JPS5831514A - 半導体部品のテ−プ片張付け装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、ダイボンドされたリードフレームなど半導
体部品にテープ片を張附ける、テープ片張付は装置に関
する。

半導体部品、例えば、半導体チップがダイボンドされた
リードフレームは、ダイパッド部の両側方のリード部に
テープ片をそれぞれ張付は固定するようにしている。

従来のリードフレームのテープ片の張付けは、第１図に
斜視図で示すようにしていた。（１）はリードフレーム
で、複数のダイパッド部（１ａ）にはそれぞれ半纏体チ
ップ（２）がダイボンドされている。（ｌｂ）祉リード
部である。このリードフレーム（１）をヒートブロック
（３）上に置き、容器（５）内のテープ片（６）を、作
業員が１片宛ビンセット（７）で取出しては、リードフ
レーム（１＞のダイパッド部（ｌａ）の前列と後列とに
間隔ｑ（約１６ｍｍ　）をあけ張付けていた。ヒートブ
ロック（３）は内蔵された電熱器（４）Ｋよシ加熱され
である。

従来の半導体部品のテープ片（６）張付けは、人手によ
りピンセット（７）で行なっており、多大の人員と時間
を要していた。

この発明は、並列配置の複数のリールからのテープをテ
ープ引出し手段と切断手段とＫより、それぞれ所定長さ
宛のテープ片に切断し、ヘッド部の第１及び第２のハウ
ジングの下部にそれぞれ設けられ、双方がＹ軸方向に一
列位置にされた第１及び第２のコレットによシそれぞれ
上記テープ片を真空吸着し、上記ヘッド部を半導体部品
の上方に前進し、さらに、第２のハウジングを第１のハ
ウジングに対しテープ片の張付は列間隔削ムさせるとと
もにＹ軸方向に移動し、第ｌのハウジングの第１のコレ
ットに対し第２のハウジングの第２のコレットをＸ軸方
向にそろえて双方で２列の配置にし、第１及び第２の７
・り、ジンクを下降し、各コレクトの下端Ｋ１１１着し
であるテープ片を半導体部品に前後２列に同時に張付け
るようにし、テープ片の２列同時の張付けが自動的に行
え、省力化され生産性が大幅に向上される半導体部品の
テープ片張付は装置を提供することを目的としている。

第２図及び第３図は、この発明の一実施例による半導体
部品のテープ片張付は装置の平面図及び正面図である。

Ｑ（Ｉは６列並行に引出されるテープで、固定台（図示
は略す）に支持された並行配置の６個のリール（川に巻
かれていて、矢印り方向に繰出される。０１及び（１４
はテープ引出し手段の第１及び第２のクランプで、それ
ぞれ上下１対か、らなる。一方の１Ｉｔ１のクランプ−
が上下からテープαＱをはさみ付け、矢印Ｅ方向に所要
テープ片長さく約２ｍｍ　）のストローク移動する。こ
のとき他方の館２のクランプ０４は開放している。続い
て、第１のクランプ０１が開放し矢印？方向に移動復帰
する０同時に、第２のクランプ鵠がテープ（ト）を上下
からはさみ付け、矢印Ｅ方向に所貴テープ片長さのスト
ローク移動し、つぎに開放し矢印Ｆ方向に移動復帰する
。このようにして、第１と第２のクランプＨと０荀とが
交互にテープ（６）を間欠に所定寸法宛引出していく。

次に、０吟は上記固定台（図示は略す）Ｋ取付けられた
合板、川はこの合板上に固定された前後１対の受台、０
ηはこれらの受台に軸受（図示は略す）を介しＸ軸方向
の往復移動可能に支持された１対の支持軸で、先端でヘ
ッド部ＣＩ＠を支持している。

（ＩＩは台板Ｏ＠下部側に支持ビンＱＤを介し矢印Ｊ、
に方向の往復回動可能に支持された第１のアームで、上
端に第１の連結棒−を連結していて前進、後退移動させ
る。−は合板（ｌ＠下部に支持ピ／シυを介し矢印Ｊ、
に方向の往復回動可能に支持されており、第１のアーム
Ｈよ如長くされた籐２のアームで、上端に＠２の連結棒
−を連結しておシ前進゛、後退移動させる。（至）は嬉
１のカムで、駆動軸（７）に固着されていて矢印り方向
に回転され、アーム四に取付けられたローラベアリング
などからなるカムフォロアローラ（ロ）に接触していて
アーム四を回励運動させる。（２）はカム■より大径に
され九＠２のカムで、駆動軸に）に固着されていて矢印
り方向に回転され、アームＭＫ堰付けられたカムフォロ
アローラ（財）に接触していてアーム四を回動運動させ
る。

駆動軸（ホ）は図示を略した電動機によ＃）回転される
。

（ホ）はそれぞれ一端が合板ＤＩ側に掛けられ、他端が
アーム舖と四にそれぞれ掛けられカム（ハ）、に）個に
引付ける１対の引張ばね、（２）は合板（Ｉ＠に取付け
られ、軸受（図示は略す）を介し駆動軸（ホ）を支持す
る軸受台（第３図には図示を略す）、■は両支持軸（Ｉ
′６の後端に取付けられたストッパ板で、ヘッド部州の
前進位置を規制する。ｃＩυはテープ切断手段の上刃で
、固定部に固定されており、下刃（２）の駆動手段によ
る矢印Ｇ方向の上昇運動により、間欠に引出されるテー
プαＱの先端部を所定長さ宛に切断し、テープ片ｔｌ＠
にする。

ヘッド部９＠の詳細を第４図及び第５図に斜視図及び一
部＠面図て示し、図では前進位置にるり、次のように４
１１成されている。（至）は１対の支持軸ｉηの先端Ｋ
ｂｉｉ１ｍされ九支持わくで、上部に１対の取付金Ａ＜
４を取付はボルト（ロ）により取付けている。

（至）はこれら１対の取付金４４間に連結ピン■を中心
とし回動可能に支持された可動連結具で、上端部が連結
棒（２）の前端側に連結ボルドーを介し連結されておシ
、連結棒（２）のＸ軸方向の前進を受け、支持わくに）
Ｋ前進移動を伝える。（４１）は支持わくに）の前面両
１１に固着された１対の案内わくで、内側に縦方向にＶ
状案内みぞ（４Ｘａ）が設けられている。（４２）は１
対の案内わ＜　（４１）間に入れられたしゆう動わくで
、両側に縦方向ＫＶ状受けみぞ（４２ａ）が設けられて
おり、対応する案内みぞ（４１ａ）との間に複数の鋼球
などの転動体（４３）　（第２図＃照）が装着されてい
て、上下動可能に支持されている。

（４４）は可動連結Ａ（至）の下部前端−に取付はボル
ト（４ｂ）Ｋより取付けられた押下げ用ローラで、可動
連結Ｊｌｅの下方への回動によりしゆう動わ＜　（４２
）を２軸方向に下降させる。（４６）はしゆう動わ＜　
（４２）に取付けられともに２軸方向の上下往復移動さ
れる第１のハウジングで、前部に３１１１ｍに間隔ｐで
一方向の突出部（４ａａ）が設けられている。（４７）
は案内わ＜　（４１）との間に掛けられハウジング（４
６）を上昇復帰させる両側１対の引張ばね、（４８）は
両側１対の支え、部材で、ハウジング（４６）Ｋ植込ま
れた両側１対の両ねじポ、ル）　（４９）及び両側１対
の植込みボルト（５０）によりそれぞれしゆう動ベアリ
ング（５１）を介しＸ軸方向の前進、後退可能に支持さ
れている。（５２）Ｆｉ両ねじボルト（４９）の前端Ｋ
Ｉ／′ｉめられた受止め用２重ナツトで、図示のように
支え部材（４８）のハウ゛ジング（４６）に対する前進
位置を規制する。（５３）はハウジング（４７）の両側
との間に掛けられ各支え部材（４８）を後退復帰させる
１対の引張ばね、（６４）は両側の支え部材（４８）の
上部に取付はポル）　（５５）で固定された連結板、（
５６）はこの連結板上に後部の一側部で回動可能に支持
ポル）　（５７）により支持された伝達回動具で、連結
棒四の前端側に連結ポル）　（５Ｂ）により後部の他側
部で連結されており、支持ボルト（群）を中心として回
動される。

（ｂ９）は伝達回動Ａ　（５６）の前部に下方から取付
けられた支持ボルト（６０）Ｋはめられた伝達ローラで
ある。（６２）は第２のハウジングで、両支え部材（４
８）に両端が固定された上下１対の案内軸（６３）に、
両１ｉ１１１１対宛のしゆう動ベアリング（６４）を介
しＹ軸方向に往復移動可能に支持されている。（６９）
　＃′ｉこのハウジング（６２）を他方側へ移動復帰さ
せる圧縮ばね、（６２ａ）はハウジング（６２）の後部
に３箇虜に間隔ｐで縦方向に設けられた突出部である。

（６５）ｉｊ一方の支え部材（４８）にねじ込まれ止め
ナラ）　（６６）で回多止めされた受止めボルトで、先
端でノ・ウジング（６２）のこのポル）　（６５）側へ
のＹ軸横行位置を規制する０（６））はハウジング（６
２）の前面上部に設けられ、伝達ローラ（５９）に係合
されＸ軸方向の運動を伝える保合突起、（６８）は各突
出部（４６ａ）、（６２ａ）の下部にそれぞれ取付けら
れ下方に突出する複数のコレットで、立て方向の吸引穴
が゛あけられており、下端にチーブバーを真空吸着し、
リードフレーム（１）上に至シダイパンドｓ’　（ｌａ
）の両側方に押付けて張付けるためのものである。各突
出部（４６ａ）。

（６２ａ）には下方のコレット（６日）の吸引穴に連通
する連通穴（図示は略す）があけられており、上部にそ
れぞれ真空吸引ホース（７０）が接続されている。

これらの各ホース（）０）の先端は、支持わく（至）の
上部に取付けられた接続箱（〒４）（第３図に示し、第
２図と第４図には図示は略す）Ｋ接続され、接続箱（７
４）へは真空ポンプからのホース（いづれも図示は略す
）が接続されている。

第２図及び第３図に戻り、支持わく（至）の上部には止
め板（）１）が固定されておシ、この止め板には受止め
ポル）　（７２）がねじ込まれ、下端でハウジング（４
６）の上死点の位置規制をしている。（１３）は受止め
ポル）　（７ｇ）の止めナツトである。なお、第４図に
は止め板（７１）の図示は略している。

上記一実施例の装置によるテープ片（ｎ張付は動作は、
次のようＫなる。まず、第２図及び第３図のように１ヘ
ツド（Ｉ＠は後退位置ムＫＴｏ！り、第１のハウジング
（４６）　Ｋ対しＪ１１２のハウジング（６２）は、Ｙ
軸方向の他方１１１にづらされ、かつ、後退していて、
ハウジング（４６）の各突出部（４ａａ）　Ｋ対しハウ
ジング（６２）の各突出部（ａｍ）が交互に入りた状態
ＫＴｏシ、各下部のコレン）　（６Ｂ）はＸ軸に１列に
位置している。第１及び第２のクラ／プｕ１反びＩから
なるテープ引出し手段により、各リール（川からのテー
プ（イ）が所定長さく例えば２ｍｍ　）宛送られ、テー
プ切断手段の下刃（２）の上昇により、所定長さく例え
ば２ｍｍ　）のテープ片０匂が６片間時に切断され下刃
（至）Ｋ載ったまま上昇する。このとき、ノ・ウジング
（４６）　。

（６２）の各コレン）　（６Ｂ）の下端は、上昇した上
記各テープ片θ乃上に接近した位置にあり、吸引ホース
（マＯ）からの真空吸引によりそれぞれテープ片（１２
）を吸着する。

この状態を第“３図に示す。続いて、電動機により駆動
軸−を介しカム■、に）を回転すると、第１及び第２の
レバー−及び−がＪ方向に回動し、連結棒（イ）及び磐
がＸ軸方向に前進する。連結棒に）の前進移動によシ可
動連結具に）を介し支持わく（至）が前進し、ヘッド部
０１１ＧがＸ軸にストロークｔ（例えば６５ｍｍ　）だ
け前進しＢ位置に至ると、ストッパ板に）が後方の受台
（ｌ→側に受止められ、支持わく曽の前進移動が停止さ
れる。同時に連結棒翰の続く前進によシ、伝達回動具（
５６）を介し両支え部材（４８）をハウジング（４６）
に対しさらに１χ軸方向にストロークｎ（例えば１６ｍ
ｍ）前進させ、両ねじボルト（４９）の２重ナツ）　（
５２）　Ｋよシ受止められる。このとき、引張ばね（４
−／）ｔｉ引張ばね（聞）よシ強くしてあり、ハウジン
グ（４６）を引付けている。なおも連結棒に）の前進移
動によシ、伝達回動具（５６）が支持ポル）　（５７）
を支点にして回動し、伝達ローラ（５９）を介し保合突
起（６））を経てハウジング（６２）をＹ軸方向に受止
めポル）　（６５）側にストロークｍ（例えば１６ｍｍ
）移動させ、第２図に鎖線で示すように１各央出部（４
６ａ）に各突出部（６２ａ）がＸ軸方向にそれぞれ対向
した位置になり、下部の各コレン）　（６Ｂ）は３個宛
がＸ軸に２列になり、第４図に示すように、リードフレ
ーム（１）の３箇所のダイパッド部（−）の両側方の上
方位置に至る。このとき、引続く連結棒（支）の前進に
より、引張ばね（４グ）のばね圧に抗し可動連結ＡＯＩ
Ｉが連結ピン■を支点として下方に回動し、しゆう動わ
＜　（４２）が２軸方向にストロークｈ（例えば７ｍｍ
　）下降する。これにより、ハウジング（４６）　ｅ　
（６２）も１体に下降し、各コレクト（６８）の下端に
吸着しである各テープ片ａ匂はリード７し一ム（１）の
３箇所宛２列に押付けられ、真空吸引の解除によシ張付
けられる。ヘッド部α尋のハウジング（４６）　、　（
ｅ２）の前進下降運動を、第６図に説明図で示す。

続いて、連結棒（イ）、＠の後退移動によシ、ノ・ウジ
ング（４６）　、（ａ２）がストロークｈ上昇し、後退
を始め、ヘッド部１１は＃Ｉ２図！Ｉ！纏で示す状態に
復帰する０ このよう圧して、リードフレーム（１）へのテープ片０
１Ｊの各３箇所宛前後２列同時の自動張付けが、リード
フレーム（１）が送られるととに１繰返して行われる。

なお、上記実施例では、テープ片０′４の・張付は社前
後列に各３箇所宛を張付けたが、必ｌ！によシこれより
少ない箇所宛、あるいは多い箇所宛張付けるようＫして
もよい。

また、張付けるテープ片（＋＠０２列の間隔ｑは、連結
棒−の連結長の調整と、両ねじポル）　（４９）の２重
ナツ）　（５２）の位置の調整とくより、ハウジング（
６２）のストロークｎを所要の寸法ｑＫ合わせることＫ
よって、容易に設定できる。

さらに、上記実鳩例ではリードフレーム（１）のテープ
片ＣＩ張付けの場合を示したが、これに限らず他の種の
半導体部品のテープ片張付けの場合にも適用できるもの
である。

以上のように、この発明によれば、並列配置の複数のリ
ールからのテープをテープ引出し手段と切断手段とＫよ
り、それぞれ所定長さのテープ片〈切断し、ヘッド部の
第１及び第２のハウジングの下部に設けられＹ軸方向に
一列位置にされた各コレラ）Ｋより、それぞれ上記テー
プ片を真空吸着し、ヘッド部を半導体部品の上方に前進
し、第２のハウジングを第１のハウジングに対しテープ
の張付は列間隔前進させるとともに、Ｙ軸方向に移動し
、第１のハウジングのコレラ）Ｋ対し第２のハウジング
のコレットをＸ軸方向にそろえ双方で２列配置とし、１
１１ｇ１及び第２のハウジングを下降し、各コレラ）Ｋ
吸着しである各テープ片を半導体部品に前後２列同時に
張付けるようにしたので、テス／片の張付けが２動向時
に自動的に行え、省力化され生産性が大幅に向上される
。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のリードフレームの人手によるテープ片張
付は状態を示す斜視図、第２図及び第３図はこの発明の
一実施例によるリードフレームのテープ片張付は装置を
一部は切欠いて示す平面図及び正面図、第４図は第３図
のヘッド部の前進状態を一部は切欠いで示す斜視図、第
５図は第４図のヘッド部を一部は切欠いで示す一半部の
側面図、第６図は第２図の第１及び第２のノ・クランプ
の前進下降運動を示す説明図である。 ｌ・・・リードフレーム、１ａ・・・ダイパッド部、２
・・・チップ゛、１０・・・テープ、１１・・・リール
、１２・・・テープ片、１３・・・第１のクランプ、１
４・・・第２のクランプ、１９・・・第１のアーム、２
０・・・第２のアーム、２２・・・第１の連結棒、２３
・・・第２の連結棒、２４・・・第１のカム、２５・・
・第２のカム、３１・・・上刃、３２・・・下刃、３５
・・・支持わく、３日・・・可動連結共、４１・・・案
内わく、４２・・・し４Ｊ動わく、４６・・・第１のハ
。 クランプ、４８−ＪＪ支え部材、５４・・・連結板、５
６・・・伝達回動具、６２・・・第２のハウジング、６
８・・・コ１／７）、ｆｆ１）・・・真空吸引ホースな
お、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人　葛野信−（外１名）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　並列配置された複数のリールからそれぞれテ
   ープをＸ軸方向に所定長さ宛間欠に引出す複数のテープ
   引出し手段、この引出された各テープを所定長さ宛のテ
   ープ片に切断する複数のテープ切断手段、回転駆動され
   て第１のアームを介し第１の連結棒をＸ軸方向に前進後
   退運動させる第１のカム手段、回転駆動されて第２のア
   ームを介し第２の連結棒をＸ軸方向に前進後退運動させ
   る第２のカム手段、上記第１の連結棒側に可動連結具を
   介し連結されておシ、下部に第１のコレットが下向きに
   設けられ、後退位置において第１のコレットで上記テー
   プ片を真空吸着し、上記第１の連結棒の前進により前進
   されて半導体部品の上方に至り、続くｉｌの連結棒の前
   進によシ上記可動遅結具の下方の回動を受は下降され、
   上記第１゛めコレット下端に＠着してるる上記テープ片
   を上記半導体部品の上面後列位置に張付けるよう圧した
   第１のハウジング、及び上記第１のハウジングの前部側
   にＸ軸方向及びＹ軸方向の所定の範囲の移動可能に支持
   されていて、上記第２の連結棒側に伝達回動具を介し連
   結されており、下部に第２のコレットが下向きに設けら
   れ、上記１ａｔ１のハウジングとともに後退した位置で
   は！２のコレットが上記ａＩｌのハウジングの１１１１
   ！１のコレットとＹ軸方向Ｋ１列位置にされ、第２のコ
   レットにより対応する上記テープ片を下端に真空吸着し
   、第１のハウジングの前進によルともに前進され上記半
   導体部品の上方に至り、上記第２の連結棒の続く前進に
   より、＃Ｉｌのハウジングからテープ片の張付ｉ列間隔
   分前進するとともに、さらに、上記伝達回動具の回動に
   よｌｙＸ軸方向移動され、上記Ｍ２のコレットを対応す
   る分の上記１ＩＡ４１のコレットにＸ４１１方向にそろ
   え、第１のハウジングの下降によりともに下降され、第
   ２のコレント下端ＫｅＬ着してるる上記テープ片を上記
   半導体部品の上面前列位置に張付けるようにした第２の
   ハウジングを備えた半導体部品のテープ片張付は装置。
2. （２）　　半導体部品はダイボンドされたリードフレー
   ムからなり、ダイパッド部の後側と前側との２列にテー
   プ片を同時に張付けるようにしたことを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の半導体部品のテープ片張付は装
   置。