JPS6243820B2 - - Google Patents

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JPS6243820B2
JPS6243820B2 JP57117659A JP11765982A JPS6243820B2 JP S6243820 B2 JPS6243820 B2 JP S6243820B2 JP 57117659 A JP57117659 A JP 57117659A JP 11765982 A JP11765982 A JP 11765982A JP S6243820 B2 JPS6243820 B2 JP S6243820B2
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JP
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rod
guide rails
plate
air
carriage
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JP57117659A
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JPS5857516A (ja
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Waasu Tatsukaa Seodoaa
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Control Data Corp
Original Assignee
Control Data Corp
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Publication date
Application filed by Control Data Corp filed Critical Control Data Corp
Publication of JPS5857516A publication Critical patent/JPS5857516A/ja
Publication of JPS6243820B2 publication Critical patent/JPS6243820B2/ja
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
    • G03F7/70816—Bearings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
    • B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
    • B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70716—Stages
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/0015—Orientation; Alignment; Positioning
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2300/00—Application independent of particular apparatuses
    • F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
    • F16C2300/62—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions low pressure, e.g. elements operating under vacuum conditions

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は高真空環境内に配置されてステージを
Ｘ−Ｙ平面内において移動自在とする高真空適合
空気式軸受に係る。
電子半導体工業においては、半導体ウエハ及び
マスクの製造に電子ビーム装置が用いられてい
る。このような電子ビーム装置は電子ビームの機
能を有効に果たすために高真空環境を必要として
いる。これら電子ビーム装置は目標ウエハ又はマ
スクを、ステージとして知られているプラツトフ
オーム上に載せてＸ−Ｙ平面上に移動し、電子ビ
ームをウエハ又はマスクの所望の位置に当てるよ
うになつている。従つて、このステージは、非常
に微細なそして精確な移動をＸ−Ｙ平面内で行う
ことが必要とされる。
（従来の技術） 高真空環境内でステージをＸ−Ｙ平面内で移動
自在とするために、従来の技術によれば、真空室
の外部に空気式軸受を配置し、この空気式軸受か
らアームを真空室内に延ばして挿入し、このアー
ムにステージを装着させるようにしていた。ステ
ージを微細に且つ精確にＸ−Ｙ平面内で移動する
ためには、静止摩擦を少なくするように空気式軸
受を用いる必要があるが、空気式軸受から空気が
漏洩してしまう惧れがあるために、空気式軸受を
真空室内に配置することはせず、空気式軸受を真
空室の外部に配置していたのである。然しなが
ら、このような構成にするとアームが長いものと
なつてしまい、ステージの位置が不安定になつて
しまうという欠点があつた。
かような問題を解決するために、米国特許第
4191385号明細書が開示しているようなものが存
在している。この装置は、真空室を空気式軸受の
内部に備えたものである。かような装置は構造が
極めて大型になつてしまつて微細で且つ精確にス
テージを動かすことができないものとなつてい
た。
（発明が解決しようとする問題） 電子ビームをステージ上のウエハなどに当てる
ためには高真空環境がステージのまわりに必要で
ある一方、ステージを微細に且つ精確に動かすた
めには空気式軸受を備えなければならないという
前提をふまえて、真空室内に空気式軸受を配置し
得る構造を得ようとするのが、本発明の解決すべ
き問題である。
（問題点を解決するための手段） 本発明は、対向する第１，第２の側板と、対向
する第３，第４の側板と、頂板と、底板とで成る
ハウジングと、前記頂板と前記底板とのほぼ中央
に備えられ前記ハウジング内に上方空間と下方空
間とを画成する中央板と、前記上方空間に開口す
るように前記第１、第２の側板にそれぞれ備えた
第１、第２の孔，と、前記下方空間に開口するよ
うに前記第３、第４の側板にそれぞれ備えた第
３、第４の孔と、前記第３、第４の側板にそれぞ
れ沿つて前記上方空間内に備えた第１、第２の案
内レールと、前記第１、第２の側板にそれぞれ沿
つて前記下方空間内に備えた第３、第４の案内レ
ールと、前記第１、第２の孔から前記ハウジング
の外方に突出する第１、第２のロツドを備え前記
第１、第２の案内レールに沿つて移動可能にこれ
ら案内レール間に配置された上方往復台と、前記
第１のロツドと前記第１の孔のまわりの前記第１
の側板の部分及び前記第２のロツドと前記第２の
孔のまわりの前記第２の側板の部分の間にそれぞ
れ介装されて前記上方空間内に第１の気密室を画
成する第１、第２のベローズと、前記第１のロツ
ド内を通つて加圧空気を導入する第１の空気入口
ポートと、前記頂板、前記第１、第２の案内レー
ル及び前記中央板とこれらに接する前記上方往復
台の面との境界面間に空気式軸受部が形成される
ように前記第１の空気入口ポートと連通して前記
上方往復台の面に備えられた複数個の第１のオリ
フイスと、前記第２のロツド内を通つて空気を排
出する第１の空気出口ポートと、前記第１の気密
室内の空気を前記第１の空気出口ポートに導くた
めに前記上方往復台に備えられた第１の排出孔
と、前記ハウジングの外方において前記第１、第
２のロツドにそれぞれ備えられた第１、第２の取
付部材と、これら第１、第２の取付部材によつて
支持された前記頂板の上方に位置するステージ
と、前記第３、第４の孔から前記ハウジングの外
方に突出する第３、第４のロツドを備え前記第
３、第４の案内レールに沿つて前記上方往復台の
移動方向と直角方向に移動可能にこれら案内レー
ル間に配置された下方往復台と、前記第３のロツ
ドと前記第３の孔のまわりの前記第３の側板の部
分及び前記第４のロツドと前記第４の孔のまわり
の前記第４の側板の部分の間にそれぞれ介装され
て前記下方空間内に第２の気密室を画成する第
３、第４のベローズと、前記第３のロツド内を通
つて加圧空気を導入する第２の空気入口ポート
と、前記底板、前記第３、第４の案内レール及び
前記中央板とこれらに接する前記下方往復台の面
との境界面間に空気式軸受部が形成されるように
前記第２の空気入口ポートと連通して前記下方往
復台の面に備えられた複数個の第２のオリフイス
と、前記第４のロツド内を通つて空気を排出する
第２の空気出口ポートと、前記第２の気密室内の
空気を前記第４のロツド内の前記第２の空気出口
ポートに導くために前記下方往復台に備えられた
第２の排出孔と、前記ハウジングの外方において
前記第３、第４のロツドにそれぞれ備えられた第
３、第４の取付部材と、これら第３、第４の取付
部材を固定面に取り付けるための取付手段とを備
え、高真空環境内に配置されて前記ステージをＸ
−Ｙ平面内において移動自在することを特徴とす
る。
（作 用） 本発明の高真空適合式軸受は、軸受に適用され
る空気が漏洩されないように密封される構造を有
しており、軸受に適用される空気のみを真空室の
外部から軸受に供給するようにして、軸受そのも
のは真空室の内部に配置することができる。従つ
て、ステージを取り付けるための長いアームを必
要としない。
（実施例） 以下、図面に従つて本発明の一実施例について
説明する。
第１図は本発明の高真空適合空気式軸受の頂部
断面図、第２図はこの軸受の一部を破断した斜視
図、第３図は第１図の３−３線に沿う断面図、第
４図はこの軸受の分解斜視図、第５図はこの軸受
の一部材である中央板の平面図である。
主として第１図と第４図とを参照して、高真空
適合空気式軸受は、対向する第１、第２の側板１
２，１６と、対向する第３、第４の側板１０，１
４と、頂板７２と、底板７８とで成るハウジング
１１を有している。頂板７２と底板７８とのほぼ
中央においてハウジング１１内に上方空間と下方
空間とを画成する中央板１０６が備えられてい
る。第１、第２の側板１２，１６には第１、第２
の孔３０，３２が備えられ前記上方空間に開口し
ている。前記下方空間に開口するように第３、第
４の側板１０，１４には第３、第４の孔１５１，
１３２が備えられている。第３の孔１５１は第２
図に示されている。第３、第４の側板１０，１４
にそれぞれ沿つて前記上方空間内には第１、第２
の案内レール２６，２８が備えられ、また、第
１、第２の側板１２，１６にそれぞれ沿つて前記
下方空間内には第３、第４の案内レール１０８，
１１０が備えられている。第１、第２の孔３０，
３２からハウジング１１の外方に第１、第２のロ
ツド２２，２４の外方拡大端部１１６，１１８が
突出しており、第１、第２のロツド２２，２４の
内方端部は上方往復台１８に連結されている。上
方往復台１８は中央部材２０と側方レール８０，
８２とを有してＨ字形をしている。上方往復台１
８は第１図のＸ−X′方向に第１、第２の案内レ
ール２６，２８に沿つて移動可能である。第１の
ロツド２２の外方拡大端部１１６と第１の孔３０
のまわりの第１の側板１２に備えられた円筒状ブ
ラケツト３４の内側突出フランジ４２との間には
第１のベローズ３８が介装され、また、第２のロ
ツド２４の外方拡大端部１１８と第２の孔３２の
まわりの第２の側板１６に備えられた円筒状ブラ
ケツト３６の内側突出フランジ４４との間には第
２のベローズ４０が介装されていて前記上方空間
内に第１の気密室５８を画成している。
頂板７２、第１、第２の案内レール２６，２８
及び中央板１０６とこれらに接する上方往復台１
８の側方レール８０，８２の面との境界面間に空
気式軸受部が形成されるように側方レール８０，
８２の面には複数個の第１のオリフイス５６が備
えられる。これらオリフイス５６は内部連通通路
５４を介して第１のロツド２２内に備えられた第
１の空気入口ポート１５２と連通されている。第
１の空気入口ポート１５２は加圧空気を供通する
ための可撓性チユーブ５０に連結され、可撓性チ
ユーブ５０は真空室６６外に延びている。上方往
復台１８の中央部材２０は第３図で見るごとく高
さが側方レール８０，８２に対して低くされ、第
１図に見るごとく第１の気密室５８から空気を排
出するための排出孔６０を有している。第２のロ
ツド２４内には排出孔６０に連通して第１の空気
出口ポート１５３が備えられ、第１の空気出口ポ
ート１５３は空気を真空室６６外に排出するため
に延びている可撓性チユーブ６４に連結されてい
る。ハウジング１１の外側において第１、第２ロ
ツド２２，２４の外方拡大端部１１６，１１８に
は第１、第２の取付部材１２４，１２６がそれぞ
れ取付具５２，６２によつて固定されており、こ
れら取付部材１２４，１２６は頂板７２の上方に
ステージ７４を支持している（第２図と第３図を
参照）。かくて、ステージ７４は上方往復台１８
と一緒にハウジング１１に対してＸ−X′方向に
移動自在である。
次に、前述した下方空間に注目して説明を続け
ると、第３、第４の孔１５１，１３２（第２図と
第４図を参照）からハウジング１１の外方に第
３、第４のロツド８８，９０の外方拡大端部１２
０，１２２が突出しており（第３図も参照）、第
３、第４のロツド８８，９０の内方端部は下方往
復台９４に連結されている。下方往復台９４は低
くなつた中央部材９２と側方レール１５６，１５
７とを有してＨ字形をしている。下方往復台９４
は第１，２，３図のＹ−Y′方向に第３、第４の
案内レール１０８，１１０に沿つて移動可能であ
る。第３のロツド８８の外方拡大端部１２０と第
３の孔１５１（第２図）のまわりの第３の側板１
０に備えられた円筒状ブラケツト８４との間には
第３のベローズ１１２が介装され、また、第４の
ロツド９０の外方拡大端部１２２と第４の孔１３
２のまわりの第４の側板１４に備えられた円筒状
ブラケツト８６との間には第４のベローズ１１４
が介装されていて前記下方空間内に第２の気密室
１０４（第３図）を画成している。底板７８，第
３、第４の案内レール１０８，１１０及び中央板
１０６とこれに接する下方往復台９４の側方レー
ル１５６，１５７の面との境界面間に空気式軸受
部が形成されるように側方レール１５６，１５７
の面には複数個の第２のオリフイス１５０が備え
られている。これらオリフイス１５０は第３のロ
ツド８８内に備えられた第２の空気入口ポート１
５４と連通されている。第２の空気入口ポート１
５４は加圧空気を供給するためのチユーブ６８に
連結され、このチユーブ６８は真空室６６の外に
延びている。下方往復台９４の低くなつた中央部
材９２には第４図に見るごとく第２の気密室１０
４から空気を排出するための排出孔１４８が備え
られている。第４のロツド９０内には排出孔１４
８に連通して第２の空気出口ポート１５５が備え
られ、第２の空気出口ポート１５５は空気を真空
室６６外に排出するために延びるチユーブ７０に
連結されている。ハウジング１１の外側において
第３、第４のロツドの外方拡大端部１２０，１２
２には第３、第４の取付部材１２８，１３０が取
付けられ、第３、第４の取付部材１２８，１３０
は取付手段１００，１０２によつて固定面９８に
固着されている。かくて、下方往復台９４に対し
てハウジング１１は相対的にＹ−Y′方向に移動
自在である。
第３、第４の取付部材１２８，１３０が固定面
９８に固着されて、ハウジング１１が固定面１１
に対してＹ−Y′方向に移動自在であり、このハ
ウジング１１に対してステージ７４はＸ−X′方
向に移動自在であるから、結局、ステージ７４は
固定面１１に対してＸ−Ｙ平面内において移動自
在になつていることが分るであろう。
第５図を参照すると、中央板１０６の平面図が
示されている。中央板１０６には凹所１３６，１
３８，１４０，１４２が備えられている。これら
凹所の寸法ｈは上方及び下方往復台１８，１９の
中央部材２０，９２の長さとほぼ同じであり、寸
法ｌは円筒状ブラケツト３４，３６，８４，８６
の長さとほぼ同じである。第３図から分るよう
に、凹所の深さはほぼ円筒状ブラケツト３４，３
６，８４，８６の直径の1/2から中央部材２０，
９２の厚みの1/2を引いた寸法である。
オリフイス５６，１５０の数、直径帯び位置は
設計事項であつて、所望の用途に高真空適合空気
式軸受をして適合させるように定められる。
以下、この高真空適合空気式軸受の作動につい
て説明する。
真空室６６の外部に設置された加圧空気源（図
示せず）からの加圧空気は可撓性チユーブ５０及
びチユーブ６８を介して第１及び第２の空気入口
ポート１５２，１５４に導入される。この加圧空
気は上方及び下方往復台１８，９４の面に形成さ
れた第１及び第２のオリフイス５６，１５０から
噴出されて、この面と対向する面との間に空気式
軸受部を形成する。空気式軸受部であるから静止
摩擦はなくて、微細で精確で応答性の良好な動き
を与える軸受となるわけである。第１及び第２の
オリフイス５６，１５０から噴出された空気は第
１及び第２の気密室５８，１０４に流入し、上方
及び下方往復台１８，９４に備えられた第１及び
第２の排出口６０，１４８及び第１及び第２の空
気出口ポート１５３、１５５を介して流出する。
この流出空気は可撓性チユーブ６４及びチユーブ
７０を通つて真空室６６の外部へ導かれる。第１
及び第２の気密室５８，１０４の気密性は、それ
ぞれ頂板７２、側板１２，１６，１０，１４、中
央板１０６及び第１、第２のベローズ３４，４０
と、底板７８、側板１２，１６，１０，１４、中
央板１０６及び第３、第４のベローズ１１２，１
１４とによつてしつかりと維持される。上方及び
下方往復台１８，９４はそれぞれ一方向のみの移
動しか許容されておらず、これらの方向は互いに
直交している。かくて、ステージ７４は固定面１
１に対して水平なＸ−Ｙ平面内において自由に移
動可能となるわけである。
（発明の効果） 本発明によれば、空気式軸受を真空室内に配備
することができるので、長いアームなどを備えた
ものに比してステージの位置決めが確実になされ
得る。また、全体をコンパクトに構成でき、微細
な、そして精確な移動を行なわせることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例である高真空適合空
気式軸受の頂部断面図、第２図はこの高真空適合
空気式軸受の一部を破断した斜視図、第３図は第
１図の３−３線に沿つた断面図、第４図はこの高
真空適合空気式軸受の分解斜視図、第５図はこの
実施例に用いられる中央板の平面図である。 １１……ハウジング、１０，１２，１４，１６
……側板、１８……上方往復台、２０……中央部
材、２２，２４……ロツド、２６，２８……案内
レール、３０，３２……孔、３４，３６……円筒
状ブラケツト、３８，４０……ベローズ、４２，
４４……内側突出フランジ、５０，６４……可撓
性チユーブ、５２，６２……取付具、５６，１５
０……オリフイス、５８……気密室、６０……排
出孔、６６……真空室、６８，７０……チユー
ブ、７２……頂板、７４……ステージ、７８……
底板、８０，８２……側方レール、８４，８６…
…円筒状ブラケツト、８８，９０……ロツド、９
２……中央部材、９４……下方往復台、９８……
固定面、１００，１０２……取付手段、１０４…
…気密室、１０６……中央板、１０８，１１０…
…案内レール、１１２，１１４……ベローズ、１
１６，１１８，１２０，１２２……ロツドの外方
拡大端部、１２４，１２６，１２８，１３０……
取付部材、１３２，１５１……孔、１４８……排
出孔、１５２，１５４……空気入口ポート、１５
６，１５７……側方レール。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ 対向する第１，第２の側板１２，１６と、対
    向する第３，第４の側板１０，１４と、頂板７２
    と、底板７８とで成るハウジング１１と、前記頂
    板７２と前記底板７８とのほぼ中央に備えられ前
    記ハウジング１１内に上方空間と下方空間とを画
    成する中央板１０６と、前記上方空間に開口する
    ように前記第１、第２の側板１２，１６にそれぞ
    れ備えた第１、第２の孔３０，３２と、前記下方
    空間に開口するように前記第３、第４の側板１
    ０，１４にそれぞれ備えた第３、第４の孔１５
    １，１３２と、前記第３、第４の側板１０，１４
    にそれぞれ沿つて前記上方空間内に備えた第１、
    第２の案内レール２６，２８と、前記第１、第２
    の側板１２，１６にそれぞれ沿つて前記下方空間
    内に備えた第３、第４の案内レール１０８，１１
    ０と、前記第１、第２の孔３０，３２から前記ハ
    ウジング１１の外方に突出する第１、第２のロツ
    ド２２，２４を備え前記第１、第２の案内レール
    ２６，２８に沿つて移動可能にこれら案内レール
    ２６，２８間に配置された上方往復台１８と、前
    記第１のロツド２２と前記第１の孔３０のまわり
    の前記第１の側板１２の部分及び前記第２のロツ
    ド２４と前記第２の孔３２のまわりの前記第２の
    側板１６の部分の間にそれぞれ介装されて前記上
    方空間内に第１の気密室５８を画成する第１、第
    ２のベローズ３８，４０と、前記第１のロツド２
    ２内を通つて加圧空気を導入する第１の空気入口
    ポート１５２と、前記頂板７２、前記第１、第２
    の案内レール２６，２８及び前記中央板１０６と
    これらに接する前記上方往復台１８の面との境界
    面間に空気式軸受部が形成されるように前記第１
    の空気入口ポート１５２と連通して前記上方往復
    台１８の面に備えられた複数個の第１のオリフイ
    ス５６と、前記第２のロツド２４内を通つて空気
    を排出する第１の空気出口ポート１５３と、前記
    第１の気密室５８内の空気を前記第１の空気出口
    ポート１５３に導くために前記上方往復台１８に
    備えられた第１の排出孔６０と、前記ハウジング
    １１の外方において前記第１、第２のロツド２
    ２，２４にそれぞれ備えられた第１、第２の取付
    部材１２４，１２６と、これら第１、第２の取付
    部材１２４，１２６によつて支持された前記頂板
    ７２の上方に位置するステージ７４と、前記第
    ３、第４の孔１５１，１３２から前記ハウジング
    １１の外方に突出する第３、第４のロツド８８，
    ９０を備え前記第３、第４の案内レール１０８，
    １１０に沿つて前記上方往復台１８の移動方向と
    直角な方向に移動可能にこれら案内レール１０
    ８，１１０間に配置された下方往復台９４と、前
    記第３のロツド８８と前記第３の孔１５１のまわ
    りの前記第３の側板１０の部分及び前記第４のロ
    ツド９０と前記第４の孔１３２のまわりの前記第
    ４の側板１４の部分の間にそれぞれ介装されて前
    記下方空間内に第２の気密室１０４を画成する第
    ３、第４のベローズ１１２，１１４と、前記第３
    のロツド８８内を通つて加圧空気を導入する第２
    の空気入口ポート１５４と、前記底板７８、前記
    第３、第４の案内レール１０８，１１０及び前記
    中央板１０６とこれらに接する前記下方往復台９
    ４の面との境界面間に空気式軸受部が形成される
    ように前記第２の空気入口ポート１５４と連通し
    て前記下方往復台９４の面に備えられた複数個の
    第２のオリフイス１５０と、前記第４のロツド９
    ０内を通つて空気を排出する第２の空気出口ポー
    ト１５５と、前記第２の気密室１０４内の空気を
    前記第４のロツド９０内の前記第２の空気出口ポ
    ート１５５に導くために前記下方往復台９４に備
    えられた第２の排出孔１４８と、前記ハウジング
    １１の外方において前記第３、第４のロツド８
    ８，９０にそれぞれ備えられた第３、第４の取付
    部材１２８，１３０と、これら第３、第４の取付
    部材１２８，１３０を固定面９８に取り付けるた
    めの取付手段１００，１０２とを備え、高真空環
    境内に配置されて前記ステージ７４をＸ−Ｙ平面
    内において移動自在とする高真空適合空気式軸
    受。
JP57117659A 1981-09-21 1982-07-06 高真空適合空気式軸受 Granted JPS5857516A (ja)

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US06/304,228 US4417770A (en) 1981-09-21 1981-09-21 High vacuum compatible air bearing stage
US304228 1981-09-21

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JPS5857516A JPS5857516A (ja) 1983-04-05
JPS6243820B2 true JPS6243820B2 (ja) 1987-09-17

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DE (1) DE3271000D1 (ja)

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EP0076566B1 (en) 1986-05-07
CA1164028A (en) 1984-03-20
JPS5857516A (ja) 1983-04-05
US4417770A (en) 1983-11-29
EP0076566A1 (en) 1983-04-13
AU533593B2 (en) 1983-12-01
DE3271000D1 (en) 1986-06-12
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