JPS62500737A - 高圧センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 高圧センサ 先行技術 本発明は、請求項の上位概念に記載の高圧センサから出発している。ひずみ計の 原理に基づいて働くセンサに既に存在する。しかしながら高圧センサではこれは 多くの問題、特にセンサの長時間にわたる形状安定性と精度とに関する問題、す なわちベースプレートの疲れ、緊定部材の疲れ、ひずみ計とベースプレートとの 間の限界層の疲れ、電気的な接点の疲れなどの問題を生ぜしめる。

発明の利点 請求項に記載の特徴を備えた本発明による高圧センサはこれに対して、圧力伝達 媒体の圧力変化に直接応動するピエゾ抵抗式のセンサ部材が使用されるという利 点を有している。従って信号発生部を高圧室へのセンサ部材の機械的な連結部か ら切シ離すことができる。

これによってセンサ部材の準備のため及びセンサ部材の構造上の使用のだめの新 たな自由度が生ぜしめられ、これによってセンナ部材を極めてフレキシブルに用 いることができる。高圧センサは簡単に製造可能となり、高い耐用寿命を提供し 、かつ平らな表面を備えた円板を形成するので、この結果高圧センサは問題なく 組み伺けることができる。

従属項に記載の手段によって、請求項に記載の特徴の有利な実施態様が可能であ る。

図面 以下においては図面を参照しながら本発明の１実施例を詳説する。第１図は高圧 センサの縦断面図、第２図はセ／す円板を示す図である。

実施例の記載 高圧センサはケーシング下側部分１０を有し、このケーシング下側部分は蓋１１ によって閉鎖されている。

ケーシング下側部分１０及び蓋１１の互いに向かい合っている端面にはそれぞれ 円筒形の室１２．１３が構成されており、これによって両部材の組立て後には円 筒形の圧力室１４が生じる。この圧力室からは長孔１５がケーシングの外側に通 じており、との長孔には絞シ１６が配置されている。

ケーシング下側部分１０と蓋１１との間には円形のセンサ円板１７が設けられて おり、このセンサ円板は圧力室１４に位置している内側の範囲１８と、ケーシン グ部分の外側に位置している範囲１９とを有している。第２図に示されているよ うにセンサ円板１７には複数の切欠きが設けられていて、これらの切欠きを貫い て蓋の図示されていないウェブがケーシング下側部分に侵入しておシ、さらに、 蓋とケーシング下側部分とをまとめる複数の固定ねじ２１が設けられている。

センサ円板１７の内側の範囲１８はシールリング２２゜２３によって外方に向か ってシールされている。センサ円板１７はその真中に貫通した孔２４を有してお り、これによって圧力室１４における圧力補償が達成されている。

セ／す円板１７は有利には鋼から成っており、このセンサ円板には第２図に示さ れているように内側の範囲１８にピエゾ抵抗式の被膜抵抗器の形の単数又は複数 の検出器２５．２６が配置されている。センサ円板の１点鎖線の範囲はシール範 囲つまりシールリング２２゜２３が位置している範囲を示している。検出器２５ ゜２６からは被膜導電路２９．３０が外側の範囲１９に通じ、この範囲には検出 器のだめの補助抵抗３０．３１並びに評価回路及び評価エレクトロニクス、接続 コネクタなどが配置されている。抵抗及び導電路はすべて極めて扁平に構成され ていて、有利にはガラス製の被覆層を有している。ガラスはセンサ抵抗及びその 他の回路部分をすべての周辺影響から保護し、平滑でかつ耐圧性の表面を生せし めるので、比較的単純かつ問題のない高圧シールがシールリング２２．２３によ って得られる。圧力室１４における検出器２５．２６はすべての側を圧力媒体に よって取り囲まれていて、直接圧力媒体の変化に応動する。信号発信のだめの円 板の１次的な変形はここではひずみ計とは異なり不必要である。圧力室１４は孔 １５を介して負荷され、この場合絞り１６は蒸気絞りとして働く。

本発明の構成では信号発生器を高圧室への検出器の機械的な連結部から離すこと ができる。これによってセンサ部材の使用及び発展のため並びにセンサ部材の構 造上の使用のだめの新たな自由度が開かれる。センサ円板の製作は比較的簡単で 、安価で、極めて確実であり、多くの可能な組付は形状での極めて小さな空間に おける縮小されたセンサの組付けを可能にする。また、最も狭い空間における多 重センサの簡単な製作も可能である。従ってこのようなセンサの精度及び信頼性 はさらに高められ得る。

１９！ｉｌｌ査報告

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. １．圧力媒体の高圧室においてセンサ部材の直接的な変形によつて液体圧を検出 する高圧センサであつて、高圧センサが円板（１７）を有していて、該円板の、 ピエゾ抵抗式の被膜抵抗器（検出器）（２５，２６）を備えた範囲（１８）がシ ールされて、高圧下にある圧力室（１４）に位置しているのに対して、該圧力室 の外側に位置している範囲（１９）に、評価回路（エレクトロニクス）及び場合 によつては差込みコネクタのような付属装置が設けられていることを特徴とする 高圧センサ。
2. ２．センサ円板（１７）が銅製の基体から成つており、該基体にピエゾ抵抗式の 被膜抵抗器、被膜導電路、評価回路などが取り付けられていて、同基体全体が、 平らな表面が生ぜしめられるようにガラス製の単数又は複数の層によつて被覆さ れている、請求の範囲第１項記載の高圧センサ。
3. ３．円筒形の圧力室（１４）が蓋（１１）によつて閉鎖されたケーシング（１０ ）に構成されており、センサ円板の真中に圧力補償のための貫通した孔（２４） が設けられており、円板の両側において圧力室の縁部にシールリング（２２，２ ３）が設けられている、請求の範囲第１項又は第２項記載の高圧センサ。
4. ４．センサ円板（１８）がほぼその中央範囲に同心的に延びる複数のスリットを 有していて、該スリットを貫いて蓋のウエブ及びねじ（２０）が貫通している、 請求の範囲第１項から第３項までのいずれか１項記載の高圧センサ。
5. ５．圧力室（１４）に、ケーシング（１０）内を延びている長孔（１５）が侵入 していて、該長孔に絞り（１６）が配置されている、請求の範囲第１項から第４ 項までのいずれか１項記載の高圧センサ。
6. ６．複数のセンサ円板（１７）が平行に配置されている、請求の範囲第１項から 第５項までのいずれか１項記載の高圧センサ。