JPS6249744B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、ダイボンドされたリードフレーム
など半導体部品にテープ片を張付ける、テープ片
張付け装置に関する。

半導体部品、例えば、半導体チツプがダイボン
ドされたリードフレームは、ダイパツド部の両側
方のリード部にテープ片をそれぞれ張付け固定す
るようにしている。

従来のリードフレームのテープ片の張付けは、
第１図に斜視図で示すようにしていた。１はリー
ドフレームで、複数のダイパツド部１ａにはそれ
ぞれ半導体チツプ２がダイボンドされている。１
ｂはリード部である。このリードフレーム１をヒ
ートブロツク３上に置き、容器５内のテープ片６
を、作業員が１片宛ピンセツト７で取出しては、
リードフレーム１のダイパツド部１ａの前列と後
列とに間隔ｑ（約16mm）をあけ張付けていた。ヒ
ートブロツク３は内蔵された電熱器４により加熱
されてある。

従来の半導体部品のテープ片６張付けは、人手
によりピンセツト７で行なつており、多大の人員
と時間を要していた。

この発明は、並列配置の複数のリールからのテ
ープをテープ引出し手段と切断手段とにより、そ
れぞれ所定長さ宛のテープ片に切断し、ヘツド部
の第１及び第２のハウジングの下部にそれぞれ設
けられ、双方がＹ軸方向に一列位置にされた第１
及び第２のコレツトによりそれぞれ上記テープ片
を真空吸着し、上記ヘツド部を半導体部品の上方
に前進し、さらに、第２のハウジングを第１のハ
ウジングに対しテープ片の張付け列間隔前進させ
るとともにＹ軸方向に移動し、第１のハウジング
の第１のコレツトに対し第２のハウジングの第２
のコレツトをＸ軸方向にそろえて双方で２列の配
置にし、第１及び第２のハウジングを下降し、各
コレツトの下端に吸着してあるテープ片を半導体
部品に前後２列に同時に張付けるようにし、テー
プ片の２列同時の張付けが自動的に行え、省力化
され生産性が大幅に向上される半導体部品のテー
プ片張付け装置を提供することを目的としてい
る。

第２図及び第３図は、この発明の一実施例によ
る半導体部品のテープ片張付け装置の平面図及び
正面図である。１０は６列並行に引出されるテー
プで、固定台（図示は略す）に支持された並行配
置の６個のリール１１に巻かれていて、矢印Ｄ方
向に繰出される。１３及び１４はテープ引出し手
段の第１及び第２のクランプで、それぞれ上下１
対からなる。一方の第１のクランプ１３が上下か
らテープ１０をはさみ付け、矢印Ｅ方向に所要テ
ープ片長さ（約２mm）のストローク移動する。こ
のとき他方の第２のクランプ１４は開放してい
る。続いて、第１のクランプ１３が開放し矢印Ｆ
方向に移動復帰する。同時に、第２のクランプ１
４がテープ１０を上下からはさみ付け、矢印Ｅ方
向に所要テープ片長さのストローク移動し、つぎ
に開放し矢印Ｆ方向に移動復帰する。このように
して、第１と第２のクランプ１３と１４とが交互
にテープ１０を間欠に所定寸法宛引出していく。

次に、１５は上記固定台（図示は略す）に取付
けられた台板、１６はこの台板上に固定されたた
前後１対の受台、１７はこれらの受台に軸受（図
示は略す）を介しＸ軸方向の往復移動可能に支持
された１対の支持軸で、先端でヘツド部１８を支
持している。１９は台板１５下部側に支持ピン２
１を介し矢印Ｊ，Ｋ方向の往復回動可能に支持さ
れた第１のアームで、上端に第１の連結棒２２を
連結していて前進、後退移動させる。２０は台板
１５下部に支持ピン２１を介して矢印Ｊ，Ｋ方向
の往復回動可能に支持されており、第１のアーム
１９より長くされた第２のアームで、上端に第２
の連結棒２３を連結しており前進、後退移動させ
る。２４は第１のカムで、駆動軸２６に固着され
ていて矢印Ｌ方向に回転され、アーム１９に取付
けられたローラベアリングなどからなるカムフオ
ロアローラ２７に接触していてアーム１９を回動
運動させる。２５はカム２４より大径にされた第
２のカムで、駆動軸２６に固着されていて矢印Ｌ
方向に回転され、アーム２０に取付けられたカム
フオロアローラ２７に接触していてアーム２０を
回動運動させる。駆動軸２６は図示を略した電動
機により回転される。２８はそれぞれ一端が台板
１５側に掛けられ、他端がアーム１９と２０にそ
れぞれ掛けられカム２４，２５側に引付ける１対
の引張ばね、２９は台板１５に取付けられ、軸受
（図示は略す）を介し駆動軸２６を支持する軸受
台（第３図には図示を略す）、３０は両支持軸１
７の後端に取付けられたストツパ板で、ヘツド部
１８の前進位置を規制する。３１はテープ切断手
段の上刃で、固定部に固定されており、下刃３２
の駆動手段による矢印Ｇ方向の上昇運動により、
間欠に引出されるテープ１０の先端部を所定長さ
宛に切断し、テープ片１２にする。

ヘツド部１８の詳細を第４図及び第５図に斜視
図及び一部側面図で示し、図では前進位置にあ
り、次のように構成されている。３５は１対の支
持軸１７の先端に固着された支持わくで、上部に
１対の取付金具３６を取付けボルト３７により取
付けている。３８はこれら１対の取付金具３６間
に連結ピン３９を中心とし回動可能に支持された
可動連結具で、上端部が連結棒２２の前端側に連
結ボルト４０を介し連結されており、連結棒２２
のＸ軸方向の前進を受け、支持わく３５に前進移
動を伝える。４１は支持わく３５の前面両側に固
着された１対対の案内わくで、内側に縦方向にＶ
状案内みぞ４１ａが設けられている。４２は１対
の案内わく４１間に入れられたしゆう動わくで、
両側に縦方向にＶ状受けみぞ４２ａが設けられて
おり、対応する案内みぞ４１ａとの間に複数の鋼
球などの転動体４３（第２図参照）が装着されて
いて、上下動可能に支持されている。４４は可動
連結具３８の下部前端に取付けボルト４５により
取付けられた押下げ用ローラで、可動連結具３８
の下方への回動によりしゆう動わく４２をＺ軸方
向に下降させる。４６はしゆう動わく４２に取付
けられともにＺ軸方向の上下往復移動される第１
のハウジングで、前部に３箇所に間隔ｐで縦方向
の突出部４６ａが設けられている。４７は案内わ
く４１との間に掛けられハウジング４６を上昇復
帰させる両側１対の引張ばね、４８は両側１対の
支え部材で、ハウジング４６に植込まれた両側１
対の両ねじボルト４９及び両側１対の植込みボル
ト５０によりそれぞれしゆう動ベアリング５１を
介しｘ軸方向の前進、後退可能に支持されてい
る。５２は両ねじボルト４９の前端にはめられた
受止め用２重ナツトで、図示のように支え部材４
８のハウジング４６に対する前進位置を規制す
る。５３はハウジング４７の両側との間に掛けら
れ各支え部材４８を後退復帰させる１対の引張ば
ね、５４は両側の支え部材４８の上部に取付けボ
ルト５５で固定された連結板、５６はこの連結板
上に後部の一側部で回動可能に支持ボルト５７に
より支持された伝達回動具で、連結棒２３の前端
側に連結ボルト５８により後部の他側部で連結さ
れており、支持ボルト５７を中心として回動され
る。５９は伝達回動具５６の前部に下方から取付
けられた支持ボルト６０にはめられた伝達ローラ
である。６２は第２のハウジングで、両支え部材
４８に両端が固定された上下１対の案内軸６３
に、両側１対宛のしゆう動ベアリング６４を介し
Ｙ軸方向に往復移動可能に支持されている。６９
はこのハウジング６２を他方側へ移動復帰させる
圧縮ばね、６２ａはハウジング６２の後部に３箇
所に間隔ｐで縦方向に設けられた突出部である。
６５は一方の支え部材４８にねじ込まれ止めナツ
ト６６で回り止めされた受止めボルトで、先端で
ハウジング６２のこのボルト６５側へのＹ軸横行
位置を規制する。６７はハウジング６２の前面上
部に設けられ、伝達ローラ５９に係合されＹ軸方
向の運動を伝える係合突起、６８は各突出部４６
ａ，６２ａの下部にそれぞれ取付けられ下方に突
出する複数のコレツトで、立て方向の吸引穴があ
けられており、下端にテープ片１２を真空吸着
し、リードフレーム１上に至りダイパツド部１ａ
の両側方に押付けて張付けるためのものである。
各突出部４６ａ，６２ａには下方のコレツト６８
の吸引穴に連通する連通穴（図示は略す）があけ
られており、上部にそれぞれ真空吸引ホース７０
が接続されている。これらの各ホース７０の先端
は、支持わく３５の上部に取付けられた接続箱７
４（第３図に示し、第２図と第４図には図示は略
す）に接続され、接続箱７４へは真空ポンプから
のホース（いづれも図示は略す）が接続されてい
る。

第２図及び第３図に戻り、支持わく３５の上部
には止め板７１が固定されており、この止め板に
は受止めボルト７２がねじ込まれ、下端でハウジ
ング４６の上死点の位置規制をしている。７３は
受止めボルト７２の止めナツトである。なお、第
４図には止め板７１の図示は略している。

上記一実施例の装置によるテープ片１２張付け
動作は、次のようになる。まず、第２図及び第３
図のように、ヘツド１８は後退位置Ａにあり、第
１のハウジング４６に対し第２のハウジング６２
は、Ｙ軸方向の他方側にづらされ、かつ、後退し
ていて、ハウジング４６の各突出部４６ａに対し
ハウジング６２の各突出部６２ａが交互に入つた
状態にあり、各下部のコレツト６８はＹ軸に１列
に位置している。第１及び第２のクランプ１３及
び１４からなるテープ引出し手段により、各リー
ル１１からのテープ１０が所定長さ（例えば２
mm）宛送られ、テープ切断手段の下刃３２の上昇
により、所定長さ（例えば２mm）のテープ片１２
が６片同時に切断され下刃３２に載つたまま上昇
する。このとき、ハウジング４６，６２の各コレ
ツト６８の下端は、上昇した上記各テープ片１２
上に接近した位置にあり、吸引ホース７０からの
真空吸引によりそれぞれテープ片１２を吸着す
る。

この状態を第３図に示す。続いて、電動機によ
り駆動軸２６を介しカム２４，２５を回転する
と、第１及び第２のレバー１９及び２０がＪ方向
に回動し、連結棒２２及び２３がＸ軸方向に前進
する。連結棒２２の前進移動により可動連結具３
８を介し支持わく３５が前進し、ヘツド部１８が
Ｘ軸にストロークｌ（例えば65mm）だけ前進しＢ
位置に至ると、ストツパ板３０が後方の受台１６
側に受止められ、支持わく３５の前進移動が停止
される。同時に連結棒２３の続く前進により、伝
達回動具５６を介し両支え部材４８をハウジング
４６に対しさらに、ｘ軸方向にストロークｎ（例
えば16mm）前進させ、両ねじボルト４９の２重ナ
ツト５２により受止められる。このとき、引張ば
ね４７は引張ばね５３より強くしてあり、ハウジ
ング４６を引付けている。なおも連結棒２３の前
進移動により、伝達回動具５６が支持ボルト５７
を支点にして回動し、伝達ローラ５９を介し係合
突起６７を経てハウジング６２をＹ軸方向に受止
めボルト６５側にストロークｍ（例えば16mm）移
動させ、第２図に鎖線で示すように、各突出部４
６ａに各突出部６２ａがＸ軸方向にそれぞれ対向
した位置になり、下部の各コレツト６８は３個宛
がＹ軸に２列になり、第４図に示すように、リー
ドフレーム１の３箇所のダイパツド部１ａの両側
方の上方位置に至る。このとき、引続く連結棒２
２の前進により、引張ばね４７のばね圧に抗し可
動連結具３８が連結ピン３９を支点として下方に
回動し、しゆう動わく４がＺ軸方向にストローク
ｈ（例えば７mm）下降する。これにより、ハウジ
ング４６，６２も１体に下降し、各コレツト６８
の下端に吸着してある各テープ片１２はリードフ
レーム１の３箇所宛２列に押付けられ、真空吸引
の解除により張付けられる。ヘツド部１８のハウ
ジング４６，６２の前進下降運動を、第６図に説
明図で示す。

続いて、連結棒２２，２３の後退移動により、
ハウジング４６，６２がストロークｈ上昇し、後
退を始め、ヘツド部１８は第２図実線で示す状態
に復帰する。

このようにして、リードフレーム１へのテープ
片１２の各３箇所宛前後２列同時の自動張付け
が、リードフレーム１が送られるごとに、繰返し
て行われる。

なお、上記実施例では、テープ片１２の張付け
は前後列に各３箇所宛を張付けたが、必要により
これより少ない箇所宛、あるいは多い箇所宛張付
けるようにしてもよい。

また、張付けるテープ片１２の２列の間隔ｑ
は、連結棒２３の連結長の調整と、両ねじボルト
４９の２重ナツト５２の位置の調整とにより、ハ
ウジング６２のストロークｎを所要の寸法ｑに合
わせることによつて、容易に設定できる。

さらに、上記実施例ではリードフレーム１のテ
ープ片１２張付けの場合を示したが、これに限ら
ず他の種の半導体部品のテープ片張付けの場合に
も適用できるものである。

以上のように、この発明によれば、並列配置の
複数のリールからのテープをテープ引出し手段と
切断手段とにより、それぞれ所定長さのテープ片
に切断し、ヘツド部の第１及び第２のハウジング
の下部に設けられＹ軸方向に一列位置にされた各
コレツトにより、それぞれ上記テープ片を真空吸
着し、ヘツド部を半導体部品の上方に前進し、第
２のハウジングを第１のハウジングに対しテープ
の張付け列間隔前進させるとともに、Ｙ軸方向に
移動し、第１のハウジングのコレツトに対し第２
のハウジングのコレツトをＸ軸方向にそろえ双方
で２列配置とし、第１及び第２のハウジングを下
降し、各コレツトに吸着してある各テープ片を半
導体部品に前後２列同時に張付けるようにしたの
で、テープ片の張付けが２列同時に自動的に行
え、省力化され生産性が大幅に向上される。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のリードフレームの人手によるテ
ープ片張付け状態を示す斜視図、第２図及び第３
図はこの発明の一実施例によるリードフレームの
テープ片張付け装置を一部は切欠いて示す平面図
及び正面図、第４図は第３図のヘツド部の前進状
態を一部は切欠いで示す斜視図、第５図は第４図
のヘツド部を一部は切欠いで示す一半部の側面
図、第６図は第２図の第１及び第２のハウジング
の前進下降運動を示す説明図である。 １……リードフレーム、１ａ……ダイパツド
部、２……チツプ、１０……テープ、１１……リ
ール、１２……テープ片、１３……第１のクラン
プ、１４……第２のクランプ、１９……第１のア
ーム、２０……第２のアーム、２２……第１の連
結棒、２３……第２の連結棒、２４……第１のカ
ム、２５……第２のカム、３１……上刃、３２…
…下刃、３５……支持わく、３８……可動連結
具、４１……案内わく、４２……しゆう動わく、
４６……第１のハウジング、４８……支え部材、
５４……連結板、５６……伝達回動具、６２……
第２のハウジング、６８……コレツト、７０……
真空吸引ホース、なお、図中同一符号は同一又は
相当部分を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 並列配置された複数のリールからそれぞれテ
   ープをＸ軸方向に所定長さ宛間欠に引出す複数の
   テープ引出し手段、この引出された各テープを所
   定長さ宛のテープ片に切断する複数のテープ切断
   手段、回転駆動されて第１のアームを介し第１の
   連結棒をＸ軸方向に前進後退運動させる第１のカ
   ム手段、回転駆動されて第２のアームを介し第２
   の連結棒をＸ軸方向に前進後退運動させる第２の
   カム手段、上記第１の連結棒側に可動連結具を介
   し連結されており、下部に第１のコレツトが下向
   きに設けられ、後退位置において第１のコレツト
   で上記テープ片を真空吸着し、上記第１の連結棒
   の前進により前進されて半導体部品の上方に至
   り、続く第１の連結棒の前進により上記可動連結
   具の下方の回動を受け下降され、上記第１のコレ
   ツト下端に吸着してある上記テープ片を上記半導
   体部品の上面後列位置に張付けるようにした第１
   のハウジング、及び上記第１のハウジングの前部
   側にＸ軸方向及びＹ軸方向の所定の範囲の移動可
   能に支持されていて、上記第２の連結棒側に伝達
   回動具を介し連結されており、下部に第２のコレ
   ツトが下向きに設けられ、上記第１のハウジング
   とともに後退した位置では第２のコレツトが上記
   第１のハウジングの第１のコレツトとＹ軸方向に
   １列位置にされ、第２のコレツトにより対応する
   上記テープ片を下端に真空吸着し、第１のハウジ
   ングの前進によりともに前進され上記半導体部品
   の上方に至り、上記第２の連結棒の続く前進によ
   り、第１のハウジングからテープ片の張付け列間
   隔分前進するとともに、さらに、上記伝達回動具
   の回動によりＹ軸方向に移動され、上記第２のコ
   レツトを対応する分の上記第１のコレツトにＸ軸
   方向にそろえ、第１のハウジングの下降によりと
   もに下降され、第２のコレツト下端に吸着してあ
   る上記テープ片を上記半導体部品の上面前列位置
   に張付けるようにした第２のハウジングを備えた
   半導体部品のテープ片張付け装置。 ２ 半導体部品はダイボンドされたリードフレー
   ムからなり、ダイパツド部の後側と前側との２列
   にテープ片を同時に張付けるようにしたことを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の半導体部品
   のテープ片張付け装置。