JPH0621831B2 - 高圧センサ - Google Patents

高圧センサ

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JPH0621831B2
JPH0621831B2 JP60504849A JP50484985A JPH0621831B2 JP H0621831 B2 JPH0621831 B2 JP H0621831B2 JP 60504849 A JP60504849 A JP 60504849A JP 50484985 A JP50484985 A JP 50484985A JP H0621831 B2 JPH0621831 B2 JP H0621831B2
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JP
Japan
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pressure
sensor
pressure chamber
pressure sensor
disc
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JP60504849A
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English (en)
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JPS62500737A (ja
Inventor
グロープ，アルフレート
ライプフリート，ヴオルフガング
ランプマイヤー，カール
シユピツツエンベルガー，クルト
シユテツヒヤー，ギユンター
シユタインレ，クラウス
ヴアルター，ハインツ
ツインマーマン，ヘルベルト
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Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
    • G01L9/0002—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using variations in ohmic resistance

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 先行技術 本発明は、請求項の上位概念に記載の高圧センサから出
発している。ひずみ計の原理に基づいて働くセンサに既
に存在する。しかしながら高圧センサではこれは多くの
問題、特にセンサの長時間にわたる形状安定性と精度と
に関する問題、すなわちベースプレートの疲れ、緊定部
材の疲れ、ひずみ計とベースプレートとの間の限界層の
疲れ、電気的な接点の疲れなどの問題を生ぜしめる。
発明の利点 請求項に記載の特徴を備えた本発明による高圧センサは
これに対して、圧力伝達媒体の圧力変化に直接応働する
ピエゾ抵抗式のセンサ部材が使用されるという利点を有
している。従つて信号発生部を高圧室へのセンサ部材の
機械的な連結部から切り離すことができる。これによつ
てセンサ部材の準備のため及びセンサ部材の構造上の使
用のための新たな自由度が生ぜしめられ、これによつて
センサ部材を極めてフレキシブルに用いることができ
る。高圧センサは簡単に製造可能となり、高い耐用寿命
を提供し、かつ平らな表面を備えた円板を形成するの
で、この結果高圧センサは問題なく組み付けることがで
きる。
従属項に記載の手段によつて、請求項に記載の特徴の有
利な実施態様が可能である。
図面 以下においては図面を参照しながら本発明の１実施例を
詳説する。第１図は高圧センサの縦断面図、第２図はセ
ンサ円板を示す図である。
実施例の記載 高圧センサはケーシング下側部分１０を有し、このケー
シング下側部分は蓋１１によつて閉鎖されている。ケー
シング下側部分１０及び蓋１１の互いに向かい合つてい
る端面にはそれぞれ円筒形の室１２，１３が構成されて
おり、これによつて両部材の組立て後には円筒形の圧力
室１４が生じる。この圧力室からは長孔15がケーシング
の外側に通じており、この長孔には絞り１６が配置され
ている。
ケーシング下側部分１０と蓋１１との間には円形のセン
サ円板１７が設けられており、このセンサ円板は圧力室
１４に位置している内側の範囲１８と、ケーシング部分
の外側に位置している範囲１９とを有している。第２図
に示されているようにセンサ円板１７には複数の切欠き
が設けられていて、これらの切欠きを貫いて蓋の図示さ
れていないウエブがケーシング下側部分に侵入してお
り、さらに、蓋とケーシング下側部分とをまとめる複数
の固定ねじ２１が設けられている。センサ円板１７の内
側の範囲１８はシールリング２２，２３によつて外方に
向かつてシールされている。センサ円板１７はその真中
に貫通した孔２４を有しており、これによつて圧力室１
４における圧力補償が達成されている。
センサ円板１７は有利には鋼から成つており、このセン
サ円板には第２図に示されているように内側の範囲１８
にピエゾ抵抗式の被膜抵抗器の形の単数又は複数の検出
器２５，２６が配置されている。センサ円板の１点鎖線
の範囲はシール範囲つまりシールリング22，２３が位置
している範囲を示している。検出器２５，２６からは被
膜導電路２９，３０が外側の範囲１９に通じ、この範囲
には検出器のための補助抵抗３０，３１並びに評価回路
及び評価エレクトロニクス、接続コネクタなどが配置さ
れている。抵抗及び導電路はすべて極めて扁平に構成さ
れていて、有利にはガラス製の被覆層を有している。ガ
ラスはセンサ抵抗及びその他の回路部分をすべての周辺
影響から保護し、平滑でかつ耐圧性の表面を生ぜしめる
ので、比較的単純かつ問題のない高圧シールがシールリ
ング２２，２３によつて得られる。圧力室１４における
検出器２５，２６はすべての総を圧力媒体によつて取り
囲まれていて、直接圧力媒体の変化に応働する。信号発
信のための円板の１次的な変形はここではひずみ計とは
異なり不必要である。圧力室１４は孔１５を介して負荷
され、この場合絞り１６は蒸気絞りとして働く。
本発明の構成では信号発生器を高圧室への検出器の機械
的な連結部から離すことができる。これによつてセンサ
部材の使用及び発展のため並びにセンサ部材の構造上の
使用のための新たな自由度が開かれる。センサ円板の製
作は比較的簡単で、安価で、極めて確実であり、多くの
可能な組付け形状での極めて小さな空間における縮小さ
れたセンサの組付けを可能にする。また、最も狭い空間
における多重センサの簡単な製作も可能である。従つて
このようなセンサの精度及び信頼性はさらに高められ得
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ランプマイヤー，カール ドイツ連邦共和国 Ｄ−7000 シユツツト ガルト‐ボートナング バウエルンヴアル トシユトラーセ 27 (72)発明者 シユピツツエンベルガー，クルト ドイツ連邦共和国 Ｄ−7252 ヴアイル デア シユタツト ２ アウグスト‐レム レ‐ヴエーク ７ (72)発明者 シユテツヒヤー，ギユンター ドイツ連邦共和国 Ｄ−7140 ルートヴイ ヒスブルク ゼーシユトラーセ 64 (72)発明者 シユタインレ，クラウス ドイツ連邦共和国 Ｄ−7032 ジンデルフ インゲン エツシエンブリユンレシユトラ ーセ 90 (72)発明者 ヴアルター，ハインツ ドイツ連邦共和国 Ｄ−7255 ルーテスハ イム ブルーメンシユトラーセ 41 (72)発明者 ツインマーマン，ヘルベルト ドイツ連邦共和国 Ｄ−7149 フライベル ク リンデンヴエーク ３ (56)参考文献 特開 昭53−114690（ＪＰ，Ａ) 実開 昭49−47680（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭49−47681（ＪＰ，Ｕ)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】圧力媒体の高圧室においてセンサ部材の直
    接的な変形によつて液体圧を検出する高圧センサであつ
    て、高圧センサが円板（１７）を有していて、該円板
    の、ピエゾ抵抗式の被膜抵抗器（検出器）（２５，２
    ６）を備えた範囲（１８）がシールされて、高圧下にあ
    る圧力室（１４）に位置しているのに対して、該圧力室
    の外側に位置している範囲（１９）に、評価回路（エレ
    クトロニクス）及び場合によつては差込みコネクタのよ
    うな付属装置が設けられていることを特徴とする高圧セ
    ンサ。
  2. 【請求項２】センサ円板（１７）が鋼製の基体から成つ
    ており、該基体にピエゾ抵抗式の被膜抵抗器、被膜導電
    路、評価回路などが取り付けられていて、同基体全体
    が、平らな表面が生ぜしめられるようにガラス製の単数
    又は複数の層によつて被覆されている、請求の範囲第１
    項記載の高圧センサ。
  3. 【請求項３】円筒形の圧力室（１４）が蓋（１１）によ
    つて閉鎖されたケーシング（１０）に構成されており、
    センサ円板の真中に圧力補償のための貫通した孔（２
    ４）が設けられており、円板の両側において圧力室の縁
    部にシールリング（２２，２３）が設けられている、請
    求の範囲第１項又は第２項記載の高圧センサ。
  4. 【請求項４】センサ円板（１８）がほぼその中央範囲に
    同心的に延びる複数のスリツトを有していて、該スリツ
    トを貫いて蓋のウエブ及びねじ（２０）が貫通してい
    る、請求の範囲第１項から第３項までのいずれか１項記
    載の高圧センサ。
  5. 【請求項５】圧力室（１４）に、ケーシング（１０）内
    を延びている長孔（１５）が侵入していて、該長孔に絞
    り（１６）が配置されている、請求の範囲第１項から第
    ４項までのいずれか１項記載の高圧センサ。
  6. 【請求項６】複数のセンサ円板（１７）が平行に配置さ
    れている、請求の範囲第１項から第５項までのいずれか
    １項記載の高圧センサ。
JP60504849A 1984-11-07 1985-10-28 高圧センサ Expired - Lifetime JPH0621831B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3440568.2 1984-11-07
DE19843440568 DE3440568A1 (de) 1984-11-07 1984-11-07 Hochdrucksensor
PCT/DE1985/000418 WO1986002999A1 (en) 1984-11-07 1985-10-28 High pressure sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62500737A JPS62500737A (ja) 1987-03-26
JPH0621831B2 true JPH0621831B2 (ja) 1994-03-23

Family

ID=6249652

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60504849A Expired - Lifetime JPH0621831B2 (ja) 1984-11-07 1985-10-28 高圧センサ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4722227A (ja)
EP (1) EP0199772B1 (ja)
JP (1) JPH0621831B2 (ja)
DE (2) DE3440568A1 (ja)
WO (1) WO1986002999A1 (ja)

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