JPS6243674Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6243674Y2 JPS6243674Y2 JP1981017687U JP1768781U JPS6243674Y2 JP S6243674 Y2 JPS6243674 Y2 JP S6243674Y2 JP 1981017687 U JP1981017687 U JP 1981017687U JP 1768781 U JP1768781 U JP 1768781U JP S6243674 Y2 JPS6243674 Y2 JP S6243674Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealing material
- vacuum
- rotary table
- differential pressure
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 28
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 13
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は差圧排気式の電子ビーム溶接装置に
関し、特にその真空排気系の改良に関するもので
ある。
関し、特にその真空排気系の改良に関するもので
ある。
第１図は、従来の電子ビーム溶接装置を示す断
面図であり、図において、１はロータリテーブ
ル、２はこのロータリテーブルの上面に固定され
た上ブタ、３はこの上ブタ２と前記ロータリテー
ブル１間に真空差圧室を構成するための下蓋、４
は前記１〜３より構成された真空差圧室内に流入
する空気を防止するためのシール材、５，６，
７はこのシール材と同様の機能をもつシール材
、シール材、シール材、８，９は真空差圧
室が直接大気圧にさらされるのを防止するため
に、前記シール材，４とシール材，５間およ
びシール材，６とシール材，７間を低真空領
域まで真空排気するための真空配管、１０，１１
はこの真空配管と連結され、前記シール材，４
とシール材，５間およびシール材，６とシー
ル材，７間を真空排気するための真空ポンプ
、真空ポンプ、１２は前記ロータリテーブル
１に動力を伝達するための駆動軸、１３はこの駆
動軸をかいして前記ロータリテーブルを順次回転
させるためのインデツクス装置、１４はこのイン
デツクス装置に動力を与えるための電動機、１５
は真空差圧室を真空排気するための真空配管、１
６はこの真空配管と連結され真空差圧室を真空排
気するための真空ポンプ，１７は前記ロータリ
テーブル１内に、複数個設けられた被溶接物を収
納するためのポケツトである。１８は被溶接物を
溶接するための電子銃、１９は前記上蓋２に設け
られ被溶接物を前記ポケツト１７内に装入するた
めの装入口である。
面図であり、図において、１はロータリテーブ
ル、２はこのロータリテーブルの上面に固定され
た上ブタ、３はこの上ブタ２と前記ロータリテー
ブル１間に真空差圧室を構成するための下蓋、４
は前記１〜３より構成された真空差圧室内に流入
する空気を防止するためのシール材、５，６，
７はこのシール材と同様の機能をもつシール材
、シール材、シール材、８，９は真空差圧
室が直接大気圧にさらされるのを防止するため
に、前記シール材，４とシール材，５間およ
びシール材，６とシール材，７間を低真空領
域まで真空排気するための真空配管、１０，１１
はこの真空配管と連結され、前記シール材，４
とシール材，５間およびシール材，６とシー
ル材，７間を真空排気するための真空ポンプ
、真空ポンプ、１２は前記ロータリテーブル
１に動力を伝達するための駆動軸、１３はこの駆
動軸をかいして前記ロータリテーブルを順次回転
させるためのインデツクス装置、１４はこのイン
デツクス装置に動力を与えるための電動機、１５
は真空差圧室を真空排気するための真空配管、１
６はこの真空配管と連結され真空差圧室を真空排
気するための真空ポンプ，１７は前記ロータリ
テーブル１内に、複数個設けられた被溶接物を収
納するためのポケツトである。１８は被溶接物を
溶接するための電子銃、１９は前記上蓋２に設け
られ被溶接物を前記ポケツト１７内に装入するた
めの装入口である。
従来の電子ビーム溶接装置は前記のように構成
され、被溶接物は装入口１９からポケツト１７に
装入される。被溶接物が装入されると電動機１
４、インデツクス装置１３と駆動軸１２によつて
ロータリテーブル１はある角度回転する。回転が
完了すると前記同様に被溶接物を装入口１９より
ポケツト１７に装入され、ロータリテーブル１を
回転する。これらの一連の動作が繰りかえされ被
溶接物が溶接位置まで搬送されると電子銃１８に
より溶接される。溶接が完了した被溶接物は前記
同様順次搬送され、装入口１９の位置までくると
溶接が完了した被溶接物としてポケツト１７から
取り出される。
され、被溶接物は装入口１９からポケツト１７に
装入される。被溶接物が装入されると電動機１
４、インデツクス装置１３と駆動軸１２によつて
ロータリテーブル１はある角度回転する。回転が
完了すると前記同様に被溶接物を装入口１９より
ポケツト１７に装入され、ロータリテーブル１を
回転する。これらの一連の動作が繰りかえされ被
溶接物が溶接位置まで搬送されると電子銃１８に
より溶接される。溶接が完了した被溶接物は前記
同様順次搬送され、装入口１９の位置までくると
溶接が完了した被溶接物としてポケツト１７から
取り出される。
電子銃１８で被溶接物を溶接するためには
0.05Torr以下の圧力まで真空排気する必要があ
る。そのために被溶接物が装入口１９から溶接位
置である電子銃１８の位置まで搬送される間に複
数台設置された真空ポンプ，６によつて所定の
圧力まで真空排気される。溶接位置（0.05Torr以
下）において大気圧（760Torr）にさらされるの
を防止するためにシール材，４とシール材，
５およびシール材，６とシール材，７によつ
て二重シールしている。さらにその二重シール間
を真空ポンプ，１０と真空ポンプ，１１によ
つて低真空領域（数Torr〜数10Torr）まで真空
排気するようになつている。
0.05Torr以下の圧力まで真空排気する必要があ
る。そのために被溶接物が装入口１９から溶接位
置である電子銃１８の位置まで搬送される間に複
数台設置された真空ポンプ，６によつて所定の
圧力まで真空排気される。溶接位置（0.05Torr以
下）において大気圧（760Torr）にさらされるの
を防止するためにシール材，４とシール材，
５およびシール材，６とシール材，７によつ
て二重シールしている。さらにその二重シール間
を真空ポンプ，１０と真空ポンプ，１１によ
つて低真空領域（数Torr〜数10Torr）まで真空
排気するようになつている。
よつて前記のように二重シール間の真空排気は
上蓋２と下蓋３に連結されその各々を連結してい
る真空配管８，９と真空ポンプ，１０、真空ポ
ンプ，１１によりなされる。真空配管８，９は
上蓋２と下蓋３間を連結しているため配管が複雑
になるという欠点と装入口１９より真空差圧室内
に流入する空気を調整するためにロータリテーブ
ル１と上蓋２、下蓋３間のギヤツプ調整をする必
要があるが、真空配管８，９が上蓋２、下蓋３と
連結されているため調整が出来ない、それにシー
ル材〜，４〜７が使用していくうちに消耗し
てくるがそのためのギヤツプ調整も困難で時間を
要するという欠点があつた。
上蓋２と下蓋３に連結されその各々を連結してい
る真空配管８，９と真空ポンプ，１０、真空ポ
ンプ，１１によりなされる。真空配管８，９は
上蓋２と下蓋３間を連結しているため配管が複雑
になるという欠点と装入口１９より真空差圧室内
に流入する空気を調整するためにロータリテーブ
ル１と上蓋２、下蓋３間のギヤツプ調整をする必
要があるが、真空配管８，９が上蓋２、下蓋３と
連結されているため調整が出来ない、それにシー
ル材〜，４〜７が使用していくうちに消耗し
てくるがそのためのギヤツプ調整も困難で時間を
要するという欠点があつた。
この考案はこのような欠点を解消するためなさ
れたもので、ロータリテーブルと上蓋、下蓋との
ギヤツプ調整を容易にできる電子ビーム溶接装置
を提供するものである。
れたもので、ロータリテーブルと上蓋、下蓋との
ギヤツプ調整を容易にできる電子ビーム溶接装置
を提供するものである。
第２図はこの考案の一実施例を示す断面図であ
る。１〜１９は前記従来装置と全く同一のもので
ある。２０はロータリテーブル１の上下面に加工
されたスリツト，２１も同様のスリツト，２
２は前記スリツト，２０の上下スリツト間を連
結する貫通穴，２３は前記スリツト，２１の
上下スリツト間を連結する貫通穴である。
る。１〜１９は前記従来装置と全く同一のもので
ある。２０はロータリテーブル１の上下面に加工
されたスリツト，２１も同様のスリツト，２
２は前記スリツト，２０の上下スリツト間を連
結する貫通穴，２３は前記スリツト，２１の
上下スリツト間を連結する貫通穴である。
前記のように構成された電子ビーム溶接装置に
おいてはシール材，４とシール材，５の間に
ありロータリテーブル１の上下面に加工されたス
リツト，２０が貫通穴２２によつて連結されて
いるため、上蓋２か下蓋３のいずれか一方のみに
真空配管８を連結し、真空ポンプ，１０よりシ
ール材，４とシール材，５間を低真空領域ま
で真空排気することができる。同様にシール材
，６とシール材，７間を上蓋２か下蓋３のい
ずれか一方に真空配管９を連結するのみで真空ポ
ンプ，１１により低真空領域まで真空排気する
ことができる。
おいてはシール材，４とシール材，５の間に
ありロータリテーブル１の上下面に加工されたス
リツト，２０が貫通穴２２によつて連結されて
いるため、上蓋２か下蓋３のいずれか一方のみに
真空配管８を連結し、真空ポンプ，１０よりシ
ール材，４とシール材，５間を低真空領域ま
で真空排気することができる。同様にシール材
，６とシール材，７間を上蓋２か下蓋３のい
ずれか一方に真空配管９を連結するのみで真空ポ
ンプ，１１により低真空領域まで真空排気する
ことができる。
前記説明ではこの考案を電子ビーム溶接装置の
差圧排気式の真空排気系について述べたが、その
他の差圧排気式の真空排気系にも利用できること
はいうまでもない。
差圧排気式の真空排気系について述べたが、その
他の差圧排気式の真空排気系にも利用できること
はいうまでもない。
この考案は以上説明したとおり、ロータリテー
ブルの上下面のシール材間にスリツトを加工し、
その上下面のスリツトを貫通穴で連結するという
簡単な構造により、上下シール間を低真領域まで
真空排気することができ、しかも真空配管が上蓋
か下蓋のいずれか一方に連結するのみでよいから
装置が小型、単純化され保守が容易になるといい
う効果がある。
ブルの上下面のシール材間にスリツトを加工し、
その上下面のスリツトを貫通穴で連結するという
簡単な構造により、上下シール間を低真領域まで
真空排気することができ、しかも真空配管が上蓋
か下蓋のいずれか一方に連結するのみでよいから
装置が小型、単純化され保守が容易になるといい
う効果がある。
第１図は従来の電子ビーム溶接装置を示す断面
図、第２図はこの考案の一実施例を示す断面図で
ある。 図において、１はロータリテーブル、２は上
蓋、３は下蓋、４はシール材、５はシール材
、６はシール材、７はシール材、２０はス
リツトＩ、２１はスリツト、２２は還通穴、
２３は貫通穴である。なお図中同一符号は同一
または相当部分を示すものとする。
図、第２図はこの考案の一実施例を示す断面図で
ある。 図において、１はロータリテーブル、２は上
蓋、３は下蓋、４はシール材、５はシール材
、６はシール材、７はシール材、２０はス
リツトＩ、２１はスリツト、２２は還通穴、
２３は貫通穴である。なお図中同一符号は同一
または相当部分を示すものとする。
Claims (1)
- 収納部に被溶接物を収納し溶接位置まで搬送す
るロータリテーブルをその上下面側に所定の空隙
を介しかつ回転自在に収納する上下蓋からなるケ
ースと、上記空隙を気密に仕切り上記収納部の両
側に真空差圧室を形成するシール材とを備え、上
記真空差圧室内における上記ロータリテーブルの
上下面側にスリツトを設けると共にこの上下のス
リツト間を貫通孔で連結し、上記ケースの上蓋又
は下蓋から上記真空差圧室を真空排気するように
したことを特徴とする電子ビーム溶接装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981017687U JPS6243674Y2 (ja) | 1981-02-09 | 1981-02-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981017687U JPS6243674Y2 (ja) | 1981-02-09 | 1981-02-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57132784U JPS57132784U (ja) | 1982-08-18 |
| JPS6243674Y2 true JPS6243674Y2 (ja) | 1987-11-13 |
Family
ID=29815653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981017687U Expired JPS6243674Y2 (ja) | 1981-02-09 | 1981-02-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6243674Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4775892B2 (ja) * | 2005-12-05 | 2011-09-21 | 株式会社アルバック | 真空用ゲ−トバルブ |
-
1981
- 1981-02-09 JP JP1981017687U patent/JPS6243674Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57132784U (ja) | 1982-08-18 |
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