JPS6249201A - 位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

［発明の分野］ 本発明は、被検出物鉢土の位置検出用マークを検出する
だめの装置に関し、特に、半導体集積回路のパターン焼
付（フエ稈でウェハあるいはマスク（またはレチクル）
を位置合せＪる場合、撮像管やＣＯＤ等の撮像手段で撮
像して１ｑた画像信局に障害物による影響があったとき
もマーク位置の検知が可能な位置検出装置に関づる。 ［発明の概要］ 本発明は、被検物体上の位置検出マークの位置を撮像手
段により検出する装置において、被検出物体と撮像手段
どの間の光路上の障害物や周期的ノイズの影響等、撮像
手段の出力信号の予想される欠落や余剰分をデータ加減
０処理によって補１Ｆすることにより、これら障害物等
の影響に」：って十８１［位繭検出マークが検出不能ど
イ１つたり、誤検出づるという事態を防止し、マーク検
出率Ｊ＞よぴンータ４ｉ１　Ｍ検ｊ１１精１ｕの向１４
図）　／、ｂ　（１１（アｐ＞　、、［発明の合姐１ （了来、Ｊ、ｌ〕、！１′導体焼イ・１装置（５−おい
Ｃあろン−′）を検出するどき、ＩＭ像ｆ段に５１、−
）で１１１らねる・ｌ−りの出力１バシ）を２１１１′
Ｉ化処即１．ｌるＪ９１は広くう４１らＩ［ている。 しかし、これは人力画像巻こ欠（（１か無い（−どを前
１？どしくお１・）、あるンーノノを岡像りる過程にお
い−（光路１に障害物があつＩ、＝場合（ま、１ｉｊ−
害物の陰となる部分の情報は１ｕら１１す゛、−ぞの状
況（−Ｉｌｌられた人力画像は＋１シい人力画像どは８
才４「い。′−）よ（・）、障害物が存（ｌＬ、　／、
゛場合、−ｆれが人１）画像（、″影劉１しＣ出力信シ
シの欠落Ａ５余余剰化といった不ｊ１信翼が発生４る。 この」、うな場合、従来の装置では−Ｉ記不Ｊ：　１．
−！弓にＪ、つ（ム９１つｔニー２１ｉｆｉ化を４−ｉ
な−）’ＣＬ、まい、前古己くノ〜りどｖ４イｊるパタ
ーンを検知しｔご＋）、あるいはくノーりか検知視野内
（４二（ｆ（［ＬＬるＩＪ：　’ｂかかわ１〜）ず検知
不可能ど判［、Ｌ　Ｔ　Ｌ　、Ｊ、うとい）欠点かぁ−
）だ。 ［ヅト明り月−１的１ ４＼ブを明は、１）・ｌｉ　（／’）　′べ点ｉＪ　！
！−み、被検出１♂ｉｌ休苓囮像４る搬像−■「（１の
出ツノ（Ｊｆ　”ｉ　、Ｊ”）画像側ＩＱ　！−々４１
１１、（−の画像濶痘データタＸおよびＹ）“１向に加
０１ノ　（’　　ｉ！、７　　（）　　れ　る　′４＾
　ロ）１〕周　］α　カ　／１１　　を　μ　（、ｌ’
、、’、　　ｔｉｌ’、’！　　被　検　出　１９１　
イも１０月）゛！置検出川用−リ（！検出づるｆ）”？
置検出装置１．−おい−Ｃ１１８（）出力仁シ冒、二欠
落Ｉ：　／−ＬＬ　′Ａ″：刺イハシイハシ不ｔ１イハ
屋；かＭ　ｌｌれ−（いく）ときはノータ１１１１１．
’）まＩ、二（，１−１′−タＭ睦処理ｉ；：　Ｊ：　
ｌｉ　＋−の欠落、１、／、：：：　ｉＪ金刺伝り・１
分４補ｉｔ”　−４ルトイ’ｌ構夕１１　（（」Ａ−）
２Ｓ　、　Ｋ古物／）’　（ｆ（＋［ｙだ場合（、：お
い（ｔ）、、−１ｉｌｉ：　（ｉ”ｒ　ｊ行検出マ−リ
イろ検出率か−）高精ｊη（・検知およ（Ｊ−へ１測川
能１ｊ：　ＩＪる。−とを目的とする。 本発明□の一実１＋角（１！ｌ某１、二４Ｊ、れは、り
・１象となるマークを顕像り、、　ｊ、二接、（）′Ｉ
装検知のＩ、−めσ）２１＋＋’口］−を行なう前にマ
ークが陣′古物の陰に／Ｎ　−ｈ−（いｌごか古かを１
′１１定し、障害物（、−よ−）−Ｃ＼７−′ノの情？
ｔｌ　／＋＜欠落ｌ−７

【いた場合（５川よｆＯ）欠落
ｔ、、　ｉ；：部づχσ）　’ｉ＋ｔｉ※［層」１「測
１．（補−）よ３１ｗ　Ｌ−’Ｃいる９１，１、ｊ、二
、１即害１カ（、二１、番）余剰化Ｙ−５がブｈｌｔ≦
ｊる場合（、「Ｉ−タ減紳に」、−）−（画像情や［メ
を補１１シでイＵＮ検出を行イｔ）。 ］実施例の説明１ 以■・、図面１、二？ｆ　−＞−（本弁明の実施倒台説
明りる４、第１図ト１、本弁明が適用されるパターン゛
ｊ＋？、付（ｊ装置の外観を承（Ｊ、同図（Ｊおい（，
１（１集（＾回路パターンを貝えたンスウで・、他の＼
ノスク１！ツｊイングマークヤ）ノ））イン・−ノ′“
ンイメントマークを貝λるものどする。、２はマスタチ
亀・ツリ（・１、ノスク１を保Ｊ、’＋　Ｌ、−Ｔマス
タ１を平面内並びに同転方向に移動させる。３は縮小投
影レンズ（・ある。１４は感光層を具えるつ１ハで、フ
ッ・イン・ア−）イメン１へマークど１リアライメント
）ノー９を貝えるしのとりる。！′）はつＴハステージ
Ｃ゛、ウーＩハ４を保持１ノてぞれを重面内！１トひに
回転ブｊ向に移動さ１！１．−リ、つＩハ焼付！−ｊ　
ｆｆ７置（投影野内）ど−ノートノ［ご゛・−７゛すｊ
７ライメン１−ｆｌ′ｌ買間４買初４移動ＪｆＬ、？Ｌ
）じ・ブリアラ−イメン１〜用検知装置の対物１ノンズ
、７は搬像管（または固体踊１へ索子）、８は映像観察
用のｊ−レビ受像器Ｃ゛ある。９は双眼ＩＬニツ］〜ζ
・・、投影ｌノンズ３を介しくウーＬハ４の表面を観察
４るため１４二役ｈ’ｔ−）、、１０は、）１′、ｉｌ
ｌ；ｊ　＋　ｌｌ　ａを介じｌ、−１・ス′ノ照明）＋
１′。 を酸中さｌｌるｌ、−めの照明光学系１１（び［、”ｍ
　−７）・イン・アラｒメン］−用の検知装面を１１’
、！盲（１ろ１部に一ツト−Ｃあ＜）。 つ丁ハスｊ−う・５）は図示しイ昌入・”ノ１ハ搬送［
段（Ｊよ（・）鞘）゛べさ１１　／、ニウ］ハ４所定（
ハ位置Ｃ保１、〜し、ま（ｒ、ｊ−１〕じ゛・−、ｆ　
’）　’−ｔ’ノイメント１１１対物ｌ、ノンズ０の視
野内につ■ハ１−のｌリノ′）（メン］・マークが入る
位置二しくパ移ｉｊｊ＋　ｌろ１、Ｊ（Ｄ　１１７．σ
）位置１ｔ’ｊ　ｌ復は機械的１（ｆ−ブリアラぞメン
ト粕麻ｉ：１　、、ｌ、るもの−（パあり、対物レンズ
（３の視野ＩＪおよｆに１（Ｙｌ・−２ｍｌ稈亀（・′
ある。３この視野内のアノイメン！−：）−りはＩＮ像
色・７で検知−＼れ、−ｊ−ｔ−’し・ｌリノ′−ノイ
メン１−皆野内′ＣのアライヌンＩ−マーツノのＰ１＾
標位首が検出〔覧ＩＩる１、ここで、投影）ｊ′、学系
の１アイノ・ノー′シイメレ用−用検知位置と前述の−
ｉ’　Ｌノヒ′・−ｌリノ′−フイズニ、何−ＣＩ：お
ｉｔ　ル座（ｇ　（ｆ）　Ｉｊｉｔ貞１１　’ｆ’　１
ｖ１ｉｉＱ定さｒｔ　（イ６　＋７１−（、”　ｔ−（
１）　’、’白の位置と、ｊｌ、ノビ・ブリ７′フイヌ
）１・＼ノータの座標にｌ　ｊｌ　／）＋　ｒ、ノｊ・
イン・ｊ′−ノイヌントイ１”！置／＼のつ］ハ・ス）
・・ジ５）のＪ”：　”）込７ノＡｆｆｉ　ｈ＜決めら
ねる１、テレビ・プリアライメントの位置検出精］σ（
、ｔ±５μ以十であり、テレビ・ブリアライメン１〜位
置からファイン・フライヌン１〜荀胃までのつ７Ｉハ・
ステージ５の移動で発生ずる誤差を考慮に入れても、１
−１０Ｉｌ程度である。従って７７１イン・アライメン
１〜は約１−１０μの範囲で行イｆえばＪ、く、これは
テレビ・プリアライメンｉ〜を行なわない場合のファイ
ン・アライメン１〜の視野範囲の１／１００以下の範囲
であり、フッフィン・アライメンｉ〜がＪ：り高速で行
なえることになる。 第２図はテレビ・プリアライメン１へ用検知装買の実施
例を示しており、図中の縮小投影レンズ３、つ丁ハ４、
対物レンズ６、撤像管７は第１図と同一である。 他方、１１は照明用光源で、例えばハ［１ゲンランプを
１史用する。１２はコンテン４ルンズである。１３（１
３Ａと１３Ｆ３）は交換的に着１１ｊ１される明視野絞
りと暗視野絞りで、図では明視野絞り１３△を光路中に
装着している。コンデンリｌノンズ１２は光源１１を絞
り１３１に結像する。１４は照明用リレーレンズ、１５
は接合プリズムＣ１接合ブリスム１　！ｉ　ＬＬ照明系
の光軸と受光系の光軸を共軸にづる（段能を持ち、内側
反射面＋５ａと崖透過反射面１５ｂｌ！える。ここで光
１１１１、］ンデンリレンズ１２、絞り１３、照明リレ
ーレンズ１４、接合プリズム１５および対物レンズ６（
よ照明系を構成し、対物レンズ６をｑ１出した）１′。 束はウェハ４　ｌ二を落６ｊ＋照明づる。 また、１６はリレーレンズ、１７は光路を折曲げる鏡、
１９は搬像レンズで、トに述べた接合プリズム１５、リ
レーレンズ１Ｇ、鏡１７および搬像レンズ１９は、撤像
管７と共に受光系を構成する。この受光系において、対
物レンズ６を通る光束１、目に合プリズム１５の内側反
射面１５ａ’−（”反射しく半透過面１５ｂで反射し、
ざらに内側反射面＋５ａで再度反射してリレーレンズ１
６へ向う。これにＪ：す、つ丁ハ４十のアリアライメン
１〜マーク像は撤像管７０撤像面に結像する。 次に、プリアライメントマークの検知作用を述べる。な
お、検知したビデオ信号の電気処理については後述１−
る。 第２図において、照明用光源１１からの光束は、］コン
デンサレンズ１２で収斂されて絞り１３の聞［１を通過
し、さらに照明リレーレンズ１４ａ３よび接合プリズム
１５０半透過而１５１）を透過しく反射面１５ａで反射
し、対物レンズ６を通ってウェハ４を照明する。ウェハ
４の表面で反射した光束は対物レンズ６で結像作用を受
け、接合プリズム１５へ入射して反射面１５ａおよび半
透過面１５ｂで反１１−Ｉ　Ｌ、次いで反射面１５ａで
再度反射してこれを射出（ッ、リレーレンズ１６でリレ
ーされて鏡１１で反射し、撤像レンズ１９により１ｌｉ
１＠管７．１−に結像する。 この場合、絞り１３としては先ず明視野絞り１３Ａを用
いてウェハ４面のプリアライメントマークが踊倣管７の
搬像野山にあるか否かを確認し、無ければ必要に応じて
ウェハ４を移動し該マークの検索を行なって該マークを
楯像野内に来たらしめる。 次いで、絞り１３を暗視野絞り１３１３ど交換し視野を
暗視野状態に切換えて、プリアライメントマーク像が明
瞭に見１４るＪ：うにし、これを１最像してブリアライ
メンｈマーク像の位置を検出する。 一８＝ このグリアライメン１〜マークの検知ｆ１用において、
ｌ−述した光路１のどこかに図示していないが、アリア
ライメン１〜マークの検知１１用以外の１−１的に使用
するための物体、例えばり［コムマスクをエツチングし
て作られた十字線パターンを持つガラス板が存在し、そ
の像が搬像管７０撤像面にプリアライメントマークの像
をさえぎるように結像してしまい、プリアライメント・
マークの検知作用における障害物どなる場合、プリアラ
イメントマークの検出率は低下し、誤検知あるいは検知
視野内にプリ）７ライメントマークが存７１するにもか
かわらず検知不可能と判断してしまうという問題が生ず
る。本発明は前記問題を解決Ｊるものであり、その作用
についでは後述する。 つＪハスデージ５は、後述する電気的処理により検出さ
れたアリアライメン１〜マークの位置に応じてウェハ４
が投影レンズ３の投影野中の規定位＠４′を占めるよう
に移動して停止する。なお、つ■ハ４を一旦標準ｆＩ７
置に）７ライメン１へし、その後、投影野中へ移動さけ
るように変形しても良い。 ＝　１０− 第３図はプレじ・ブリアライメン１へ検知回路の一実施
例を示すブロック図Ｃある。 第５図Ａに示したテレビ・プリアライメンｉ〜ン−りを
検知するｈ仏はいろいろあるか、第３３図（Ｊポした実
施例はテレビの画像を画素に分解し、この画素の′ａ亀
を×方向（水ｑｉ方向）およびＹ７！５向（Ｉ　を自プ
ｉ向）にそれぞれ１叫幹するｂので゛ある。 加ｎすることによる利Ｓユ１は、（ｉ）加算によりラン
ダム・ノイズが平均化されＳ／Ｎ比がよくなる。 ■Ｘ方向どＹ’ｈ向の位置検知を独１″Ｉに行なうこと
ができ検知が筒中になる。■画像１゛−タを格納するメ
モリの客間が少＜＞　くなる等があけ１）れる。 第３図の１１１７９図において破線Ｃ囲よれたブロック
Ｘは、×方向の画素の濃度を加ｎするブ［１ツク、ブ〔
−１ツクＹ　ｌｔ　Ｙ　ｈ向の画素の部用を加０４−る
ブ［ｌツつて゛ある。 第３図におい−Ｃ１３１はビテＡ・アンプ、３２はアノ
［−１グ・デジタル変換器、３３はラッチであり、図示
しないテレビカメラ］ント日−ル部り日ら送られるビデ
オ信Ｂ３　（囮像管７からの画像信号（６二同期信８３
ろイ・１加する等の電気的す１理を施しｋＯの）はし−
ｊ”　Ａノ′ン−７″３１Ｃ゛増幅され、７′ノ１１勺
゛・ノ゛シクル変換器３２−Ｃ’−７”ジタル化さｉＩ
ｔ：　＋Ｑ　゛フッ−１；３３に格納Ｃ〜れる。−ノツ
チ３３の出力データｌｔ　Ｘ　ｌＪ向の加紳ブ［１ツノ
７ＸどＹ　７’ｌｉ向の加（１−〕［１ツ′）Ｙへ出１
）される３、Ｉ［−’ｌツクＹ（こおい（，３４はＹ］
”ノ向（、二１−タを１１１目）する）ｊ１１粋器、３
！１はノ）１１峰器（１４の出力１゛−タをうツーｉ−
する力１１０出ツノラッチ、３６ｉｔ　Ｉｌｌ’ｌ疹ン
出カ−ノツ−ｆ３！＋のデ゛−タを格納（ＪるＹ方向積
（）ヌ［す、３７はメＬす３６の出力デ゛−タ含うツー
丁ηる１）［ｌ粋人カラッチ（”ある。 １［１ツクＸにおい−（，３８はｘ−ｉ〕向にデータを
加篩するＪｕｌ　ｉ器、３９は１１１０東器３８の出ノ
Ｊをラツｆ４るラッチ、４　（ｌ　Ｌ↓ラッチ３９の出
力データを格納（ＪるＸ１〕向積粋メ−■−りである。 これらの回路にお（」ろデ゛ジ９ル・データのじツト数
に１４（こ限定はないか、例λぼアｊ−ｒ’ｉグ・デジ
タル変換器３２か８ビット、＋ｎ’＋紳器３４．３８お
」、びメ−しり３６．４０が１６ビツ１へ構成である。 −１〕、４１はテレビ・ｆ　’、）−ｊ’−ハイメント
検知回路のタイミンノｊやシーｌノンスを制御し、まｌ
、＝メ（リ３６のリード・ライトお」、ひ−ｆツーｌｔ
−１ツクＩ〜を一１ンｌ−ｒ’ｌ−／しするシーケンス
／メ七り一１ント［−１−）し回路、４２はブ１１ツク
Ｘ中のメ七り４０を制１ａｌｌ　１Ｊるメ［す１ント［
１−小回路である。４３はシー１７ンス７′メ−しリニ
１ン］・［ｌ−小回路４１をマイイノｒ’＋　７’　ｎ
　ｌｘツリ（不図示）が制御力るための二Ｊント１１−
ルレシスタで、レジスタ４３の入力はマイク【１プ［１
【了ツリのデータバス４４に接続されＣいる。また、フ
イタ１！ブ］１し・ソリ（ま、（二のｊ゛−タバス４４
を介して、メｔす３６．４０にアクレスすることが可能
である。４ｊ）。 ４６、４７．４８＋よその／、＝めのバツーノノ７であ
り、バッフｊ７４５，４７はマイク［１ブ１ルツ月がメ
Ｌりにラパ一タをライｌ−りる１１．〜、またバッファ
４６．４１１はデータをリード号−る時動作する。４９
はり［１ツク回路、５０゜５１１よＹｈ向積紳メ１ニリ
３６のライト・アドレスおにびリード・アドレスを発生
する、メｔす・ライト・アドレス回路およびメｔす・リ
−１・・アト」ノス回路である。５２はメモリのリード
・）′ドしノスとライ］・・アドレスを切換えるアドレ
ス（ごレクタ、５３はマイクロプロセツサがメ［す３６
をン７クヒスする１２一 時の−ｊノド１ノスハツフー；−Ｃ”　Ａりり、ンイタ
１１−１１ｒ−１１・・ソリかアク（？ス（する１１．
’ｒ以外は、？ドレスセレ／７　ｌ］５？の出力が）１
！択され−ＣおＩ）、ハラフン・５３の出ツノは禁圧さ
れている。５ｄ　ｉｔ　Ｘ　ＩＪ向積紳メ［す４０のア
ト１．ノスを介！４−ｉＪるヌ［す・７１：シノス回路
、１）５はメＩ−リｊ２ド１ノス回路５４１７）、／ノ
ドレスとｈノイ′ノｌ’ｌ　−ｆ　ＩＩＩ　ｔ！’ソリ
がメ土り４０を７りｌ・ス≧ノる１、′ｆ弁牛づる））
ドレスの切換えをするアドレスヒレ９ター（゛ある。５
６はり［］ツクｌｉ＋ｌ路４９のｌ）［１ツタをＪ８４
ｊｐに−［Ｖの水平同期イ、ｊ号、重直同明信号、プラ
ンギング仏舅等を発生づ−る丁Ｖ　１ｉｉｌ明信号介１
１回路である。５７，５８はマイ′）［１７［”Ｉレツ
リの一７゛−タバス４４に接続されたイ壜′【ぞれＸ位
置表示レジスタお」、びＹ　（＜７置表示１ノジスタ、
５９はマーカ表示回路Ｃ゛あり、マーカ表示回路５９は
、ｊ−１ノビ゛・−ソリｊ１ラーイヌン１−においτ検
出１ツノ、−〕′シイメン１〜マーツノの位置をマイク
（’ｌ　７　［１１ｒ　ｉソリがＸ位置表示レジスタり
７およびＹ　Ｋｌ置表示ｌノジスタ（）８に出力するこ
とによ０、ミックス信号を作成して１”　Ｖカメラｍ’
ｌンｌ−Ｉ’ｌ−ル部の［ボデＡ入力端子へ送１１１す
る、。 続いて第３図のテレビ・プリアライメント検知回路の機
能および動作について説明りる。 テレビ・プリアライメント検知回路の機能は、（′ｉ′
）Ｘ方向のデータの積粋、■Ｙｈ向のデータの積（ン、
■プリアライメン＋−マーク検知位置のＴＶ−［二り上
への表示である。 このうり、Ｘ方向のデータの積締およびＹｔｒ向のデー
タの積緯は、テレビ・プリアライメント検知回路のバー
トウー「アが加算を実行し、ぞの加算データをメモリに
格納する。データの加算はテレビ信号の１フレーム甲イ
ｆｌで行なわれ、後述ＪるＪ、うに必要に応じて、１フ
レームの加算で終了してもよいし、あるいは複数のフレ
ームの加算を行なってもよい。いずれの場合でも、加算
中は、メ上り３６．４０のデータ・バスおよびアドレス
・バスはマイク【］ププロセラノのデータ・バス４４お
よびアドレス・バスから電気的に切りＨｌされており、
メモリ３６のアドレスはアドレス廿しクタ５２、メモリ
４０のアドレスはアドレス回路５４から供給され、シー
ケンス／′メモリＴＪント［１−小回路４１、およびメ
モリ丁１ントロール回路４２からハード的に発生ずるり
−ｌ’ライト信号およびチツブセレク１へ信号の制御の
ちとに加算が実行される。 所定のフレーム数の加算が終了すると、シーケンス／メ
モリ］ント■−ル回路４１からインタラブミル信号線Ｉ
ＮＴ上に加算終了例月が発生ずる。この加算終了例月の
発生後、マイクロブ１］ｔ？ツリは、メモリ３６おＪ、
びメモリ４０にアクセスを行ない、加算データからテレ
ビ・アリアライメントマーク位置を検知（る。マイクロ
プロセッサがメモリ３６゜４０をアクセスする時は、当
然ながらメモリのアドレス、リードライ１〜切換、チッ
プセレク１〜等はマイクロブ【−１セツ量少の制御信号
によって行なわれる。 またメモリ３６のデータはバッファ４６、メモリ４０の
データはバッファ４８を経由してデータバス４４に送ら
れ、マイクロプロセッサに読み取られる。 ところで、第３図中、プ］−１ツク×にお【ノるＸ方向
の加算、ブロックＹにお（ＪるＹ方向の加算を説明する
前に第４図を参照して画素の分割１）法について述べる
。第４図はテレビ画面をＸ方向にＮ分割、Ｙ方向にＭ分
割した画素を表わしＣいる。画素Ｐノｉは、第１行、第
１列の画素を示す。Ｙ方向の分割数Ｍは通常、水平走査
ライン数と一致。 ており、従って画素に分割づるためには、−水平ｒ１期
イに号区間内に、アナ［−１グ・デジタル変換器３２（
第４図）にてＮ回すンプリングを行なえばよい。 ずなわち、Ｘ方向の加算は Ｓｘ　＋　＝ＤＡＴＡ　（Ｐ＋　＋　）　十ＤＡＴＡ　
（Ｐ＋　２　）十　　　・・　　　十　ＤＡＴＡ　　（
Ｐ＋　　Ｎ　　）　　、ＳＸ２　＝ＤＡＴＡ　（Ｐ２　
＋　）　十ＤＡＴＡ　（Ｐ２２　）十　　　・・　　　
十　ＤＡＴＡ（Ｐ２Ｎ）　　、ＳＸＭ　＝ＤＡＴ−Ａ　
（ＰＭ　＋　　）　＋ＤＡＴＡ（ＰＭ２）＋　・・　＋
ＤＡＴＡ　（ＰＭＮ　）、Ｙ方向の加算は ＳＹ　＋　＝ＤＡＴＡ　（Ｐ＋　＋　）　＋ＤＡＴＡ　
Ｎ〕２　＋　）＋　・・　＋ｒ）ＡＴＡ＜ＰＭＩ）、 ＳＹ　２　＝ＤＡＴＡ　（ＰＩ　２　）　−１−１）Δ
−ｒＡ　Ｎ〕ｚ　２　）＋　・・　」・Ｄ　Ａ　Ｔ　Ａ
　（Ｐ　Ｍ　２　）、８Ｙ　Ｎ　＝ｒ）ＡＴＡ　（１）
＋　Ｎ　）　十ＤＡＴＡ　（Ｐ２　Ｎ　）→・・　＋Ｄ
ＡＴＡ（１〕ＭＮ）、 で表わされる。 加算が終了した時点Ｃ１×方向積算メモリ４０内にはＳ
ＸＩ　、ＳＸ２・・ＳＸＭのデータが、Ｙ方向梢篩メモ
リ３６内にはＳＹＩ　、ＳＹ２・・ＳＹＮのデータが格
納される。 以下にＸ、Ｙ両方向の＠算メｔりのデータからテレビジ
リアライメン１〜マークの中心位置を検知する方法およ
び本発明の要点であるところの障害物が存在する場合の
取り扱い方について述べる。 第５図（Ａ）はプリアライメントマークの一例である。 これは、ウェハ上のスクライブライン中に設けであるか
、またはつＪハ上の特定のチップパターンの位置に設け
である。図示のマークはスクライブライン内に８９１ノ
だ十字状のマークで、十字パターンの方向が搬像管の走
査方向とほぼ平行ａ３よび垂直になる様に配列されてい
る。また、このプリアライメントマークは、十字のマー
ク全体を中抜き、あるいは残したマークであり、そのた
めこのン〜りを照明するど１−７１部分のみが高輝；α
Ｃ光る１゛どにイＣる３゜ 第！：ｊ図（］３）は、１２ト古物の形状を示す−例Ｃ
゛、例えば、Ａファクシス高倍７ライメント用１．ノｆ
勺ホルン〜り（・・ある。第５：１図（Ｃ）ｆ、ｔ、テ
１ノビ受像器にブリｊ′ライメン１へ１１−りおＪ、び
障害物がち″し出（きれているｍ様を示し２（いる１、
実際には暗？■ｌ野状態であるため、障害物ＩＪ１兇λ
ず、１りン′うｆメン１ヘマークの−Ｙツヂのみ／＞＜
輝いて見える１、ここＣ・は−例としく第５図（［３）
の形状を持−）た障害物が第１ｊ図（０）の、１；うイ
ｃ視野山の中心位ｉＮ　Ｌ“常に存在しでいるｔ）のど
じて説明する。 以Ｉ；、プリン１ノイメン１ヘマークの中心座標を求め
るにあたって、まず最初にブリアラｒメン１−ンーりの
！ｌｉｉ像過稈に過程Ｃ障害物の影響を受（１イ「い場
合について述べ、次に影響を受ＬＪる場合につい−Ｃ述
べることと１６．。 第６図（△）はプリン１ノイメン１ヘマークが、障害物
に小＜ｒつたり、障害物に１つ（−隠さ↑２ることなく
搬像さねた状況を承（〕（いる。ノリアライメ：、／　
ｌ−−、ｚ−、（ｙはＩツ乞’が高輝ｑ　’ｘｌ　１．
”ｊ　−、、ｒ−（い、二）の（・、ｉｍ　　（７）　
　’、’　　　　　ツノ　を　Ｘ　　ｊｊ　向　お　」
、　（ＰＹ　　）’ノ向１−１１４１ｆｌ　　ｆｌｉｔ
　Ｆ＞　　７１　６ノ第０図（Ｆ（）　ｉＦ３　、に、
びｌ）ｉこ小４ＫＩ　Ｉｕ分イ１」どなる１、第６図（
１））はＸ７ノ向に加仲Ｉ５Ｉ、」１ｊ７の）０１（ン
のＹ−７ｊ面（１一対１６分／ｌｉ、第６図（０）はＹ
ｉ＞向に加εうしＬ：峙のｉｌｌ＋槌σ）　Ｘ　７’Ｆ
向に対りる分０ｉ＾示づｔ）の′（ｄ）ろ、。 第Ｃ）図（）〕）および（０）の潤度分７ｆｉの特徴〔
，１図から明ｔ）かな様（４−１ｊ７ラーイスントζ）
９　ｉ、二月僕ろビータ値が２個存（］りること（゛パ
ある。Ｘｆｊｌ＾］の淵１ｑ分荀（二′）いて適当＜’
＜スライスしノベルＳｆ、Ｉを０っ′ｃ２餉化を行な・
）と、第０図（１））の」、”）　ｉ、’Ｔ。 なる。 このマーりにおＧｔ　？：）Ｘ　Ｉｉ向ＩＪ−”−）い
Ｃのマーク幅は第６図（Ｉｉ　）　ｆ；−示１．−．　
／、：　Ｊ、）（、Ｘ、：、！−）のビーク（ＩＣ１の
中心イｆｌ圓間隔−）ま番′〕×１で１　Ｘ１１という
く−とにイｒす、このブリアランメント一ノ〜勺のＸｆ
）ＩＩ′ＩＪニついでの中心は、ＭＸ１＝（ＸＲＩ　　
Ｘ１１＞、’２（すλら１する３、Ｙ　ｈ向についＵ　
ｆｖ　ｌ１ｉ１様にＭ　Ｙ　？が求まる、。 ＝　１９〜 第７図（Ａ）１．：ｉ、−例としＣブリ７”ｙイメント
ｌ−りの垂直７ノ向の輝線のうらノ１側が障害物（、二
重なって擾像された状況を示しでいる。第７〜１（Ｒ）
は、第７図（Ａ）の点線で囲まれた部分の拡大図であり
、斜線部が障害物を表しＣいる。このような場合、第７
図（Ａ）、（Ｂ）の、Ｉ　Ｙｉ　、　、、ｉ’　Ｙ　２
の長さに相当覆る部分の潤度（または１ｍ）は障害物ｔ
Ｊ隠されてし；土い、実際の濃１すに比べ非常（４−低
い（暗い）１１石ぐ加ｎされる。つ８１８す、はどんど
加算しない事と同じ事になる。よつ−Ｃ１その加Ｉｆ　
ｉｍ度の分イロは第７図（０）のようになり、スライス
レベルを８１−２とした場合は、ピーク値が１つしかイ
イいことから２値化状況は第７図（［））となっＣ中心
座標は求められイ１い。た／どし、ここでは第７図（１
３）のＰｌに相当４る部分に′ついては、はとんど貞と
みなされるため、その影響ははと八。 となく無視し得る。 さて、以トのように加ｍ１１１度分イｆｉのピーク値が
１つしかとれなかった場合、従来月払では、第７図（Ｅ
）、（Ｆ）に示ｔＪ：うにスライスレベルを８１３とト
げること１、二９１・）（中心Ｐ（入’ｌ’１．　Ｍ　
Ｘ　２を得（いＬ二重、１２か１−７１．二の従＊　１
ｙ１人（４：、上ると、第８３図（Δ）、（ＩＩ）に示
り、Ｊ５うに（で１′″Ａ信）−）のｙ＞　＝””’　
Ｎ比が小さい場合（、二、スライス１．ノベルをＳｔ、
−１１＝長下げ−（ｔ）２つのビー′７飴をｔ！ｆ　’
ｌ　ｔｒず、検知不ｉｉ１能どな−）Ｃシ１１：）、、
、まＩ、＝第８図（Ｃ）、（［１）に示４−ようにスラ
イスレベルを□　Ｆ　ＩＩ’　（ｈき、バイン７ス舶付
近にス−）イス１ノベルがＳ１５とい）ように設定され
／：：　ｊ場合はノイズの影響を・受１−ｊヤ】！ｔく
、２つ［（のピーク値を７（ズからひろっτｌツよい、
本末の中心Ｐト標がＭ　Ｘ　３であるところがＭ　Ｘ　
／ｌと誤検知しＪＬようというような問題かぁ−）ノ、
：。 そこで本発明Ｃは、以ｌ−の問題貞に鑑み、プリアライ
メン１へマークが障害物（、″重ζ’Ｃ−）　Ｔいる１
月合、障害物の位置および形状についＣの情報から、マ
ークと障害物とが小なっＣいるか占かを判定し、次に申
イ１−）でいると判定した場合は、重なりによ−）て不
Ｈｔ、ｔいると考えられる１ｌｌｆｔ（以ト、不Ｗｍ辺
と称Ｊる）を締出し、加ｉｎ度分ｍを第８図（Ｔｈ）、
（Ｆ”ｌ二示Ｊよ）に補ｉｆシでいる。Ｊれによっで、
スライスレベルをバイアス顧ｌＪ日）距離をとって８１
−６と設定したまま中心座標Ｍ　Ｘ　！ｉを求めること
が１ｉＪ能どなる。第８図（Ｇ）、ＩＮはビデΔ信号の
Ｓ／Ｎ比が小さい場合の加算濃度分布補正および２値化
状況を示しくいる。第８図（［）、（Ｇ）において、と
もに斜線部が不足濶１！１つまり補正部分を示している
。 １メ下、アライメントマークと障害物が重く１っている
か否かの判定方法、不足濃度の締出カー法および加算濃
度分布の補」■ｌｊ法について、第５図（Ｂ）のＪ：う
な＋字形状の障害物（図中のアルファベット小文字は良
さを表わす）が第５図〈Ｃ）のよう／、１位置に存在し
、第７図（Ａ＞のようにブリアライメン１〜マークの垂
直方向の輝線と重なってＸ　ｌｊ向の加算８１度分布に
影響を及ぼしている場合を一例として第９図〈△）をも
とに詳細に説明する。 なお、以下においては×ｈ向の加算部１η分布に関して
のみ説明するが、Ｙ方向の加算濃度分布に対しても全く
同様の方法を適用覆ることができる。 第９図（Ａ＞は搬像管の視野と該視野内に存在する障害
物を示している。この十字状の障害物は、視野内の走査
方向と垂直および水平方向の所定の位置に固定されてい
る。視野の大きさは、ｍｘｎで、第５図（Ａ）、（Ｆ３
）に示しであるプリアライメントマークの幅Ｊと障害物
の寸法に、ｊの関係は、ｊ、ｋ＜Ｊとする。×方向加算
濃度分布に影響が出てくるのは、プリアライメントマー
クの輝線が第９図の点線ａ、ｂ、ｃ、ｄの様に出現した
時であり、それは４箇所である。その箇所のＸ座標をＪ
、に、Ｌ、Ｍとするが、障害物の位置は固定されている
のでＪ、に、Ｌ、Ｍは固定点である。また同様に、図中
のＹ座標りも固定点である。 ここで点Ｋに注目し、Ｂ＝に＋ｌ　Ａ＝に−，１なる点
Ａ、Ｂを考える。プリアライメントマークの幅が１であ
るから、Ｋの位置にブリアイメントマークの輝線が重な
るのは、ブリアライメン］・マークの２本の輝線の位置
が△とＫまたはＢとＫとなった時である。ただしｊ、ｋ
＜、１なので２本の輝線が同時に障害物ど重なることは
ない。よって加算８１度分布をとった場合、少なくとも
１本分のビー２３＝ −りは見つかる。ＡどＫおよび１３と１〈の関係を考え
ると、そのピークが／’１１−だはＢの位置に現われた
ならば、もう一方の輝線がＫに重イ１っている可能性が
ある訳である。そこで８に注目覆る。今１つのピークが
Ｂに現われたどする。Ｃ＝　Ｂ＋Ｊとするどブリアライ
メン１〜マークの２本のｌ！ｉ線は、［３とＫ（重なり
による影響あり）またはＢとＣ（重なりによる影響なし
）のどららかの位置関係と７ｉっでいる。このト別はＫ
の加算ｒｍ　ｒａ値とＣの加算濃度値を比較することに
よって可能である。 づなわちＫに重なっているイ１らばＣの輝線（Ｊないの
でＫで′ａ度値に影響を受（Ｊていようども明らかに（
Ｋでの加算濃度値）〉（Ｃでの加算濃度値）であり、Ｃ
位置に輝線があるならば、イの逆である。よってまどめ
るど加算濃度値の１つのピークが］〕位置にあるか調べ
、Ｂ位置にあった場合にとＣ位置の加算ｍ度値を比較す
ればプリアライメントマークの輝線がｌくに＠なってい
るかどうかが判定できるのである。以−１ｘ　Ｋに注目
してぎたが、Ｊ。 Ｌ、Ｍについてもまったく同じことが言える。よってブ
リアライメン］へマークの輝線と障害物が重なっている
かどうかの判定が可能となる。 次に不足濃度の算出方法および加算濃度分布の補正り法
について説明する。第９図（Ａ＞においてプリアライメ
ントマークの輝線がＫおよびＢの位置に′ｆＪＪわれで
いたとする。つまり第７図（Ａ）。 （Ｂ）の様な状況であったとする。第７図（Ａ）。 （Ｂ）におけるＪｖｌおよびＪＹ２についてＩ−Ｙ−Ｊ
ｙ１＋Ｊｙ２とすると、第５図（Ｂ）の障害物の形状か
ら、障害物によって隠される領域は、ＬＹＸｉ（長さ（
Ｙ、幅１）の領域である。よってこの領域に相当する濃
度を不足濃度として算出するわけであるが、本発明では
、もしも障害物がなければ加算濃度分布には、プリアラ
イメントマークの２本の輝線に相当する、はとんど似か
よった２本のピークが存在するという考えに基づき、障
害物があっても少なくとも１本存在するピーク形状から
、もう一方を推測する。この推測が正しかったかどうか
は、その後の２値化処理によってチェックできる。すな
わち、推測が正しい場合には、ある凸いスライスレベル
Ｃ２ｈｒｉ化が可１１Ｆ　ｃ−あり、かつ２本のピーク
の間隔が適性どｌ了るわｉＪＴ″゛ある９、 第９図〈［３）は第９図（Ａ）の点線内部の拡大図、第
９図（Ｃ）は第９図（［３）の状況の加算温石分布図で
゛ある。 さて、第９図（１３）お」、び（Ｃ）を参照【ッ℃、１
は一定伯であるから、Ｌ　Ｙがわかったどする。 まず−鞘］用（１３−ｉ、、’２．　Ｂ＋ｉ　Ｋ２＞と
（１〈ｉ／２．）（＋ｉ／２）内の各自を１対′１に対
応さける。１なわち（Ｒ＋　Ｋ２．　Ｒ＋ｉ　Ｋ２　）
の各Ｉｊスを（ｂｏ　、　ｌ）＋　、　ｂ２　、　・、
　ｂｎ　、−１どし、（Ｋ−ｉ、’２．に＋ｉ／２）の
各点を　（ｋＯ。 ｋｌ　、　Ｋ２　、　・−、ｋｎ　、−）どしてｌ＜ｎ
ｉ、ｌ）ｎを７・１応さく！る１０次にある魚ｋｎの＋
＋ｎ　Ｉ　ｉｆｉ　Ｉｆｆをｌ’ニアｋｎ。 イれに対応する点ｂ　ｎの１１１１枠哨度を［−’Ｈ］
ｎどした場合、その不ｆｆ１ｉｌＨｌ？Ｒｆ’＋＋は、
Ｒｒｎ＝　Ｒｂｎｘ　ｌ−Ｙ　、・′ｍどして）える。 これは、障害物かない場合の７５２野のＹ　方向の長さ
口１に対し−（、Ｉ迅さＩＹだ【Ｊ隠されていたという
ことを表ね１゜よって補正後のｋｎ（７）　７１１１　
＆＞　ｍｍ　１ｌＦｊ　’ｅ［髪ｋ　１１−１−！Ｊ６
　、！：、Ｉ−＜　ｋｎ　−−＝　Ｒｋｎ（［く白）ど
なる。この操作へ範囲（Ｋ−１’２．Ｋ１１・２）の各
ｓｅａ　１．二り色Ｍ（−二と（Ｊ、１、ｖ　’−（第
９　Ｍ　（Ｃ）の、ｊ、′）に斜線部を袖１１・する。 実際ｉ＝　ｔａ、障害物の周辺への影響が考えら１する
ｌ、：め、補１［範ＩＩ（目よくに〜１．・′２　、　
Ｋ　十ｉ　　２）よＰ）　ｂ亡ヤ）広め（・−どる。 次にＩＹの決定法であるか、第１０図（Ａ）（こ１１は
ｌす）′ライヌン］・ζノータの輝線が第９図（△）の
Ｋの位置でΦなっている状）５ｔを示しＣいろ）（Ｊ示
づよう（こ、プリアライメントマー′〕の水平方向の２
本の輝線のうり原５敗（視野のｈ［角）かＩ）遠い方の
亭標をｙｃとンノれぽ（こ１′目ハＵを？）Ｊめるだ１
−ＩＣあって原点からｉｌＥい７ｉをどって６　Ｊ、い
）、Ｄ　ＬＪ　ｆ＋’＋Ｉ　定点−ｒ　ｈ　＜’ｌ）　
Ｉ＋’　ラＶ　ＯヲＹ　１）　向［ＪＩＩＩ　ｄ：ｔか
１））仝ざかる向きへＣ１かしＣいった場合、ｙｃの範
囲によつで（１″１〜（Φの場合に分けられ、−ぞれぞ
れの場合で］Ｙはｙｃの（Ｂｔｌｒ１４　／ｒ一時間数
どし−（求まる５、こＱ）ｙＣは、Ｙ方向の加綽濶痘分
ａ１のピーク（７）　’＋’　）！に標を求め、Ｘノ）
向−（重／本っＣいるかいないかの決定法ど同様にし−
Ｃ１もう−ＩＪの輝線があるＣ゛あ／）うＹ座標を求め
、その２つの［！標のうち原点から遠い方とすればよい
。 以下に第１０図（Δ）の■〜■のそれぞれの場合につい
ての１−Ｙの値を示す。 まずｙｃはＪ≦ＶＣ≦ｍの範囲であり、Ｄは固定点であ
る。また、障害物の各部の長さは第５図（Ｂ）に示す通
り、プリアライメントマークの幅は第５図（Ａ）に示す
通りで（ｊ、ｋ＜Ｊ）である。 従って、 ■　ＬＹ＝２ｋ　　　（ｙｃ＜［）） ■　ＬＹ−ｙＣ４−［）＋２ｋ （１）≦ｙｃ＜Ｄ＋ｋ） ■　Ｌ、　Ｙ　＝　ｋ　　　　　（１，’）　十に≦Ｖ
　Ｃ＜　１’）−１−１）■　Ｌ　Ｙ　＝　Ｖ　Ｃ−Ｉ
−）　＋　ｋ−１（０＋、１≦ｙｃ＜［）＋に＋Ｊ−２
ｉ）■　１Ｙ＝２に−１＋−ｊ−２　ｉ （Ｄ　　−＋−ｋ　　−ト　ｊ　−２１≦　ｙｃ　　＜
Ｄ＋に＋Ｊ　　）■　ｔ、−Ｙ　＝　−ｙ　ｃ→−１）
　＋３　ｋ　＋ｊ　−２ｉ（Ｄ＋に＋４≦ｙｃ　＜Ｄ＋
２に＋ｊ−２ｉ　）−２ε３− （７）　　　　１Ｙ＝ｋ　　　　　　　（Ｉ’）＋２に
＋、ノ　−−２１≦　ｙｃ＜１１＋に＋Ｊ　＋　ｊ−２
ｉ　） ■　１Ｙ＝ｙｃ−１）−ノー」＋２１ （Ｄ　　＋　　ｋ　　−＋−ア　　＋　　　−１−−２
＋　　　≦　ｙｃ＜　　ｌ）　　＋　　２　　ｔ＜　　
＋　　Ｊ　　ｉ−ノ　　−　　２＋）■　　　　Ｌ　　
Ｙ　　−２ｋ （Ｄ　−ｆ−２ｋ　＋　Ｊ　＋、ｊ　−２ｉ≦ｙｃ　）
以上、第９図（△）のｌくの位置にプリアライメントマ
ークの輝線が重なった場合のＩＹの値について述べたが
、これは同図１−の位置についても全く同様である。ま
た、同図Ｊの場合は第１０図（［３）のような車なり方
があり、上記にＫのときと同様にＬＹの値を示す。 まず［は、固定点で゛あり、［−［）十に−ｉぐある。 また、ｙｃの範囲は、（）≦ｙｃ≦ｍ　）　Ｆある。 Ｑ）　ｉＹ−、ｉ　　　　（ｙｃ＜１）■　（・Ｙ・・
ｙＣｌ［＋１ （［≦ｙｃ　＜ｒ−＋　、ｉ　） ■　１Ｙ＝０　　　（Ｆ＋−ｊ≦ｙｃ＜Ｅ＋ｌ）■　　
　Ｌ、　　Ｙ＝　　ｙｃ−Ｆ三　−１（Ｅ　＋、１≦ｙ
ｃ＜「十）＋、ノ） ■　　ＬＹ−Ｊ　　　　（Ｆ十）　＋ｊ　≦ｙｃ）以干
、Ｊの４ｉ７’ＩＩの場合であるが、Ｍについても全く
同様である。ここまでで、Ｙ方向にプリアライメントマ
ークと障害物が重なる場合の重なる長さＬ　Ｙを求めた
がＸ方向に重なる良さをｌ−Ｘとし、垂直方向の２本の
輝線のＸ座標のうち原点から遠い方の座標をＸＣとすれ
ば、ＬＸは（）≦ＸＣ≦ｎ　）の範囲で上記式のｌ−Ｙ
をＬＸに、ｙａをＸＣに置き換えるだけで同様に求める
ことができる。 以上をもってプリアライメントマークの輝線と障害物が
重なっているか、いないかの判定方法、不足濃度の算出
方法、および加算濃度分布の補正方法についての全−Ｃ
の説明をした。 次に、第１１図に示すフ［］−チチー−に沿って、障害
物にプリアライメントマークが重なった場合には加算ａ
度分布を補正しなからアリアライメン１へマークの中心
座標を求める位置検知方法について説明する。 ステップ１１１にて加算スター１−命令がマイクロブ［
］ｔ？ツザより指令されると、前述しｊごように位置検
知方法にａ３いて画像信号のＸ方向およびＹ方向それぞ
れの加舜が開始される。マイクロブ［］セセラはステッ
プ１１２にて加算終了持ち状態で待機し、所定フレーム
数の加算が終了すると、ステップ１１３に進む。 ステップ１１３でマイク［１ブ［ルッサは加算メモリに
格納された画像濃度データのＸ方向おにびＹ方向の最大
値とその位置お」；び最小値をり一−チする。最小値を
サーチするのは、その後、ステップ１１８にてＲ適なス
ライスレベルを設定覆るわけであるが、そのプ［１ｔ？
ス（ここでは説明しない）にお（Ｊる初期舶を例えば最
大値と最小値との差の５０％に設定するためである。 次に、ステップ１１４にて、アリアライメンｉ・マーク
と障害物が重なっているかどうかを判定する。 具体的−例をあげると、第９図（△）の場合、Ｊ。 Ｋ、Ｌ、Ｍの位置が重なる位置であるがらアリアライメ
ン１〜マークの２本の輝線の幅を第５図（Ａ）のように
、！とじて、次のような８点ρ、ｑ、ｒ。 ｓ、　ｔ“、ＩＪ、Ｖ、Ｗを定める。 ｐ＝　Ｋ　十、１　、　ｑ　＝　Ｋ　−，１ｒ＝１−１
−、ｆ、５＝ｌ−１ ｊ＝、ノ　　４　　　、！、　　　＋Ｊ　＝Ｊ　　−ｉ
Ｖ＝Ｍ　　イー　！　、　　　Ｗ＝Ｍ−＃そしてＸ方向
の集合×７を Ｘ、ｚ　＝　（ｚ　ｊ−ａ　（ただしＺ＝Ｄ、Ｑ、ｒ、
Ｓ。 １：、ｕ、ｖ、ｗ＞３　　（αはトレランスとする）の
ように定め、同様にしＵＹ方向についてＹｚを定める。 そしＣステップ１１３でリーチ８れたＸ方向およびＹ方
向の最大値の位置座標がそれぞれＸｚ。 Ｙｚに含まれているか否かを判定し、含まれていたなら
、その（位置座標）士夕の大小を比較すれば重なってい
るが、いないかの判定が可能となる。 ステップ月４にてアリアライメン１へマークと障害物が
車なっていないと判定されたならば、ステップ１１８で
スライスレベルを決定し、ステップ１１９で２値化づ”
る。この後ステップ１２０にて第６図（Ｄ）で（ＸＲ＋
　−ＸＩ　４　＞として示されたマー３３−　　　　　
　　　　　。 −３２＝ −り幅を計測し、ぞれが実際の７−り幅に対して適当で
あれば、検知したマークがプリアライメントマークであ
ると判断してステップ１２２、ざらに１２４へと進んで
マークの中央位置を計測する。また、ステップ１２０で
開側されたマーク幅が実際のマーク幅に対して適当でな
かったくｒらば、ぞれはアリアライメン１〜マークでは
ないと判断してステップ１２２へ進む。この場合には視
野内にアライメントマークが存在しないとみなしてアリ
アライメン１〜マークを探すプロセスに進む。 ざて、ステップ１１４にてプリアライメントマークと障
害物が重なっていると判定された場合は、ステップ１１
５にて不足濃度の甜紳、ステップ１１６にて加算８１度
分布補正を行なう。次に、この補正が正しかったかどう
かの予備判定として、ステップ１１１にて第９図（Ｃ）
に示ずＲｂｎとＲｋｎを補正して得られたＲｋｎ′を補
正した各点について比較し、適当であったならば、すな
ゎｔ５２つの値が近い値であったならばステップ１１８
へ進み、その後は前記した通りである。ステップ１１７
にて補正値−３４＝ が適当（゛イ１か−）た１）のと判定し／、＜Ｉ′ｌ−
）は、スｊ−ツーｆ　１２３１．−（Ｘ　Ｙスｊ−シ４
駆りｊ」−７、ｆ　ＩＪ　ｊ’う了ヌン］−ンータと障
害物が（訃ならないよ−）に１．・て出ｉｉ１測を（ｊ
イＮ　”）、　ｔ′−の１１．’ｉの駆ΦＩＩ　ａｌＬ
Ｌ　、閥低、陣γ７１υｊの人きさ゛（’　Ｊ、く、駆
動Ｊ）向は、スーｊツー７１１４１Ｊ：（中＜ｉす１）
がわか−）−（いるの（゛、法定Ｃきる。 １ス１の処理を実ｆｉ　ｌろＪどに、：　ｊ、　−）　
”−Ｃ１ｒ　ＩＪ　−ｉ’　−ｉイメンｊ・）ノー　り
のｍｌ像過過程（−Ｊｉいて、障古物／へ存Ｉ！シフて
り、検知（きれｌごバ今一ンが−ｌ′ライメジ］へン一
りであるかの判断６行／、ｆい、での中り４（１”ｌ　
：Ｆｌ　）’Ｉ’・標を正確に求めるＪ−どが可能Ｃ゛
ある５゜最後（Ｊ、障害物にＪり余刺伝シＪが介′１　
！ｉる場合につい（Ｊｉドへる。（−のようイｆ場合は
、］−−一タを減紳Ｊ−ることによって、加紳濶１σ分
イ１１を）＋１ｉｉＴｌる１、前出陣害物１．１、ｔの
Ｈｔｔ　ｖｖ製釣処即（４−Ｊ、７．）−（は、その■
ツジ（周辺）部分が高師用を持つ場合がある。ｃｌ／）
場合を第１２図に承り一８第１２図（Ａ）は、輝線−二
なって１１−、！れＩ、二障害物どブリｊ′う（メン］
−７−タ／ｌ＜−Ｉｌ’ｆに搬像ｃ、ｓ　１１　Ａ：　
１人混り巧トしＣいる。このＢ、Ｉｔの１ｊ１１幹ｌｌ
ｉ！石分イｌｉｔま第１２図（Ｒ）、（Ｃ）に７１（１
，１、・）１３二イ転り、ぞれ−ｆ゛れＡＹ、△７くの
部分ＩＪ−輝線どｉ’ｃ　＝＞　−（ｊＦｉｊれた障害
１カに」、る１ビ一勺がで゛す（イる１゜＝　〕ｓ　害
物１；二Ｊルｔ：ｊ−ノノハ、２（ＩＣ目１′、の際ｏ
＞　、ｘ　）−ｒスレベルの設定ｉ１７能ψ囲４−狭く
しい誤検知、氷検知の原因とくｊる１、ぞこ−Ｃ１胸１
１２図（［（）、１）（４二示４補正部分を減紳しＪ、
：　−）　（なく１・（）−・ま）３３補ｉ［部分の位
置お、Ｊ、び範囲は障害物のイ１″！ｊ〜１（りよび形
状かＩ）求まり、補ｉ［饅ｔ、良、障害物の棄４質、Ｊ
ｉ４状、製イ１処即へとかｌ’、　ｙ、める（、とか可
能（゛ある。また、別の１ｊン入としＣ，障Ｉ７１勿が
Ｉｔ’ｌｌ　：ｉｉ’−（”ある（−とから、Ｙ備据像
とし−Ｃノ゛リノ′−、ノイメン］・ンータが４１：い
状態、Ｉｉｈわら、つ■ハをｊスＬ５　ｊ；い状態Ｃ・
障害物のみを搬像し、その加算ｉ！Ｉ［ηを補ｉ１−酎
一二する７８人がある。 第１２図（Ｄ　）　Ｇ、Ｉｔ　、輝線となつ−Ｃ−単１
１に障害物のみの加０湘億分１［ｉである３、（二ねを
第１２図（Ｃ）の加鈴澹度／）日３減ｔや４る（−と（
４−より、第１２図（［）のブリ／７−ノイメンｉ−マ
ークの輝線ｉ；−，，Ｌるビーりのみを持−）た加紳濃
撓分布を１１１るＪとがで？きる９、（二のｈ法ｔｉｔ
　、、ノイズを除去するとい・）利貞（）持−）Ｃい−
３り− る４、以１−１ＩＩｆｆｉ−札１勿と一ノ′リノ′うＹ
メント１ノー９か手なっていない第１２図（Ａ）の状態
で、Ｘ　ｈ向（、二ついてのみ述べたが、障害物が帥゛
線とな−）　ｒ　ｊ＋、ｊ　ｉする場合は、ΦＪ’、：
　、　’−（いる、いない（ＪかかわらＩｖ、常に一定
（ｉの減０が必要Ｃ’゛あろかＩ）、以１のＦｌ“法は
、Φな−）（いる場合に−）い−でも同じ（−とが召Ａ
１Ｙ１１向につい−Ｃ’ｂ　Ｘ　ｉ）向ど同しくパあイ
）。 ［発明の適用範囲１ なお、■述の実施例においては、ｈｊ　Ｊ１図〈１１）
のＪ、うな形状の障害物につい（説明しｌＳ二が、本発
明において障害物のＩｌｅ状は問ね４ｆい１、また、障
害物どしく−（；Ｌ、搬像過程に於１−Ｊ　６）Ｖ路上
の物体Ｉこ【Ｉ′ｃ′なく、―像装置＾中（、二泥録イ
・用１Ｗｈ筐１戚か存在４る場合、また、人力画像を格
納砒するメ七りに８【）憶不可１１［ｉな領ｌ伐がある
ｊ場合等に−）いてし同様にぢえられる。 ［発明の効宋］ 以上のＪ、う（１、本発明（５二よると、−次冗の画像
ｆ′−タからマークのＸ座標おＪ、ひＹ座標を検知する
装置におい（、搬像Ｉｔ、′Ｉの障害物等にｃｌ：　Ｖ
）画像デ一タ（５−欠落あるいは余剰かぁ−）ｌ、」り
合１．、Ｌ　ｔ−、’、れをＩ”−タ加紳Ｊ４、ムｌｅ
ｔデーり減ｐ処Ｆｌ！　ｔｌ−より補ｉ１’−ｄるよ’
５１Ｊシ（いるため、Ｊの、Ｌうイ；　１ｉｊｉ像）−
タの欠落や余剰があ−）τｂ　、ｉｎ　（Ｒ１，にアー
ノイメンｔ−，７−りを検知し語測（Ｊ”　６　ｔ’１
ｍ　ｈがｌｊｒ　（＃−ｃ゛アｌ）、！’＋　”　Ｎ　
比カ悪イ場合も）′うＹメントマークを高輸出室、高粘
度をもつ（、検知、ｉ；ｔ　３１１１　”ｊ−る仁どが
−（きる、。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例（５−係く）生導体焼トｌ
（ｊ装置のＩＩＩ観を小−４斜視図、 第２図ｌｅｔ　、第１図の装１ζノ（１−おけく）アｌ
２ノピ・ｌリアライメン１・検知系の光学系斜１リ図、
４１３図は、第１図の゛レム置｛ＪおしＩるラ１，・］
′゛・プリノ′−）イメン１・検知回路のブｌ１ゾノノ
Ｕ２＋、第４図は、−ｊ−Ｌノ［゛両面の画素分割法を
示す説明図、 第ｊ）図は、デｌ７ノ１′・−ｆ　’．．Ｊ　Ｊ’ライ
メン１・マーノノお、Ｉ．σ障害物の１ｆ面図八ら（Ｆ
　ＩＪ′Ｚ　Ｊｉらが一緒にｍｌ像されＩ，場合の１−
１１７画面の説明図、第６図は、ｉ　１ノＬ：　・、ｆ
　’．．ｌ　ｔ’ラｒメンｌ−　７−　’ｙ　カ障害物
にΦならない場合のテレビ両面、画像データ１１３石分
イｈお」、び２賄化出力の説明図、第７図１Ｊ、プレじ
・ブリ））ライメン１〜マークが障害物と巾なった場合
のテレビ画面、画像データｉ！１ｌｌｆｔ分イ１」およ
び２１白化出力の説明図、第８図は、テレビ・プリアラ
イメントマークが障害物と中なった場合の補１丁処理の
前後における温石分布および２値化出力の説明図、 第９図は、第１図の装置Ｎにおけるテレビ・プリアライ
メン］・マークと障害物どの＠なり判定１１作を説明す
るための図、 第１１図は、テレビ・アリアライメン１〜マー９位置検
出フ［１−図、そして 第１２図は、障害物により余剰信号が発生覆る場合の第
６図と同様の図である。 ４：ウェハ、７：搬像管、８：テレビ受像機、１１：照
明用光源、Ｘ：Ｘ方向加算プ「１ツク、Ｙ：Ｙ方向加算
ブロック。 １人Ｎ −〇 邦 Ｆｌ、２ 手続補正書。／Ｊ−ｉｔ） 貼１和６１年９　Ｙｌ　１７　Ｆ”’１特許庁長官　黒
［１１明ｎ（Ｕ殿 １、事件の表示 昭和６０年　特　９′ｆ−願　第８２６１５号２、発明
の名称 位置検出装置 ３、補正をするもの 事件との関係　　４、＋ｆ訂出願人 住　所　東京都人ＩＩＩ区−十丸イ３１’１１３０番２
−ぢ名称　（１００）キャノン株式会召 ルθノ門電気ビル　電話（５０１）９３７０昭和６１年
８月６［−１（発送［−１：昭６１．Ｉ１．２Ｂ　）６
、補任の対ダ一 明細書中、［図面の商学なＲｉｃｈ明＋７）ｔｌＬ７、
補止の内容 １、明イｉｌｌ　ｆ４　Ｍ）ａ　９　ｆｉ第９行の゛第
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正する２、

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被検出物体を撮像する撮像手段と、該撮像手段の出
   力信号から得られた二次元の画像濃度データをＸ方向お
   よびＹ方向に電気的に加算する加算手段とを有し、この
   加算手段から出力される積算濃度分布を基に上記被検出
   物体上に設けられた位置検出用マークを検出する装置に
   おいて、上記加算手段によって得られた上記積算濃度分
   布をデータ加算あるいはデータ減算処理により補正する
   手段を設けたことを特徴とする位置検出装置。 ２、前記補正手段は、形状および位置が既知の物体が前
   記撮像手段によって前記被検出物体を撮像する際の光路
   上での障害物となりその障害物により前記撮像手段の出
   力信号から欠落または付加された前記位置検出用マーク
   の信号分を、前記データ加算あるいはデータ減算の処理
   により補正するものである特許請求の範囲第１項記載の
   位置検出装置。