JPS6245831U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6245831U JPS6245831U JP13671885U JP13671885U JPS6245831U JP S6245831 U JPS6245831 U JP S6245831U JP 13671885 U JP13671885 U JP 13671885U JP 13671885 U JP13671885 U JP 13671885U JP S6245831 U JPS6245831 U JP S6245831U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample stand
- section
- stand support
- cylinder
- axis
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- Pending
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 12
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係るプローバーを
示す概略説明図である。 １：被試験物、２：試料台、３：試料台支持部
、４：シリンダー部、５：Ｚ軸駆動部、６：ＸＹ
テーブル、７：エア入口、８：エア経路、９：エ
ア出口、１０：プローブ。
示す概略説明図である。 １：被試験物、２：試料台、３：試料台支持部
、４：シリンダー部、５：Ｚ軸駆動部、６：ＸＹ
テーブル、７：エア入口、８：エア経路、９：エ
ア出口、１０：プローブ。
Claims (1)
- 被試験物を装着する試料台及び試料台支持部と
、試料台支持部を囲み、その内周部にエア出口を
有するシリンダー部と、試料台及び試料台支持部
を乙軸方向に駆動するＺ軸駆動部と、上記試料台
、試料台支持部、シリンダー部及びＺ軸駆動部を
塔載し、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向に移動するＸＹテー
ブルと、エア出口を通じて試料台支持部とシリン
ダー部のすきまに高圧エアを供給するエア経路及
びエア入口と、被試験物に接触し検査測定するプ
ローブとを有するプローバー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13671885U JPS6245831U (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13671885U JPS6245831U (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6245831U true JPS6245831U (ja) | 1987-03-19 |
Family
ID=31040093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13671885U Pending JPS6245831U (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6245831U (ja) |
-
1985
- 1985-09-06 JP JP13671885U patent/JPS6245831U/ja active Pending
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