿度、および二酸化塩素ガス 濃度のパラメータがそれぞれの源１１４Ｃから増幅器１１４ｄ、１１４ｅ、１１ ４ｆおよび１１４ｇに送られる。殺菌チャンバから殺菌二酸化塩素ガスが排除さ れているときのシステムの安全度を更に高めるためには二酸化塩素ガスの濃度レ ベルを正確に測定することが大切である。従ってガス濃度信号用の増幅器１１４ ｇは殺菌チャンバの排気中、制御信号Ｙ３７により高利得モードに切換えられる 。このようにＡ／Ｄコンバータ１１４は入力濃度アナログ信号をより多数の量子 化レベルと比較して実際の濃度のより正確な指示を与える。他のすべての時点で は増幅器１１４ｇは低利得モードにとどまる。例えば二酸化塩素ガスレベルが適 正な殺菌濃度を決定するためにチャンバ内で測定されているときはより高い濃度 レベルが測定され、そしてそれ故Ａ／Ｄコンバータ１１４はそのアナログ濃度レ ベルに対応する正確なディジタル信号を与える。それ故、増幅器１１４ｇは低利 得モードにとどまることが出来る。

増幅器１１４ｇは信号Ｙ３７の「０」から「１」への変化により高利得モードに 切換えることが出来る。

システムデータベースは外部および内部セクションに分割されていると考えるこ とが出来る。外部データベースはディジタル人力ＤＩＮからなる接点入力（ＣＣ Ｉ）、ディジタル出力ＤＯＵからなる接点出力（ＣＣＯ）およびアナログ入力（ Ａ　Ｉ　Ｎ）を含む。外部データベースのイメージは、６２５０マイクロ秒毎に 呼び出されるＴＩＭＥＲＯプログラム（ＴＭＲＯ）のサブルーチンにより、内部 ＲＡＭ内のロケーションからなる内部データベース内に維持される。すなわち６ ２５０マイクロ秒毎にすべての接点入力とアナログ測定とが読取られてコントロ ーラの内部データベースおよびＤＯＵラッチ内接点出力イメージ内に記憶される 。ＣＰＵ１０２の内部データＲＡＭ用のメモリマツプである第１２図において、 接点入力のイメージは変数ＣＣｌ０〜ＣＣｌ３として記憶され、フィルタ後のア ナログ入力は変数ＡＤ　Ｉ　Ｏ〜ＡＤ１７として記憶される。接点出力は変数ｃ ｃｏｏ〜ＣＣＯ３として記憶される。入力データを用いるプログラムはこれらロ ケーションからのみにあって入力装置から直接のものではないそれを回収する。

従って、これらプログラムは入力および出力のイメージによってのみ動作する。

更に内部データベースは多数のレジスタバンクＲＢφ−ＲＢ３を含む。ＲＢφに おいて多数のタイマ２０５が設けられ、これには５０ミリ秒タイマＴＩＣＫ（５ ０ミリ秒）、秒タイマＴＳＥＣ（１秒）および分タイマＴＭＩＮ（１分）が含ま れる。これらタイマはシステム主ディスパッチプログラムによりタイミングをと られた機能インターバルで行われる機能を計画するため、そのようなインターバ ルを与える。ＴＩＣＫタイマは５０ミリ秒経過後に、５０ミリ秒毎に呼び出され るレジスタバンクＲＢ３、ＴＴＭｘ、内の多数のタイマ２００を含むすべての５ ０ミリ秒でタイミングをとられた機能を開始するため主ディスパッチプログラム により用いられるべき５ＴＡＴＵＳレジスタ２０４内のフラグＴＩＣＦをセット する。これらタイマは例えばシステムの弁についてのタイムアウト条件をモニタ するために呼出されるものであるとよい。

同様にＴＳＥＣタイマは１秒経過後に１秒毎に呼出されるＲＢＢ内の多数のタイ マ２００、ＳＴＭｘ、を含むすべての１秒でタイミングをとられる機能を開始す るため主ディスパッチプログラムで使用されるべきフラグ（ＳＥＣＦ）を５ＴＡ ＴＵＳレジスタ２０４にセットする。同様にＴＷＩＮタイマは１分経過後に、１ 分毎に呼出されるＲＢＢ内の多数のタイマ２００．ＭＴＭｘ、を含む１分でタイ ミングをとられた機能を開始させるべく主ディスパッチプログラムで使用される べきフラグ（ＭＩＮＦ）を５ＴＡＴＵＳレジスタ２０４にセットする。このデー タメモリはまたシーケンスプログラムで使用される現在の状態とＡＢＯＲＴ状態 の追跡のためのレジスタをＲＢ２内に含んでいる。同じくこれにはシーケンスス テータスレジスタ２０４、前述のＴＣＥＮおよびＴＣＦＬレジスタ２０７．２０ ８および弁の開閉のための制御計算を可能にするための制御レジスタＣＴＲＬが 含まれる。図示のように制御レジスタの４個のビットは測定された温度、湿度、 圧力およびガス濃度というパラメータに対応するこのシステムの４個の制御ルー プを制御するために用いられる。ビットマスク２６０のアレイが内部データベー ス内に設けられ接点入力と出力のステータスを比較するときの「無関心」条件を 可能にする。

データエレメントの詳細は本明細書に添附するコントローラプログラムソースに 示しである。

詳細にはＣＰＵ１０２の内部ＲＡＭは次にのように構成することが出来る。２５ ６個の（Ｆ　Ｆ）メモリロケーションはタイミングをとられた機能レジスタ内の ５０ミリ秒、１秒、１分タイマ（メモリロケーション０〇−０７）、受信バッフ ァＲＢＵＦと送信バッファＴＢＵＦを制御するための通信プログラムレジスタ（ メモリロケーション０８−ＯＦ）　、主ディスパッチプログラムレジスタ（メモ リロケーション１Ｏ−１７）、タイマ２０５により５０ミリ秒、１秒、１分のイ ンターバルで動作するタイマ２００　（１８〜ＩＤ）、（カウンタＩＥとＩＦ） 、ステータスバイト２０４　（２０）　、制御バイト２０６　（２１）　、タイ マイネーブルバイトＴＣＥＮ（２２）、タイマフラグバイトＴＣＦＬ　（２３） 　、入力用の一連のマスク２６０　（２４〜２７）、接点出力イメージＣＣＯＯ 〜ＣＣＯ３（２８〜２Ｂ）、接点入力イメージＣＣＩ　Ｏ〜ＣＣＩ　３　（２Ｃ 〜２Ｆ）　、７＋ｏグ入力ＡＤＩＯ〜ＡＤ１７（３０〜３７）、および温度、圧 力、濃度および湿度のような測定されるプロセス変数用セッテ点（３８〜３Ｂ） に組織される。内部ＲＡＭの残りは通信バッファ（４φ〜５Ｆ）、システムスタ ック（６φ〜７Ｆ）および内部マイクロプロセッサレジスタおよび記憶装置（８ φ〜ＦＦ）に割当てられるのであり、それらの使用は当業者には自明である。イ ンテルコーポレーション社のマイクロコントローラφユーザーズマニュアル（１ ９８２年５月、文献番号２１０３５９−００１）を参照のこと。全体システムプ ログラムはＣＰＵ１０２の内部ＲＯＭに含まれているが、外部ＲＯＭを他のプロ グラミング能力に合うように設けることも出来る。第１２図では５ＴＡＴＵＳ、 ＣＴＲＬ、ＴＣＥＮおよびＴＣＦＬレジスタのビット内容が示しである。

状態シーケンス 殺菌サイクルの進行は第５図の表示パネルの進行ランプから決定出来る。正常な サイクルでは故障ランプは点灯しない。正常であるいは中断されたかにがかわら ずサイクルと故障のデータは不発揮性ランダムアクセスメモリまたはシャドウＲ ＡＭ　（ＳＲ，ＡＭ）内に維持される。

例えば、予定のサイクル数、例えば３サイクル後に、ガスカートリッジは空にな り交換しなければならない。１つのカートリッジを使用したサイクル数に関する データはこのメモリに記憶される。また、予定数のサイクルあるいはくり返され る故障後に、このシステムは保守が行われるまで不動作にされる。これはこの分 野でバイパスすることの出来ない安全特性であり、このデータもまた不発揮性メ モリに記憶される。

前述のように第６図はこの殺菌システムのシーケンスプログラム動作を限定する 状態図である。第７図は第２図の要素の条件並びに種々のプロセス状態について の第５図の表示ランプの条件を示す。このシステムの動作を次に詳述する。

このシステムは常に初期状態、状態０、で始まる。この状態においては制御回路 １００内のマイクロプロセッサのすべての出力ラインは弁およびポンプ部２０の すべての弁をまず減勢するようにセットされる。短い遅れ後に弁ｖ７が開いて第 ７図の状態０について対向するＶＶＯ７に生じる「１」により図示のようにチャ ンバに空気を入れる。更に、この状態において制御回路１００はメモリにマイク ロプロセッサのすべての出力ポートの状態を記憶する。

状態０と１においてチャンバ１０への扉が開位置になる。この扉が閉じられてし まうと状態２に入る。第６図に示すようにこれはシステムがそのサイクル開始準 備を完了したことを意味する。更に第７図に示すように状態２において弁ｖ１〜 ｖ６が閉じ、ｖ７は開、ｖ８は閉である。表示ランプＬＴ１〜ＬＴ６は消灯し、 ランプＬＴ１１　（ＲＥＡＤＹ　ＦＯＲＣＹＣＬＥ）は点灯、ランプＬＴ１２〜 ＬＴ１７は消灯する。対応するリミットスイッチ（Ｌ　Ｓ）は関連する弁の条件 によりきまる位置となり、例えば閉じた弁ｖ２についてはリミットスイッチＬＳ ２０は開、リミットスイッチＬＳ２ｃは閉である。

上述のように、２個のリミットスイッチが夫々の弁に設けられ、すなわち、開位 置に１個、閉位置に１個設けられてシステムの安全を保証する。両リミットスイ ッチは適正位置になければならず、そうでないと故障が発生する。

チャンバ１０の扉が開くと、このシステムは初期状態を過ぎてしまえば状態１に なる。従ってＬＴｌのみが点灯し、他のランプは第７図に示すように消灯する。

チャンバの扉が閉じ、システムが状態２にあるとすれば、５ＴＡＲＴＣＹＯＬＥ スイツチｓ１を押すとシステムは状態３に移る。このとき弁Ｖ７が第６図の状態 ３についての欄の「０」で示すようにｖ７が閉じ、ランプＬＴ１２、ＣＹＣＬＥ ＩＮＰＲＯＧＲＥＳＳが点灯する。

第２図に示すように弁ｖ７は開くとチャンバ１ｏをフィルタ１３を通じて大気に 連通させる。このように濾過された外気のチャンバへの流は弁ｖ７が閉じること により停止する。

状態２において扉が開くと、直ちに状態ｌへの復帰が行われる。

状態３においてｖ７が、リミットスイッチＬＳ７ｃの閉成とリミットスイッチＬ Ｓ７ｏの開放状態で示すように、閉じると状態４に移る。弁ｖ７がデータメモリ のＲＢＢ内のＴＩＣタイマＴＴＭｘの１個により行われるタイムアウトで決まる ように成る時間内に閉じないと、状態２９、ＡＢＯＲＴ−１に入る。更に閉じる べき弁が開くようなアラーム条件が生じると、アラーム条件が発生されそして故 障点が表示パネルに指示されて、オペレータに誤動作の発生を知らせる。

状態３においてチャンバの扉が開くと、第６図に示すようにそのサイクルが中断 される。

弁ｖ７が閉じ、状態４に入っているとすると、チャンバのヒータＨＴφ１がＨＴ φ１に向き合う状態４用の欄の「１」で示すように入る。チャンバ内の温度がタ イムアウト期間内に充分なレベルに上昇すると、状態５に入ることが出来る。そ うでなければＡＢＯＲＴ−１、状態２９に入り、その後スイッチＳ２を押すこと により状態２にもどる。安全動作温度は温度スイッチＴＩ（第２図）が所望温度 となったチャンバ内の雰囲気の温度により作動されるときに達成される。これが 生じた後にチャンバ内温度は、第７図のｒＨＴφ１」に向き合う欄内のｒＣＪで 示すようにサイクル中所望のようにヒータをオン・オフすることにより制御され る。

状態５に入ると、弁ｖ１はチャンバ１０内の排気のため真空ポンプＰ１を作動さ せる準備として開かれる。ここでも弁ｖ１がタイムアウト期間内で開かないとす ると、ＡＢＯＲＴ−１、状態２９に入る。

状態６には弁ｖ１がこの期間内に開くときに入る。この時、ポンプＰ１はスター トシ、ランプＬＴ１３が排気中であることを示す。ポンプの動作期間の長さを決 めるタイマがスタートする。

状態６に入ってしまうと、チャンバ内は減圧されているからチャンバの扉１１は 決して開かない。

状態６においてチャンバの圧力がチェックされて、ＰＥＶＡＣで定められる公称 値以下となるまで充分減圧されたかどうかを決定する。もしこの圧力がＰＥＶＡ Ｃより低ければ状態７に入り弁ｖ１が閉じる。

く、適正な真空レベルに達していなければ状態２′９に入る。同様に特定の時間 内に弁Ｖ１が閉じないと、状態７から状態２９に移る。

状態７において弁■１が閉じた後に状態８で漏れテストが行われる。漏れホール ド時間後の圧力が公称値ＰＬＥＡＫより低ければ状態９に入る。そうでなければ ＡＢＯＲＴ状態２９に入る。

状態９において水蒸気がチャンバに入れられる。すなわち、第６図に「Ｃ」で示 すように弁ｖ６が開状態にされそしである時間内に湿度が特定レベルに達したか どうかについての決定がなされる。この時間内にその公称湿度ＨＮＯＭに達しな い場合には状態３０、ＡＢＯＲＴ−２に入る。排気は完了しているからランプＬ ７１Ｂは消え、ＦＩＬＬ　ＩＮ　ＰＲＯＧＲＥＳＳを示すランプＬＴ１４が点灯 する。ＦＩＬＬ、は例えば水蒸気および窒素ガスのような非殺−菌性ガスのチャ ンバの供給を意味する。このとき、システムは状態プログラム内の新しい点に入 り、そこでは誤動作がシステムを異ったＡＢＯＲＴ状態、状態３０にもどさせる 。ＡＢＯＲＴ・２（状態３０）についての種々の弁およびランプの意味は第７図 に示しである。

状態９において、湿度タイマがタイムアウト、すなわち計時を終了する。湿度レ ベルが公称値ＨＮＯＭより高ければ状態１０に入る。そうでなければ状態３０に 入りサイクルが中断される。

状態１０において、湿度保持テストが行われ、湿度レベルが予定の時間モニタさ れる。湿度レベルがこの時間中維持されないと状態３０に入る。そうでなければ 状態１１に入る。弁Ｖ２とｖ８が開かれ、弁Ｖ５が弁Ｖ６と共にオンとされる。

弁ｖ５はシステムに窒素を導入する。この時点て弁■２が開いていても二酸化塩 素ガスは、−緒に制御される弁ｖ４とＶ４Ａが閉じているためにチャンバには入 らない。

状態１１において弁ｖ２が開いているかどうかのチェックが行われる。特定時間 内にそれが開かれないと状態３０に入る。弁Ｖ２が時間内に開（と状態１２に入 り、弁Ｖ４とＶ４Ａがオンとされて二酸化塩素がチャンバに入りうるようになる 。タイマーがスタートしその期間内にチャンバ内の二酸化塩素ガス濃度が測定さ れる。前述のように二酸化塩素は２つの成分、Ｃ１２ガスと亜塩素酸ナトリウム 、Ｎａ　ＣｌＯｓの必要に応じての反応により発生出来る。塩素ガスは缶に入っ ており、この缶が周知のように接続ボートによりシステムに接続出来るようにな っている。亜塩素酸ナトリウムの容器は第２図に示すように弁Ｖ２とＶ４間でシ ステムに接続される。状態１２においてＬＴ１４が消え、ＬＴＩ５．５ＴＥＲＩ ＬＩＺＡＴＩＯＮ　ＩＮ　ＰＲＯＧＲＥＳＳ。

が点灯する。

状７＠１２が測定されたガス濃度が予め定めた時間内に公称濃度ＣＮ０Ｍ以上上 となると、状態１３に入る。許容しうる殺菌ガス濃度は例えば１．０ｍｇ／ｊ！ から約３００＋ｇ／Ｉ）である。そうでなければ新しい中断状態、ＡＢＯＲＴ− ３、状態３１に入る。この新しい中断状態は、殺菌性二酸化塩素ガスがこのとき チャンバ内にあるのであるから新しい条件が殺菌チャンバ内に存在するために必 要である。これは故障の場合に行わねばならない異った手続群を必要とし、従っ て新しい中断状態が与えられる。

状態１３において、ガス保持テストが開始する。ガス濃度が予定の時間にＴＭＲ にわたりＣＮ０Ｍ以上であれクルが中断する。

状態１４において、チャンバ内の温度が測定される。

それが最低温度ＴＭＩＮより高いが最大温度ＴＭＡＸより高くはない場合、状態 １５に入り殺菌タイマがスタートする。温度が適正でないと状態３１に入り中断 が生じる。代表的な動作温度は約３０℃である。

状態１５において殺菌が進行する。湿度制御用の弁ｖ６はまだ開かれたままであ り、ｖ４とＶ４Ａも開かれる。例えば条件が変化する場合、すなわち弁がその適 正状態になっていない場合のようなアラーム条件が生じると、状態３１に入る。

状態１６には殺菌タイマＳ　ＴＭＲがタイムアウトとなった後にのみ入りうるの であり、これには一般に数時間必要である。

状態１６において、弁ｖ４、Ｖ４Ａ、Ｖ６が閉じ（所要のタイムアウト期間内に これらが閉じなければ状態３１に入る）、弁■３は制御される状態にあり、ｖ８ は開いたままである。状態１７においてランプＬＴ１５が消え、ＬＴ１６が点灯 する。ランプＬＴＩ５は殺菌タイマが時間切れとなり弁Ｖ４；　Ｖ４Ａが閉じて いるときに消える。ランプＬＴ１６は洗浄が進行中であることを示す。状態１７ においてチャンバ内のガス弁Ｖ３とＶ８および二酸化塩素ガスを無害な物質に変 換する、第２図にＤＵＭＰ２２で示す解毒装置２２を通して除去される。

この無毒化は排気される二酸化塩素ガスを例えばナトリウムチオサルフェートの ような還元剤を通すことにより前述の特許出願節６０１，４４３号に示されるよ うにして行うことが出来る。無毒化されたガスは真空ポンプＰ１により弁Ｖ８を 通じて除去される。タイムアウト期間内に弁■３とｖ８が開かない場合にはＡＢ ＯＲＴ−３、状態３１に入る。状態１７において、チャンバ１０を排気する時間 を制御する排気タイマがスタートする。弁Ｖ３とＶ８が共に予定の時間インター バル内に開いている状態１８において排気タイマが時間ＥＴＭＲを経過してしま うと状態１９に入り弁ｖ３とｖ８が閉じる。弁Ｖ３とｖ８が閉じると状態２０に 入る。

第６図に示すようにアラーム条件が生じるかあるいは弁ｖ３またはＶ８が特定の 時間内に閉まらないならば状態３１に入る。

状態２０において弁ｖ５が制、御される状態になる。これにより必要に応じて窒 素ガスがシステムに八りうるようになり、そして弁■３が状態２２において再び 開かれると解毒装置２２を通じて弁Ｖ２の後に残留する殺菌ガスを除去する準備 が行われる。状態２０において圧力が弁ｖ５が状態２１において閉じ、窒素の供 給を停止する。

圧力がＰＭＡＸより低ければ新しい中断状態、ＡＢＯＲＴ−４、状態３２に入る 。

状態２１において弁ｖ５が予定時間内に閉じたかどうかをチェックする。閉じな い場合１ごは状態３２に入り、サイクルが中断する。状態２２においてシステム 内の残留殺菌ガスが解毒装置２２と再び開いた弁ｖ３とＶ８を介して無毒化され 、ガスを除去する。弁■３とｖ８が充分な時間開いていると、それが開いたとき にのみ状態２３に入る。状態２３においてＤＥＳＯＲＢタイマが作動される。こ れはチャンバ内の材料に吸収された殺菌ガスを除去あるいは時間ＤＴＭＲにわた り放出させうるようにする。

弁ｖ３とＶ８が開かないとＡＢＯＲＴ−５、状態３３に入る。この場合、オペレ ータは殺菌ガスがシステムから除去出来るように弁Ｖ９そしてまたはＶＩＯを手 動的に作動させるような指示を受けることになる。弁Ｖ９とｖｌｏの手動操作性 は第２図に弁記号上のＴにより示されている。弁ｖ９とＶｌｏが手動的に開かれ ると状態３３、ＡＢＯＲＴ−５に自動的に入る。

状態２３が成功しＤＥＳＯＲＢタイマが時間ＤＴＭＲ後にタイムアウトすると、 ・状態２４に入る。この時点で弁Ｖ２．ＶＢ、Ｖ８が閉じられるのでありこれら 弁が閉じたかどうかのチェックが行われる。次に状態２５に入り、そこで低ガス 保持テストが行われる。ガス濃度が時間ＧＨＴＭ内で許容値ＣＭＩＮ以下であれ ば状態２６に入る。安全上の許容レベルは例えば二酸化塩素０．５ｐｐｍより下 である。そうでない場合にはダミー状態３５に入る。これはスイッチＳ２の操作 による状態２０へのもどりの前に行われる。これは弁を開くための遅延時間を与 える。

状態２５において、増幅器１４ｇ（第３図）の利得は、排気中の二酸化塩素ガス 濃度レベルの測定中増幅器を高利得モードとするように切換えられる。これはＧ ＣＩ（利得制御）に向き向う状態２５内の「１」で示される。

これは排気中のより正確な濃度レベル測定を与え、前述のようにシステムの安全 度を更に高める。また状態２５においてカウンタＣＮＴ　（第１２図のＲＢ３を 参照）は減算する。このカウンタはシステムをしてカウンタＣＮＴφ内の初期計 数により決定される特定の回数だけ状態２５，２０，２１，２２．２３および２ ４を通り状態３５を介してサイクルを行うようにさせる。従って時ＧＨＴＭ内に 濃度レベルＣＭ　Ｉ　Ｎに達しないときあるいはカウンタＣＮＴがφにならない 場合に状態３５に入る。

濃度がＣＭＩＮより低く且っＣＮＴＯが０のときに状態２５から２６に移る。こ れ゛はチャンバ内の濃度センサが故障したときのシステムの安全性を確保するた めに設けられている。状態３５を通じて多数のサイクルを行うことにより、ガス 濃度は低下して、濃度センサがＣＭＩＮより低いガス濃度を示してもシステムが 濃度を許容しうる安全レベルまで低下するに必要なサイクル数を自動的に行うよ うにする。濃度センサが故障ししかもこの安全特性がないとするとシステムはガ ス濃度レベルが実際にはそうでなくとも許容安全レベル内であることを示すこと になるから、これは重要なことである。

状態２６において少くともその状態までシステムがサイクルを行うたびに増加す るカウンタがチェックされる。

もし、例えば計数内容が３より小さければ状態２８へのジャンプが行われる。３ 以上であれば状態２７に入る。

状態２８において、弁ｖ５がオンとされそして計数内容が増加する。これにより 窒素ガスがチャンバに入ることが出来る。

サイクル計数が３以上であれば直接に状態２７に入る。

状態２７において弁Ｖ２．Ｖ３．Ｖ４．Ｖ８が開き、残留ガスのすべてがシステ ムから除かれ、そしてカートリすなわちＤＵＭＰ　ＨＯＬＤ時間ＤＨＴＭが経過 した後に状態２８に入る。システムは状態２８から状態３７に入り、その間チャ ンバ内の圧力は大気圧の５％以内となるまでモニタされる。この時点でランプＬ ＴＩ７、ＲＥＭＯＶＥ　ＬＯＡＤ、が点灯する。この点で状態３８に入り、ラン プＬＴ１１が点灯し、スイッチＳ２の作動により状態１へのもどりが可能となる 。オペレータはシステムが状態２７を通ったならばガスカートリッジの交換を注 意されることになる。

第６，７図に示すようにＡＢＯＲＴ状態２９と３０に入った後にスイッチＳ２を 押して状態２にもどされそして状態２の条件がセットされる。

ＡＢＯＲＴ状態３１において、状態２０へのもどりが行われて状態２０の条件が スイッチＳ２を押すことによりセットされる。ＡＢＯＲＴ状態３２において、状 態１９にもどされ、その状態の条件がセッサされる。

ＡＢＯＲＴ状態３３．３４．３６において状態２３゜２５．２７にそれぞれもど される。状態３８になると、オペレータはサイクルが完了しランプＬＴ１７が点 灯したことの指示を受ける。チャンバの扉を開けることが出来るようにするため にスイッチＳ２が作動され、そして状態１に入る。任意のＡＢＯＲＴ状態となる と、適当な故障ランプが点灯する。一つのＡＢＯＲＴ状態から状態２０Ｂまたは ２６へもどされるとき、このシステムは通常シーケンスに従う状態を通リサイク ルを進行する。

ソフトウェア機能概略 シーケンスプログラムはすでに述べた。一般に殺菌システムコントローラ用シフ トウェアは中断駆動される。

中断が生じるまではバックグランドタスクが常に主ディスパッチプログラムを通 じて生じている。いくつかの原因の内の任意のものによる中断によってソフトウ ェア制御が適正な中断処理プログラムに入る。これは第９図に示しである。

第９図には主ディスパッチプログラム３００が示きれている。このプログラムは 添附のプログラムリスト内の主ディスパッチプログラムの部にも示しである。本 質的にはこのプログラムは５０ミリ秒、１秒または１分機能が行われねばならぬ ことを示すタイマフラグの発生をモニタする。これらフラグは第１２図のステー タレジスタ（ＳＴＡＴ）２０４に記憶される。１つのフラグが生じると、プログ ラム３００は適正なタイマプログラム３１８．３００または３２２にジャンプす る。これらタイマプログラムは１分機能がはじめに行われ、５０ミリ秒（Ｔ２Ｏ ）機能が最後に行われるように優先を基準として行われる。

４つの中断理由があり、それらはパワーアップ、タイマ、通信、およびパワーダ ウンである。パワーアップ、パワーダウンおよび通信は外部ハードウェアの中断 であり、タイマ中断ＴＭＲＯはプログラム制御のもとての内部中断である。パワ ーアップを除き夫々の中断を処理するプログラムはそのタスク機能をスタートす る前にＣＰＵスタック内にランニングプロセサコンテキストをセーブし、そして コンテキストは中断されたプログラムの回復前に回復される。タイマ中断ハンド ラ（ＴＭＲＯ）は他のすべての非中断プログラム機能をシーケンスする。

前述のようにこれは第１２図のステータスレジスタ２０４を通じ、タイミングを 取られたタスクのどれがうつされるかをきめる１以上のフラグ（ＭＩＮＦ３１２ ゜５ＥＣＦ３１４．ＴｌＣＦ３１６）を通すことにより行われる。主ディスパッ チプログラム３００はそれらフラグをテストし、３１８−３２２で示すように選 ばれた機能を実行させる。この方法は優先順次のより低い機能が完成される間に 更に中断作用を可能にする。１分、１秒および５０ミリ秒（Ｔ　Ｉ　Ｃ）期間で 行われる機能のいくつかを第９図に３１８，３２０．３２２で夫々示しである。

次の説明は中断事象の夫々のカテゴリのもとで行われるべきタスクをより詳細に 述べるものである。

主ディスパッチプログラム 本質的に主ディスパッチプログラムはタイマフラグをモニタし、そしてそれが見 い出されたとき適正なサブルーチンを呼び出すものである。第９図参照のこと。

主ディスパッチプログラムはプログラムリストに示しである。

パワーアップ ３１０で示すパワーアップにより、プロセッサスタック、レジスタバンク、およ び他の機能が開始される。この中断機能はプロセッサコンテキストの省略を必要 としない。その代りに前のプロセスの情報が電気的に再プログラム可能なメモリ ＳＲＡＭ１０６から読出され、クロック１１９がリセットされ、そしてプロセス が前述のいずれかの状態から回復する。ウォッチドッグタイマはリセットされそ して制御が主ディスパッチプログラム３００にもどる。

パワーアップルーチンはプログラムタイトルＩＮＩＴとしてプログラムリストに あげている。

パワーフェイル パワーフェイルプログラムを組込むとよい。第９図に示すこのプログラムの一実 施例は３１２においてＳＲＡＭ１０６に臨界的メモリ内容を記憶させそこで電力 が回復するまでデータが保存される。電力故障による中断は５ボルト論理ライン が４．５５ボルトより低くなるときに生じるように設計され、そして４．７５ボ ルトへの回復がパワーアップについて利用される。このパワーフェイルプログラ ムはプログラムリストにある。

通信 通信特性（ＣＯＭ）は本発明によるシステムにオプションとして設けることが出 来る。この通信プログラムはキャラクタが直列出力バッファから除去されあるい は直列人力バッファに入る毎に作動される。このプログラムの機能は送信用に送 信バッファにキャラクタを送り、そして受信時に受信バッファからキャラクタを 除去することである。２個のＦＩＦＯ列がこれら入力および出力データの流れを 保持するために設けられる。通信プログラムは終了または制御キャラクタの冑無 について入力および出力データの流れをテストする。終了キャラクタの場合には フラグがセットされる。周知のプログラムを制御回路に接続した一般的な直列イ ンターフェース装置用の制御キャラクタの処理のために設けてもよい。例えば記 録のために情報を電話線を通じてプリンタまたは表示装置に送ることが望まれる こともある。周知の他のプログラムを標準形のモデム制御機能、例えばＲ５２３ ２Ｃコマンド、を扱うために使用出来る。ハードウェアＩ１０ラインを必要なモ デム制御信号用に設けてもよい。通信プログラムはプロセサコンテキストをセー ブし、そして回復する。タイミングをもつ機能 コントローラ内のタイミングをもつ機能は次のような４つのレベルについて生じ る。すなわちＴＩＭＥＲＯタイムよりトリガされる機能（６２５０マイクロ秒毎 ）、５０ミリ秒毎（ＴＩＣＳ）に開始される機能、１秒毎にスタートする機能お よび１分毎メこ生じる機能である。データは第１０図に示すようにマイクロプロ セッサのデータベース内の限定されたデータ領域を通りこれらレベル間で交換さ れる。ＴＭＲＯプログラムもコントローラに接続する入力および出力装置をアク セスする。１秒毎に作動される制御機能（Ｃ′ＦＲ）は第２４図に示すように弁 コマンドをＣＴＲＬレジスタの上４桁のビットに、下位４桁ビットでイネーブル とされたとき、１ビツトづつ送る。

第４図に示すようにタイマ中断（Ｔ　Ｍ　ＲＯ）は６２５０マイクロ秒（６，２ ５ミリ秒）毎に生じる。夫々の中断において、ＴＭＲＯプログラムに入り、そし てすべてのタイミングをもつ機能がスケジュールされる。

プロセサの基本サイクル時間は約２マイクロ秒であるから、３１２０個のインス トラクションサイクルが次のそのような中断までに経過する。この時間のある部 分は夫々のタイマ中断毎にデータの集成とインタロック機能を行うために用いら れるのであり、例えばアナログ入力とデータ入力が読取られてＣＰＵの内部ＲＡ Ｍに記憶される。これを第９図の３３０に示す。タイマ中断後直ちにプロセサコ ンテキストが適正なレジスタ内にセーブされる。中断するタイマ、ＴＩＭＥＲＯ ｌがこのときリセットされて再スタートする。５０ミリ秒、１秒、１分間隔で生 じるプログラム機能は夫々の時間インターバルの経過後に前述のようにフラグを 通すことにより３３２で示すごとくに計画される。データ入力、ステータスチェ ックおよび出力は次に行われる。最後に前のプログラムのコンテキストが回復さ れ、そして中断゛もどしが実行される。任意のタイミングをもつ事象が生じるな らば、それらは主ディスパッチプログラムによりシーケンスをもって行われる。

そうでなければ主ディスパッチプログラムが回復される。

夫々のタイマで実行される基本タイマプログラムは第２２図のフローチャートに 示しである。図示のように、タイマはまず減算されそしてそのタイマがタイムア ウトしているかどうかすなわち０カウントになっているかどうかについてチェッ クされる。そうであれば対応するタイマフラグが第１２図に示すようにＴＣＦＬ レジスタ２０８にセットされる。そうでなければ対応するフラグが消去される。

次にこのプログラムが次のタイマについて実行され、すべてのタイマーが完了し たなら主ディスパッチプログラムにもどされる。

減算タイマ機能を第２３図に示す。図示のように、タイマが減算するとき、タイ ムアウトしていればＴＣＦＬレジスタにフラグがセットされ、次に現在のカウン トが適正なタイマレジスタ２００に記憶される。

１、ＴＩＭＥＲＯタイマ（ＴＭＲＯ） ６２５０マイクロ秒毎に生じる最低のタイミング機能は中断ＴＩＭＥＲＯにより 開始される。これは種々のタイミングをもつ機能を示す第１０図の上の部分に示 しである。プロセサコンテキストのセーブ後に、ＴＩＭＥＲＯ中断プログラムの 第１機能がリセットされて４００１：で示すようにそのタイマを再スタートさせ る。これはサブルーチンＲＲＴにより行われる。第１０図において、所望の機能 を行うための対応するプログラムはフローチャート記号の上に示してあり、そし てプログラムリストにも示しである。ＴＭＲＯプログラムは時間による機能であ る。タイマーが再スタートしてしまうと、コントローラのすべての接点入力が４ １０と４１２で示すように対応するメモリイメージＣＣｌ０〜ＣＣｌ３に張込ま れる。これらイメージはビットアドレス可能なマイクロコンピュータメモリの一 部にある。これは論理処理を大いに容易にする。この機能のためのサブルーチン は第１７図に示してあり、またプログラムリストのサブルーチンＲＣＩにも示し である。接点出力情報もこのメモリのｃｃｏｏ〜ＣＣＯ３に置かれ、そして同じ く第１０図に４２５で示しである。この中断プログラムは次にこのメモリ領域に 同じく記憶されているビットマスク４１５を用いて接点入力および出力ステータ スビットのマスクされた比較を行う。これを４２０で示している。ビットがそれ らの対応する所望の出力と一致しない場合に、「無関心」条件についてマスクさ れると、アラーム条件が４３０で示すようにステータスレジスタ２０４（第１２ 図）内に１ビツトをセットすることによりセットされる。

タイムアウトアラームもＴＭＲＯプログラムにより行われる。第１８図に示すと 示してプログラムリストに示すようにサブルーチンＣＳＣ２はいかにしてタイム アウトを決定するかを示している。例えば弁が時間内に開いたが閉じたかを決定 するためのタイマがタイムアウトするとタイマフラグレジスタＴＣＦＬにフラグ がセットされる。このフラグのセットに故障による中断が必要であれば、すなわ ち例えば時間内で弁が閉じないという故障により中断条件が生じるならば、タイ マイネーブルレジスタＴＣＥＮにフラグがセットされなければならない。

これはアラーム条件がセットされるべきタイムアウトアラーム条件を知らせるも のであり、これはそのアラーム条件をステータスレジスタに入力させる。これに よりシーケンスプログラムによるＡＢＯＲＴ状態への転移が生じる。

次に現在の接点出力ステータスがそのメモリイメージから出力接点ラッチへ４３ ５で示すプログラムＷＣｏにより入れられる。最後に４４０，４４５で示すよう に現在のアナログ入力データ４４５が読取られ（ＲＡＩ）、指数的にろ波され（ Ｆ　Ｉ　ＬＴＥＲ）　、そしてビットアドレス可能なスペースの外側の正しいメ モリロケーションに記憶される。第２１図参照のこと。８個のタイマ中断には５ ０ミリ秒が必要である。このように８個のアナログ入力（ガス濃度、圧力、温度 および湿度には４個のみが必要である）の充分ろ波されたアナログ入力走査が５ ０ミリ秒プログラムに入る毎に可能である。それ故、５０ミリ秒毎にＲＡＩプロ グラムは夫々のチャンネルに８個の合計６４個の入力サンプルを得、そして、夫 々のチャンネルの８個のサンプルが平均されて各チャンネルについての１個のア ナログ値を得る。ここで主ディスパッチプログラムにもどされる。ＴＩＭＥＲＯ プログラムは第１１図のフローチャートに要約されている。

２．７ＩＣタイマ（Ｔ２Ｏ） １１０機能は５０ミリ秒毎に行われるものであり、シーケンス（ＳＥＱ）プログ ラムの実行を含んでいる。実行される第１の機能は５００で示すようにウォッチ ドッグタイマのリセットである。すなわちこのタイマが時間内にリセットされな いとすべての弁出力が第８図について述べたようにディスイネーブルとされてし まうからである。次にすべてのチェックタイマ（ＴＩＭ）が５１０で減算され、 ５１２でそれらのカウントが記憶され、そして第１２図のレジスタＴＣＦＬ２０ ８内でそれらの対応するステータスフラグがセットまたは消去される。

ＴＣＦＬＣＴＲレジスタ２０８２図）内へのタイムアウトフラグのセットには対 応するビットのステータスが図示のようにシーケンスプログラムによりタイマカ ウンタイネーブルレジスタ（ＴＣＥＮ）２０７内で決定されることを要する。こ のように、対応するＴＣＥＮビットがセットされないと、これはタイマフラグが 入るときコントローラがＡＢＯＲＴ状態に入らないことを意味する。

例えば、殺菌タイマがタイムアウトする（約４時間後）と、ＡＢＯＲＴ状態には 入らない。しかしながら弁のタイムアウトではタイマーがタイムアウトし弁が時 間内に開または閉となっていないとき中断が望ましく、それ故、対応するＴＣＥ Ｎビットはシーケンスプログラムでセットされ、かくしてアラームの発生を可能 にする。弁が時間内に閉じれば、その対応するＴＣＥＮビットはディスエーブル されそしてアラームは発生されない。ＴＩＣＫタイマが減算してしまうと、１つ の状態から上述の状態への進行を制御する主シーケンス論理５１５　（ＳＥＱ） が現在では存在しない特定のステータス件のホールドにより、それ以上の進行が 出来なくなるまで行われる。そして、出力が５３０においてメモリ（ＣＣＯ）内 の接点出力イメージに入れられ、すなわち例えば制御されるべき適正な弁または ヒータ用の出力データがメモリに記憶される。次にＴＭＲＯプログラムサブルー チンＷＣＯがこの出力イメージを次のサイクルにおいて制御される装置に書込む 。ＴＩＣ機能プログラムは第１３図のフローチャートに要約しである。

３、秒タイマ（ＴＩＳ） １秒毎にすべての１秒タイマーは５５０において減算され、カウントは５５２で 記憶されそしてそれらに対応するステータスビットがセットまたは消去される（ ５５５）。これはタイマフラグの発生時にＡＢＯＲＴが生じるかどうかにより、 フラグビット（ＴＣＦＬ）および適正なタイマカウンタイネーブルビット（Ｔ　 ＣＥ　Ｎ）のセットを含んでいる。最後にシーケンスプログラム５１５からセッ トポイント（５５７）を受ける制御プログラム５５９　（ＣＴＲ）が制御される 装置の新しい出力ステータスをコントロールレジスタに入れ、これは内部ＲＡＭ の接点出力レジスタへ次に入れられる。次のＴＭＲＯプログラムを通じてのサイ クル中にこれら出力は制御される装置に送られる。第８図に示すように、タイミ ングをもつ機能はＭＩＮ、ＳＥＣおよびＴＩＣＫの順に生じる。秒プログラム、 ＴＩＳ、用のフローチャートを第１４図に示す。

第１４図に示すように、１秒タイマプログラム用の第１の機能はステータスレジ スタ（第１２図）内の１秒フラグ（Ｓ　Ｅ　ＣＦ）の消去を含んでいる。すべて の１秒タイマが第２３図および第１４図の６００で示すように次に減算される。

次にプログラムＴＩＳが６０２においてシーケンスプロ、ダラムからループステ ータスを得、そしてその特定のループ用のコントロールレジスタ２０６内の対応 するビットが６０４でイネーブルとされたかどうかを決定する。夫々のループは 圧力、温度、湿度、ガス濃度の４個の被測定アナログプロセス変数の１個に対応 する。これも第２４図に示されている。図示のようにコントロールレジスタ２０ ６の下４桁は４個のループのステータスに対応する。ループがイネーブルとされ ると、６０６で示すようにシーケンスプログラムからの記憶されたセット点の値 から例えばガス濃度または圧力のような被測定入力値を減算することにより一つ の値が決定される。この値が０より大であればＣＴＲレジスタ内の上４桁のビッ トの対応する１つが６０７でセットされる。

ＣＴＲレジスタのビットがＯであれば対応するコントロールレジスタのビットが ６０８に示すように消去される。

６１０においてこのプログラムは次のループをとらえ、そのループについて段階 Ａ−Ｘをくり返す。次に、次の２つのループが得られこれらについても段階Ａ− Ｘが順次くり返される。すべての４個のループが行われたならば主ディスパッチ プログラムにもどる。

アナログ入力データ、セットポイント、コントロールレジスタ１コントロールプ ログラム（ＣＴＲ）　、出力ロードプログラム（ＣＴＬ）および接点出力０００ 間の相互関係は第２４図に示しである。図示のように、プログラムＣＴＲはメモ リからアナログ入力データ、セットポイントＳＰおよびコントロールレジスタ（ ＣＴＲＬ）ステータスを読取る。コントロールレジスタ用の新しいステータスが 次に第１４図のフローチャートに従って決定されて新しいステータスがＣＴＲＬ レジスタに入れられる。プログラムＣＴＬは次に弁とヒータを制御するための適 正な出力をメモリ内の適正な接点出力レジスタに入れる。ＴＭＲＯプログラム中 、これら出力はプログラムＷＣＯにより被制御装置；こ接続される。第１０図お よび第２０図を参照のこと。

４、分タイマ（Ｔ　Ｉ　Ｍ） １分のインターバルでオプションであるバッチタイムクロック１１９が６１０で 示すように更新される。このクロックは適正なプリンタまたは表示装置によるプ ロセス条件の表示の開始に用いられる。すべての１分タイマは６２０で減算され 、そしてそれらの対応するステータスビットが６３０においてセットまたは消去 される。

７１Ｍプログラムは第１５図のフローチャートに要約されている。

本発明によるガス殺菌システム用のソフトウェアのサンプルリストを次に掲げる 。

、富會會曾會會童會會ｆ鵞會實宵會會會實鵞富ＩＩ富禽實寅１１Ｎ１　ＸＤＡＴ Ａ　６００ｉ！！ ＩＮＺ　ＸＤＡＴＡ　６００２Ｅ ＩＮ３　ＸＤＡＴＡ　６００３Ｈ ＩＮ４　ＸＤＡＴＡ　６００４Ｈ ＩＮＳ　ＸＤＡＴＡ　６００ＳＥ！ ！　Ｎ　６　Ｘ　Ｄ入Ｔ入６００６　’；５ＩＮ７　：Ｄ入τλ　６００７″ｉ ！ｉ　ＸＤ人τ入　０ＣＯＯ１ｆ Ｘ２　ＸＤＡＴＡ　０ＣＯＯ２Ｅ Ｘ３　ＸＤＡＴＡ　０（００３Ｈ ５υ１　ＸＤＡＴＡ　ＯＣＯＯ４Ｅｉ ＹＯＸＤＡＴＡ　０ＥＯＯＯＨ ＹＩ　ＸＤＡＴＡ　０ＥＯＯＩＨ Ｙ２　ＸＤＡＴＡ　０ＥＯＯ２！ｆ ｌ　ＸＤＡＴＡ　０ＥＯ０３Ｈ １禽宵鵞雪、８１曹ｔＩＩ會倉當官官會曾會曾倉１會會食會實宜實會奮鵞會倉重 １１１曾；ＳＨ入ＤＯυ　Ｒ）Ｊｌ　人ＤＤ＊ＥＳＳ；ＣＨλＮ−７人ＤＤＲＥ ５５ ；ＣＬＯＣ３ＣＡＤＤλＥＳＳ ：ＣＣニー３　λＤＤＲＥＳＳ ；５ｖｘＴｃＨ入ＤＤ史ＥＳＳ ；ＣＣ０−３人ＤＤＲＥ５５ ；υλ丁ＣＨＤＯＧ　ＲＥＳＥＴ　ＡＤＤ又ＥＳＳＯＰ！Ｇ　３ＢＨ ５ＴＰＯＤＳ　ｉ ＳτＰＩ　ＤＳ　１ ＳＴ？２　ＤＳユ ５ＴＰ３　ＤＳ　１ ０ＲＧ　３Ｃ！ ’　ＴＩＦ！Ｅ　ＤＳ　１ ＨｇｕＰＳ、５ＥＴＰＯ！ＮＴ 、寓曾嘗食倉會ｔ１１會會當重會會會曹會１１ｆ重禽鵞を倉會雪ＷＣ３ＢＩＴ　 Ｆ！５に０．２ ＦＶＣ４ＢＩＴ　？！５ＫＯ，３ バｖＣ５ＢＩＴ　ＷＥχ０．４ ＰｒＶＣ６ＢＩＴ　Ｗ５ｉｏ、５ ＹｊＣ７ＢＩＴ　ＰＩＳＫＯ，６ バｖＣ８ＢＩＴ　五ＳＫＯ，フ ＭＶＯｉ　ＡｉＴ　Ｍ５に１．０ ＦＦ１７０２　ＢＩＴ　Ｍ５に！、１ ＦＴ１０３　ＢＩＴ　！’！５に１．２Ｐｒ′！０４　ＢＩＴ　Ｆ！５）：１． ３！？ＶＯ５ＢＩＴ　！”Ｉｓ）：１．４！’ＴＶ０６　ＢＩＴ　Ｍ５）：１． ５ＭＶＯ７ＢＩＴ　’ＦＥＳχ１．６ Ｆ［ＶＯ８ＢＩＴ　Ｆ！５に！、７ ＭＡＳＫ−λＥＧ−２ １”！ＤＣＩ　ＢＩＴ　と５に２．０ ＦＴＣＩ　ＡｉＴ　！’ＬＳＫ２．１ Ｍ５Ｃ！　ＢＩＴ　？！ＳＫ２．２ ＭＳＣ２ＡｉＴ　Ｍ２Ｒ：２．３ 雪會食重冨雪嘗雷禽當會禽曾嘗倉會雪會雪禽會會嘗富＊茸富會鵞禽會富重奮會會 實嘗宜會重宜會會曹重重會會雪實重重會！當實會宵官重重禽１１１１禽鵞宵重雪 富倉鵞倉倉：Ｖｌ−ＣＬＯ５ＥＤ−ＭＡ５に ；Ｖ２−ＣＬＯ５ＥＤ−ｈλ５に ：’／３−ＣＬＯ５ＥＤ−ａ５に ：’ｌｌ”７−ＣＬＯ５ＥＤ−Ｍλ５に；Ｖｌ−ＣＬＯ５ＥＤ−ＦＪ！Ｘ ；Ｖ１−ＯＰＥＮ−ＷＡＬＫ ；’／２−ＯＰＥＮ−１’１λＳｘ ；Ｖ３−ＯＰＥＮ−ＭＡ５χ ；Ｖ６−ＯＰＥＮ−７’！Ａ５に ；Ｖ７−ＯＰＥＮ、−Ｆ、Ａ５）： ；Ｖｌ−ＯＰＥＮ−Ｆ、入：に ；０５−ＣＬＯ５ＥＤ−ＭＡ５）： ：τ５−ＣＬＯ５ＥＤ−ＷλＳ【 吻雷嘗會璽會嘗豐曾會亀１重１會１１會會曾菅會曹會曾雪１１１會璽倉宣倉會− ＣＬ工４：　Ｎ口１ ！＝τ 會雪會雷首會會雪ｌ禽雷１曾雪會−會會富會會會會會書會雪曾曾會會官嘗奪會嘗 會倉會！雪宜電會雷會嘗倉會實會會雪會青會會、宜重重寵１倉實霊ｒｒ＊禽會懺 雪宵貢１賃富雷倉倉宜［１ＪＮＢ　ｆｆ１ｌＮＦ、浩Ｉ ＬＣλＬＬ　τ１ｎ ｆｉＮｌ：　ＪＮＢ　５ＥＣＦ、ＦＩＮ２ＬＣλＬＬ　ＴＩ！ ＰｒＮＺ：　Ｊ？ＪＢ　’ｒｌｃＦ、ｇ３ＬＣλＬＬ　７５０ ％３：　ＪＮＢ　≧ＣＶＦ、ＦＮ４ ＬＣλＬＬ　’Ｉｃ／ Ｆｙ’Ｊ４　：　ＪＮＢ　ＸＭＴＦ　、朋５ＬＣＡＬＬ　１Ｍ丁 Ｆａ−ＮＳ：　ＬＣλＬＬ　ＴＥ５τ ５ＪＨＰ　ｘλＩＮ ＲＥτ ＲＣＶ：　ＣＬＲＲＣＶ、Ｆ 又Ｅτ ［ＮＣＬＵＤＥ（５Ｔ入τＥＳ、Ｓ又Ｃ）自官食食１鵞禽霊嘗會禽倉禽禽重重雪 倉會重禽宜重雪１會鵞禽雪雪倉禽禽倉重雪禽ム 雪重鵞會鵞■鵞１１重倉雪宜雷嘗鵞實重當會雪宵鵞禽重重會實鵞重禽宜雪鵞鵞雪 ：ＲＥＡＤ　Ｓυ譜 ；ＲＥＳＥＴ　ＲＣ’Ｖ　ＦＬＡＧ ；ＲＥＥＥＴ　Ｘ２′！τ　ＦＬＡＧ ；５ＥＲＩ入Ｌ　！１０　ＨλＮＤＬＥＲＤＢ　Ｏ ＬＪ菖ＸＩ　５ＴＡＴＥ２６ ＤＢ　０ １−Ｊ’Ｂ２　５τλτＥ２７ ＤＲ０ ＬＪＦ！Ｐ　５Ｔ入ＴＥ２８ ＤＢ　Ｏ ＬＪバＰ　Ｓτ入丁Ｅ２９ ＤＢ　Ｏ ＬＪとＰ　ＳＴλ丁＝３０ ＤＢ　０ ＬＪｒ、？　５丁λτＨ３Ｈ ＤＢ　Ｏ ＬＪバ？　Ｓτ入τＥ３２ ＤＢ　Ｏ ＬＪバ？　５ＴＡＴＥ３３ ＤＢ　Ｏ Ｌ　Ｊ　Ｆ？　！’　５τλＴＥ３４ ＤＲＯ Ｌ＝二？　Ｓτλτ！３５ ０Ｂ　Ｏ ＬＪと！”５τλτＥ３６ ＤＢ　Ｏ Ｌｊ　２′！？　５τ入τＥ３７ ＤＢ　Ｏ ＬＪバＰ　ＳτλτＥ３Ｂ ＤＢ　０ 特衣昭６２−５０２１７２　（２９） Ｓτ入τＥ３：　、７？ｉＢ　ＬＳＣ７，５３１ＣＬＲＴＥＮＯ ５ＥＴＢ　Ｆ！ＶＣ７ ＳＥＴＢ　Ｍ’１０７ ５ＥＴＢ　Ｅτ０１ Ｆ、ＯＶ　ＭＴ？’！Ｏ、ｌ五ＤＬＹ ＣＬＵＥ　ＴＦＬ４ Ｓ　Ｅ　Ｔ　Ｂ　Ｔ三Ｎ４ ＣＬ又　ＦＯ ５Ｊｎ？　５３３ ５３１：　ＪＢ　ＤＳＣｌ、５３２ ？ｆＯＶ　Ａ、入！！ｌ０ＲＴ ｈｏｖ　ｓτλτΣ、λ ５ＥＴＢ　Ｌτ０Ｉ ＣＬ又　Ｆｏ ５Ｊ″ＭＦ’　５３３ ５３２：　５ＥＴＢ　ＦＯ ５３３：　Ｎｏ？ ＬＪとＰＳＥＱ又 ＣＬＩ　！’！ＶαＩ ＣＬＲＶＶＯｌ ３ｏｖ　Ｔ１ＭＯ，ＩＶＤＩＪ ＣＬＩ　ＴＦＬＯ ５ＥＴＢ　ＴＥＮＯ ＣＬＩ　ＦＤ ＳＪ？？Ｅ’　５６３ ５６１：　５ＥＴＢ　Ｌτ０２ Ｍ０’Ｖ　λ、λＢＯＲτ ！’！ＯＶ　５τ入τＥ、入 ＣＬＲＦＯ ５６３＝　Ｎｏ？ ＩｊＭＰ　ＳＥＱＲ ５９２：　−！ＩＥＴＢ　ＦＯ ５９３：　Ｎｏ？ 庫）Ｖ　ＳτλＴΣ、魯１１ Ｍ０Ｖ　ＡＢＯＲＴ、番３０ ＣＬＲＰｉ’／Ｃ２ ＣＬＲＰｒ”！０２ ＳＥＴＢ　’ＶＶＯ２ ＣＬ又　’ｒｔｖｃｓ ＣＬＩ　ｎｏ、８ ＣＬＲτＦＬＯ ５Στｂ　τＥＮＯ ？！ＯＶ　５ＴＰＯ，ｌＦ’５Ｐｉ ＣＬＲＰｒＶＯ５ ＣＬｉ！　ＷＶＣ５ ＳΣτＢ　ＣＥＮＯ ＣＬ又　ＦＯ ５ＪＰ１１　５１０２ ５１０１：　５ＥＴＢ　ＦＯ ５１０２：　Ｎｏ？ ＬＪＭＰ　ＳＥＱ又 、ＥＬ５Ｅ、ＳＥ丁　ＨＯＬＤ　ＦＬ入Ｇ１１τυＬ’Ｊ ＣＬＩ　！’！ＶＣ３ ＣＬＩ　！？ＶＯ３ ５ＥＴＢ　ＷＯ３ ＣＬＩ　１４１５ ５ＥＴＢ　Ｌ丁１６ ！’！ＯＶ　？ＴＭＯ，＠ＶＤＬＹ ＣＬＩ　τＦＬＯ ３ΣτＢ　ＴＥＮＯ ＣＩＪ　ＦＯ ５Ｊ！′ＸＰ　５１６２ ５１６１：　５ＥＴＲＦＯ ５１６２：　ＮＯ？ Ｌ、７石Ｐ　ＳΣｇｔ λｌ　Ｃ，ＬＳＯ８ ＪＮＣ５ｉ７１ ！’ｆＯＶ　５ＴＡＴＥ、番１！１ ’ＦＳＯｖＡ　Ｂ　Ｏ７Ｌ　Ｔ　ｇ　＊　３　ｉＣＬ！　丁ＥＮＯ ５ＥＴＢ　ＰｒｖＣ３ ５ＥＴＢ　ｆｆｆ０３ ５ＥＴＢ　［ＣＢ ＳＥＴＢ　？’ｒＶ０８ ＭＯＶ　ｆｆ１ＴＦａｏ、ＩＴＥＶｃ ＣＬｌｌＴＦ＆４ ＣＬｉ　ＦＯ ５ＪＭＰ　５：Ｌ）２ Ｓ１フｉ：　５ＥＴＢ　ＦＯ ５１７２：　Ｎｏ？ ＬＪＭＰ　５ＥＱｌ 竹表昭６２−５０２１７２　（３４） ＣＬＲｍｃ４ ＣＬＩ　ｎ０４ ５Ｅ丁Ｂ　Ｖ’ＶＯ４ ＣＩＪ　ＰｒＶｃ８ ＣＬＲ訳ｏ８ Ｓ＝τＢ　ＷＯ！！ ！’！ＯＶ　！’！ＴＭＯ，魯τＤ３ ＣＬ！　丁ＦＬ４ ＣＬＩ　ＦＯ Ｆ、ＯＶ　ＡＢＯＩＴ、　番３６ ＣＬＩ　ＦＯ ５２６２：　）ｉｏ？ ＬＪＦ！Ｐ　ＳＥＱＩ コＣ５３７１ Ｆ！Ｏ’／　５ＴＡＴＥ、４３８ ？’１０Ｖ　ＡＢＯＲ丁、参０ ＣＬＲＭＶＣ７ ＣＬＩ　ＰｒＶＯ７ ＣＬＩ　ＣＥＮＯ ＣＬＩ　Ｃ丁ＩＯ Ｃ！ｆ　ＶＶＯ５ ５ＥτＢ　ＶＶＯフ ＣＬＲＬτ１６ ＳＥＴＢ　Ｌ１２フ ＣＬ″ＲＦＯ ５３１１？　５３７２ ５３７１：　５ＥＴＢ　ＦＯ ５３７２’：　Ｎｏ？’ ＬＪｎ？　５ＥＱ］１ ＦＸｏｖ　５丁入τＥ、毒０ ７′Ｓｏｗ　λＢＯ１丁９番Ｏ ＣＬ又　ＦＯ ５ＪＭ１　５３８２ ５３８１：　ＳＥＴＢ　ＦＯ ５３８２：　Ｎｏ？ ＬＪど？　ＳＥＱ’１ ｉｌ了り又Ｎ この明細書では本発明はその特定の実施例について説明されている。しかしなが ら種々の変更、変化を添附する請求の範囲に示す本発明の広義の思想および範囲 をはずれることなくそれになすことが出来ることは明白である。例えば本明細書 に関連する当業者には明らかなようにここに示した装置は例えば漂白ガス、燻蒸 消毒対、殺菌剤等に限らず、有毒ガスを使用するシステムのような種々の形式の ガス処理システムについて使用するに適したものである。本明細書および図面は それ故限定の意味ではなく例示のためのものであると認識されるべきである。

浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） ・浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） ）浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） 浄！（内容に変更なし） ・浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） 浄書ぐ内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） ／Ｌ−７°１７／〃 ＦＩＧ、　２４ 手続補正書坊式） ％式％ １、事件の表示 ＰＣＴ／ＵＳ　８６１００２５８ ２、発明の名称 ガス殺菌システム ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 ザ　スコパス　テクノロジー　カンパニー４、代　理　人　（郵便番号１００） 昭和６２年５月１４日 （発送日　昭和６２年５月１９日） ６、補正の対象 特許法第１８４条の５第１項の規定による書面の発明者

Claims (55)

【特許請求の範囲】
1. １．処理されるべき物品を受け入れるためのチャンバ装置と、このチャンバ装置 にガスを供給するための供給装置と、から成り、上記供給装置は上記チャンバ装 置にガスを供給するために上記チャンバ装置に接続する弁装置と、予定時間後に 上記チャンバ装置からガスを除去する装置と、上記チャンバ装置から被測定パラ メータに関連した複数の電気信号を受けて上記弁装置と上記除去のための装置を 制御する電子制御装置とから構成されており、上記電子制御装置は予定のインス トラクションシーケンスに従って複数の状態を経て処理装置をサイクル動作させ るためのコンピュータ装置で構成され、そして上記コンピュータ装置は、上記処 理装置の故障に応じて、限定された複数の故障状態の内のその故障が生じたサイ クルにおける状態によりきまる１つに対し、上記処理装置の動作を中断させるた めの装置を含むごとくなったガスにより物品を処理するための処理装置。
2. ２．前記ガスは殺菌ガスであり、前記物品がそのガスにより殺菌されるごとくな った請求の範囲第１項記載の装置。
3. ３．前記殺菌ガスは少くとも２つの成分から発生され、そして更に上記ガスの第 １成分を受ける第１装置と、上記ガスの第２成分を受ける第２装置と、上記第１ および第２成分を互いに反応させて上記殺菌ガスを発生させうるようにする装置 と、を含み、このガスを発生させうる装置は前記複数の被測定パラメータの内の 選ばれたものの測定に応じて前記コンピュータ装置により制御されるごとくなっ た請求の範囲第２項記載の装置。
4. ４．前記チャンバ装置に比較的安定なガスを供給するための弁装置を更に含む請 求の範囲第３項記載の装置。
5. ５．前記チャンバ装置にろ過した空気を供給するための弁装置を更に含む請求の 範囲第３項記載の装置。
6. ６．前記チャンバ装置に水蒸気を供給してチャンバ内の湿度レベルを変えるため の弁装置を更に含む請求の範囲第３項記載の装置。
7. ７．前記複数の被測定パラメータは前記チャンバ装置内の温度、圧力および湿度 並びに前記殺菌ガスの濃度を含む請求の範囲第３項記載の装置。
8. ８．前記殺菌ガスは二酸化塩素である請求の範囲第２項記載の装置。
9. ９．前記殺菌ガスは二酸化塩素であり、前記第１成分は塩素ガスであり、第２成 分は亜塩素酸ナトリウムである請求の範囲第３項記載の装置。
10. １０．前記除去のための装置は真空ポンプと付加的な弁装置を有する請求の範囲 第２項記載の装置。
11. １１．前記弁装置は第１および第２スイッチ装置を含み、上記第１スイッチ装置 は上記弁装置が開いていることを示し第２スイッチ装置は上記弁装置が閉じてい ることを示し、上記第１および第２スイッチ装置は上記第１スイッチ装置が閉じ たとき第２スイッチ装置が開くように逆の状態となっているごとくなった請求の 範囲第２項記載の装置。
12. １２．前記電子制御装置はメモリ装置を有し、更に前記弁装置からその開または 閉条件を示す入力信号を受ける装置と、上記弁装置に出力信号を出して上記弁装 置を選択的に開または閉とさせるための装置とを含み、上記入力および出力信号 のイメージ信号が上記メモリ装置と記憶されるようになった請求の範囲第２項記 載の装置。
13. １３．前記コンピュータ装置からイネーブル信号が出る場合を除き、前記弁装置 への前記出力信号の伝送を不能にするための装置を更に含む請求の範囲第１２項 記載の装置。
14. １４．前記コンピュータ装置の適正動作をモニタするための装置を含み、このモ ニタ装置は上記コンピュータ装置の故障の場合に前記弁装置の作動を防止するデ ィスエーブル信号を出すごとくなった請求の範囲第２項記載の装置。
15. １５．前記メモリ装置に記憶されるマスク手段を含み、前記コンピュータ装置は 前記入力および出力信号のイメージ信号を比較して両イメージ信号が上記マスク 手段内の１つのビットのセットに応じて一致しないときアラーム信号を発生する ごとくなった請求の範囲第１２項記載の装置。
16. １６．前記第１および第２スイッチ装置の状態をモニタする装置と、上記第１お よび第２スイッチ装置が適正な状態にないときアラーム信号を発生する装置と、 を更に含む請求の範囲第１１項記載の装置。
17. １７．前記弁装置は前記コンピュータ装置からのインストラクションに応じて第 １状態と第２状態との間で動くようになっており、更に上記弁装置が予定の時間 内に第１状態から第２状態へと動かないときアラーム信号を発生するためのタイ マ装置を含むごとくなった請求の範囲第２項記載の装置。
18. １８．前記限定された故障状態の１つになったとき他の限定された状態へと処理 装置をサイクル動作させるための装置を更に含む請求の範囲第２項記載の装置。
19. １９．第１成分を受ける第１装置と、上記第１成分と反応してガスを発生する第 ２成分を受ける第２装置と、上記両成分を反応させて上記ガスを発生する製品と 、チャンバ装置に上記ガスを供給してそのチャンバ装置内の物品を処理するため の第１弁装置と、上記チャンバ装置から上記ガスを除去するための装置と、上記 反応させる装置、上記供給する装置および上記除去のための製造を制御するため の電子制御装置と、から成り、上記電子制御装置は上記ガスにより上記物品が処 理されるサイクルを限定する一連の状態を通じて処理装置をサイクル動作させる ように予定の段階シーケンスを実行するためのコンピュータ装置を含んでおり、 そして上記ガスはその後に上記チャンバ装置から除去されて上記チャンバ装置を 許容安全規準内にするごとくなったガスによる物品処理装置。
20. ２０．前記ガスは殺菌ガスであり、前記物品はそのガスにより殺菌されるごとく なった請求の範囲第１９項記載の装置。
21. ２１．前記コンピュータ装置は前記チャンバ装置からの被測定パラメータに関連 する複数の電気信号を受けて上記前記反応させる装置と前記供給する装置と前記 除去する装置の動作を制御する装置を含むごとくなった請求の範囲第２０項記載 の装置。
22. ２２．前記反応させる装置は前記第１および第２成分を互いに反応させて前記殺 菌ガスを発生させるための第２弁装置を含み、この第２弁装置は前記複数の被測 定パラメータの内の選ばれたものの測定に応じて前記コンピュータ装置により制 御されるごとくなった請求の範囲第２１項記載の装置。
23. ２３．前記チャンバ装置に比較的安定なガスを供給するたの弁装置を更に含む請 求の範囲第２２項記載の装置。
24. ２４．前記チャンバ装置に濾過された空気を供給するための弁装置を更に含む請 求の範囲第２２項記載の装置。
25. ２５．前記チャンバ装置に水蒸気を供給してチャンバ内の湿度レベルを変えるた めの弁装置を更に含む請求の範囲第２２項記載の装置。
26. ２６．前記被測定パラメータは前記チャンバ内の温度、圧力、湿度および殺菌ガ スの濃度を含む請求の範囲第２２項記載の装置。
27. ２７．前記殺菌ガスは二酸化塩素である請求の範囲第２０項記載の装置。
28. ２８．前記殺菌ガスは二酸化塩素ガスであり前記第１成分は塩素ガス、第２成分 は亜塩素酸ナトリウムである請求の範囲第２７項記載の装置。
29. ２９．前記除去のための装置は真空ポンプと付加的弁装置から成る請求の範囲第 ２０項記載の装置。
30. ３０．前記弁装置は第１および第２スイッチ装置を有し、第１スイッチ装置は上 記弁装置が開いていることを示し、第２スイッチ装置は上記弁装置が閉じている ことを示し、両スイッチ装置はその第１スイッチ装置が閉じるとき第２スイッチ 装置が開くように逆の状態をとるごとくなった請求の範囲第２０項記載の装置。
31. ３１．前記電子制御装置はメモリ装置を有し、更に前記弁装置の閉成または開放 条件を示す入力信号を上記弁装置から受けて上記弁装置を選択的に開きまたは閉 じるための出力信号を上記弁装置に送るための装置を含み、上記入力および出力 信号のイメージ信号が上記メモリ装置に記憶されるごとくなった請求の範囲第２ ０項記載の装置。
32. ３２．前記コンピュータ装置によりイネーブル信号が出されるときを除き、前記 弁装置への前記出力信号の送信を不能にする装置を更に含む請求の範囲第３１項 に記載の装置。
33. ３３．前記コンピュータ装置の適正動作をモニタするための装置を更に含み、こ のモニタ装置が上記コンピュータ装置の故障の場合に前記弁装置の作動を防止す るディスエーブル信号を出すごとくなった請求の範囲第２０項記載の装置。
34. ３４．前記メモリ装置に記憶されるマスク手段を更に有し、前記コンピュータは 前記入力および出力信号のイメージ信号を比較し、両イメージが上記マスク手段 内の１つのピットのセットに応じて一致しないときアラーム信号を発生するごと くなった請求の範囲第３１項記載の装置。
35. ３５．前記第１および第２スイッチ装置の状態をモニタする装置と、上記両スイ ッチ装置が適正状態にないときアラーム信号を発生する装置とを更に含む請求の 範囲第３０項記載の装置。
36. ３６．前記弁装置は前記コンピュータ装置からのインストラクションに応じて第 １および第２状態の間で動き、更に上記弁装置が予定の時間内に第１状態から第 ２状態に動かないときアラーム信号を発生するタイマ装置を含む、請求の範囲第 ２０項記載の装置。
37. ３７．前記コンピュータ装置は処理装置の故障に応じて複数の限定された故障状 態の内のその故障が生じた前記サイクル中の状態によりきまる選ばれた故障状態 に対し処理装置の動作を中断するための装置を更に含むごとくなった請求の範囲 第２０項記載の装置。
38. ３８．前記限定された故障状態の１つとなったとき処理装置を他の限定された状 態にリセットするための装置を更に含む請求の範囲第３７項記載の装置。
39. ３９．処理されるべき物品を受けるチャンバ装置と、このチャンバ装置にガスを 供給するためにチャンバ装置に接続する弁装置と予定時間後にガスを上記チャン バから除去する装置と予定のインストラクションシーケンスに従って複数の状態 を通り処理装置をサイクル動作させるようになった、メモリ装置を含むコンピュ ータ装置であって上記チャンバ装置からの被測定バラメータに関連する複数の電 気信号を受けて上記弁装置と除去のための装置を制御するための電子制御装置と で構成される上記チャンバにガスを供給するための装置と、上記コンピュータ装 置に含まれる上記弁装置の閉成または開放条件を示す入力信号を上記弁装置から 受ける装置および上記弁装置に出力信号を送りそれを選択的に開閉させる装置と 、上記メモリ装置に記憶されるマスク手段と、から成り、上記入力および出力信 号のイメージ信号が上記メモリ装置に記憶され、上記コンピュータ装置が上記イ メージ信号を比較して、両イメージ信号が上記マスク手段内の１ビットのセット に応じて一致しないときアラーム信号を発生するごとくなった。ガスによる物品 の処理装置。
40. ４０．前記ガスは殺菌ガスであって前記物品がそのガスで殺菌されるごとくなっ た請求の範囲第３９項記載の装置。
41. ４１．前記殺菌ガスは少くとも２っの成分から発生されるようになっており、更 にガスの第１成分を受ける第１装置と、第２成分を受ける第２装置と、両成分を 互いに反応させて上記ガスを発生させるうるようにする装置と、を更に含み、上 記発生させうるようにする装置が前記複数の被測定パラメータの選ばれたものの 測定に応じて前記コンピュータ装置により制御されるごとくなった請求の範囲第 ４０項記載の装置。
42. ４２．前記チャンバ装置に比較的安定なガスを供給するための弁装置を更に含む 請求の範囲第４１項記載の装置。
43. ４３．前記チャンバ装置にろ過した空気を供給するための弁装置を更に含む請求 の範囲第４１項記載の装置。
44. ４４．前記チャンバ装置に水蒸気を供給してチャンバ内の湿度レベルを変えるた めの弁装置を更に含む請求の範囲第４１項記載の装置。
45. ４５．前記複数の被測定パラメータは前記チャンバ装置内の温度、圧力、湿度お よびガス濃度を含むごとくなった請求の範囲第４１項記載の装置。
46. ４６．前記殺菌ガスは二酸化塩素である請求の範囲第４０項記載の装置。
47. ４７．前記殺菌ガスは二酸化塩素であり、前記第１成分は塩素ガス、第２成分は 亜塩素酸ナトリウムである請求の範囲第４１項記載の装置。
48. ４８．前記除去のための装置は真空ポンプ装置と付加的弁装置を含む請求の範囲 第４０項記載の装置。
49. ４９．前記弁装置は第１および第２スイッチ装置を含む、第１スイッチ装置は上 記弁装置が開いていることを示し、第２スイッチ装置は上記弁装置が閉じている ことを示し、両者はその第１スイッチ装置が閉じるとき第２スイッチ装置が開く ように逆の状態となっているごとくなった請求の範囲第４０項記載の装置。
50. ５０．前記コンピュータ装置がイネーブル信号を出すときを除き、前記弁装置へ の前記出力信号の送出を不能にするための装置を更に含む請求の範囲第４０項記 載の装置。
51. ５１．前記コンピュータ装置の適正動作をモニタするための装置を更に含み、こ のモニタ装置は上記コンピユータ装置の故障の場合に前記弁装置の作動を防止す るディスエーブル信号を出すごとくなった請求の範囲第４０項記載の装置。
52. ５２．前記第１および第２スイッチ装置の状態をモニタする装置および両スイッ チ装置が適正状態にないときアラーム信号を出す装置を更に含む請求の範囲第４ ９項記載の装置。
53. ５３．前記弁装置は前記コンピュータ装置からのインストラクションに応じて第 １状態と第２状態の間で動き、更に上記弁装置が予定の時間内に第１状態から第 ２状態に動かないときアラーム信号を含むタイマ装置を含む請求の範囲第４０項 記載の装置。
54. ５４．前記コンピュータ装置は処理装置の故障に応じ複数の限定された故障状態 の内のその故障が生じたサイクル内の状態によりきまる選ばれたものに対する処 理装置の動作を中断させる装置を更に含む。請求の範囲第４０項記載の装置。
55. ５５．前記限定された故障状態の内の１つになると処理装置を他の限定された状 態にサイクル動作させるための装置を含む請求の範囲第３９項記載の装置。